JP4859202B2 - 円筒型リニアモータ - Google Patents

円筒型リニアモータ Download PDF

Info

Publication number
JP4859202B2
JP4859202B2 JP2006011350A JP2006011350A JP4859202B2 JP 4859202 B2 JP4859202 B2 JP 4859202B2 JP 2006011350 A JP2006011350 A JP 2006011350A JP 2006011350 A JP2006011350 A JP 2006011350A JP 4859202 B2 JP4859202 B2 JP 4859202B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
shaft
shaped stator
stator
linear motor
brackets
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2006011350A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2007195339A (ja
Inventor
哲生 林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Corp
Original Assignee
Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Machine Manufacturing Co Ltd filed Critical Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2006011350A priority Critical patent/JP4859202B2/ja
Publication of JP2007195339A publication Critical patent/JP2007195339A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4859202B2 publication Critical patent/JP4859202B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Linear Motors (AREA)

Description

本発明は、磁束を発生するシャフト状の固定子の支持構造を改良した円筒型リニアモータに関する発明である。
近年、直線往復駆動用のアクチュエータとして円筒型リニアモータが注目されている。この円筒型リニアモータは、「シャフトモータ」とも呼ばれ、円筒状のシャフト内に多数の永久磁石を直線状に並べて配置すると共に、シャフトの外側に、コイルを内蔵した可動子を該シャフトと同心状に配置し、コイルに通電することで可動子をシャフトに沿って直線駆動するように構成されている。
この円筒型リニアモータは、多数の永久磁石を内蔵したシャフトの荷重をその両端で支持する両端支持構造であるため、シャフトが長くなると、その自重によりシャフトの中央側が下がるように撓み変形するという問題があった。このように、シャフトが撓み変形すると、可動子のコイルの内周面とシャフトの外周面との間の空隙(ギャップ)を均一に保てなくなるため、両者が接触してその摩擦力により可動子のスムーズな駆動が妨げられたり、コイルの内周部が摩耗により損傷して使用不能になる可能性がある。
このような不具合を防ぐために、一般的には、予め、可動子のコイルとシャフトとの間の空隙を大きくしてシャフトの撓み変形の許容量を大きくしたり、或は、シャフトの肉厚を厚くすることで、シャフトの曲げ剛性を高めて撓み変形量を少なくすることが考えられるが、これらの方法では、シャフト内の永久磁石とコイルの内周面との間隔が広がって、磁束の利用効率が低下してしまい、推力が低下するという新たな問題が発生する。
この問題を解決するために、特許文献1(特開2005−160213号公報)に記載された円筒型リニアモータは、可動子の軸方向両側に、シャフトの外周面に接触する摺動部材を設けることで、シャフトがその自重により撓み変形しても、そのシャフトと可動子のコイルとの間の空隙を可動子両側の摺動部材によって確保できるように構成している。
しかしながら、上記特許文献1の技術では、可動子の軸方向両側に摺動部材を配置するため、可動子の駆動ストロークがその両側の摺動部材の寸法分だけ短くなってしまうという欠点がある。しかも、可動子両側の摺動部材が常にシャフトに接触しながら駆動されるため、摺動部材とシャフトとの接触による摩擦力が可動子の駆動を妨げる方向に作用して推力を低下させたり、摺動部材の摩耗の問題が避けられず、特に高速高サイクルで動作させる場合には、摺動部材の寿命が短くなるという問題が発生する。要するに、この特許文献1の技術では、円筒型リニアモータ本来の特長である非接触駆動の性能が損なわれてしまう。
本発明はこのような事情を考慮してなされたものであり、従ってその目的は、シャフト状の固定子の撓み変形によって発生する固定子と可動子との接触の問題を、円筒型リニアモータ本来の特長である非接触駆動の性能を損なわずに解決することができる円筒型リニアモータを提供することにある。
