JP4876304B2

JP4876304B2 - 焦電型赤外線センサ

Info

Publication number: JP4876304B2
Application number: JP2000272610A
Authority: JP
Inventors: 良谷口; 素生井狩; 真西村; 展幸宮川
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 2000-09-08
Filing date: 2000-09-08
Publication date: 2012-02-15
Anticipated expiration: 2020-09-08
Also published as: JP2002081990A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、物体から輻射される赤外線を、複数個の検知部で検知する焦電型赤外線センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、防犯用の侵入検知器の他、照明等の負荷の制御に用いられるセンサとして、赤外線の変化量により人体を検出する焦電型赤外線センサが知られている。図８は、そのようなセンサの一例であり、松下電工株式会社製の超小型ＰＩＲ人体検知センサ、ＮａＰｉＯｎ（登録商標）を示す分解斜視図である。このセンサは、略円盤状のベース部１１ａの平板側表面に、３つの嵌合孔（図示せず）を穿設した後、当該嵌合孔に、３本の接続ピン１１ｂのうち何れか２本を、接続ピン１１ｂの頭部１１ｂａが、ベース部１１ａの上部表面から突出するようにする一方、残りの接続ピン１１ｂの上端部と、ベース部１１ａの上部表面とが略一致するように挿嵌させてなる底蓋１１を備えている。
【０００３】
底蓋１１の上部表面には、低熱伝導度の樹脂で、略直方体状に一体成型されたＭＩＤブロック（３次元成形回路基板）１３が、その下端部の一辺に突設している脚部１３ｃに、略垂直となるように穿設された嵌合溝１３ｂと、接続ピン１１ｂの頭部１１ｂａとが嵌合するように載置されている。ＭＩＤブロック１３の上部には凹部が形成され、その凹部に形成されている両突辺に、８つの電極２ａ〜２ｈによって（電極２ｃ、２ｄ、２ｇ、２ｈは図示せず）４つのエレメントが形成された焦電素子チップ１が載架される一方、ＭＩＤブロック１３の側面の一方には、ＩＣチップ１０が取付けられ、焦電素子チップ１と電気的に接続されている（接続構造及び電極への配線パターンは省略）。
【０００４】
そして、ＭＩＤブロック１３を内装するように、上面に赤外線フィルタ１４ａを設けた、略筒状のパッケージカバー１４を底蓋１１に被装して、パッケージを構成し、そのパッケージをさらに、球状表面１９ａに複数のレンズを構成したマルチレンズ１９を被装することによって、センサが構成されている。また、マルチレンズ１９は２６分割されており、図９に示すような１０４個の検知単位（２６個の検知単位×４エレメント）で構成される検知エリアで、人を検出するようになっているが、夫々のエレメントで検知できる２６個の検知単位は、レンズにより分割されたものであるので、独立した出力ではない。
【０００５】
従って、図９に示す、検知エリア内で人体の動きがあったことは検出できても、その動きが検知エリア内のどの場所であったものであるかを特定することはできない。このため、人体の動作の場所を特定しなければならない用途等については、単一の検知エリアを持つ赤外線センサを多量に設置するか、サーモグラフィ、パイロビジコン等の装置を用いる必要があり、高価で保守管理に手間がかかるという問題があった。そこで、かかる問題点を解決するためには、特開昭61-66128号公報に記載された二次元焦電型イメージセンサを用いることが考えられる。
