JP4862461B2 - 電気光学装置の検査方法及び検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、電気光学装置の検査方法及び検査装置に関し、特に、相展開駆動される電気
光学パネルの光学的なムラのみを判定(検査)するための電気光学装置の検査方法及び検査
装置に関する。

従来より、電気光学装置の一つである液晶装置は、プロジェクター等の種々の製品に利
用されている。液晶装置を駆動させると、表示画像には、元来、光学的に持っているムラ
と、電気的に持っている回路的なムラとの両方のムラが生じる。液晶装置で発生する光学
的なムラとしては、配向膜のラビング処理に起因するスジ状の光学的なムラ（縦ラビスジ
パターンと呼ばれる）がある。これは、組み立て工程における、一対の基板間に電気光学
物質である液晶を封止する前段の工程で、一対の基板の各基板の内面に配向膜を形成し、
各配向膜の表面に液晶分子の配向方向を決めるためにラビング処理（回転ローラーに巻き
付けた布で配向膜表面を擦る処理）を施す際に生じるスジ状のパターンに起因している。

一方、回路的な電気的なムラは、系統ムラと呼ばれている。具体的に言うと、１水平期
間につき所定数のデータ線ごとに一系列としてその系列の各画素に画像信号を同時に書き
込む相展開駆動が行われる液晶装置において、例えばデータ線６本で一系列、即ち６画素
ごとにまとめて書き込みを行うと、縦割りされた書き込み系統（チャンネル）ごとに境目
のところに輝度差ができてムラとなって見える。また、サンプリング用スイッチング素子
の特性バラツキや、外部の駆動回路に起因する画像信号のレベルばらつき等により電気的
なムラが発生する。

ここで、前述の光学的なムラである縦ラビスジパターンの方向と上記の系統的な電気的
なムラとは同じ方向に発生する。このため、光学的なムラのみを検査するには、電気的な
ムラを無くしてやる必要がある。

先行技術文献である例えば特許文献１には、表示装置の画素トランジスタ等のリーク欠
陥を検査するために、画素に中間調画像で電圧を与えて、欠陥があれば輝点となって見え
るようにして、不良を的確に検出する検査方法及び検査装置が記載されている。ここに記
載されている検査方法は、検査時に、通常駆動に対して、画素トランジスタ等をリークさ
せるような駆動を行って、輝点を生じ易くして検査を行うものである。 特許文献１のよ
うな検査装置では、投影検査が行われ、光学的なムラと電気的なムラについては官能検査
と呼ばれる検査者の見え方の違いで判定（検査）していた。
特開２００４−１２５４３７号公報

前述したように、特許文献１に記載の発明は、リーク不良を輝点として見分けるもので
あり、光学的なムラと電気的なムラについては見え方の違いで判定するしかなく、光学的
なムラだけを取り出して判定（検査）することはできなかった。
そこで、本発明は、上記の問題に鑑み、電気的なムラを無くして、光学的なムラのみを
検査することが可能な電気光学装置の検査方法及び検査装置を提供することを目的とする
ものである。

本発明に係る電気光学装置の検査方法は、走査線と、データ線と、前記走査線及び前記データ線を夫々駆動する走査線駆動回路及びデータ線駆動回路と、前記走査線と前記データ線との各交差に対応して設けられた薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに対応して設けられた画素電極と、対向電極と、前記画素電極と前記対向電極の間に挟持された電気光学物質とを備えた電気光学装置の検査方法であって、画像信号を画素に出力させるタイミングを規定するデータスタートパルスをＤＸ、画像信号を所定数のデータ線に並列に出力させるタイミングを決定するデータイネーブル信号をＥＮＢＸ、プリチャージ期間にプリチャージ電圧の画素への供給を可能とするプリチャージ駆動信号をＮＲＧ、垂直走査を開始するための走査スタートパルスをＤＹ、画像信号の画素への書き込み時間を規定する走査転送クロックをＣＬＹとしたとき、前記所定数のデータ線を一系列としてその系列の各画素に画像信号をサンプリングして供給するためのサンプリング用スイッチング素子がＯＮ状態となるように、前記データスタートパルスＤＸを全期間ハイレベル、前記データイネーブル信号ＥＮＢＸを全期間全数ハイレベル、前記プリチャージ駆動信号ＮＲＧを全期間ローレベル又は全期間ハイレベルとし、前記画像信号と、該画像信号の１水平期間における走査スタートパルスＤＹ及び走査転送クロックＣＬＹとのタイミングを１／２水平期間分ずらすことを特徴とする。

本発明によるこのような検査方法によれば、検査時は、通常駆動である相展開駆動を止
めて、前記データスタートパルスＤＸを全期間ハイレベルとし、前記データイネーブル信
号ＥＮＢＸを全期間全数ハイレベルとし、前記プリチャージ駆動信号ＮＲＧを全期間ロー
レベル又は全期間ハイレベルとし、前記画像信号と、該画像信号の１水平期間における走
査スタートパルスＤＹ及び走査転送クロックＣＬＹとのタイミングを１／２水平期間分ず
らすことにより、電気的なムラである系統ムラを無くして、光学的なムラのみを見やすく
して検査することが可能となる。

