JP4873368B2 - ダイヤモンド基板 - Google Patents
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Description
また、半導体ウェハプロセスに対応したダイヤモンド基板は特許文献1,2,3のように、デバイスを作製する箇所は単結晶ダイヤモンドで、それ以外の領域は大口径化できる多結晶ダイヤモンドから構成され一体化した複合型のダイヤモンド基板がある。
板を配置した例が示されているが、研磨工程において単結晶ダイヤモンド種基板が脱落する問題がある。
(1)単結晶ダイヤモンド種基板とダイヤモンド層とが接合しているダイヤモンド基板において、シリコン基板上に単結晶ダイヤモンド種基板が配置されており、該単結晶ダイヤモンド種基板の板厚は10μm以上600μm未満であり、該単結晶ダイヤモンド種基板の側面は単結晶ダイヤモンド種基板の底面と90℃未満の角度をなして傾斜している傾斜面であり、シリコン基板の表面上にダイヤモンド層が設けられており、ダイヤモンド層の膜厚が10μm以上600μm未満であり、ダイヤモンド層と単結晶ダイヤモンド種基板の側面とが密着し、両者の表面は略平坦且つ一体化されていることを特徴とするダイヤモンド基板。
(2)単結晶ダイヤモンド種基板とシリコン基板が、ダイヤモンド層を介して接合されたダイヤモンド基板において、この断面構造がシリコン基板上に単結晶ダイヤモンド種基板が配置されており、該単結晶ダイヤモンド種基板の上面の一部又は全部が傾斜して傾斜面を形成しており、当該傾斜面の傾斜角が、単結晶ダイヤモンド種基板を側面から見たときに、1)底面と傾斜面とが交わる一点と、上面と前記傾斜面に対向する側面とが交わる一点とを結んだ直線と底面のなす角より大きく、2)90°未満であることを特徴とする上記(1)に記載のダイヤモンド基板である。
(3)前記単結晶ダイヤモンド種基板の上面の一部又は全部が傾斜しており、当該傾斜角が、単結晶ダイヤモンド種基板を側面から見たときに、1)底面と傾斜面とが交わる一点と、底面の中点を通る底面に垂直な直線と上面とが交わる一点とを結んだ直線と底面のなす角より大きく、2)80°以下であることを特徴とする上記(2)に記載のダイヤモンド基板である。
(4)前記単結晶ダイヤモンド種基板の底面における凹凸部分の垂直差を1μm以下にしたことを特徴とする上記(1)から(3)のいずれか一に記載のダイヤモンド基板である。
(5)前記単結晶ダイヤモンド種基板の板厚が10μm以上50μm未満であり、かつ前記ダイヤモンド層の膜厚が10μm以上50μm未満であることを特徴とする上記(1)〜(4)のいずれか一に記載のダイヤモンド基板である。
い。
単結晶ダイヤモンド種基板とダイヤモンド層は化学的に結合されており、単結晶ダイヤモンド種基板が脱落することは無く、単結晶ダイヤモンド種基板とダイヤモンド層の表面が平坦かつ一体となっている。
さらに好ましくは、単結晶ダイヤモンド種基板の板厚とダイヤモンド層の膜厚は共に10μm以上50μm未満である。単結晶ダイヤモンド種基板を薄くすることで、ダイヤモンド層を単結晶ダイヤモンド種基板と同じ厚さの膜厚を成膜し、合成時間の短縮と生産性を向上させることができる。
該単結晶ダイヤモンド種基板とダイヤモンド層との接合部分に当たるダイヤモンド種基板の側面形状は、側面に角度をつけた形状(以下、テーパー角と称する)となっている。かかるテーパー角について、単結晶ダイヤモンド種基板を側面から見たときの断面図である図1に則して説明する。
テーパー角は、テーパー角1[図1(a)]より大きくテーパー角2の90°[図1(b)]より小さい場合が好ましい。さらにテーパー角は、テーパー角3[図2(a)]より大きくテーパー角4の80°[図2(b)]より小さい場合がより好ましい。
また、単結晶ダイヤモンド種基板の板厚と同じ膜厚のダイヤモンド層を成膜する必要がないので、合成時間の短縮と、生産性を向上させることができる。
また、単結晶ダイヤモンド種基板は、高温高圧法、気相合成法で製造されたもの、または天然産であってもよい。