【０００６】
このイメージセンサは、図１０に示すように、平板状の焦電素子チップ１の縦横に複数の略矩形状の孔８ａを穿設して、夫々の穿設孔８ａの長辺間にスペースを設け、そのスペースの表裏に電極を形成したものである。そして、焦電素子チップ１の表面の、穿設孔８ａの長辺側となる何れか一辺に、ＩＣ等と接続するための接続電極４ａ・４ｂ・４ｃ…と、夫々の接続電極４ａ〜４ｃから、夫々の穿設孔８ａの短辺間を通る配線パターン５ａ・５ｂ・５ｃ…を形成する一方、接続電極４ａ〜４ｃを設けた辺と、垂直に交わる辺上で、かつ焦電素子チップ１の裏面に位置するよう、接続電極６ａ・６ｂ・６ｃを形成し、夫々の接続電極６ａ〜６ｃから、前記スペースの裏に設けた電極上を通る配線パターン７ａ・７ｂ・７ｃ…が形成されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述のようなセンサにあっては、画像処理装置に用いられるセンサであるため、赤外線エネルギーの僅かな変化によっても、各エレメントが反応するよう、各エレメントが独立した１エレメント方式となっている。然るに、人体検出の観点においては、太陽光の入射や温度の変化による、赤外線エネルギーの変化も検知する共に、ノイズが印加され易いという特性は、誤検出を招く恐れがあり、確実に人体を検出したいという要求を満足できないという問題点があった。
【０００８】
本発明は、上記の問題点に鑑みて成されたものであり、その目的とするところは、ノイズ耐性があり、太陽光の入射や温度の変化により誤検出を起さない焦電型赤外線センサを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１記載の発明にあっては、焦電型赤外線センサであって、焦電素子チップの表面に、略直角三角形状の電極の斜辺どうしが対向して略正方形状の検知領域が形成されて、前記検知領域の略正方形状の四辺周辺のそれぞれと前記電極の斜辺どうしの間とにそれぞれ熱的アイソレーションを取るためのくり抜き孔を前記焦電素子チップの表面と裏面とを貫通するように開け、前記表面の、斜辺どうしが対向する２つの電極を、極性の異なる１対の電極として構成すると共に、
前記裏面には、前記表面の電極と対向する位置に、平面透過視で前記表面の電極と重なるように略直角三角形状であるが前記表面の電極とは異なる極性の電極がそれぞれ形成され、
このように形成した略正方形状の前記表面での前記電極２つおよび前記裏面での前記電極２つとの計４つの電極でもって、ひとつの検知部をなし、
これら検知部を焦電素子チップにマトリクス状に配置するよう、複数形成し、
しかも、複数の検知部のうち、隣り合う検知部どうしのあいだでは、前記斜辺の向きが互いに略直交しており、それら隣り合う検知部どうしのあいだで隣り合う位置の略直角三角形状の前記電極どうしは、極性が互いに異なるよう形成されており、
これら複数の検知部のマトリクス状に配置された同一の行ごとに形成された前記検知部どうしを導通させる配線パターン及び、同一の列ごとに形成された前記検知部どうしを導通させる配線パターンを、夫々の配線パターン毎に出力タイミングを所定のタイミングでＯＮ／ＯＦＦさせるように開閉コントロールするスイッチを設けられた
ことを特徴とするものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
[第１の参考形態]