また、本発明に係る電気光学装置の検査方法は、走査線と、データ線と、前記走査線及び前記データ線を夫々駆動する走査線駆動回路及びデータ線駆動回路と、前記走査線と前記データ線との各交差に対応して設けられた薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに対応して設けられた画素電極と、対向電極と、前記画素電極と前記対向電極の間に挟持された電気光学物質とを備えた電気光学装置の検査方法であって、画像信号を画素に出力させるタイミングを規定するデータスタートパルスをＤＸ、画像信号を所定数のデータ線に並列に出力させるタイミングを決定するデータイネーブル信号をＥＮＢＸ、プリチャージ期間にプリチャージ電圧の画素への供給を可能とするプリチャージ駆動信号をＮＲＧ、垂直走査を開始するための走査スタートパルスをＤＹ、画像信号の画素への書き込み時間を規定する走査転送クロックをＣＬＹとしたとき、前記所定数のデータ線を一系列としてその系列の各画素に画像信号をサンプリングして供給するためのサンプリング用スイッチング素子がＯＮ状態となるように、前記データスタートパルスＤＸを全期間ローレベル、前記データイネーブル信号ＥＮＢＸを全期間全数ローレベル、前記プリチャージ駆動信号ＮＲＧを全期間ハイレベルとし、前記画像信号と、該画像信号の１水平期間における走査スタートパルスＤＹ及び走査転送クロックＣＬＹと、のタイミングを１／２水平期間分ずらしたことを特徴とする。

本発明によるこのような検査方法によれば、検査時は、通常駆動である相展開駆動を止
めて、前記データスタートパルスＤＸを全期間ローレベルとし、前記データイネーブル信
号ＥＮＢＸを全期間全数ローレベルとし、前記プリチャージ駆動信号ＮＲＧを全期間ハイ
レベルとし、前記画像信号と、該画像信号の１水平期間における走査スタートパルスＤＹ
及び走査転送クロックＣＬＹとのタイミングを１／２水平期間分ずらすことにより、電気
的なムラである系統ムラを無くして、光学的なムラのみを見やすくして検査することが可
能となる。

本発明に係る電気光学装置の検査装置は、走査線と、データ線と、前記走査線及び前記データ線を夫々駆動する走査線駆動回路及びデータ線駆動回路と、前記走査線と前記データ線との各交差に対応して設けられた薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに対応して設けられた画素電極と、対向電極と、前記画素電極と前記対向電極の間に挟持された電気光学物質とを備えた電気光学装置の検査装置であって、スクリーンと、前記電気光学装置の表示画像を前記スクリーンに投影する投影装置と、画像信号を画素に出力させるタイミングを規定するデータスタートパルスをＤＸ、画像信号を所定数のデータ線に並列に出力させるタイミングを決定するデータイネーブル信号をＥＮＢＸ、プリチャージ期間にプリチャージ電圧の画素への供給を可能とするプリチャージ駆動信号をＮＲＧ、垂直走査を開始するための走査スタートパルスをＤＹ、画像信号の画素への書き込み時間を規定する走査転送クロックをＣＬＹとしたとき、前記所定数のデータ線を一系列としてその系列の各画素に画像信号をサンプリングして供給するためのサンプリング用スイッチング素子がＯＮ状態となるように、前記データスタートパルスＤＸを全期間ハイレベル、前記データイネーブル信号ＥＮＢＸを全期間全数ハイレベル、前記プリチャージ駆動信号ＮＲＧを全期間ローレベル又は全期間ハイレベルとし、前記画像信号と、該画像信号の１水平期間における走査スタートパルスＤＹ及び走査転送クロックＣＬＹとのタイミングを１／２水平期間分ずらす駆動制御手段とを備えたことを特徴とする。

本発明によるこのような検査装置によれば、検査時は、通常駆動である相展開駆動を止
めて、前記データスタートパルスＤＸを全期間ハイレベルとし、前記データイネーブル信
号ＥＮＢＸを全期間全数ハイレベルとし、前記プリチャージ駆動信号ＮＲＧを全期間ロー
レベル又は全期間ハイレベルとし、前記画像信号と、該画像信号の１水平期間における走
査スタートパルスＤＹ及び走査転送クロックＣＬＹとのタイミングを１／２水平期間分ず
らすことにより、電気的なムラである系統ムラを無くして、光学的なムラのみを見やすく
して検査することが可能となる。

また、本発明に係る電気光学装置の検査装置は、走査線と、データ線と、前記走査線及び前記データ線を夫々駆動する走査線駆動回路及びデータ線駆動回路と、前記走査線と前記データ線との各交差に対応して設けられた薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに対応して設けられた画素電極と、対向電極と、前記画素電極と前記対向電極の間に挟持された電気光学物質とを備えた電気光学装置の検査装置であって、スクリーンと、前記電気光学装置の表示画像を前記スクリーンに投影する投影装置と、画像信号を画素に出力させるタイミングを規定するデータスタートパルスをＤＸ、画像信号を所定数のデータ線に並列に出力させるタイミングを決定するデータイネーブル信号をＥＮＢＸ、プリチャージ期間にプリチャージ電圧の画素への供給を可能とするプリチャージ駆動信号をＮＲＧ、垂直走査を開始するための走査スタートパルスをＤＹ、画像信号の画素への書き込み時間を規定する走査転送クロックをＣＬＹとしたとき、前記所定数のデータ線を一系列としてその系列の各画素に画像信号をサンプリングして供給するためのサンプリング用スイッチング素子がＯＮ状態となるように、前記データスタートパルスＤＸを全期間ローレベル、前記データイネーブル信号ＥＮＢＸを全期間全数ローレベル、前記プリチャージ駆動信号ＮＲＧを全期間ハイレベルとし、前記画像信号と、該画像信号の１水平期間における走査スタートパルスＤＹ及び走査転送クロックＣＬＹとのタイミングを１／２水平期間分ずらす駆動制御手段とを備えたことを特徴とする。