上記目的を達成するために、請求項1に係る発明は、磁束を発生するシャフト状の固定子の外側に、コイルを内蔵した可動子を該シャフト状の固定子と非接触で同心状に配置し、前記コイルに通電することで前記可動子をシャフト状の固定子に沿って直線的に非接触駆動する円筒型リニアモータにおいて、前記シャフト状の固定子の両端部を支持する支持構造部は、該シャフト状の固定子に作用させる上下方向及び水平方向の曲げモーメントを調整することで該シャフト状の固定子と可動子とが接触しないように該シャフト状の固定子の曲りを矯正する曲り矯正手段を備えている。この構成では、シャフト状の固定子が自重により撓み変形しても、曲り矯正手段によってシャフト状の固定子の両端部に対してシャフト状の固定子の中央側を持ち上げる方向に曲げモーメントを作用させて、その曲げモーメントの大きさを調整することで、シャフト状の固定子の自重による撓み変形を矯正してシャフト状の固定子を真っ直ぐに延ばした状態に戻すことができる。これにより、シャフト状の固定子の撓み変形によって発生する固定子と可動子との接触の問題を、円筒型リニアモータ本来の特長である非接触駆動の性能を損なわずに解決することができる。
ところで、シャフト状の固定子の自重による撓み変形は下側への変形であるため、上下方向の曲げモーメントの調整によって矯正できるが、シャフト状の固定子は長いため、自重以外の要因で最初からシャフト状の固定子が反っている場合がある。このシャフト状の固定子の反りは、上下方向に生じるとは限らず、あらゆる方向に生じる可能性がある。
このシャフト状の固定子の反りと自重による撓み変形の両方の曲りを矯正するために、請求項1に係る発明では、曲り矯正手段を上下方向及び水平方向の曲げモーメントを調整するように構成している。上下方向の曲げモーメントの調整と水平方向の曲げモーメントの調整とを組み合わせれば、あらゆる方向の曲げモーメントを調整することができ、シャフト状の固定子の反りや自重によるあらゆる方向の曲りを矯正することができる。
曲り矯正手段の具体例としては、例えば、請求項のように、シャフト状の固定子の端部を嵌合支持するブラケットを曲げモーメントの作用方向に回動可能又は揺動可能に支持する可動支持手段を備え、前記ブラケットを回動又は揺動させることで曲げモーメントを調整し、その調整後に前記ブラケットの位置を固定手段により固定するようにしても良い。これにより、簡単な構成で曲り矯正手段の機能を実現することができる。
ところで、円筒型リニアモータの稼働中は、コイルへの通電により発熱するため、その熱によりシャフト状の固定子の温度が上昇してシャフト状の固定子が軸方向に熱膨張するが、シャフト状の固定子の両端部を支持する支持構造部の間隔(支点間の長さ)は変化しないため、シャフト状の固定子の熱膨張量が大きくなると、シャフト状の固定子の支点間に過大な熱応力が働いて、シャフト状の固定子が曲り変形したり、支持構造部側の部材が変形したりする可能性がある。
この対策として、請求項のように、支持構造部は、シャフト状の固定子の一方の端部を固定支持し、他方の端部をその軸方向に位置ずれ可能に支持するように構成すると良い。この構成では、シャフト状の固定子が熱膨張すると、その熱膨張相当分だけシャフト状の固定子の他方の端部が軸方向に位置ずれして支持されるため、シャフト状の固定子の熱膨張によるシャフト状の固定子の曲り変形や支持構造部側の部材の変形が防止される。
以下、本発明を実施するための最良の形態を具体化した一実施例を図面に基づいて説明する。
ここで、図1は円筒型リニアモータ11の一部を破断して示す平面図、図2は円筒型リニアモータ11の一部を破断して示す正面図、図3は円筒型リニアモータ11の右側の支持構造部17Aを説明するための右側面図、図4は円筒型リニアモータ11の左側の支持構造部17Bを説明するための左側面図である。
図1及び図2に示すように、円筒型リニアモータ11は、円筒状のシャフト12内に多数の永久磁石13を直線状に並べて配置してシャフト状の固定子10を構成すると共に、シャフト12の外側に、コイル14を内蔵した可動子15を該シャフト12と非接触で同心状に配置し、コイル14に通電することで可動子15をシャフト12に沿って直線駆動するように構成されている。シャフト12内の各永久磁石13は、隣接する永久磁石13のS極どうし、N極どうしが対向するように配置されている。また、シャフト12は、各永久磁石13の磁束を透過させる非磁性材料(例えばステンレス鋼)のパイプにより形成されている。可動子15のコイル14は、シャフト12(永久磁石13)の外周囲を取り巻くように該シャフト12と同心状に配置されている。そして、このシャフト12の両端部が、ベースフレーム16上に立設された支持構造部17A,17Bに水平に固定されている。
ベースフレーム16上には、2本のスライドガイド20,21がシャフト12と平行に設けられ、各スライドガイド20,21には、それぞれスライド部材22,23がスライド自在に嵌合されている。このスライド部材22,23上には、搬送テーブル24(図1参照)が搭載され、この搬送テーブル24の下面に可動子15が連結されている。これにより、搬送テーブル24が可動子15と一体的にシャフト12に沿って直線駆動される。
次に、シャフト12の両端部を支持する支持構造部17A,17Bの構成を図1乃至図4に基づいて説明する。
シャフト12の両側の支持構造部17A,17Bは、それぞれ上下方向及び水平方向の曲げモーメントを調整する2自由度の回動方向調整機構(曲り矯正手段)を備えている。そして、一方の支持構造部(以下「固定側支持構造部」という)17Aは、シャフト12の一方の端部を固定支持し、他方の支持構造部(以下「非固定側支持構造部」という)17Bは、シャフト12の他方の端部をその軸方向に位置ずれ可能に支持するように構成されている。
各支持構造部17A,17Bは、シャフト12の端部を嵌合支持する第1ブラケット25A,25Bと、この第1ブラケット25A,25Bを第1ピン26A,26B(可動支持手段)を介して回動可能に支持する第2ブラケット27A,27Bとを備えている。