以下、本発明の参考形態に係る焦電型赤外線センサについて、図１〜図５に基づいて詳細に説明する。ここで、当該赤外線センサの説明に用いる図１は、本実施形態の焦電素子チップ１の一部を示す斜視図であり、図２（ａ）は、その焦電素子チップ１の表面の電極パターンを示す図、（ｂ）は裏面の電極パターンを示す透視図である。
【００２０】
図１及び図２に示すように、略正方形平板状の焦電素子チップ１は、例えば、ＰｂＴｉＯ₃、ＰＺＴ等のセラミックや、ＬｉＴａＯ₃等の単結晶、ＰＶＦ２等の高分子からなり、その表裏面には、略直角三角形状の複数の電極２ａ・２ｂ・２ｃ・２ｄが、メッキ、スパッタリング、真空蒸着、イオンプレーティング、導電性ペーストの塗布等の手法を用いて形成されている。焦電素子チップ１の表面に形成された電極２ａと、裏面に形成された電極２ｃとは、表裏１組で１つのエレメントを構成すると共に、焦電素子チップ１の表面に形成された電極２ｂと、裏面に形成された電極２ｄとで、表裏１組の１つのエレメントを構成している。また、電極２ａ〜電極２ｄで構成される略正方形状の検知部３ａａ〜３ｃｂは、一例として、８行８列のマトリクス状に形成されている。
【００２１】
焦電素子チップ１の表面の一辺には、所定の間隔をおいて、ＩＣ等と接続するための複数の略矩形状の接続電極４ａ・４ｂ・４ｃ…が形成されると共に、接続電極４ａからは、夫々検知部３ａａ、３ａｂ、３ａｃ…の電極２ａと接続される配線パターン５ａが導出されており、同様にして、接続電極４ｂからは、夫々検知部３ｂａ〜３ｂｃ…の電極２ａと接続される配線パターン５ｂが、接続電極４ｃからは、夫々検知部３ｃａ・３ｃｂ…の電極２ａと接続される配線パターン５ｃが導出されている。すなわち、マトリクス状に形成された複数の電極２ａのうち、同一の行に形成された電極同志は、同一の配線パターンで導通され、その配線パターンの終端には、ＩＣ等と接続することを目的とした接続電極４ａ〜４ｃが形成されている。
【００２２】
一方、接続電極４ａ〜４ｃが形成される辺と直交する辺の裏面には、複数の略矩形状の接続電極６ａ・６ｂ・６ｃ…が形成され、検知部３ａａ〜３ｃｂの裏側にある全ての電極２ｄの近傍を通るように、複数の配線パターン７ａ〜７ｃ…が導出されている。尚、接続電極４ａ〜４ｃ、６ａ〜６ｃ及び、配線パターン５ａ〜５ｃ、７ａ〜７ｃは、上記で説明したメッキ等の手法を用いて形成されている。また、夫々の電極２ａ〜２ｄの短辺側近傍及び長辺側近傍には、夫々他の電極２ａ〜２ｄとの、熱的アイソレーションを取るための、くり抜き孔８ａ・８ｂが、サンドブラスト加工やドライエッチング法、ウェットエッチング法等を用いて穿設されている。
【００２３】
電極２ｂの右方に穿設されたくり抜き孔８ａの、電極２ｂ側の側面には、夫々メッキ等で金属膜が形成され、その金属膜は焦電素子チップ１の裏面に形成された配線パターン７ａ〜７ｃと接続されると一方、焦電素子チップ１の表面に形成された配線パターン９ａを介して電極２ｂと接続されている。すなわち、マトリクス状に形成された複数の電極２ｂのうち、同一の列に形成された電極同志は、同一の配線パターンで導通され、その配線パターンの終端には、ＩＣ等と接続することを目的とした接続電極６ａ〜６ｃが形成されている。
【００２４】
また、電極２ｃと電極２ｄとは、配線パターン９ｂを介して接続されており、接続電極４ａ〜４ｃと、接続電極６ａ〜６ｃの極性を逆とすること、例えば、接続電極４ａ〜４ｃを正極性、接続電極６ａ〜６ｃを負極性とすることによって、電極２ａが正極性を持つ一方、電極２ｂが負極性を持ち、各エレメントが直列に接続された、デュアル直列接続型の焦電型赤外線センサを構成することができる。
【００２５】