本発明によるこのような検査装置によれば、検査時は、通常駆動である相展開駆動を止
めて、前記データスタートパルスＤＸを全期間ローレベルとし、前記データイネーブル信
号ＥＮＢＸを全期間全数ローレベルとし、前記プリチャージ駆動信号ＮＲＧを全期間ハイ
レベルとし、前記画像信号と、該画像信号の１水平期間における走査スタートパルスＤＹ
及び走査転送クロックＣＬＹとのタイミングを１／２水平期間分ずらすことにより、電気
的なムラである系統ムラを無くして、光学的なムラのみを見やすくして検査することが可
能となる。

発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
［第１の実施形態］
本実施の形態に係る電気光学装置としての液晶装置は、素子基板と対向基板とが、互い
に一定の間隙を保って貼付され、その間隙に電気光学物質である液晶が挟持された構成と
なっている。また、本実施の形態に係る液晶装置は、素子基板としてのガラス基板等の透
明基板が用いられ、透明基板上に画素を駆動するトランジスタと共に、周辺駆動回路等を
形成したものである。まず、図１に基づき、本実施の形態に係わる液晶装置の構成を説明
する。

図１は、本実施の形態に係わる液晶装置１００の構成を示す構成図である。
図１において、１０１ａは、表示領域であり、複数本の走査線１１２が、図においてＸ
（行）方向に延在して形成され、また複数本のデータ線１１４が、Ｙ（列）方向に沿って
延在して形成されている。そして、各画素１１０は、走査線１１２とデータ線１１４との
各交差に対応して設けられて、マトリックス状に配列して設けられている。ここでは、液
晶装置１００は、走査線１１２の総本数をｍ本とし、データ線１１４の総本数をｎ本とし
て（ｍ、ｎはそれぞれ２以上の整数）、ｍ行×ｎ列のマトリックス型表示装置である。

各画素１１０は、スイッチング手段としてのトランジスタ（ポリシリコンＴＦＴ（Ｔhi
n Film Ｔransister））１１６と、画素電極１１８と、対向電極１０８と、付加容量１１
９を含む。トランジスタ１１６のゲートが走査線１１２に、ソースがデータ線１１４に、
ドレインが画素電極１１８に、それぞれ接続されている。画素電極１１８と対向電極１０
８の間に電気光学物質である液晶（図示せず）が挟持されている。対向電極１０８は、画
素電極１１８と対向するように対向基板の１面に形成される透明電極である。対向電極１
０８には、対向電極電圧ＬＣＣＯＭが印加されるようになっている。また、トランジスタ
１１６のドレインと容量線１２０の間に、付加容量１１９が形成され、液晶層を挟む電極
と共に電荷を蓄積する。容量線１２０は通常、０「ゼロ」Ｖ（ボルト）の電位とされる。

図１において、４００は、走査線駆動回路であり、５００は、データ線駆動回路である
。図示しないタイミング信号生成回路において、データスタートパルスＤＸ、データ転送
クロックＣＬＸ、データイネーブル信号ＥＮＢＸ、画像信号Ｖｉｄｅｏ、走査スタートパ
ルスＤＹ及び走査転送クロックＣＬＹが生成される。データスタートパルスＤＸ、データ
転送クロックＣＬＸ、データイネーブル信号ＥＮＢＸ及び画像信号Ｖｉｄｅｏは、データ
線駆動回路５００に供給され、走査スタートパルスＤＹ及び走査転送クロックＣＬＹは、
走査線駆動回路４００に供給される。データ線駆動回路５００には、駆動用の２つの電源
電圧ＶＤＤＸとＶＳＳＸが供給されており、走査線駆動回路４００には、駆動用の２つの
電源電圧ＶＤＤＹとＶＳＳＹが供給されている。ＶＤＤＸ、ＶＤＤＹは正の電圧、例えば
１５Ｖで、ＶＳＳＸ、ＶＳＳＹは０（ゼロ）Ｖである。

データスタートパルスＤＸは、データ線駆動回路５００内のシフトレジスタから最初に
データを出力させるタイミングを規定するパルス信号である。データ転送クロックＣＬＸ
は、データ線駆動回路５００内のシフトレジスタでデータを転送するための速度を規定す
るクロック信号である。データイネーブル信号ＥＮＢＸは、データ線駆動回路５００中の
シフトレジスタに蓄えられたデータを所定数（図では６個）の水平画素数分ずつ並列に出
力させるタイミングを決定する信号である。

走査スタートパルスＤＹは、走査線駆動回路４００による垂直走査を開始するためのパ
ルス信号である。走査転送クロックＣＬＹは、走査速度を規定するクロック信号である。

通常駆動時は、データ転送クロックＣＬＸと走査転送クロックＣＬＹに基づいて、各画
素電極１１８と対向電極１０８の間への電荷の蓄積が行われるので、画像信号の書き込み
時間は、常に予め決められた一定時間となる。

