JP4902637B2 - 半導体反射器内の統合された光検出器 - Google Patents
半導体反射器内の統合された光検出器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4902637B2 JP4902637B2 JP2008504232A JP2008504232A JP4902637B2 JP 4902637 B2 JP4902637 B2 JP 4902637B2 JP 2008504232 A JP2008504232 A JP 2008504232A JP 2008504232 A JP2008504232 A JP 2008504232A JP 4902637 B2 JP4902637 B2 JP 4902637B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor material
- light beam
- photodetector
- reflective surface
- integrated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 64
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 66
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 31
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 18
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 18
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- IOVARPVVZDOPGQ-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,5-tetrachloro-4-(4-chlorophenyl)benzene Chemical compound C1=CC(Cl)=CC=C1C1=C(Cl)C=C(Cl)C(Cl)=C1Cl IOVARPVVZDOPGQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000006855 networking Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4246—Bidirectionally operating package structures
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
- G02B6/4214—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical element having redirecting reflective means, e.g. mirrors, prisms for deflecting the radiation from horizontal to down- or upward direction toward a device
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12083—Constructional arrangements
- G02B2006/12104—Mirror; Reflectors or the like
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Description
Claims (20)
- 入射光ビームを光学目的地に向かって反射するために、半導体材料の上に定められる反射表面と、
前記半導体材料の前記反射表面の内部及び/又は周りに一体的に統合され、且つ、前記入射光ビームを検出するために前記半導体材料の前記反射表面に配置される光検出器とを含み、
該光検出器は、反射中央領域を取り囲む単一の円の円周に沿って位置付けられる4つの約90度の円弧領域を含み、該円弧領域は、交互の導電型を有する、
装置。 - 前記入射光ビームを生成するために、面発光レーザをさらに含む、請求項1に記載の装置。
- 前記半導体材料は、集積回路チップに含まれるシリコン基板を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記光学目的地に配置される光ファイバをさらに含む、請求項1に記載の装置。
- 前記光ファイバは、前記半導体材料内に定められるV溝内に配置される、請求項4に記載の装置。
- 前記円弧領域は、実質的に吸収的である、請求項1に記載の装置。
- 前記反射表面は、実質的に平面的である、請求項1に記載の装置。
- 前記反射表面は、実質的に非平面的である、請求項1に記載の装置。
- 前記光検出器は、前記半導体材料内に統合される複数の光検出器のうちの1つであり、前記複数の光検出器の各々は、その上に入射し且つそこから反射される複数の光ビームのそれぞれ1つを個別に検出するために、それぞれの反射表面上に配置される、請求項1に記載の装置。
- 光ビームを半導体材料に向けて方向付けるステップと、
前記光ビームを前記半導体材料内に定められる反射表面から実質的に反射するステップと、
前記半導体材料の前記反射表面に一体的に統合される光検出器を用いて、前記半導体材料内に定められる前記反射表面上に入射する前記光ビームを検出するステップと、
前記半導体材料から反射される前記光ビームを光学目的地に方向付けるステップとを含み、
前記光検出器は、反射中央領域を取り囲む単一の円の円周に沿って位置付けられる4つの約90度の円弧領域を含み、該円弧領域は、交互の導電型を有する、
方法。 - 前記半導体材料の前記反射表面に一体的に統合される前記光検出器を用いて、光源から受光する前記光ビームのパワーを監視するステップをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 前記半導体材料の前記反射表面に一体的に統合される前記光検出器を用いて、前記光ビームを生成する光源によって生成される信号の消光率を測定するステップを更に含む、請求項10に記載の方法。
- 前記半導体材料から反射される前記光ビームを方向付けるステップは、前記光ビームを前記反射表面を用いて前記光学目的地に集束するステップを含む、請求項10に記載の方法。
- 光ビームを生成する光源と、
該光源から受光する前記光ビームを反射するために、半導体材料の上に定められる反射表面と、
前記半導体材料の前記反射表面内に一体的に統合され、且つ、前記入射光ビームを検出するために前記半導体材料の前記反射表面内に配置される光検出器と、
前記半導体材料内に配置される光ファイバと、
前記光ビームを受光するために、前記光ファイバの他端に光学的に結合される光受信機とを含み、
前記反射表面は、前記光源から受光する前記光ビームを前記光ファイバの一端に反射し、
前記光検出器は、反射中央領域を取り囲む単一の円の円周に沿って位置付けられる4つの約90度の円弧領域を含み、該円弧領域は、交互の導電型を有する、
システム。 - 前記光源は、面発光レーザを含む、請求項14に記載のシステム。
- 前記半導体材料内に含まれ且つ前記光検出器に結合される集積回路をさらに含み、該集積回路は、前記光ビームを検出するために、前記光検出器からの電気信号を受信するよう結合される、請求項14に記載のシステム。
- 前記半導体材料とは別個の半導体基板内に含まれ且つ前記光検出器に電気的に結合される集積回路をさらに含み、該集積回路は、前記光ビームを検出するために、前記光検出器からの電気信号を受信するよう結合される、請求項14に記載のシステム。
- 前記円弧領域は、非連続的であり、前記単一の円に沿う異なる円周の場所に位置付けられる、請求項1に記載の装置。
- 前記円弧領域は、非連続的であり、前記単一の円に沿う異なる円周の場所に位置付けられる、請求項10に記載の方法。
- 前記円弧領域は、非連続的であり、前記単一の円に沿う異なる円周の場所に位置付けられる、請求項14に記載のシステム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/092,059 US7782921B2 (en) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | Integrated optical detector in semiconductor reflector |