次に、焦電素子チップ１を駆動させるＩＣチップ１０の構成とその動作について、図３及び図４に基づいて詳細に説明する。ここで、ＩＣチップ１０の説明に用いる図３は、焦電素子チップ１上に形成された接続電極４・６とＩＣチップ１０との接続を示したブロック図であり、図４は、ＩＣチップ１０からの出力を示すタイミングチャートである。尚、上述したように、１つの検知部は、略直角三角形状のデュアル素子として形成されているが、本図においては簡便のため１つの正方形として表現している。
【００２６】
ＩＣチップ１０は、図３に示すように、ＦＥＴ等からなるＩ／Ｖ変換部（電流−電圧変換部）１０ａと、定電圧源１０ｂとを備えると共に、Ｉ／Ｖ変換部１０ａと接続される８個のスイッチＳｗ１〜Ｓｗ８と、定電圧源１０ｂと接続される８個のスイッチＳｗＡ〜ＳｗＨを備えている。尚、通常、Ｉ／Ｖ変換部１０ａは、増幅回路及びコンパレータ（図示せず）と接続され、コンパレータから出力が得られるようになっている。スイッチＳｗ１〜Ｓｗ８は、８つの接続電極４と夫々接続されると共に、スイッチＳｗＡ〜ＳｗＨは、８つの接続電極６と夫々接続されている。
【００２７】
また、スイッチＳｗ１〜Ｓｗ８、スイッチＳｗＡ〜ＳｗＨは、トランジスタ等により構成され、ＩＣチップ１０内のメモリ（図示せず）に記憶されているプログラムによって、夫々ＯＮ／ＯＦＦの制御がされるようになっており、スイッチＳｗ１〜Ｓｗ８及びスイッチＳｗＡ〜ＳｗＨのＯＮ／ＯＦＦの組み合わせにより、上述のＩ／Ｖ変換部１０ａに取り込む検知部３を特定することができる。
【００２８】
例えば、スイッチＳｗ１及びＳｗＡのみがＯＮとなり、それ以外のスイッチが全てＯＦＦであるような状態を考えると、１Ａの検知部３のみがＩ／Ｖ変換部１０ａ及び定電圧源１０ｂの両方に接続されることとなり、１Ａの検知部３の出力がＩ／Ｖ変換部１０ａによって、電流−電圧変換されることとなる。一方、１Ａの検知部３以外の検知部３については、Ｉ／Ｖ変換部１０ａ又は定電圧源１０ｂの何れか、或いは両方に通じるスイッチＳｗがＯＦＦ状態となるため、出力がされないようになっている。
【００２９】
同様にして、スイッチＳｗ１及びＳｗＢのみがＯＮの場合には、１Ｂの検知部３の出力が、Ｉ／Ｖ変換部１０ａによって電流−電圧変換され、スイッチＳｗ１及びＳｗＣのみがＯＮの場合には、１Ｃの検知部３の出力が電流−電圧変換されることになる。このように、スイッチＳｗ１〜Ｓｗ８及びスイッチＳｗＡ〜ＳｗＨを所定のタイミングでＯＮ／ＯＦＦさせることにより、６４個の検知部３の出力を順番に電流−電圧変換することができる。
【００３０】
図４に、各スイッチのＯＮ／ＯＦＦタイミングの一例を示す。スイッチＳｗ１〜Ｓｗ８及びスイッチＳｗＡ〜ＳｗＨを、図４に示したようなタイミングでＯＮ／ＯＦＦさせることにより、検知部１Ａ→１Ｂ→１Ｃ→１Ｄ→１Ｅ→１Ｆ→１Ｇ→１Ｈ→２Ａ→２Ｂ→…（省略）→８Ｆ→８Ｇ→８Ｈの順序で出力を取り出すことができる。一例として、スイッチング幅を２ｍｓとすると、全ての検知部の出力を取り出すためには、２ｍｓ×６４個＝１２８ｍｓの時間がかかり、この動作を繰り返すことによって、１２８ｍｓ毎の各検知部３の出力を取り出すことができる。
【００３１】
次に、焦電素子チップ１と、ＩＣチップ１０とを収めた焦電型赤外線センサの構造について、図５に基づいて詳細に説明する。図５は、本参考形態の焦電型赤外線センサの構造を示す分解斜視図であり、かかる赤外線センサは、焦電素子チップ１等を載置するための、ベース部１１の表面の四隅に、４つの嵌合孔（図示せず）を穿設した後、当該嵌合孔に、回路等に半田付けするための４本の接続ピン１１ｂを、その接続ピン１１ｂの頭部１１ｂａが、ベース部１１ａの上部表面から突出するように挿嵌させてなる底蓋１１を備えている。
【００３２】