走査線駆動回路４００は、走査スタートパルスＤＹを走査転送クロックＣＬＹに従って
転送し、夫々の走査線１１２に走査信号Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、・・、Ｇｍを順次排他的に供
給する。データ線駆動回路５００は、ある水平走査期間において、画像データＶｉｄｅｏ
を、ソース線であるデータ線の総本数ｎ本を所定数（図では６本）ずつを一系列として、
順次ラッチした後、対応するデータ線１１４に画像信号Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３、・・、Ｖｎを
一斉に供給する。

データ線駆動回路５００は、所定数（図では６本）のデータ線１１４のそれぞれに画像
信号をサンプリングして同時に供給するためのサンプリング用スイッチング素子１３０と
、最初に画像信号Ｖｉｄｅｏ（正確には相展開信号ＶＩＤ）を画素に出力させるタイミン
グを規定するデータスタートパルスＤＸと画像信号Ｖｉｄｅｏを所定数のデータ線に並列
に出力させるタイミングを決定するデータイネーブル信号ＥＮＢＸとの論理積をとるアン
ド回路１４０と、このアンド回路１４０の出力とプリチャージ期間にプリチャージ電圧の
画素への供給を可能とするプリチャージ駆動信号ＮＲＧとの論理和をとり、その論理和出
力を前記サンプリング用スイッチング素子１３０のゲートに供給するオア回路１５０とを
備えている。走査線駆動回路４００は、垂直走査を開始するための走査スタートパルスＤ
Ｙと画像信号Ｖｉｄｅｏの画素への書き込み時間を規定する走査転送クロックＣＬＹを用
いて走査駆動を行う。通常駆動時は、データ線駆動回路５００によって、１水平期間につ
き前記所定数のデータ線１１４ごとに一系列としてその系列の各画素に画像信号Ｖｉｄｅ
ｏを同時に書き込む相展開駆動が行われる。

なお、トランジスタ１６０，１６１、ＣＸ１，ＣＸ２の信号線、及び、トランジスタ１
６０のゲートに接続するＴＸの信号線は、電源電圧ＶＤＤＸ，ＶＳＳＸと共に、検査回路
を構成しており、点灯検査を行うときに、各データ線１１４に検査用信号を供給して各画
素を点灯させるためのものである。
以上の構成においては、通常駆動時は、データ線１１４が例えば６本毎に一系列として
相展開駆動される。図では、例えば、６本毎の系列が１３６組でデータ線１１４の総本数
Ｎは８１６本とされ、走査線１１２の総本数ｍは６１２本とされている。

ここで、画像信号Ｖｉｄｅｏは、増幅及び反転（例えば１Ｈ反転）の信号処理後の各ド
ットに対応する表示信号が直列に並んでいるアナログ信号となっている。図１の表示信号
ＶＩＤ中に示したデータ番号１、２、…６は、各々、液晶パネルの表示領域１０１ａにお
ける第１番目（図１中最上行最左端）、第２番目（最上行左から２番目）、…のドットに
ついての表示データを含む部分であることを示す。従って、第ｉ行第ｊ列のドットについ
ての表示データは、データ番号（Ｍ×ｉ＋ｊ）の部分に含まれることになる。

図示しない相展開回路では、増幅及び反転処理された画像信号Ｖｉｄｅｏを入力し、相
展開信号と呼ばれる表示信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６を生成する。画像信号Ｖｉｄｅｏをドッ
トクロック毎にサンプルホールドする。すなわち、まず、データ番号１の部分をサンプル
ホールドしてＶＩＤ１の信号線（図１参照）へ出力し、次いでこの出力を保持しつつ、デ
ータ番号２の部分をサンプルホールドしてＶＩＤ２の信号線へ出力する。次に、これらＶ
ＩＤ１，ＶＩＤ２の信号線への出力を保持しつつ、データ番号３の部分をサンプルホール
ドしてＶＩＤ３の信号線へ出力する。以下同様に、データ番号４の部分をＶＩＤ１〜ＶＩ
Ｄ３の信号線への出力を保持しつつＶＩＤ４の信号線へ出力し、データ番号５の部分をＶ
ＩＤ１〜ＶＩＤ４の信号線への出力を保持しつつＶＩＤ５の信号線へ出力し、データ番号
６の部分をＶＩＤ１〜ＶＩＤ５の信号線への出力を保持しつつＶＩＤ６の信号線へ出力す
る。

そして、次に、データ番号７の部分をＶＩＤ２〜ＶＩＤ６の信号線への出力を保持しつ
つＶＩＤ１の信号線へ出力する。従って、この時点でデータ番号１の部分についての出力
は終了する。次いで、データ番号８の部分をＶＩＤ１の信号線及びＶＩＤ３〜ＶＩＤ６の
信号線への出力を保持しつつＶＩＤ２の信号線へ出力し、データ番号２の部分についての
出力を終了する。以下、同様にして、データ番号９、１０、…の部分も、順次、各信号線
へ出力する。これにより、ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６の各信号線へは、ぞれぞれ、６ドット毎の
表示データをドットクロック１周期の６倍のデータ長（＝ドットクロック１周期の６倍の
保持時間）とした相展開信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６が出力されることとなる。相展開の動作
については、特開平９−２６９７５４号公報の図３に記載がある。