単結晶ダイヤモンド種基板を縦2mm×横2mmに切り出す際に、YAGレーザー(波長1064nm)を使用し、レーザー径を約3mmに設定しフォーカスし加工した。レーザー径を変えフォーカシングすることにより、テーパー角を自由に変えることができる。
本実施例におけるテーパー角は、上記5種類の単結晶ダイヤモンド種基板の全てにおいて70°とした。
また、公知の研磨において単結晶ダイヤモンド種基板側面部を傾けて研磨をすることによりテーパー角を自由に変えることができる。
次にシリコン基板6としては、直径3インチ、厚さ100μm、面方位(100)の単結晶基板を用意した。
エッチング条件は、圧力2Pa、ガス流量はCF4ガスが0.5sccm、酸素が60
sccmとした。
単結晶ダイヤモンド種基板5をシリコン基板主面に配置し、単結晶ダイヤモンド種基板とシリコン基板6との隙間量を確認したところ、光学顕微鏡で干渉縞がないことを確認した。また、走査型電子顕微鏡により、隙間を観察したところ200nmの隙間があることを確認した。
図3(a)のように1枚のシリコン基板主面に厚さ10μmの単結晶ダイヤモンド種基板5を25枚配置した。
配置位置は縦横それぞれ5列、5mm間隔とした(これをダイヤモンド基板No.1とする)。
同様にして、シリコン基板6主面に厚さ20、30、40、49μmの単結晶ダイヤモンド種基板5を配置したものを5種類そろえた(以下、ダイヤモンド基板No.2〜5とする)。
合成条件は、メタン流量比(メタン流量/水素流量)3%、圧力1.3×10-4Paとした。
成膜時間は、ダイヤモンド基板No.1,2,3,4,5の場合で、それぞれ1時間、2時間、3時間、4時間、4.9時間合成し、多結晶ダイヤモンド膜の膜厚はそれぞれ10、20、30、40、49μmであった。
ダイヤモンド基板No.1、2、3、4、5の主面部を機械研磨加工によって平滑化し、全面鏡面仕上げにした。
上記のようにして作製した5種類のダイヤモンド基板については、全て機械研磨によって単結晶ダイヤモンド種基板が脱落することなく、単結晶ダイヤモンド種基板5をダイヤモンド基板主面部に露出することができた[図3(b)]。
こうして得られたダイヤモンド基板に対し、半導体ウェハプロセスの一例としてフォトリソグラフィープロセスのテストを行った。基板表面にフォトレジストをスピンコートした。この結果、単結晶ダイヤモンド種基板上のレジストの膜厚分布は1%以下であった。
また、接触型アライナー露光器により露光試験を行ったところ、フォトマスクとダイヤモンド基板は密着させることができ、露光ムラが無いことを確認した。
サイズは4×4mm、厚さ300μm、面方位は(100)とした。
単結晶ダイヤモンド種基板8のテーパー角d(図4)は、5°から90°まで、5°間隔に、18種類のテーパー角、各テーパー角の単結晶ダイヤモンド種基板8を10枚ずつ準備した。
配置されるシリコン基板9は、(100)単結晶、サイズは直径3インチ、厚さ200μmとした。
1枚のシリコン基板主面に、テーパー角5°の単結晶ダイヤモンド種基板8を1枚配置したものを10組用意した[図5(a)]。
同様にして、各テーパー角の単結晶ダイヤモンド種基板8についても10組ずつ、全部で180枚のダイヤモンド基板を用意した。
シリコン基板9と単結晶ダイヤモンド種基板8を接合するダイヤモンド層10の形成方法は、熱フィラメント法を用いて、多結晶ダイヤモンド膜10を成膜することにより行った。
た。
合成時間は、全て30時間で多結晶ダイヤモンド膜の膜厚は45μmとした。
次に、ダイヤモンド基板の主面部を機械研磨によって平坦化かつ鏡面加工[図5(b)]を行ったところ、図6のように、単結晶ダイヤモンド種基板8の脱落率は、テーパー角90°では50%、テーパー角80°から85°まで20%、テーパー角10°から75°までは0%、テーパー角5°では20%であった。
これにより、単結晶ダイヤモンド種基板が脱落しないようにテーパー角を施すことが有効であり、テーパー角の範囲を広く自由に選択することができる。
次に、板厚が200μmの単結晶ダイヤモンド種基板を用いて、i)テーパー角50°で多結晶ダイヤモンド膜の膜厚を45μmとしたときと、ii)テーパー角無しで多結晶ダイヤモンド膜の膜厚を単結晶ダイヤモンド種基板と同じ板厚の200μmとしたとき(比較例)の、それぞれの合成時間と研磨時間の違いを以下の表に載せた。