ベース部１１ａは、略正方形平板状のベース板１１ａａと、その上部に一体に形成され、ベース板１１ａａよりも小さな正方形平板状のベースブロック１１ａｂとから構成されている。ベースブロック１１ａｂの上部表面に載置されるＭＩＤブロック１３は、例えば、ダイシング加工等によって、その上面に四角錐台状のＩＣチップ取付け孔１３ａが穿設される一方、下面には、コンデンサ、抵抗等の複数のチップ部品１２を取付けるための取付け部（図示せず）が設けられている。
【００３３】
また、ＭＩＤブロック１３の四隅には、平面視略円弧状の嵌合溝１３ｂが形成されており、４つの嵌合溝１３ｂに、夫々４本の接続ピン１１ｂの頭部１１ｂａが接するようにすることで、ベース部１１ａにＭＩＤブロック１３を固定することができる。ここで、ＭＩＤブロック１３には、配線パターンが形成されており（図示せず）、その配線パターンとチップ部品１２の電極とは、導電性接着剤等で接続されると共に、配線パターンとＩＣチップ１０のパッドは、ワイヤボンディング等で接続されている。
【００３４】
次に、ＭＩＤブロック１３に、ＩＣチップ１０を取付けた後、そのＩＣチップ１０を被覆するようにして、焦電素子チップ１を載置して、焦電素子チップ１の接続電極４・６と、ＩＣチップ１０のパッドとをワイヤボンディング等で接続する。次に、赤外線フィルタ１４ａを設けた、略有底箱状のパッケージカバー１４の内側に、ベースブロック１１ａｂを嵌合させることにより、底蓋１１に被装してパッケージを構成した後、さらに、そのパッケージの上から、単眼レンズを被装することによって、センサを構成するようになっている。
【００３５】
このように、焦電素子チップ１の表裏に夫々、略直角三角形状の極性の異なる１対の電極を形成すると共に、焦電素子チップ１の裏面に形成された２つの電極を互いに接続して、デュアル直列接続型の検知部をなし、当該検知部をアレイ状（一次元）又はマトリクス状（二次元）に複数形成することにより、ノイズ耐性があり、太陽光の入射や温度の変化により誤検出を起さないと共に、検知エリア内のどの場所で動作があったか特定することができる焦電型赤外線センサを提供することができるのである。
【００３６】
尚、本参考形態の焦電型赤外線センサにおいて、１対の電極として、三角形のデュアル素子の場合を示した。また、ＩＣチップ１０内に１つのＩ／Ｖ変換部１０ａを備えた例を示したが、複数のＩ／Ｖ変換部１０ａを備えてもよく、その場合は、ＩＣチップ１０内に形成されるスイッチの数が減り、例えば、ＩＣチップ１０内に、Ｉ／Ｖ変換部１０ａを８個有している場合などは、スイッチＳｗ１〜Ｓｗ８は不要となり、スイッチＳｗＡ〜ＳｗＨのスイッチングのみで、６４個の検知部の出力を取り出すことができる。
【００３７】
[第２の参考形態]
本願の発明者らは、第１の参考形態において、ノイズ耐性があり、太陽光の入射や温度の変化により誤検出を起さないと共に、検知エリア内のどの場所で動作があったか特定することができる焦電型赤外線センサを提供することができたが、近年、赤外線を通しにくい断熱ガラスや、木目細かい温度制御が行われているビル内では、太陽光等による誤検出は然程問題とならず、かかる問題点よりも、よりノイズ耐性の良いセンサが求められている。
【００３８】
そこで、本願の発明者らは、かかる要求に鑑み、当該要求を満たすセンサを提案している。以下に、その焦電型赤外線センサについて、図６に基づいて詳細に説明する。図６（ａ）は、本参考形態に係る焦電素子チップ１の表面の電極パターンを示す図、（ｂ）は裏面の電極パターンを示す透視図である。尚、第１の参考形態と同様の構成部分及び動作については、説明を省略又は簡略化することとし、本参考形態の特徴となる焦電素子チップ１の表裏面の電極パターンの構成について、詳細に説明することとする。