一方、走査線駆動回路４００は、走査線Ｇｉに対応したＭビットのシフトレジスタやレ
ベルシフト用のアンプ等によって構成される。この走査線駆動回路４００は、前記シフト
レジスタの各ステージからの出力がアンプを介して順次走査線Ｇ１、Ｇ２、…、ＧNと接
続されており、表示ラインの走査線へ順次所定幅の走査信号（パルス信号）を出力する。
これにより、表示データを書き込むべき表示ラインの各ドットにおける上記スイッチング
手段１１６をオン状態とする。

データ線駆動回路５００は、データ線Ｖｊに対応したＮビットのシフトレジスタやレベ
ルシフト用のアンプ等によって構成されるシフトレジスタと、アンド回路１４０と、オア
回路１５０と、相展開信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６を外部から導入する所定数（図では６本）
の信号線と、相展開信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６を同時にサンプリングして複数のデータ線１
１４へ供給するサンプリング用スイッチング素子１３０と、プリチャージ駆動信号ＮＲＧ
を外部から導入する信号線と、所定数（図では６本）の水平画素数分の画素データを並列
に出力させるタイミングを与えるデータイネーブル信号ＥＮＢＸ（ＥＮＢ１〜ＥＮＢ４）
を外部から導入する複数の信号線と、を備えている。このデータ線駆動回路５００では、
前記シフトレジスタの各ステージからの出力がアンド回路１４０やオア回路１５０を介し
て順次一系列を構成する所定数（図では６個）のサンプリング用スイッチング素子１３０
の共通ゲートと接続されており、順次一定幅のパルス信号を出力して１３６組の系列ごと
に６個ずつのスイッチング素子をオン状態とする。

データ線駆動回路５００が有するシフトレジスタには、１画素当りの選択時間（ドット
周波数）を規定するデータ転送クロックＣＬＸが水平走査の基準として入力されるが、デ
ータスタートパルスＤＸが入力されると、データイネーブル信号ＥＮＢＸを用いて、前記
シフトレジスタからアンド回路１４０及びオア回路１５０を経て水平６画素分共通のサン
プリング駆動信号Ｘ1、Ｘ2、・・Ｘ136が順次サンプリング用スイッチング素子１３０に
供給される。

各水平走査期間において、このようなデータスタートパルスＤＸの入力に先行するタイ
ミングで、プリチャージ駆動信号（ＮＲＧ）がオア回路１５０に供給される。より具体的
には、垂直走査の基準とされる走査転送クロックＣＬＹが変化する（ハイレベルとなる）
と共に画像信号Ｖｉｄｅｏが信号の電圧中心値を基準として極性反転した後、この極性反
転からプリチャージをするまでのマージン時間を経過後に、プリチャージ駆動信号（ＮＲ
Ｇ）は、ハイレベルとされる。他方、プリチャージ電圧（ＮＲＳ）としては、画像信号（
Ｖｉｄｅｏ）の水平帰線期間のレベルが使用される。従って、プリチャージ駆動信号（Ｎ
ＲＧ）がハイレベルとされる水平帰線期間におけるプリチャージ期間において、プリチャ
ージが行われる。以上のように、プリチャージ駆動信号（ＮＲＧ）を所定のタイミングで
オア回路１５０の一方の入力として供給することによって、各水平帰線期間のプリチャー
ジ期間において、画像信号Ｖｉｄｅｏ（正確には相展開信号ＶＩＤ）の立ち上がり後の信
号レベルをプリチャージ電圧として画像信号の有効表示期間に先行して複数本のデータ線
１１４に一括供給する。その後に、データスタートパルスＤＸがデータ線駆動回路５００
に入力されることによって、画像信号Ｖｉｄｅｏの水平有効表示期間に相当する信号レベ
ルが複数本のデータ線１１４に一括供給される。プリチャージ動作のタイミングについて
は、特開２００２−４００７２号公報の図６に記載がある。

以上のように構成された液晶装置１００の検査装置について説明する。
図２は、本実施の形態に係る液晶装置１００の検査システムの構成を示す構成図である
。符号１は、上述した液晶装置１００にフレキシブルプリント基板（以下、ＦＰＣと記す
）が接続され、ケーシングされた液晶表示装置である。液晶表示装置１は、投影機２にセ
ットされ、液晶装置駆動制御手段であるチェッカ３から、ケーブル４とコネクタ５を介し
て制御信号及びデータ信号が供給される。制御信号及びデータ信号に基づいて液晶表示装
置１に表示された画像は、投影機２からスクリーン６に投射されて拡大表示される。

次に、本実施の形態に係る液晶表示装置１の検査方法について説明する。チェッカ３か
ら液晶表示装置１へ供給されるＶｉｄｅｏ信号は、その水平有効表示期間において、連続
して供給される中間調の画像データである。チェッカ３は、各種制御信号を任意のタイミ
ングで出力できるようになっており、特に、走査スタートパルスＤＹの周波数あるいは周
期を自由に変更して、液晶表示装置１へ出力可能となっている。さらに、チェッカ３は、
１水平期間（１Ｈと記す）毎にかつ１フレーム毎に画像信号Ｖｉｄｅｏの極性を反転して
出力するが、その極性の反転周波数あるいは反転周期も走査スタートパルスＤＹの周波数
あるいは周期に応じて変更して、液晶表示装置１へ出力可能となっている。