固定側支持構造部17Aは、シャフト12の端部を第1ブラケット25Aに固定して支持するのに対して、非固定側支持構造部17Bは、シャフト12の端部を第1ブラケット25Bに軸方向に位置ずれ可能に支持する点のみが相違し、これ以外の構成は、同じである。
固定側支持構造部17Aの第1ブラケット25Aには、図3に示すように、シャフト12の端部を嵌合するシャフト嵌合穴28Aの内外を貫通するスリット29が形成され、例えば2本の固定ボルト30が外側からスリット29を貫通するように締め込まれている。そして、各固定ボルト30を締め付けてスリット29の溝幅を狭くすることで、シャフト嵌合穴28Aの径を縮小してシャフト嵌合穴28Aの内周面をシャフト12の端部に圧接させ、その圧接力によりシャフト12の端部を第1ブラケット25Aに固定して支持するようにしている。
これに対して、非固定側支持構造部17Bの第1ブラケット25Bには、例えば4本の止めボルト31(図1と図4にはそれぞれ2本のみ図示)がシャフト嵌合穴28B内のシャフト12を軽く押え付けるように外側から締め込まれている。そして、各止めボルト31をシャフト嵌合穴28B内のシャフト12のガタがなくなるまで軽く締め込むことで、シャフト12の端部を第1ブラケット25Bに軸方向に位置ずれ可能に支持している。この場合、各止めボルト31の締め付け力が大きくなり過ぎると、シャフト嵌合穴28B内でシャフト12が軸方向に位置ずれできなくなるため、各止めボルト31の締め付け力はシャフト嵌合穴28B内のシャフト12の位置ずれを許容する範囲内に制限する必要がある。
各支持構造部17A,17Bの第1ブラケット25A,25Bを回動可能に支持する第1ピン26A,26Bは、シャフト嵌合穴28A,28Bの中心線と同一の高さ位置で且つ該中心線と水平に直交するように第2ブラケット27A,27Bに貫通支持されている。これにより、第1ブラケット25A,25Bは、第1ピン26A,26Bを中心にして回動されることで、第1ブラケット25A,25Bに嵌合支持されたシャフト12に対して上下方向の曲げモーメントが作用するようになっている。
そして、第2ブラケット27A,27Bには、第1ブラケット25A,25Bの回動位置を固定する固定手段として、例えば2本の固定ボルト39A,39Bが挿通され、各固定ボルト39A,39Bが第1ブラケット25A,25Bのねじ穴に締め付けられることで、第1ブラケット25A,25Bが第2ブラケット27A,27Bに固定されるようになっている。この場合、第2ブラケット27A,27Bに設けられた固定ボルト39A,39Bの挿通穴は、第1ブラケット25A,25Bの上下方向の回動調整を許容するように長孔又は大きめの穴に形成されている。
また、第2ブラケット27A,27Bの上部フランジ部には、例えば2本の調整ボルト32A,32B(固定手段)が上方から締め込まれ、各調整ボルト32A,32Bの下端が第1ブラケット25A,25Bの上面に当接している。この場合、2本の調整ボルト32A,32Bの中間位置の下方に第1ブラケット25A,25Bの回動軸(第1ピン26A,26B)が位置している。これにより、2本の調整ボルト32A,32Bのうちの一方の調整ボルトを緩めて、その分だけ他方の調整ボルトを締め込めば、その締め込み分だけ第1ブラケット25A,25Bを回動させてシャフト12に作用させる上下方向の曲げモーメントを調整できるようになっている。
一方、第2ブラケット27A,27Bをベースフレーム16に組み付けるために、ベースフレーム16には第2ピン33A,33B(可動支持手段)が上方に突出するように固定され、第2ブラケット27A,27Bの下部フランジ部に形成されたピン穴34A,34B(図2参照)を第2ピン33A,33Bに嵌合することで、第2ブラケット27A,27Bを第2ピン33A,33Bを中心にして水平方向に回動可能に支持し、この第2ブラケット27A,27Bの回動によって第1ブラケット25A,25Bを水平方向に揺動させることで、第1ブラケット25A,25Bに嵌合されたシャフト12に対して水平方向の曲げモーメントを作用させることができるようになっている。
第2ブラケット27A,27Bの下部フランジ部には、例えば2本の固定ボルト35A,35B(固定手段)が上方から挿通され、各固定ボルト35A,35Bがベースフレーム16のねじ穴に締め付けられることで、第2ブラケット27A,27Bがベースフレーム16に固定されるようになっている。この場合、第2ブラケット27A,27Bの下部フランジ部に設けられた固定ボルト35A,35Bの挿通穴は、第2ブラケット27A,27Bの水平方向の回動調整を許容するように長孔又は大きめの穴に形成されている。
ベースフレーム16上には、各第2ブラケット27A,27Bの近傍に、それぞれボス部37A,37Bがボルト38A,38Bで固定され、各ボス部37A,37Bにそれぞれ2本の調整ボルト36A,36Bが第2ブラケット27A,27B側に突出するように締め込まれ、各調整ボルト36A,36Bの先端が第2ブラケット27A,27Bに当接している。この場合、2本の調整ボルト36A,36Bの中間位置の付近に第2ブラケット27A,27Bの回動軸(第2ピン33A,33B)が位置している。これにより、2本の調整ボルト36A,36Bのうちの一方の調整ボルトを緩めて、その分だけ他方の調整ボルトを締め込めば、その締め込み分だけ第2ブラケット27A,27Bを水平方向に回動させてシャフト12に作用させる水平方向の曲げモーメントを調整できるようになっている。
以上のように構成した本実施例の円筒型リニアモータ11では、シャフト状の固定子10の自重によりシャフト状の固定子10の中央側が下がるように撓み変形している場合には、次のような手順でシャフト状の固定子10の自重による撓み変形を矯正すれば良い。