【００３９】
図６（ａ）に示すように、本参考形態の焦電素子チップ１の表面の一辺には、所定の間隔をおいて、複数の略矩形状の接続電極４ａ〜４ｃ…が形成されると共に、接続電極４ａからは、夫々検知部３ｈａ、３ｇａ、３ｆａ…の電極２ａと接続される配線パターン５ａが導出されている。すなわち、マトリクス状に形成された複数の電極２ａのうち、同一の列に形成された電極同志は、同一の配線パターンで導通され、その配線パターンの終端には、接続電極４ａ〜４ｃが形成されている。
【００４０】
一方、接続電極４ａ〜４ｃが形成される辺と反対側の辺には、所定の間隔をおいて、複数の略矩形状の接続電極６ａ・６ｂ・６ｃ…が形成されると共に、接続電極６ａからは、夫々検知部３ａａ、３ｂａ、３ｃａ…の電極２ｂと接続される配線パターン７ａが導出されている。すなわち、マトリクス状に形成された複数の電極２ｂのうち、同一の列に形成された電極同志は、同一の配線パターンで導通され、その配線パターンの終端には、接続電極６ａ〜６ｃが形成されている。
【００４１】
同様にして、図６（ｂ）に示すように、焦電素子チップ１の裏面の一辺には、複数の略矩形状の接続電極１５ａ〜１５ｃ…が形成されると共に、接続電極１５ａからは、夫々検知部３ａｈ、３ａｇ、３ａｆ…の電極２ｃと接続される配線パターン１６ａが導出されている。すなわち、マトリクス状に形成された複数の電極２ｃのうち、同一の行に形成された電極同志は、同一の配線パターンで導通され、その配線パターンの終端には、接続電極１５ａ〜１５ｃが形成されている。
【００４２】
また、接続電極１５ａ〜１５ｃが形成される辺と反対側の辺には、複数の略矩形状の接続電極１７ａ〜１７ｃが形成されると共に、接続電極１７ａからは、夫々検知部３ａａ、３ａｂ、３ａｃ…の電極２ｄと接続される配線パターン１８ａが導出されている。すなわち、マトリクス状に形成された複数の電極２ｄのうち、同一の列に形成された電極同志は、同一の配線パターンで導通され、その配線パターンの終端には、接続電極１７ａ〜１７ｃが形成されている。
【００４３】
そして、接続電極４ａ〜４ｃと接続電極６ａ〜６ｃの極性を逆とする一方、接続電極４ａ〜４ｃと接続電極１５ａ〜１５ｃの極性を逆とすると共に、接続電極６ａ〜６ｃと接続電極１７ａ〜１７ｃの極性を逆とし、夫々の接続電極を、８組のスイッチＳｗ（１組４つのスイッチ×８組＝３２個のスイッチ）を具備したＩＣチップ１０のスイッチＳｗに取付けるようにする。例えば、接続電極４ａ〜４ｃ及び接続電極１７ａ〜１７ｃを正極性、接続電極１５ａ〜１５ｃ及び接続電極６ａ〜６ｃを負極性とすることによって、電極２ａ及び電極２ｄが正極性を持つ一方、電極２ｂ及び電極２ｃが負極性を持つようする。
【００４４】
次に、接続電極４ａ〜４ｃ、接続電極６ａ〜６ｃ、接続電極１５ａ〜１５ｃ、接続電極１７ａ〜１７ｃを夫々、ＩＣチップ１０のスイッチＳｗに取付けることにより、各エレメントが並列に接続された、デュアル並列接続型の焦電型赤外線センサを構成することができる。尚、接続電極が夫々別となっていることにより、例えば、受光部３ａａの電極２ａ・２ｃと、受光部３ａｆの電極２ｂ・２ｄとの出力を取ることもできるようになっている。
【００４５】
このように、焦電素子チップ１の表裏に夫々、略直角三角形状の極性の異なる１対の電極を構成すると共に、同一の極性を持つ電極を夫々接続して、デュアル並列接続型の検知部をなし、当該検知部をアレイ状又はマトリクス状に形成することにより、デュアル直列接続型よりもノイズ耐性があり、検知エリア内のどの場所で動作があったか特定することができる焦電型赤外線センサを提供することができるのである。
【００４６】
[本発明の一実施の形態]