また、走査スタートパルスＤＹの周波数が変更されると、チェッカ３によって、画像信
号Ｖｉｄｅｏの出力も、その変更された走査スタートパルスＤＹの周波数に応じて、制御
される。
以下の説明で、液晶装置はノーマリホワイトタイプの液晶パネルを使用しているものと
する。また、データスタートパルスＤＸはＤＸ信号、走査スタートパルスＤＹをＤＹ信号
、走査転送クロックＣＬＹをＣＬＹ信号、データイネーブル信号ＥＮＢＸをＥＮＢＸ信号
、プリチャージ駆動信号ＮＲＧをＮＲＧ信号、画像信号ＶｉｄｅｏをＶｉｄｅｏ信号と略
記して説明する。

本第１の実施形態では、液晶装置の液晶パネル仕様上の通常駆動に対して、以下の変更
をした信号をパネルに入力する。ＤＸ信号を全期間ハイレベル（１５．５Ｖ）、ＥＮＢＸ
信号を全期間全数ハイレベル（１５．５Ｖ）とし、ＮＲＧ信号を全期間ローレベル（０．
０Ｖ）又は全期間ハイレベル（１５．５Ｖ）とする。Ｖｉｄｅｏ信号と、ＤＹ信号及びＣ
ＬＹ信号とのタイミングを１Ｈの半周期分である０．５Ｈ分ずらす（図３参照）。

図３において、(a)はＶｉｄｅｏ信号、(b)は縦ラビ駆動（縦ラビスジを判定するための
表示駆動）時におけるＤＹ信号及びＣＬＹ信号並びに走査信号Ｇ1，Ｇ2，‥、(c)は通常
駆動（縦ラビ駆動ではない通常の相展開による表示駆動）である。なお、図３(a)のＶｉ
ｄｅｏ信号は、対向電極電圧ＬＣＣＯＭに対して中間調の電位（９Ｖ，５Ｖ）を与えるこ
とが可能な縦ラビ駆動用の電圧波形を示している。

図３について説明する。正極性Ｖｉｄｅｏ信号では、１２Ｖは黒、９Ｖは中間調に対応
し、負極性Ｖｉｄｅｏ信号では、２Ｖは黒、５Ｖは中間調に対応し、７Ｖは白に対応して
いる。これはノーマリホワイトタイプの液晶パネルであることに対応し、基準電圧７Ｖに
対するＶｉｄｅｏ信号の電位差が大きいほど黒色となり、７Ｖに対する電位差が小さいほ
ど白色となっている。７Ｖは、対向電極(対向基板側の電極)との間に電圧を生じない電位
であり、図１における対向電極電圧ＬＣＣＯＭを意味している。

図３(a)，(b)に示すように、縦ラビ駆動時、ＤＸ信号及びＥＮＢＸ信号の全期間全数ハ
イレベルにより、図１に示すサンプリング用スイッチング素子１３０がオン（ＯＮ）状態
となり、画像信号線Ｖｉｄｅｏ(ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６)に供給された図３（ａ）のＶｉｄｅ
ｏ信号が図１の全データ線１１４に書き込まれる。このＶｉｄｅｏ信号がＤＹ信号とＣＬ
Ｙ信号により選択された横１ライン分の全画素に書き込まれる。そして、１Ｈ区間の中間
付近でＣＬＹ信号のレベルを切り換えることにより、図１の画素トランジスタ１１６はオ
フ（ＯＦＦ）状態になり、画素は、この時点のＶｉｄｅｏ信号レベルを保持する。

図３(b)の縦ラビ駆動時では、図３(a)のＶｉｄｅｏ信号に対して、ＤＹ信号もＣＬＹ信
号も０．５Ｈ分ずらした信号を入力する。これは、横１ライン分の画素が保持するレベル
を時間Ｔ３の位置のＶｉｄｅｏ信号電圧にするためである。同様に、次の横１ラインでは
、時間Ｔ5の位置のＶｉｄｅｏ信号電圧にするためである。

時間Ｔ3，Ｔ5でＣＬＹ信号が変化するので、ここで横１ライン分の全画素がオフ（ＯＦ
Ｆ）の状態となり、Ｔ3，Ｔ5直前で書き込まれていたレベルが保持される。
通常（ずらさない）のタイミングであると画素は、時間Ｔ４の位置のＶｉｄｅｏ信号電
圧を保持することになるため、パネル表示として、全黒になってしまう（即ち中間調にな
らない）。

図３(b)の縦ラビ駆動時は、前ラインの後半０．５Ｈ時間＋このラインの０．５Ｈ時間
書き込まれる。
ＣＬＹ信号が変化する度に、これに同期した走査信号によって横１ラインが次の横１ラ
インに切り替わっていく。つまり、ＣＬＹ信号の変化点での書込み停止と同時に、次のラ
インへの書込みが始まる。走査信号Ｇ2に対応したラインについて見ると、画素には始め
の期間（Ｔ3〜Ｔ4）に逆極性のＶｉｄｅｏ信号電圧がかかり、その後の期間（Ｔ4〜Ｔ5）
で表示したいＶｉｄｅｏ信号電圧を書き込んで、最終的にＣＬＹ信号の変化点（Ｔ3，Ｔ5
）でのＶｉｄｅｏ信号電圧を保持する。

なお、ＤＸ信号及びＥＮＢＸ信号の全期間全数ハイレベルの状態ではサンプリング用ス
イッチング素子１３０がオンとなっているので、既にプリチャージという機能は不能とな
っている。従って、ＮＲＧ信号の状態はハイレベルでもローレベルでもどちらでも影響は
無い。

