JP4890373B2 - 試料作製方法 - Google Patents
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(1)平板状鋼試料の上面の一部に遮蔽材を配置し、前記遮蔽材の上方からイオンビームを照射し、前記遮蔽材によって遮蔽された試料部分をイオンエッチングせずに残し、前記遮蔽材によって遮蔽されていない部分だけをイオンエッチングによって取り除く試料作製方法であって、前記イオンビームの照射方向に対して直角方向に、エッチング領域の後方の位置するよう回転軸を定め、前記イオンビームを照射しながら前記試料を該回転軸の回りに回転させ、かつ、前記イオンビームの試料上面垂線に対する入射角度が−30〜30度の範囲を超える範囲で前記試料を回転させ、−30〜30度の範囲を超える部分の試料回転速度をV1とし、前記入射角度が−30〜30度の部分の試料回転速度をV2として、V1をV2の1/3〜2/3とすることを特徴とする、試料作製方法。
(2)前記イオンビームを照射するイオン銃を該回転軸の回りに回転させ、イオンビームの試料上面垂線に対する入射角度を変化させることを特徴とする、(1)に記載の試料作製方法。
(3)平板状鋼試料の上面の一部に遮蔽材を配置し、前記遮蔽材の上方からイオンビームを照射し、前記遮蔽材によって遮蔽された試料部分をイオンエッチングせずに残し、前記遮蔽材によって遮蔽されていない部分だけをイオンエッチングによって取り除く試料作製方法であって、前記イオンビームの照射方向に対して直角方向に、エッチング領域の後方に位置するよう回転軸を定め、イオン銃を該回転軸の回りに回転させ、かつ、前記イオンビームの試料上面垂線に対する入射角度が−30〜30度の範囲を超える範囲で前記イオン銃を回転させ、−30〜30度の範囲を超える部分のイオン銃回転速度をV3とし、前記入射角度が−30〜30度の部分のイオン銃回転速度をV4として、V3をV4の1/3〜2/3とすることを特徴とする、試料作製方法。
図1は、本装置の概観図である。平板状試料1を真空試料室2内に置き、試料上面に遮蔽材3を配置する。遮蔽材3は、試料上面全体を覆うのではなく、一部遮蔽しない部分ができるように配置する。通常、遮蔽材の端から10〜20μm程度試料を露出させることが望ましい(図2に示した露出幅X)。試料の幅W(図2)に特に制約は無いが、イオンビーム照射領域が数百μm〜1mm程度であるため、それ以上大きくても、エッチングされる領域は変わらない。また、後述するように、試料回転による筋状凹凸の除去効果を高めるためには、イオンビーム照射領域よりも小さいことが望ましい。
表1に示す化学組成を有する鋼を作製し、図8に示す形状の試験片を、機械研磨により作製した。
実施例1で用いた鋼を、図11に示す形状の試験片に成形した。実施例1と同様に、イオンビームエッチング装置内に試料を配置し、試料上面に遮蔽板を置き(図12)、試料を回転させながらArイオンビームを照射した。イオン加速電圧、イオン電流量は、実施例1と同じである。試料回転は、αが+90〜−90度の範囲で往復回転させた。高角度イオンビーム照射時の試料回転速度V1と、低角度イオンビーム照射時の試料回転速度V2を変化させて、断面試料を作製し、作製した試料に筋状凹凸が観察されるかどうかをSEM観察により判定した。
実施例1で用いた鋼を、図11に示す形状の試験片に成形した。実施例2と同様に、イオンビームエッチング装置内に試料を配置し、試料上面に遮蔽板を置き(図12)、試料を固定したまま、イオン銃を図7に示したように回転させながらArイオンビームを照射した。イオン加速電圧、イオン電流量は、実施例1と同様である。イオン銃回転は、αが90〜−90度の範囲で往復回転させた。高角度イオンビーム照射時のイオン銃移動速度V3と、低角度イオンビーム照射時のイオン銃移動速度V4を変化させて、断面試料を作製し、作製した試料に筋状凹凸が観察されるかどうかをSEM観察により判定した。
実施例1で用いた鋼を、図11に示す形状の試験片に成形した。実施例3と同様に、イオンビームエッチング装置内に試料を配置し、試料上面に遮蔽板を置き(図12)、試料とイオン銃の両方を図13に示したように回転させながらArイオンビームを照射した。イオン加速電圧、イオン電流量は、実施例1と同じである。試料とイオン銃を同じ回転速度で、反対方向に45〜−45度の範囲で回転させ、試料とイオンビームのなす角度αが90〜−90度の範囲で変化するようにした。図13において、試料上面垂線Lsと装置軸方向Lとの角度をαsとし、イオン銃の軸方向Lgと装置軸方向Lとの角度をαgとすると、試料とイオンビームのなす角度αはα=αs+αgである。角度αの変化速度Vは、試料の回転速度Vsとイオン銃の回転速度Vgの和Vs+Vgで規定できる。試料とイオンビームのなす角度αが高角度(30〜90度及び−30〜−90度)の場合の角度αの変化速度V5と、低角度(−30〜30度)の場合の変化速度V6を変化させて、断面試料を作製し、作製した試料に筋状凹凸が観察されるかどうかをSEM観察により判定した。
2 真空試料室
3 遮蔽板
4 不活性ガス
5 イオン銃
6 エッチング領域
7 試料台
8 モーター
9 イオンビーム
10 ギヤ
11 回転軸
12 支持棒
Claims (3)
- 平板状鋼試料の上面の一部に遮蔽材を配置し、前記遮蔽材の上方からイオンビームを照射し、前記遮蔽材によって遮蔽された試料部分をイオンエッチングせずに残し、前記遮蔽材によって遮蔽されていない部分だけをイオンエッチングによって取り除く試料作製方法であって、
前記イオンビームの照射方向に対して直角方向に、エッチング領域の後方に位置するよう回転軸を定め、前記イオンビームを照射しながら前記試料を該回転軸の回りに回転させ、かつ、
前記イオンビームの試料上面垂線に対する入射角度が−30〜30度の範囲を超える範囲で前記試料を回転させ、−30〜30度の範囲を超える部分の試料回転速度をV1とし、前記入射角度が−30〜30度の部分の試料回転速度をV2として、V1をV2の1/3〜2/3とする
ことを特徴とする、試料作製方法。 - 前記イオンビームを照射するイオン銃を該回転軸の回りに回転させ、イオンビームの試料上面垂線に対する入射角度を変化させることを特徴とする、請求項1に記載の試料作製方法。
- 平板状鋼試料の上面の一部に遮蔽材を配置し、前記遮蔽材の上方からイオンビームを照射し、前記遮蔽材によって遮蔽された試料部分をイオンエッチングせずに残し、前記遮蔽材によって遮蔽されていない部分だけをイオンエッチングによって取り除く試料作製方法であって、
前記イオンビームの照射方向に対して直角方向に、エッチング領域の後方に位置するように回転軸を定め、イオン銃を該回転軸の回りに回転させ、かつ、
前記イオンビームの試料上面垂線に対する入射角度が−30〜30度の範囲を超える範囲で前記イオン銃を回転させ、−30〜30度の範囲を超える部分のイオン銃回転速度をV3とし、前記入射角度が−30〜30度の部分のイオン銃回転速度をV4として、V3をV4の1/3〜2/3とする
ことを特徴とする、試料作製方法。
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