まず、第1ブラケット25A,25Bを第2ブラケット27A,27Bに固定する固定ボルト39A,39Bを少し緩めて第1ブラケット25A,25Bを第1ピン26A,26Bを中心にして上下方向に回動調整できる状態にする。この後、第2ブラケット27A,27Bの上部フランジ部に締め込まれている2本の調整ボルト32A,32Bのうちの内側の調整ボルトを少し緩めて外側の調整ボルトを少し締め付けることで、第1ブラケット25A,25Bを第1ピン26A,26Bを中心にして回動調整する。これにより、シャフト状の固定子10に対してシャフト状の固定子10の中央側を持ち上げる方向に曲げモーメントを作用させ、その曲げモーメントの大きさを調整ボルト32A,32Bの締め込み量によって調整することで、シャフト状の固定子10の自重による撓み変形を矯正する。この作業により、シャフト状の固定子10が真っ直ぐに延びた状態に矯正された時点で、固定ボルト39A,39Bを締め付けて第1ブラケット25A,25Bを第2ブラケット27A,27Bに固定する。
このように、本実施例では、調整ボルト32A,32Bの締め込み量の調整によってシャフト状の固定子10に対してシャフト状の固定子10の中央側を持ち上げる方向に作用させる曲げモーメントを調整して、シャフト状の固定子10の自重による撓み変形を矯正することができるため、シャフト状の固定子10の撓み変形によって発生するシャフト状の固定子10と可動子15との接触の問題を、円筒型リニアモータ11本来の特長である非接触駆動の性能を損なわずに解決することができる。
ところで、シャフト状の固定子10の自重による撓み変形は下側への変形であるため、上下方向の曲げモーメントの調整によって矯正できるが、シャフト状の固定子10は長いため、自重以外の要因で最初からシャフト状の固定子10が反っている場合がある。このシャフト状の固定子10の反りは、上下方向に生じるとは限らず、あらゆる方向に生じる可能性がある。
このシャフト状の固定子10の反り等による水平方向への曲りを矯正する場合には、まず、第2ブラケット27A,27Bをベースフレーム16に固定する固定ボルト35A,35Bを少し緩めて第2ブラケット27A,27Bを第2ピン33A,33Bを中心にして水平方向に回動調整できる状態にする。この後、ボス部37A,37Bに締め込まれている2本の調整ボルト36A,36Bのうちの一方の調整ボルトを少し緩めて他方の調整ボルトを少し締め付けることで、第2ブラケット27A,27Bを第2ピン33A,33Bを中心にして水平方向に回動調整して第1ブラケット25A,25Bを水平方向に揺動させる。これにより、第1ブラケット25A,25Bに嵌合されたシャフト状の固定子10に対して水平方向に曲げモーメントを作用させ、その水平方向の曲げモーメントの大きさを調整ボルト36A,36Bの締め込み量によって調整することで、シャフト状の固定子10の水平方向の曲りを矯正する。この作業により、シャフト状の固定子10が真っ直ぐに延びた状態に矯正された時点で、固定ボルト35A,35Bを締め付けて第2ブラケット27A,27Bをベースフレーム16に固定する。
尚、シャフト状の固定子10の曲りが上下方向、水平方向以外の方向に生じている場合は、上述した上下方向の曲げモーメントの調整と水平方向の曲げモーメントの調整とを組み合わせれば、あらゆる方向の曲げモーメントを調整することができ、シャフト状の固定子10の反りや自重によるあらゆる方向の曲りを矯正することができる。
ところで、円筒型リニアモータ11の稼働中は、コイル14への通電により発熱するため、その熱によりシャフト状の固定子10の温度が上昇してシャフト状の固定子10が軸方向に熱膨張するが、シャフト状の固定子10の両端部を支持する支持構造部17A,17Bの間隔(支点間の長さ)は変化しないため、従来構成のものでは、シャフト状の固定子の熱膨張量が大きくなると、シャフト状の固定子の支点間に過大な熱応力が働いて、シャフト状の固定子が曲り変形したり、支持構造部側の部材が変形したりする可能性がある。
この対策として、本実施例では、一方の支持構造部(固定側支持構造部)17Aは、シャフト状の固定子10の一方の端部を固定支持し、他方の支持構造部(非固定側支持構造部)17Bは、シャフト状の固定子10の他方の端部をその軸方向に位置ずれ可能に支持するように構成されているため、シャフト状の固定子10が熱膨張すると、その熱膨張相当分だけシャフト状の固定子10の他方の端部が軸方向に位置ずれして支持されるようになる。これにより、シャフト状の固定子10の熱膨張によるシャフト状の固定子10の曲り変形や支持構造部17A,17B側の部材の変形を防止することができる。
その他、本発明は、シャフトを断面非円形(例えば断面楕円形、断面長円形等)とした構成のものにも適用して実施でき、また、可動子の一部をシャフトの外周面に軽く接触させる構成としたり、シャフト状の固定子を磁石部材のみで形成する構成としても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。
本発明の一実施例における円筒型リニアモータの一部を破断して示す平面図である。 円筒型リニアモータの一部を破断して示す正面図である。 円筒型リニアモータの右側の支持構造部を説明するための右側面図である。 円筒型リニアモータの左側の支持構造部を説明するための左側面図である。
符号の説明
10…固定子、11…円筒型リニアモータ、12…シャフト、13…永久磁石、14…コイル、15…可動子、16…ベースフレーム、17A…固定側支持構造部、17B…非固定側支持構造部、25A,25B…第1ブラケット、26A,26B…第1ピン(可動支持手段)、27A,27B…第2ブラケット、28A,28B…シャフト嵌合穴、29…スリット、30…固定ボルト、31…止めボルト、32A,32B…調整ボルト、33A,33B…第2ピン(可動支持手段)、35A,35B…固定ボルト、36A,36B…調整ボルト、39A,39B…固定ボルト