また、本願の発明者らは、第１の参考形態において、ノイズ耐性があり、太陽光の入射や温度の変化により誤検出を起さないと共に、検知エリア内のどの場所で動作があったか特定することができる焦電型赤外線センサを提供することができたが、方向性の影響という問題点を解決するまでには至らなかった。すなわち、正極性の電極が形成する検知範囲、負極性の電極が形成する検知範囲を、人体が順番に横切る場合は、大きな出力が得られるが、夫々の検知範囲を同時に横切る場合には、出力を打ち消し合い、殆ど出力が得られないという問題点があった。
【００４７】
本願の発明者らは、かかる問題点に鑑み、当該問題点を略解決するセンサを提案している。以下に、その焦電型赤外線センサについて、図７に基づいて詳細に説明する。図７は、本実施形態の焦電素子チップ１の一部を示す斜視図である。尚、第１の参考形態と同様の構成部分及び動作については、説明を省略又は簡略化することとし、本実施形態の特徴となる焦電素子チップ１の、表裏面の電極パターンの構成について、詳細に説明することとする。
【００４８】
本実施形態の赤外線センサは、図１に示す第１の参考形態のセンサに対し、焦電素子チップ１上に穿設されるくり抜き孔８ｂの長手方向を、交互に違う向きとなるように穿設したものである。すなわち、検知部３ａａ、３ａｃ、３ｂｂ、３ｃａ（以下、第１の受光グループと呼ぶ）のくり抜き孔８ｂの長手方向を同一とすると共に、当該長手方向と略垂直となる方向に、検知部３ａｂ、３ｂａ、３ｂｃ、３ｃｂ（以下、第２の受光グループと呼ぶ）のくり抜き孔８ｂを穿設するようにし、それに伴って、検知部３ａｂ、３ｂａ、３ｂｃ、３ｃｂの電極２ａ及び電極２ｂの配置を、夫々半時計周りに回転させた位置に形成したものである。
【００４９】
このように構成することにより、第１の受光グループには、右斜め方向に方向性が生じるが、第２の受光グループにおいては、最も大きな出力が得られる方向となる一方、第２の受光グループには、左斜め方向に方向性が生じるが、第１の受光グループにおいては、最も大きな出力が得られる方向となる。すなわち、夫々の受光グループに方向性はあるものの、互いの欠点を補い合うようにしたことによって、センサ全体としては、無方向性の焦電型赤外線センサを提供することができるのである。
【００５０】
尚、デュアル並列接続型については、特に説明しないが、上述と同様にして、焦電素子チップ１上に穿設されるくり抜き孔８ｂの長手方向を、交互に違う向きとすることにより、センサ全体として、無方向性のデュアル並列接続型のセンサを提供することができる。
【００５２】
請求項１記載の発明にあっては、
焦電型赤外線センサであって、焦電素子チップの表面に、略直角三角形状の電極の斜辺どうしが対向して略正方形状の検知領域が形成されて、前記検知領域の略正方形状の四辺周辺のそれぞれと前記電極の斜辺どうしの間とにそれぞれ熱的アイソレーションを取るためのくり抜き孔を前記焦電素子チップの表面と裏面とを貫通するように開け、前記表面の、斜辺どうしが対向する２つの電極を、極性の異なる１対の電極として構成すると共に、前記裏面には、前記表面の電極と対向する位置に、平面透過視で前記表面の電極と重なるように略直角三角形状であるが前記表面の電極とは異なる極性の電極がそれぞれ形成され、
このように形成した略正方形状の前記表面での前記電極２つおよび前記裏面での前記電極２つとの計４つの電極でもって、ひとつの検知部をなし、
これら検知部を焦電素子チップにマトリクス状に配置するよう、複数形成し、
しかも、複数の検知部のうち、隣り合う検知部どうしのあいだでは、前記斜辺の向きが互いに略直交しており、それら隣り合う検知部どうしのあいだで隣り合う位置の略直角三角形状の前記電極どうしは、極性が互いに異なるよう形成されており、
