JP4883817B2 - 検査装置、検査方法及びパターン基板の製造方法 - Google Patents
検査装置、検査方法及びパターン基板の製造方法 Download PDFInfo
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Description
発明の実施の形態1.
発明の実施の形態2.
発明の実施の形態3.
発明の実施の形態4.
15 ビームスプリッタ、16 アパーチャ、17 対物レンズ、
21 ガラス基板、22 ミラー、24反射面、25 入射光、26 反射光、
27 欠陥、28 ハーフトーン膜、29 反射膜、31 レンズ、32 光検出器
Claims (11)
- 光を透過する光透過性基板の透過率に基づいて欠陥を検出して、前記光透過性基板と、反射面を有する第1の膜とを備える試料を検査する検査装置であって、
前記光透過性基板の一方の面である入射面から前記試料に光を入射させる光源と、
開口数が0.002以上0.2以下で、前記光源からの光を前記反射面上に集光する対物レンズと、
前記光透過性基板に斜めに入射した入射光が前記反射面で正反射されることによって、前記光透過性基板において前記入射光が通過した位置と近い位置を斜めに通過して前記入射面から出射された光を検出する光検出器とを備える検査装置。 - 前記第1の膜は、前記光透過性基板の前記入射面とは反対側の面に設けられており、前記第1の膜と前記光透過性基板との界面が前記反射面となる請求項1に記載の検査装置。
- 前記試料が、
前記光透過性基板側から入射した光のうち、前記第1の膜側に一部を透過させる第2の膜をさらに備え、
前記試料は、
前記光透過性基板の前記入射面とは反対側に、前記第2の膜及び前記第1の膜が順次設けられ、
前記第1の膜と前記第2の膜との界面が前記反射面となる請求項1に記載の検査装置。 - 前記光検出器が前記試料の画像を撮像する撮像手段である請求項1乃至3のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記光源からの光を波長に応じて分散させる光分散手段と、
前記光分散部材で分散された光のうち一部の波長の光を通過させる空間フィルタと
前記空間フィルタ上に前記光分散手段からの光を集光する集光手段をさらに備え、
前記一部の波長の光を前記試料に入射させる請求項1乃至4のいずれかに記載の検査装置。 - 光を透過する光透過性基板の透過率に基づいて欠陥を検出して、前記光透過性基板と、反射面を有する第1の膜とを備える試料に光を照射して検査する検査方法であって、
開口数が0.002以上0.2以下の対物レンズで、光源からの光を前記反射面上に集光するステップと、
前記集光された光を前記光透過性基板の一方の面である入射面に入射させるステップと、
前記入射面に入射した光を前記光透過性基板を介して前記反射面に入射させるステップと、
前記光透過性基板に斜めに入射した入射光が前記反射面で正反射されることによって、前記光透過性基板において前記入射光が通過した位置と近い位置を斜めに通過した光を検出するステップとを備える検査方法。 - 前記第1の膜は、前記光透過性基板の前記入射面とは反対側の面に設けられており、前記第1の膜と前記光透過性基板との界面が前記反射面となる請求項6記載の検査方法。
- 前記試料が、
前記光透過性基板側から入射した光のうち、前記第1の膜側に一部を透過させる第2の膜をさらに備え、
前記試料は、
前記光透過性基板の前記入射面とは反対側に、前記第2の膜及び前記第1の膜が順次設けられ、
前記第1の膜と前記第2の膜との界面が前記反射面となる請求項6記載の検査方法。 - 前記試料と前記試料上における光の入射位置を相対的に移動させ、
前記検出される光の強度の変化から前記第2の膜の膜厚の変化を検出する請求項8に記載の検査方法。 - 前記光源からの光を波長に応じて分散させるステップと、
前記分散された光を開口を有する空間フィルタ上に集光するステップと、
前記空間フィルタ上に集光された光のうち一部の波長の光を通過させるステップとをさらに備え、
前記一部の波長の光を前記試料に入射させる請求項6乃至9のいずれかに記載の検査方法。 - 請求項6乃至10のいずれかに記載の検査方法により、試料を検査するステップと、
前記検査された試料のうち、前記光透過性基板に欠陥がないと判定された試料によりマスクを製造するステップと、
前記マスクを基板を用いて露光するステップと、
前記露光された基板を現像して、パターンを形成するステップとを有するパターン基板の製造方法。
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JP2010062454A JP4883817B2 (ja) | 2010-03-18 | 2010-03-18 | 検査装置、検査方法及びパターン基板の製造方法 |
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JP2010139516A JP2010139516A (ja) | 2010-06-24 |
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