US11/092,059 | 2005-03-28 | ||
PCT/US2006/011132 WO2006105030A1 (en) | 2005-03-28 | 2006-03-24 | Integrated optical detector in semiconductor reflector |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008535259A JP2008535259A (ja) | 2008-08-28 |
JP4902637B2 true JP4902637B2 (ja) | 2012-03-21 |
Family
ID=36649544
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008504232A Expired - Fee Related JP4902637B2 (ja) | 2005-03-28 | 2006-03-24 | 半導体反射器内の統合された光検出器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7782921B2 (ja) |
EP (1) | EP1864335B1 (ja) |
JP (1) | JP4902637B2 (ja) |
TW (1) | TWI334498B (ja) |
WO (1) | WO2006105030A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7306378B2 (en) | 2004-05-06 | 2007-12-11 | Intel Corporation | Method and apparatus providing an electrical-optical coupler |
US7782921B2 (en) | 2005-03-28 | 2010-08-24 | Intel Corporation | Integrated optical detector in semiconductor reflector |
KR101682269B1 (ko) * | 2013-09-25 | 2016-12-05 | 주식회사 엘지화학 | 레이저 커팅 장치 및 그 커팅 방법 |
Family Cites Families (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4297653A (en) | 1979-04-30 | 1981-10-27 | Xerox Corporation | Hybrid semiconductor laser/detectors |
US4366377A (en) * | 1980-09-29 | 1982-12-28 | Mcdonnell Douglas Corporation | Dual sensitivity optical sensor |
JPS63215942A (ja) * | 1987-03-04 | 1988-09-08 | Natl Aerospace Lab | 粒子径分布計測用光電変換センサ− |
US4857982A (en) * | 1988-01-06 | 1989-08-15 | University Of Southern California | Avalanche photodiode with floating guard ring |
US4897711A (en) | 1988-03-03 | 1990-01-30 | American Telephone And Telegraph Company | Subassembly for optoelectronic devices |
US5185272A (en) * | 1990-04-16 | 1993-02-09 | Fujitsu Limited | Method of producing semiconductor device having light receiving element with capacitance |
US5559331A (en) * | 1990-12-24 | 1996-09-24 | Northrop Grumman Corporation | Split-ring infrared detector |
JPH07249798A (ja) | 1994-03-09 | 1995-09-26 | Fujitsu Ltd | 光部品固定装置及びその製造方法 |
DE4411380A1 (de) | 1994-03-31 | 1995-10-05 | Siemens Ag | Sende- und Empfangsmodul für optoelektronischen Ping-Pong-Betrieb |
JPH08234063A (ja) | 1994-12-19 | 1996-09-13 | Sony Corp | 送受信光モジュール |
EP0804323B1 (de) | 1995-01-18 | 1998-11-04 | Robert Bosch Gmbh | Anordnung zur umsetzung von optischen in elektrische signale und verfahren zur herstellung |
US5611008A (en) | 1996-01-26 | 1997-03-11 | Hughes Aircraft Company | Substrate system for optoelectronic/microwave circuits |
JP3285309B2 (ja) * | 1996-03-26 | 2002-05-27 | 株式会社堀場製作所 | 光検出器 |
US5848211A (en) * | 1996-08-28 | 1998-12-08 | Hewlett-Packard Company | Photonics module having its components mounted on a single mounting member |
JPH10173207A (ja) * | 1996-10-11 | 1998-06-26 | Sharp Corp | 光送受信モジュール |
US5714773A (en) * | 1996-10-15 | 1998-02-03 | Lucent Technologies Inc. | Photodiode array for remotely powered lightwave networks |
EP0987769B1 (en) | 1998-09-18 | 2003-05-02 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Photodiode module |
JP3721935B2 (ja) | 2000-04-19 | 2005-11-30 | 住友電気工業株式会社 | 光学装置 |
JP2002057312A (ja) * | 2000-08-08 | 2002-02-22 | Denso Corp | 光検出センサおよびその製造方法 |
JP2002261300A (ja) | 2000-12-25 | 2002-09-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光受信器 |
US20030099273A1 (en) * | 2001-01-09 | 2003-05-29 | Murry Stefan J. | Method and apparatus for coupling a surface-emitting laser to an external device |
US6786651B2 (en) | 2001-03-22 | 2004-09-07 | Primarion, Inc. | Optical interconnect structure, system and transceiver including the structure, and method of forming the same |