Claims (3)

  1. 磁束を発生するシャフト状の固定子の外側に、コイルを内蔵した可動子を該シャフト状の固定子と非接触で同心状に配置し、前記コイルに通電することで前記可動子を該シャフト状の固定子に沿って直線的に非接触駆動する円筒型リニアモータにおいて、
    前記シャフト状の固定子の両端部を支持する支持構造部は、該シャフト状の固定子に作用させる上下方向及び水平方向の曲げモーメントを調整することで該シャフト状の固定子と前記可動子とが接触しないように該シャフト状の固定子の曲りを矯正する曲り矯正手段を備えていることを特徴とする円筒型リニアモータ。
  2. 前記曲り矯正手段は、前記シャフト状の固定子の端部を嵌合支持するブラケットを前記曲げモーメントの作用方向に回動可能又は揺動可能に支持する可動支持手段を備え、
    前記ブラケットを回動又は揺動させることで前記曲げモーメントを調整し、その調整後に前記ブラケットの位置を固定する固定手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載の円筒型リニアモータ。
  3. 前記支持構造部は、前記シャフト状の固定子の一方の端部を固定支持し、他方の端部をその軸方向に位置ずれ可能に支持するように構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の円筒型リニアモータ。
JP2006011350A 2006-01-19 2006-01-19 円筒型リニアモータ Active JP4859202B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006011350A JP4859202B2 (ja) 2006-01-19 2006-01-19 円筒型リニアモータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006011350A JP4859202B2 (ja) 2006-01-19 2006-01-19 円筒型リニアモータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007195339A JP2007195339A (ja) 2007-08-02
JP4859202B2 true JP4859202B2 (ja) 2012-01-25