上記の縦ラビ駆動の方法について要約すると、
(1)まず１本目の水平ラインに走査信号Ｇ1を入力し、時間Ｔ3にオフする。この時間Ｔ3
以降のオフ期間（Ｇ1信号がローレベルの期間）は、最後のライン(例えば６１２ラインあ
れば６１２本目)の書き込みが終わるまで保持し続ける。すなわち、９Ｖ(中間調)の電位
を保持し続ける。
(2)次に２本目の水平ラインに走査信号Ｇ2を入力する。走査信号Ｇ2の入力期間は、Ｖ
ｉｄｅｏ信号は時間Ｔ4で極性反転して入力され、Ｔ３のタイミング(９Ｖ)から次のＴ5の
タイミング(５Ｖ)までの１Ｈ期間である。
(3)３本目以降のラインも同様である。６１２本目の書き込みが終わるとまた(1)に戻る
。

図３(c)の通常駆動時は、ＥＮＢＸ信号のタイミングでサンプリングしているため、画
素は、ＥＮＢＸ信号がローレベルになった時点のＶｉｄｅｏ信号レベルを保持する。
通常駆動時は、ＣＬＹ信号のハイ，ローのタイミングはＶｉｄｅｏ信号の極性の反転周
期（ハイ，ロー）とタイミングが一致している。

第１の実施形態による縦ラビ駆動によれば、液晶パネルの表示において、パネル内部の
データ線駆動回路のサンプリング用スイッチング素子１３０を（ＯＮ）状態にして、保持
動作を無くす事で相展開駆動の影響を無くしている。そして、相展開駆動の影響を無くす
ことで、系列間の輝度差に基づく系列ムラを無くして、表示面の光学的なムラのみを目立
ち易くできる。それにより、従来は回路的な原因によるムラと光学的な原因によるムラが
同時に表示され、区別がつきにくかったが、この駆動方法を使うことによって、回路的な
電気的なムラを軽減でき、光学的なムラのみを確認することができ、光学的なムラ検査の
検査精度の向上を図ることができる。

［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態では、液晶装置の液晶パネル仕様上の通常駆動に対して、以下
の変更をした信号をパネルに入力する。
ＤＸ信号を全期間ローレベル（０．０Ｖ）、ＥＮＢＸ信号を全期間全数ローレベル（０
．０Ｖ）、ＮＲＧ信号を全期間ハイレベル（１５．５Ｖ）とする。Ｖｉｄｅｏ信号と、Ｄ
Ｙ信号及びＣＬＹ信号のタイミングを０．５Ｈ分ずらす。Ｖｉｄｅｏ信号と、ＤＹ信号及
びＣＬＹ信号並びに走査信号Ｇ1，Ｇ2，‥とのタイミング関係は、図３(a)，(b)と同様と
なる。

この駆動で、第１の実施形態と同じ状態になる。ＮＲＧ信号を全期間ハイレベル（１５
．５Ｖ）とすることによって、サンプリング用スイッチング素子１０３は常時オンするの
で、プリチャージ期間だけでなく、CLY信号が変化するまでの１H全ての期間で書込みを行
い、CLY信号の変化点の直前のレベルを最終的に保持する。
従って、第１の実施の形態と同様な作用・効果を得ることができる。

上述した実施形態では、電気光学装置として、液晶装置に適用した場合について説明し
たが、本発明はこれに限定されず、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクト
ロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ
装置、ＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）装置、ＬＥＤ（発光ダイオード）
表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管、液晶シャッター等を用いた小型テレビ
、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）を用いた装置などの各種の電気光学装置に
適用できる。

なお、本発明は、半導体基板に素子を形成する表示用デバイス、例えばＬＣＯＳ（Liqu
id Crysta1 On Silicon）などにも適用可能である。
ＬＣＯＳでは素子基板として単結晶シリコン基板を用い、画素や周辺回路に用いるスイ
ッチング素子としてトランジスタを単結晶シリコン基板に形成する。また、画素には反射
型の画素電極を用い、画素電極の下層に画素の各素子を形成する。

第１の実施の形態に係わる液晶装置の構成を示す構成図。 第１の実施の形態に係わる検査システムの構成を示す構成図。 縦ラビ駆動時及び通常駆動時における画像信号等のタイミングを示すタイミングチャート。

符号の説明

１００…液晶装置、１０８…対向電極、１１０…画素、１１２…走査線、１１４…デー
タ線、１１６…ＴＦＴ（スイッチング手段）、１１８…画素電極、１３０…サンプリング
用スイッチング素子、１４０…アンド回路、１５０…オア回路、４００…走査線駆動回路
、５００…データ線駆動回路。

Claims (4)