また、単結晶ダイヤモンド種基板11の各板厚において、10μmから200μmまではテーパー角を5°から90°まで5°間隔で18種類、板厚が210μmから400μmまではテーパー角を10°から90°まで5°間隔で17種類、板厚が410μmから590μmまではテーパー角を15°から90°まで5°間隔で16種類準備した。
上記板厚毎に各テーパー角ずつの基板を用意した。
シリコン基板12の主面部には単結晶ダイヤモンド種基板11を1枚のみ配置し、全部で1004種類のダイヤモンド基板を用意した。
シリコン基板は直径4インチ、厚さ500μm、面方位は(100)のものを用意した
。
シリコン基板12と単結晶ダイヤモンド種基板11を接合するダイヤモンド層13の形成方法は、マイクロ波プラズマCVD法を用いて、(111)配向膜を成膜した。
合成条件はメタン流量比(メタン流量/水素流量)8%、圧力1.4×10-4Paとした。
単結晶ダイヤモンド種基板の板厚が40μm以上の場合は、合成時間3.2時間で膜厚40μmとした。
ダイヤモンド基板主面部を機械研磨加工によって平坦化し、全面鏡面仕上げにした。
このとき、単結晶ダイヤモンド種基板が研磨中に脱落した割合を、テーパー角と単結晶ダイヤモンド種基板の板厚との関係を図8に示した。
図8に示す如く、テーパー角が小さいほど単結晶ダイヤモンド種基板の脱落する割合が小さくなることが分かった。
これにより、単結晶ダイヤモンド種基板の板厚に対して、ダイヤモンド層の膜厚が薄い場合であっても、単結晶ダイヤモンド種基板に施されたテーパー角の効果により、研磨によって脱落することなくダイヤモンド基板を平坦かつ鏡面に仕上げることができる。また、テーパー角と単結晶ダイヤモンド種基板の板厚の選択範囲を広く選ぶこともできる。
2,4 テーパー角の最大値
5,8,11 単結晶ダイヤモンド種基板
6,9,12 ダイヤモンド基板
7,10,13 ダイヤモンド層
Claims (5)
- 単結晶ダイヤモンド種基板とダイヤモンド層とが接合しているダイヤモンド基板において、シリコン基板上に単結晶ダイヤモンド種基板が配置されており、該単結晶ダイヤモンド種基板の板厚は10μm以上600μm未満であり、該単結晶ダイヤモンド種基板の側面は単結晶ダイヤモンド種基板の底面と90℃未満の角度をなして傾斜している傾斜面であり、シリコン基板の表面上にダイヤモンド層が設けられており、ダイヤモンド層の膜厚が10μm以上600μm未満であり、ダイヤモンド層と単結晶ダイヤモンド種基板の側面とが密着し、両者の表面は略平坦且つ一体化されていることを特徴とするダイヤモンド基板。
- 単結晶ダイヤモンド種基板とシリコン基板が、ダイヤモンド層を介して接合されたダイヤモンド基板において、この断面構造がシリコン基板上に単結晶ダイヤモンド種基板が配置されており、該単結晶ダイヤモンド種基板の上面の一部又は全部が傾斜して傾斜面を形成しており、当該傾斜面の傾斜角が、単結晶ダイヤモンド種基板を側面から見たときに、1)底面と傾斜面とが交わる一点と、上面と前記傾斜面に対向する側面とが交わる一点とを結んだ直線と底面のなす角より大きく、2)90°未満であることを特徴とする請求項1に記載のダイヤモンド基板。
- 前記単結晶ダイヤモンド種基板の上面の一部又は全部が傾斜しており、当該傾斜角が、単結晶ダイヤモンド種基板を側面から見たときに、1)底面と傾斜面とが交わる一点と、底面の中点を通る底面に垂直な直線と上面とが交わる一点とを結んだ直線と底面のなす角より大きく、2)80°以下であることを特徴とする請求項1に記載のダイヤモンド基板。
- 前記単結晶ダイヤモンド種基板の底面における凹凸部分の垂直差を1μm以下にしたことを特徴とする請求項1から3のいずれか一に記載のダイヤモンド基板。
- 前記単結晶ダイヤモンド種基板の板厚が、10μm以上50μm未満であり、かつ前記ダイヤモンド層の膜厚が10μm以上50μm未満であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一に記載のダイヤモンド基板。
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