JP4884157B2 - 窒化物半導体の製造方法 - Google Patents
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T≦900(℃)のとき、F≧10(%)、
900<T<1100(℃)のとき、F≧0.4T−350(%)、そして
T≧1100(℃)のとき、F≧90(%)
という関係を満たして選択するステップと、前記選択した基板温度T(℃)で、不活性ガスの割合が前記選択した割合F(%)である前記キャリアガスと共に、窒素を含む第1の原料ガスと、BおよびAlを含む第2の原料ガスとを、前記基板上に交互に供給するステップとを含むことを特徴とする。
本実施形態に係る窒化物半導体の製造方法は、図2に示した窒化物半導体構造200の作製を可能にする。窒化物半導体構造200は、ウルツ鉱型構造を有する(1−100)または(11−20)基板201と、基板201の上に成長された、(1−100)または(11−20)面が成長主面でありBおよびAlを含む窒化物半導体202とを備える。
900<T<1100(℃)のとき、F≧0.4T−350(%)、そして
T≧1100(℃)のとき、F≧90(%)。
さらに、(11−20)面ではなく(1−100)面を成長主面とするAlBNに関しても同様の結果が得られた。また、不活性ガスとしては窒素のみならず、ヘリウム、アルゴン、ネオン、クリプトン、キセノン、もしくはラドンのいずれか、またはこれらの任意の混合ガスを用いることができる。なお、AlBNではなく、さらにGaやInを含む窒化物半導体に関しても同様の結果が得られた。
実施例1では、基板の設定温度は1150℃とした。キャリアガスとして窒素を用いた。これらは、図4から得られた上記の基板温度とキャリアガス中の不活性ガスの割合との関係を満たしている。
実施例2では、実施例1と同様に、基板の設定温度は1150℃とし、キャリアガスとして窒素を用いた。これらは、図4から得られた上記の基板温度とキャリアガス中の不活性ガスの割合との関係を満たしている。実施例1と異なるのは、原料ガスの供給態様である。本実施例に係る製造方法により得られる窒化物半導体構造は、実施例1に係る窒化物半導体構造500と同一の構成である。
実施例3では、基板の設定温度は1000℃とし、キャリアガスとして40%の水素と60%の窒素からなるガスを用いた。これらは、図4から得られた上記の基板温度とキャリアガス中の不活性ガスの割合との関係を満たしている。
実施例4では、基板の設定温度は1000℃とし、キャリアガスとして40%の水素と60%の窒素からなるガスを用いた。これらは、図4から得られた上記の基板温度とキャリアガス中の不活性ガスの割合との関係を満たしている。
T≦900(℃)のとき、F≧10(%)、
900<T<1100(℃)のとき、F≧0.4T−350(%)、そして
T≧1100(℃)のとき、F≧90(%)
という関係を満たして選択するステップと、選択した基板温度T(℃)で、不活性ガスの割合が選択した割合F(%)であるキャリアガスと共に、窒素を含む第1の原料ガスと、BおよびAlを含む第2の原料ガスとを、基板上に交互に供給するステップとを含むことを特徴とする。
201 ウルツ鉱型構造を有する基板
202 BおよびAlを含む窒化物半導体
700 シングルへテロ構造
701 シングルへテロ構造のチャネル層
702 シングルへテロ構造の障壁層
800 多重量子井戸
801 多重量子井戸の井戸層
802 多重量子井戸の障壁層
Claims (4)
- 成長主面が(1−100)または(11−20)面であり、BおよびAlを含む窒化物半導体の製造方法であって、
ウルツ鉱型構造を有する(1−100)または(11−20)基板の基板温度T(℃)と、不活性ガスおよび水素を含むキャリアガス中の不活性ガスの割合F(%)とを
T≦900(℃)のとき、F≧10(%)、
900<T<1100(℃)のとき、F≧0.4T−350(%)、そして
T≧1100(℃)のとき、F≧90(%)
という関係を満たして選択するステップと、
前記選択した基板温度T(℃)で、不活性ガスの割合が前記選択した割合F(%)である前記キャリアガスと共に、窒素を含む第1の原料ガスと、BおよびAlを含む第2の原料ガスとを、前記基板上に交互に供給するステップと
を含むことを特徴とする窒化物半導体の製造方法。 - 前記第2の原料ガスは、前記第1の原料ガスと同一の成分をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記基板は、SiCまたはAl1−a−b−cBaGabIncN(0≦a≦1、0≦b≦1、0≦c≦1、0≦a+b+c≦1)のいずれかであることを特徴とする請求項1または2に記載の製造方法。
- 前記不活性ガスは、窒素、ヘリウム、アルゴン、ネオン、クリプトン、キセノン、またはラドンのうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1または2に記載の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006280425A JP4884157B2 (ja) | 2006-10-13 | 2006-10-13 | 窒化物半導体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006280425A JP4884157B2 (ja) | 2006-10-13 | 2006-10-13 | 窒化物半導体の製造方法 |
Publications (2)
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JP2008098512A JP2008098512A (ja) | 2008-04-24 |
JP4884157B2 true JP4884157B2 (ja) | 2012-02-29 |
Family
ID=39381020
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006280425A Expired - Fee Related JP4884157B2 (ja) | 2006-10-13 | 2006-10-13 | 窒化物半導体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4884157B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015041802A1 (en) * | 2013-09-18 | 2015-03-26 | United Technologies Corporation | Article having coating including compound of aluminum, boron and nitrogen |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2722489B2 (ja) * | 1988-03-22 | 1998-03-04 | 富士通株式会社 | 半導体結晶成長方法 |
JP2606318B2 (ja) * | 1988-09-29 | 1997-04-30 | 富士通株式会社 | 絶縁膜の形成方法 |
JP3251600B2 (ja) * | 1990-09-27 | 2002-01-28 | 株式会社東芝 | 有機金属成長法 |
JP3090232B2 (ja) * | 1992-01-21 | 2000-09-18 | 日本電信電話株式会社 | 化合物半導体薄膜形成法 |
JPH09125229A (ja) * | 1995-10-30 | 1997-05-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 硬質被膜、硬質被覆部材及びその製造方法 |
JP3644191B2 (ja) * | 1996-06-25 | 2005-04-27 | 住友電気工業株式会社 | 半導体素子 |
JP3505405B2 (ja) * | 1998-10-22 | 2004-03-08 | 三洋電機株式会社 | 半導体素子及びその製造方法 |
JP4519693B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2010-08-04 | 日本電信電話株式会社 | 窒化物半導体 |
JP4358143B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2009-11-04 | 日本電信電話株式会社 | 半導体膜の製造方法および半導体膜の製造装置 |
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2006
- 2006-10-13 JP JP2006280425A patent/JP4884157B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008098512A (ja) | 2008-04-24 |
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