これら複数の検知部のマトリクス状に配置された同一の行ごとに形成された前記検知部どうしを導通させる配線パターン及び、同一の列ごとに形成された前記検知部どうしを導通させる配線パターンを、夫々の配線パターン毎に出力タイミングを所定のタイミングでＯＮ／ＯＦＦさせるように開閉コントロールするスイッチを設けられたので、確実に人体等を検知することができると共に、検知エリア内のどの場所で動作があったか特定することができるという効果を奏する。このとき、検知部の周辺に、くり抜き孔を穿設したことにより、隣接する検知部間の熱的な絶縁が良好となり、センサの感度を高めることができるという効果を奏する。そして、隣り合う前記検知部の方向性を、互いに異なるようにしたことで、センサ全体として、無方向性のセンサを提供することができるという効果を奏する。さらに、スイッチのＯＮ／ＯＦＦによって、容易に各検知部の出力を取ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の参考形態に係るデュアル直列接続型の焦電素子チップ１の構成を示す斜視図である。
【図２】第１の参考形態に係るデュアル直列接続型の焦電素子チップ１、電極の構成を示す図であり、（ａ）は表面を示す平面図、（ｂ）は裏面を示す透視図である。
【図３】本発明のセンサを駆動させる為のＩＣチップ１０と、焦電素子チップ１との接続関係を示すブロック図である。
【図４】本発明のセンサを駆動させる為のＩＣチップ１０からの出力を示すタイミングチャートである。
【図５】本発明のセンサの構造を示す分解斜視図である。
【図６】第２の参考形態に係るデュアル並列接続型のセンサの、電極の構成を示す図であり、（ａ）は表面を示す平面図、（ｂ）は裏面を示す透視図である。
【図７】本発明の一実施形態に係るデュアル直列接続型の焦電素子チップ１の構成を示す斜視図である。
【図８】従来のセンサの構造を示す分解斜視図である。
【図９】レンズによって形成されたセンサの検知エリアを示す平面図である。
【図１０】従来の焦電素子チップ１の構成を示す平面図である。

Claims

焦電素子チップの表面に、略直角三角形状の電極の斜辺どうしが対向して略正方形状の検知領域が形成されて、前記検知領域の略正方形状の四辺周辺のそれぞれと前記電極の斜辺どうしの間とにそれぞれ熱的アイソレーションを取るためのくり抜き孔を前記焦電素子チップの表面と裏面とを貫通するように開け、前記表面の、斜辺どうしが対向する２つの電極を、極性の異なる１対の電極として構成すると共に、
前記裏面には、前記表面の電極と対向する位置に、平面透過視で前記表面の電極と重なるように略直角三角形状であるが前記表面の電極とは異なる極性の電極がそれぞれ形成され、
このように形成した略正方形状の前記表面での前記電極２つおよび前記裏面での前記電極２つとの計４つの電極でもって、ひとつの検知部をなし、
これら検知部を焦電素子チップにマトリクス状に配置するよう、複数形成し、
しかも、複数の検知部のうち、隣り合う検知部どうしのあいだでは、前記斜辺の向きが互いに略直交しており、それら隣り合う検知部どうしのあいだで隣り合う位置の略直角三角形状の前記電極どうしは、極性が互いに異なるよう形成されており、
これら複数の検知部のマトリクス状に配置された同一の行ごとに形成された前記検知部どうしを導通させる配線パターン及び、同一の列ごとに形成された前記検知部どうしを導通させる配線パターンを、夫々の配線パターン毎に出力タイミングを所定のタイミングでＯＮ／ＯＦＦさせるように開閉コントロールするスイッチを設けられた
ことを特徴とする焦電型赤外線センサ。