1. 走査線と、データ線と、前記走査線及び前記データ線を夫々駆動する走査線駆動回路及びデータ線駆動回路と、前記走査線と前記データ線との各交差に対応して設けられた薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに対応して設けられた画素電極と、対向電極と、前記画素電極と前記対向電極の間に挟持された電気光学物質とを備えた電気光学装置の検査方法であって、
   画像信号を画素に出力させるタイミングを規定するデータスタートパルスをＤＸ、画像信号を所定数のデータ線に並列に出力させるタイミングを決定するデータイネーブル信号をＥＮＢＸ、プリチャージ期間にプリチャージ電圧の画素への供給を可能とするプリチャージ駆動信号をＮＲＧ、垂直走査を開始するための走査スタートパルスをＤＹ、画像信号の画素への書き込み時間を規定する走査転送クロックをＣＬＹとしたとき、
   前記所定数のデータ線を一系列としてその系列の各画素に画像信号をサンプリングして供給するためのサンプリング用スイッチング素子がＯＮ状態となるように、前記データスタートパルスＤＸを全期間ハイレベル、前記データイネーブル信号ＥＮＢＸを全期間全数ハイレベル、前記プリチャージ駆動信号ＮＲＧを全期間ローレベル又は全期間ハイレベルとし、
   前記画像信号と、該画像信号の１水平期間における走査スタートパルスＤＹ及び走査転送クロックＣＬＹとのタイミングを１／２水平期間分ずらすことを特徴とする電気光学装置の検査方法。
2. 走査線と、データ線と、前記走査線及び前記データ線を夫々駆動する走査線駆動回路及びデータ線駆動回路と、前記走査線と前記データ線との各交差に対応して設けられた薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに対応して設けられた画素電極と、対向電極と、前記画素電極と前記対向電極の間に挟持された電気光学物質とを備えた電気光学装置の検査方法であって、
   画像信号を画素に出力させるタイミングを規定するデータスタートパルスをＤＸ、画像信号を所定数のデータ線に並列に出力させるタイミングを決定するデータイネーブル信号をＥＮＢＸ、プリチャージ期間にプリチャージ電圧の画素への供給を可能とするプリチャージ駆動信号をＮＲＧ、垂直走査を開始するための走査スタートパルスをＤＹ、画像信号の画素への書き込み時間を規定する走査転送クロックをＣＬＹとしたとき、
   前記所定数のデータ線を一系列としてその系列の各画素に画像信号をサンプリングして供給するためのサンプリング用スイッチング素子がＯＮ状態となるように、前記データスタートパルスＤＸを全期間ローレベル、前記データイネーブル信号ＥＮＢＸを全期間全数ローレベル、前記プリチャージ駆動信号ＮＲＧを全期間ハイレベルとし、
   前記画像信号と、該画像信号の１水平期間における走査スタートパルスＤＹ及び走査転送クロックＣＬＹと、のタイミングを１／２水平期間分ずらしたことを特徴とする電気光学装置の検査方法。
3. 走査線と、データ線と、前記走査線及び前記データ線を夫々駆動する走査線駆動回路及びデータ線駆動回路と、前記走査線と前記データ線との各交差に対応して設けられた薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに対応して設けられた画素電極と、対向電極と、前記画素電極と前記対向電極の間に挟持された電気光学物質とを備えた電気光学装置の検査装置であって、
   スクリーンと、
   前記電気光学装置の表示画像を前記スクリーンに投影する投影装置と、
   画像信号を画素に出力させるタイミングを規定するデータスタートパルスをＤＸ、画像信号を所定数のデータ線に並列に出力させるタイミングを決定するデータイネーブル信号をＥＮＢＸ、プリチャージ期間にプリチャージ電圧の画素への供給を可能とするプリチャージ駆動信号をＮＲＧ、垂直走査を開始するための走査スタートパルスをＤＹ、画像信号の画素への書き込み時間を規定する走査転送クロックをＣＬＹとしたとき、
   前記所定数のデータ線を一系列としてその系列の各画素に画像信号をサンプリングして供給するためのサンプリング用スイッチング素子がＯＮ状態となるように、前記データスタートパルスＤＸを全期間ハイレベル、前記データイネーブル信号ＥＮＢＸを全期間全数ハイレベル、前記プリチャージ駆動信号ＮＲＧを全期間ローレベル又は全期間ハイレベルとし、
   前記画像信号と、該画像信号の１水平期間における走査スタートパルスＤＹ及び走査転送クロックＣＬＹとのタイミングを１／２水平期間分ずらす駆動制御手段とを備えたことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
4. 走査線と、データ線と、前記走査線及び前記データ線を夫々駆動する走査線駆動回路及びデータ線駆動回路と、前記走査線と前記データ線との各交差に対応して設けられた薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに対応して設けられた画素電極と、対向電極と、前記画素電極と前記対向電極の間に挟持された電気光学物質とを備えた電気光学装置の検査装置であって、
   スクリーンと、
   前記電気光学装置の表示画像を前記スクリーンに投影する投影装置と、
   画像信号を画素に出力させるタイミングを規定するデータスタートパルスをＤＸ、画像信号を所定数のデータ線に並列に出力させるタイミングを決定するデータイネーブル信号をＥＮＢＸ、プリチャージ期間にプリチャージ電圧の画素への供給を可能とするプリチャージ駆動信号をＮＲＧ、垂直走査を開始するための走査スタートパルスをＤＹ、画像信号の画素への書き込み時間を規定する走査転送クロックをＣＬＹとしたとき、
   前記所定数のデータ線を一系列としてその系列の各画素に画像信号をサンプリングして供給するためのサンプリング用スイッチング素子がＯＮ状態となるように、前記データスタートパルスＤＸを全期間ローレベル、前記データイネーブル信号ＥＮＢＸを全期間全数ローレベル、前記プリチャージ駆動信号ＮＲＧを全期間ハイレベルとし、
   前記画像信号と、該画像信号の１水平期間における走査スタートパルスＤＹ及び走査転送クロックＣＬＹとのタイミングを１／２水平期間分ずらす駆動制御手段とを備えたことを特徴とする電気光学装置の検査装置。

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