Family

ID=38450568

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006011350A Active JP4859202B2 (ja) 2006-01-19 2006-01-19 円筒型リニアモータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4859202B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5288304B2 (ja) * 2007-07-18 2013-09-11 富士機械製造株式会社 リニアモータ
JP5606049B2 (ja) * 2008-12-11 2014-10-15 山洋電気株式会社 リニア同期モータ
KR102435306B1 (ko) * 2020-07-07 2022-08-24 디앤에이 주식회사 파티클 제거용 기판이송장치

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0829084A (ja) * 1994-07-13 1996-02-02 Hitachi Ltd 積層板の整列方法
DE19636184C2 (de) * 1996-09-06 2002-04-04 Winfried Poeppinghaus Verfahren und Vorrichtung zum selbständigen Verändern der Durchbiegung einer Welle, Achse oder eines anderen Trägers
JPH11114746A (ja) * 1997-10-15 1999-04-27 Okuma Corp 送りねじの張力可変装置
JP2002206619A (ja) * 2001-01-09 2002-07-26 Isamu Yamazaki 送りねじ装置
JP2005160213A (ja) * 2003-11-26 2005-06-16 Miki Pulley Co Ltd シャフト型リニアモータの空隙保持装置
JP4413083B2 (ja) * 2004-05-31 2010-02-10 Juki株式会社 電子部品実装装置
JP2007124737A (ja) * 2005-10-25 2007-05-17 Iai:Kk リニアモータ

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007195339A (ja) 2007-08-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5264329B2 (ja) 風力タービンとその取付け法及び風力タービンの発電機の回転子と固定子との空隙の調整方法
JP4616131B2 (ja) エッジワイズコイル巻線方法及び装置
JP4859202B2 (ja) 円筒型リニアモータ
JP2013090405A (ja) 回転電機
JP2014065079A (ja) 自在軸受けブレード付きパネル曲げマシン
JP2007154678A (ja) 流体機械
CN105811656B (zh) 电机
JP2024096815A5 (ja)
JP2024095752A5 (ja)
JP3129498U (ja) 磁気浮上回転装置
JP4028584B1 (ja) 曲げ加工装置
JP6291230B2 (ja) スピニング成形装置およびスピニング成形方法
JP2024040503A5 (ja)
JP2024045667A5 (ja)
JP3666385B2 (ja) 電動式射出機構
JP5010654B2 (ja) ワーク支持装置及び横形工作機械
KR20090086308A (ko) 모터 장치
JP5288304B2 (ja) リニアモータ
WO2005035851A1 (en) Double jersey circular knitting machine
JP4907288B2 (ja) 回転多面鏡駆動装置
JP4273622B2 (ja) リニア駆動装置のガイド軸の取付方法
JP4267369B2 (ja) 工作機械
JP2024088751A5 (ja)
JP2024083581A5 (ja)
CN215746095U (zh) 一种钢筋调直机

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20081219

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110224

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110315

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110507

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20111031

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111031

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4859202

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141111

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250