WO2002077691A2 (en) | 2001-03-22 | 2002-10-03 | Primarion, Inc. | Optical interconnect structure, system and transceiver including the structure, and method of forming the same |
JP2002359426A (ja) | 2001-06-01 | 2002-12-13 | Hitachi Ltd | 光モジュール及び光通信システム |
US6879397B2 (en) * | 2001-09-07 | 2005-04-12 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Light scattering detector |
JP2003167175A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光実装基板及び光デバイス |
JP2006506657A (ja) * | 2002-03-14 | 2006-02-23 | エスエーイー・マグネティクス(エイチ・ケイ)リミテッド | 光ファイバーとの半導体装置の能動的光学整合のための一体化プラットホーム |
GB0216075D0 (en) * | 2002-07-11 | 2002-08-21 | Qinetiq Ltd | Photodetector circuits |
JP4012785B2 (ja) * | 2002-08-27 | 2007-11-21 | 日本板硝子株式会社 | 光接続装置 |
JP2004158242A (ja) | 2002-11-05 | 2004-06-03 | Alps Electric Co Ltd | 電子機器の電源供給装置 |
KR100575951B1 (ko) * | 2003-11-11 | 2006-05-02 | 삼성전자주식회사 | 광 인쇄회로기판 집적형 광연결 패키징 장치 |
US7306378B2 (en) | 2004-05-06 | 2007-12-11 | Intel Corporation | Method and apparatus providing an electrical-optical coupler |
US7782921B2 (en) | 2005-03-28 | 2010-08-24 | Intel Corporation | Integrated optical detector in semiconductor reflector |
-
2005
- 2005-03-28 US US11/092,059 patent/US7782921B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-03-24 EP EP06739740.6A patent/EP1864335B1/en active Active
- 2006-03-24 WO PCT/US2006/011132 patent/WO2006105030A1/en active Application Filing
- 2006-03-24 JP JP2008504232A patent/JP4902637B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-03-28 TW TW095110755A patent/TWI334498B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1864335B1 (en) | 2013-09-04 |
US20060215726A1 (en) | 2006-09-28 |
US7782921B2 (en) | 2010-08-24 |
TWI334498B (en) | 2010-12-11 |
TW200641426A (en) | 2006-12-01 |
EP1864335A1 (en) | 2007-12-12 |
JP2008535259A (ja) | 2008-08-28 |
WO2006105030A1 (en) | 2006-10-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4935278B2 (ja) | 表面発光型半導体アレイ素子、モジュール、光源装置、情報処理装置、光送信装置、光空間伝送装置、および光空間伝送システム | |
US7263256B2 (en) | Optical connection block, optical module, and optical axis alignment method using the same | |
JP4859677B2 (ja) | 光電モジュールの製作システムおよび方法 | |
US7502566B2 (en) | Light-emitting module | |
US20080166085A1 (en) | Semiconductor laser module | |
JPH09219552A (ja) | 一体化レーザ・ベース光源 | |
US20050053379A1 (en) | System and method for bi-directional optical communication using stacked emitters and detectors | |
US6674941B2 (en) | Optical coupling for optical fibers | |
US6786651B2 (en) | Optical interconnect structure, system and transceiver including the structure, and method of forming the same | |
TWI402549B (zh) | 光電互連模組 | |
JP4902637B2 (ja) | 半導体反射器内の統合された光検出器 | |
US20140029890A1 (en) | Optical system with integrated photodetectors | |
JP2004165299A (ja) | 光送信モジュール及び光送信器 | |
JP4995867B2 (ja) | 発光素子及び光結合モジュール | |
JP2009027088A (ja) | 半導体発光装置 | |
JP2000156510A (ja) | 光半導体素子および光半導体素子の製造方法ならびに光電子装置 | |
JP2007258399A (ja) | フォトカプラ | |
JP5647485B2 (ja) | 光モジュール | |
US6603584B1 (en) | System and method for bi-directional optical communication | |
TWI766406B (zh) | 光通訊模組及其製作方法 | |
JP2842388B2 (ja) | 表面実装型光モジュール | |
JP3849694B2 (ja) | 光無線通信装置 | |
TWI776311B (zh) | 光通訊模組 | |
US20030075672A1 (en) | Method and apparatus for coupling optical fiber with photodetectors | |
JP2010191123A (ja) | 光送信装置、光受信装置、光送受信装置および光通信システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110111 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110408 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111129 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111228 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150113 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |