JP4858522B2 - Screen printing machine and screen printing method - Google Patents

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Description

本発明は、パターン孔が形成されたマスクプレートを介して基板に半田ペースト等のペーストの印刷を行うスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関するものである。   The present invention relates to a screen printing machine and a screen printing method for printing paste such as solder paste on a substrate through a mask plate in which pattern holes are formed.

スクリーン印刷機は、基板保持部に保持された基板にパターン孔が形成されたマスクプレートを接触させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、基板上にペーストを印刷する。マスクプレートは、スキージの移動方向に水平に延びて設けられた一対の支持レールの一端側から支持レール上に投入され、支持レール上に設定されたマスク設置位置に位置決めされて用いられる。ここで、マスクプレートのマスク設置位置への位置決めは、(1)スキージを保持するスキージヘッドに設けられた係止部材を、支持レールに投入されたマスクプレートがマスク設置位置を越えてスライドする位置に予め待機させておく。(2)マスクプレートを支持レールに投入し、マスク設置位置を越えてマスクプレートをスライドさせて支持レールの他端側に押し込み、マスクプレートを係止部材に当接させて仮位置決めする。(3)スキージヘッドをマスク設置位置側に移動させ、仮位置決めされたマスクプレートをマスク設置位置までスライドさせる、という手順で行われる(特許文献1)。
特開2004−42334号公報
The screen printing machine prints the paste on the substrate by bringing the mask plate with pattern holes into contact with the substrate held by the substrate holding unit, supplying the paste on the mask plate, and sliding the squeegee. . The mask plate is inserted into the support rail from one end side of a pair of support rails provided horizontally extending in the moving direction of the squeegee, and is used by being positioned at a mask installation position set on the support rail. Here, the positioning of the mask plate to the mask installation position is as follows: (1) A position where the mask plate placed on the support rail slides beyond the mask installation position with a locking member provided on the squeegee head holding the squeegee In advance. (2) The mask plate is put into the support rail, the mask plate is slid beyond the mask installation position and pushed into the other end side of the support rail, and the mask plate is brought into contact with the locking member for temporary positioning. (3) The squeegee head is moved to the mask installation position, and the temporarily positioned mask plate is slid to the mask installation position (Patent Document 1).
JP 2004-42334 A

しかしながら、マスクプレートを仮位置決めする際に、マスクプレートを支持レールの他端側に押し込むときの力加減はオペレータによって異なり、押し込み力が過大であったときには係止部材が破損するおそれがあった。このためオペレータは注意深くマスクプレートの押し込みを行わなければならず、マスクプレートの設置作業に時間がかかってスクリーン印刷作業全体の作業効率が低下するという問題点があった。   However, when temporarily positioning the mask plate, the force applied when the mask plate is pushed into the other end of the support rail differs depending on the operator, and the locking member may be damaged when the pushing force is excessive. Therefore, the operator has to carefully push in the mask plate, and it takes time to install the mask plate, resulting in a problem that the work efficiency of the entire screen printing operation is lowered.

そこで本発明は、マスクプレートの設置作業を迅速に行うことができ、スクリーン印刷作業全体の作業効率を向上させることができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a screen printing machine and a screen printing method that can quickly install a mask plate and improve the work efficiency of the entire screen printing work.

請求項1に記載のスクリーン印刷機は、支持レールと、支持レールにスライド自在に支持されたマスクプレートと、支持レールに固定して設けられ、支持レール上に設定されたマスク設置位置を越えてスライドされたマスクプレートと当接してマスクプレートを仮位置決めするストッパと、ストッパに当接したマスクプレートに係止される係止部材と、マスクプレートに係止された係止部材をマスクプレートがマスク設置位置に到達するまで移動させてマスクプレートをマスク設置位置に位置決めする係止部材移動手段と、マスク設置位置に位置決めされたマスクプレートに対して基板を相対移動させて基板をマスクプレートに接触させる基板移動手段と、基板と接触したマスクプレートにペーストを供給するペースト供給手段と、ペーストが供給されたマスクプレートに対して摺動され、マスクプレートに形成されたパターン孔を介して基板にペーストを印刷するスキージと、を備えた。   The screen printing machine according to claim 1 is provided with a support rail, a mask plate slidably supported on the support rail, and fixed to the support rail, beyond a mask installation position set on the support rail. The mask plate masks the stopper that temporarily positions the mask plate in contact with the slid mask plate, the locking member that is locked to the mask plate that is in contact with the stopper, and the locking member that is locked to the mask plate. The locking member moving means for positioning the mask plate at the mask installation position by moving until reaching the installation position and the substrate is moved relative to the mask plate positioned at the mask installation position to bring the substrate into contact with the mask plate. Substrate moving means, paste supply means for supplying paste to a mask plate in contact with the substrate, and paste It is slid to the supplied mask plate and and a squeegee to print the paste on a substrate through a pattern formed holes in the mask plate.

請求項2に記載のスクリーン印刷方法は、支持レールにスライド自在に支持されたマスクプレートを支持レール上に設定されたマスク設置位置を越えてスライドさせ、支持レールに固定して設けられたストッパに当接させてマスクプレートを仮位置決めする工程と、
ストッパに当接させたマスクプレートに係止部材を係止させる工程と、マスクプレートに係止させた係止部材をマスクプレートがマスク設置位置に到達するまで移動させてマスクプレートをマスク設置位置に位置決めする工程と、マスク設置位置に位置決めしたマスクプレートに対して基板を相対移動させて基板をマスクプレートに接触させる工程と、基板と接触したマスクプレートにペーストを供給する工程と、ペーストが供給されたマスクプレートに対してスキージを摺動させ、マスクプレートに形成されたパターン孔を介して基板にペーストを印刷する工程と、を含む。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a screen printing method in which a mask plate that is slidably supported on a support rail is slid beyond a mask installation position set on the support rail, and fixed to the support rail. A step of abutting and temporarily positioning the mask plate;
The step of locking the locking member to the mask plate brought into contact with the stopper, and the locking member locked to the mask plate are moved until the mask plate reaches the mask setting position to move the mask plate to the mask setting position. A step of positioning, a step of moving the substrate relative to the mask plate positioned at the mask installation position to bring the substrate into contact with the mask plate, a step of supplying a paste to the mask plate in contact with the substrate, and a paste being supplied And a step of sliding the squeegee with respect to the mask plate and printing the paste on the substrate through the pattern holes formed in the mask plate.

本発明では、マスク設置位置を越えてスライドしたマスクプレートは支持レール上に固定して設けられたストッパに当接されて仮位置決めされた後、その仮位置決めされたマスクプレートに係止部材が係止され、係止部材が移動されることによってマスクプレートがマスク設置位置に位置決めされるようになっている。このため、オペレータがマスクプレートを押し込んだときの押し込み力はストッパを介して支持レールに受け止められ、係止部材にはオペレータの押し込み力は作用しないので、係止部材を破損させるおそれがない。このため、オペレータはマスクプレートの設置作業を迅速に行うことができ、スクリーン印刷作業全体の作業効率を向上させることができる。   In the present invention, the mask plate that has been slid beyond the mask installation position is temporarily positioned by contacting a stopper fixed on the support rail, and then the locking member is engaged with the temporarily positioned mask plate. The mask plate is positioned at the mask installation position by stopping and moving the locking member. For this reason, the pushing force when the operator pushes the mask plate is received by the support rail via the stopper, and the pushing force of the operator does not act on the locking member, so there is no possibility of damaging the locking member. For this reason, the operator can quickly perform the installation work of the mask plate, and can improve the work efficiency of the entire screen printing work.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の構成説明図、図2(a),(b),(c)は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機において実行されるマスクプレートの位置決め手順の説明図、図3(a),(b)は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram illustrating the configuration of a screen printer according to an embodiment of the present invention. FIGS. 2A, 2B, and 2C are mask plates executed in the screen printer according to an embodiment of the present invention. FIG. 3A and FIG. 3B are explanatory diagrams of the operation of the screen printing machine according to the embodiment of the present invention.

図1において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、基台2と、基台2上に設けられ、図示しない基板搬送手段によって水平方向(X軸方向とする。図1の紙面に垂直な方向)に搬送される基板PBを保持するとともに、その保持した基板PBを水平面内方向及び上下方向(Z軸方向とする)に移動させる基板移動ユニット3、基板移動ユニット3の上方をX軸方向と直交する水平方向(Y軸方向とする)に延びて設けられた一対の支持レール4、支持レール4によってY軸方向にスライド自在に支持されたマスクプレート5、マスクプレート5の上方をY軸方向に移動自在に設けられたスキージヘッド6とペースト供給シリンジ7、基板移動ユニット3とマスクプレート5の間の領域を水平面内方向に移動自在に設けられたカメラユニット8及びスキージヘッド6に設けられたプレート係止手段である空圧シリンダ9を備えて構成されている。   In FIG. 1, a screen printing machine 1 according to the present embodiment is provided on a base 2 and a base 2, and is horizontal (X-axis direction by a substrate transport means (not shown). The substrate moving unit 3 that holds the substrate PB transported in the direction) and moves the held substrate PB in the horizontal plane direction and the vertical direction (referred to as the Z-axis direction), and the upper side of the substrate moving unit 3 in the X-axis direction. A pair of support rails 4 extending in the horizontal direction (Y-axis direction) orthogonal to the mask, a mask plate 5 slidably supported by the support rails 4 in the Y-axis direction, and an upper portion of the mask plate 5 above the Y-axis A squeegee head 6 and a paste supply syringe 7 that are movably provided in a direction, and a camera that is movably provided in a horizontal plane in a region between the substrate moving unit 3 and the mask plate 5. It is configured to include a pneumatic cylinder 9 a plate locking means provided on the knit 8 and the squeegee head 6.

図1において、基板移動ユニット3は、基台2の上面に対して水平面内方向に移動自在に設けられたXYテーブル11、XYテーブル11に対して上下方向移動(昇降)自在に設けられたZテーブル12、Zテーブル12の上面に設けられ、上記の基板搬送手段によって搬送された基板PBを保持する基板保持部13を備えて構成されている。   In FIG. 1, the substrate moving unit 3 includes an XY table 11 provided so as to be movable in a horizontal plane direction with respect to the upper surface of the base 2, and a Z provided so as to be movable up and down with respect to the XY table 11. A table holding unit 13 is provided on the upper surface of the table 12 and the Z table 12 and holds the substrate PB transferred by the substrate transfer means.

XYテーブル11の基台2に対する水平面内方向への移動動作は、このスクリーン印刷機1が備える制御装置20が、図示しないアクチュエータ等から成るXYテーブル作動機構21の作動制御を行うことによってなされ、Zテーブル12のXYテーブル11に対する昇降動作は、制御装置20が図示しないアクチュエータ等から成るZテーブル作動機構22の作動制御を行うことによってなされる。また、基板保持部13による基板PBの保持動作は、制御装置20が図示しないアクチュエータ等から成る基板保持部作動機構23の作動制御を行うことによってなされる。   The movement of the XY table 11 in the horizontal plane direction with respect to the base 2 is performed by the control device 20 provided in the screen printing machine 1 controlling the operation of an XY table operating mechanism 21 including an actuator (not shown). The table 12 is moved up and down with respect to the XY table 11 by the operation control of the Z table operating mechanism 22 including an actuator or the like (not shown) by the control device 20. In addition, the holding operation of the substrate PB by the substrate holding unit 13 is performed by the operation control of the substrate holding unit operating mechanism 23 including an actuator (not shown) by the control device 20.

図1及び図2において、マスクプレート5は平面視において矩形形状を有する枠部材5
aによって四辺が支持されており、枠部材5aによって囲まれた内側領域には、印刷対象物である基板PBの上面に形成された電極(図示せず)の形状及び位置に対応した多数のパターン孔(図示せず)が設けられている。
1 and 2, the mask plate 5 is a frame member 5 having a rectangular shape in plan view.
A number of patterns corresponding to the shape and position of electrodes (not shown) formed on the upper surface of the substrate PB, which is the object to be printed, are supported in the inner region surrounded by the frame member 5a. A hole (not shown) is provided.

図1及び図2において、各支持レール4は例えば断面L字状の部材であり、一方又は両方の支持レール4の内面には、オペレータによって支持レール4に投入されたマスクプレート5が、支持レール4上に設定されたマスク設置位置(図1に示すマスクプレート5の位置)を越えてスライドしたところでマスクプレート5の枠部材5aと当接するストッパ4aが設けられている。   1 and 2, each support rail 4 is, for example, a member having an L-shaped cross section. On one or both of the support rails 4, a mask plate 5 put into the support rail 4 by an operator is provided on the support rails. 4 is provided with a stopper 4a that comes into contact with the frame member 5a of the mask plate 5 when it slides beyond the mask installation position (position of the mask plate 5 shown in FIG. 1).

ストッパ4a若しくはストッパ4aの近傍位置には、支持レール4上をスライドしてきたマスクプレート5がストッパ4aに当接した状態を検出したときに制御装置20に検出信号を出力するマスクプレート当接検出器4bが設けられている。マスクプレート当接検出器4bは、マスクプレート5がストッパ4aに当接したときに、マスクプレート5(枠部材5a)の一部によってレバー部が押圧されて検出信号を出力するリミットスイッチ等の接触型の検出器ものであってもよいし、マスクプレート5がストッパ4aに当接したときにマスクプレート5によって検査光が遮断されて検出信号を出力する光センサ等のような非接触型の検出器ものであってもよい。   A mask plate contact detector that outputs a detection signal to the control device 20 when it is detected that the mask plate 5 that has slid on the support rail 4 is in contact with the stopper 4a at a position near the stopper 4a. 4b is provided. The mask plate contact detector 4b is a contact such as a limit switch that outputs a detection signal when the lever portion is pressed by a part of the mask plate 5 (frame member 5a) when the mask plate 5 contacts the stopper 4a. It may be a detector of a type, or a non-contact type detection such as an optical sensor that outputs a detection signal when inspection light is blocked by the mask plate 5 when the mask plate 5 contacts the stopper 4a. It may be a container.

図1において、スキージヘッド6は基板移動ユニット3に対してY軸方向に移動自在に設けられた移動プレート6pに、Y軸方向に対向する2つのスキージ6aが取り付けられた構成となっている。各スキージ6aはX軸方向に延びた「へら」状の部材であり、移動プレート6pに固定されたスキージ昇降シリンダ6bを作動させることによって移動プレート6pに対して昇降させることができる。   In FIG. 1, the squeegee head 6 has a configuration in which two squeegees 6 a facing in the Y-axis direction are attached to a moving plate 6 p provided to be movable in the Y-axis direction with respect to the substrate moving unit 3. Each squeegee 6a is a “spar” -like member extending in the X-axis direction, and can be moved up and down with respect to the moving plate 6p by operating a squeegee lifting cylinder 6b fixed to the moving plate 6p.

図1において、スキージヘッド6の(移動プレート6pの)Y軸方向への移動動作は、制御装置20が図示しないアクチュエータ等から成るスキージヘッド移動機構24の作動制御を行うことによってなされ、各スキージ6aの昇降動作は、制御装置20がスキージ昇降シリンダ6bを作動させる図示しないバルブ等から成るスキージ昇降シリンダ作動機構25の作動制御を行うことによってなされる。   In FIG. 1, the movement operation of the squeegee head 6 in the Y-axis direction (of the moving plate 6p) is performed by controlling the operation of a squeegee head moving mechanism 24 including an actuator or the like (not shown). The ascending / descending operation is performed when the control device 20 controls the operation of the squeegee lifting cylinder operating mechanism 25 including a valve (not shown) that operates the squeegee lifting cylinder 6b.

ペースト供給シリンジ7は、マスク設置位置に設置されたマスクプレート5の上面に半田ペースト等のペーストを供給する。図1において、ペースト供給シリンジ7のY軸方向への移動動作は、制御装置20が図示しないアクチュエータ等から成るシリンジ移動機構26の作動制御を行うことによってなされ、ペースト供給シリンジ7によるペーストのマスクプレート5上への供給動作は、制御装置20が図示しないアクチュエータ等からなるシリンジ作動機構27の作動制御を行うことによってなされる。   The paste supply syringe 7 supplies paste such as solder paste onto the upper surface of the mask plate 5 installed at the mask installation position. In FIG. 1, the movement of the paste supply syringe 7 in the Y-axis direction is performed when the control device 20 controls the operation of a syringe moving mechanism 26 including an actuator (not shown), and a paste mask plate by the paste supply syringe 7. 5 is performed when the control device 20 controls the operation of the syringe operating mechanism 27 including an actuator (not shown).

図1において、カメラユニット8は撮像面を下方に向けた第1カメラ8aと撮像面を上方に向けた第2カメラ8bを備えて成る。第1カメラ8a及び第2カメラ8bの撮像動作制御は制御装置20によってなされ、第1カメラ8a及び第2カメラ8bの撮像によって得られた画像データは制御装置20に入力される。カメラユニット8の水平面内方向への移動動作は、制御装置20が図示しないアクチュエータ等から成るカメラユニット移動機構28の作動制御を行うことによってなされる。   In FIG. 1, the camera unit 8 includes a first camera 8a with the imaging surface facing downward and a second camera 8b with the imaging surface facing upward. The imaging operation control of the first camera 8a and the second camera 8b is performed by the control device 20, and the image data obtained by the imaging of the first camera 8a and the second camera 8b is input to the control device 20. The movement operation of the camera unit 8 in the horizontal plane direction is performed when the control device 20 controls the operation of the camera unit moving mechanism 28 including an actuator (not shown).

空圧シリンダ9はスキージヘッド6を構成する移動プレート6pに上下方向に延びた姿勢で取り付けられており、ピストンロッド9aを下方に突没させることができる。ピストンロッド9aの下方への突没動作は、制御装置20が空圧シリンダ9を作動させる図示しないバルブ等から成る空圧シリンダ作動機構29の作動制御を行うことによってなされる。   The pneumatic cylinder 9 is attached to the moving plate 6p constituting the squeegee head 6 in a vertically extending posture, and the piston rod 9a can protrude and retract downward. The downward movement of the piston rod 9a is performed when the control device 20 controls the operation of a pneumatic cylinder operating mechanism 29 including a valve (not shown) that operates the pneumatic cylinder 9.

次に、図2及び図3を参照してスクリーン印刷機1によるスクリーン印刷の実行手順を説明する。スクリーン印刷機1によるスクリーン印刷では、初めにオペレータによるマスクプレート5の設置作業が行われる。オペレータは、これからスクリーン印刷を行おうとする基板PBの種類に応じたマスクプレート5を用意し、このマスクプレート5を一対の支持レール4の一端側から挿入し、支持レール4の他端側に向けて押し込む(図2(a)。図中に示す矢印A)。このオペレータによるマスクプレート5の押し込みによって、マスクプレート5は支持レール4上をスライドし、枠部材5aの先頭部が支持レール4上に設けられたストッパ4aに当接したところで仮位置決めされる(図2(b)。仮位置決め工程)。   Next, a screen printing execution procedure by the screen printer 1 will be described with reference to FIGS. In the screen printing by the screen printing machine 1, the operator first installs the mask plate 5. The operator prepares a mask plate 5 corresponding to the type of the substrate PB to be screen-printed, inserts the mask plate 5 from one end side of the pair of support rails 4, and faces the other end side of the support rail 4. (Fig. 2 (a). Arrow A shown in the figure). When the operator presses the mask plate 5, the mask plate 5 slides on the support rail 4, and is temporarily positioned when the leading portion of the frame member 5 a comes into contact with the stopper 4 a provided on the support rail 4 (FIG. 2 (b) Temporary positioning step).

マスクプレート5がストッパ4aに当接した状態がマスクプレート当接検出器4bによって検出され、その検出信号が制御装置20に入力されると、制御装置20はスキージヘッド移動機構24の作動制御を行ってスキージヘッド6を移動させ、スキージヘッド6に取り付けられた空圧シリンダ9が、ストッパ4aに当接したマスクプレート5の先頭部と対向する所定位置に位置するようにする。そして、制御装置20は、空圧シリンダ作動機構29の作動制御を行って空圧シリンダ9のピストンロッド9aを下方に突出させ、ピストンロッド9aの下端部を、ストッパ4aに当接したマスクプレート5の枠部材5aの上縁よりも下方に位置させる(図2(b))。   When the mask plate contact detector 4b detects that the mask plate 5 is in contact with the stopper 4a and the detection signal is input to the control device 20, the control device 20 controls the operation of the squeegee head moving mechanism 24. The squeegee head 6 is moved so that the pneumatic cylinder 9 attached to the squeegee head 6 is positioned at a predetermined position facing the leading portion of the mask plate 5 in contact with the stopper 4a. Then, the control device 20 controls the operation of the pneumatic cylinder operating mechanism 29 so that the piston rod 9a of the pneumatic cylinder 9 protrudes downward, and the lower end portion of the piston rod 9a is in contact with the stopper 4a. The frame member 5a is positioned below the upper edge (FIG. 2B).

制御装置20は、空圧シリンダ9のピストンロッド9aを下方に突出させたら、スキージヘッド移動機構24の作動制御を行って、スキージヘッド6をマスク設置位置の側(図2(b)中に示す矢印Bの向く方向)に移動させ、空圧シリンダ9のピストンロッド9aを、ストッパ4aに当接したマスクプレート5の枠部材5aに係止させる(押し当てる)(係止工程)。   When the control device 20 projects the piston rod 9a of the pneumatic cylinder 9 downward, the control device 20 controls the operation of the squeegee head moving mechanism 24, and the squeegee head 6 is shown on the mask installation position side (shown in FIG. 2B). The piston rod 9a of the pneumatic cylinder 9 is locked (pressed) to the frame member 5a of the mask plate 5 in contact with the stopper 4a (locking process).

制御装置20は、空圧シリンダ9のピストンロッド9aをマスクプレート5の枠部材5aに係止させたら、空圧シリンダ9を(すなわちスキージヘッド6を)そのままマスク設置位置の側に、マスクプレート5がマスク設置位置に到達するまで移動させて、マスクプレート5をマスク設置位置に位置決めする(図2(c)。位置決め工程)。制御装置20は、マスクプレート5をマスク設置位置に位置決めしたら、空圧シリンダ作動機構29の作動制御を行って、空圧シリンダ9のピストンロッド9aを上動させ、格納する(図1又は図3(a))。   When the control device 20 locks the piston rod 9a of the pneumatic cylinder 9 to the frame member 5a of the mask plate 5, the pneumatic cylinder 9 (that is, the squeegee head 6) is directly moved to the mask installation position side and the mask plate 5 Is moved until it reaches the mask installation position, and the mask plate 5 is positioned at the mask installation position (FIG. 2C). After positioning the mask plate 5 at the mask installation position, the control device 20 controls the operation of the pneumatic cylinder operating mechanism 29 to move the piston rod 9a of the pneumatic cylinder 9 upward and store it (FIG. 1 or FIG. 3). (A)).

制御装置20は、上記のようにしてマスクプレート5をマスク設置位置に位置決めしたら、図示しない基板搬送手段によって基板PBを基板保持部13に搬入し、その基板保持部作動機構23の作動制御を行って基板保持部13に基板PBを保持させる(基板保持工程)。   After positioning the mask plate 5 at the mask installation position as described above, the control device 20 carries the substrate PB into the substrate holder 13 by a substrate transfer means (not shown) and controls the operation of the substrate holder operation mechanism 23. The substrate PB is held by the substrate holding unit 13 (substrate holding step).

制御装置20は、基板保持部13に基板PBを保持させたら、カメラユニット移動機構28の作動制御を行ってカメラユニット8を基板保持部13の上方に移動させ、基板PBに設けられた基板位置検出マーク(図示せず)を第1カメラ8aに撮像させるとともに、マスクプレート5に設けられたマスク位置検出マーク(図示せず)を第2カメラ8bに撮像させる。制御装置20は、第1カメラ8aの撮像動作によって得られた基板位置検出マークの画像データから基板PBの位置を把握し、第2カメラ8bの撮像動作によって得られたマスク位置検出マークの画像データからマスクプレート5の位置を把握する。   When the substrate holding unit 13 holds the substrate PB, the control device 20 controls the operation of the camera unit moving mechanism 28 to move the camera unit 8 above the substrate holding unit 13 and the substrate position provided on the substrate PB. A detection mark (not shown) is imaged by the first camera 8a, and a mask position detection mark (not shown) provided on the mask plate 5 is imaged by the second camera 8b. The control device 20 grasps the position of the substrate PB from the image data of the substrate position detection mark obtained by the imaging operation of the first camera 8a, and the image data of the mask position detection mark obtained by the imaging operation of the second camera 8b. From this, the position of the mask plate 5 is grasped.

制御装置20は、基板PBの位置とマスクプレート5の位置を把握したら、これら両位置の関係に基づいて、マスクプレート5に対する基板PBの位置合わせを行う。この基板PBの位置合わせは、制御装置20がXYテーブル作動機構21の作動制御を行い、XY
テーブル11を水平方向に移動させて基板PBをマスクプレート5の直下に位置させることによって行う。
After grasping the position of the substrate PB and the position of the mask plate 5, the control device 20 aligns the substrate PB with respect to the mask plate 5 based on the relationship between these positions. For the alignment of the substrate PB, the control device 20 controls the operation of the XY table operating mechanism 21, and XY
This is done by moving the table 11 in the horizontal direction and positioning the substrate PB directly below the mask plate 5.

制御装置20は、基板PBの位置合わせが終わったら、Zテーブル作動機構22の作動制御を行ってZテーブル12を上昇させ(図3(a)中に示す矢印C)、基板PBの印刷面(上面)をマスクプレート5の下面に下方から接触させる(接触工程。図3(a))。   When the alignment of the substrate PB is completed, the control device 20 performs the operation control of the Z table operating mechanism 22 to raise the Z table 12 (arrow C shown in FIG. 3A), and the printing surface of the substrate PB ( The upper surface is brought into contact with the lower surface of the mask plate 5 from below (contact process; FIG. 3A).

制御装置20は、マスクプレート5に基板PBを接触させたら、シリンジ移動機構26の作動制御を行って、ペースト供給シリンジ7をマスクプレート5の上方に移動させた後、シリンジ作動機構27の作動制御を行って、ペースト供給シリンジ7からマスクプレート5の上面にペーストPTを供給する(図3(a)。ペースト供給工程)。   After the substrate PB is brought into contact with the mask plate 5, the control device 20 performs the operation control of the syringe moving mechanism 26, moves the paste supply syringe 7 above the mask plate 5, and then controls the operation of the syringe operating mechanism 27. Then, the paste PT is supplied from the paste supply syringe 7 to the upper surface of the mask plate 5 (FIG. 3A, paste supply step).

制御装置20は、マスクプレート5の上面にペーストPTを供給したら、スキージ昇降シリンダ作動機構25の作動制御を行って一方のスキージ6aを下降させ、そのスキージ6aの下縁をマスクプレート5の上面に当接させる。そして、スキージヘッド6をY軸方向に移動させ、ペーストPTをスキージ6aによってかき寄せて、ペーストPTをマスクプレート5のパターン孔内に充填させる(図3(b))。   When supplying the paste PT to the upper surface of the mask plate 5, the control device 20 controls the operation of the squeegee lifting cylinder operating mechanism 25 to lower one squeegee 6 a and lower the lower edge of the squeegee 6 a to the upper surface of the mask plate 5. Make contact. Then, the squeegee head 6 is moved in the Y-axis direction, the paste PT is scraped by the squeegee 6a, and the paste PT is filled into the pattern holes of the mask plate 5 (FIG. 3B).

ここで、図3(b)は、図中の左側のスキージ6aを矢印Dの方向に移動させることによってペーストPTを矢印Dの方向にかき寄せる様子を示したものである。ペーストPTを矢印Dと反対の方向にかき寄せるときには、図中の右側のスキージ6aをマスクプレート5の上面に当接させて、スキージヘッド6を矢印Dと反対の方向に移動させる。   Here, FIG. 3B shows a state in which the paste PT is scraped in the direction of the arrow D by moving the left squeegee 6a in the direction of the arrow D in the drawing. When the paste PT is scraped in the direction opposite to the arrow D, the right squeegee 6a in the drawing is brought into contact with the upper surface of the mask plate 5 and the squeegee head 6 is moved in the direction opposite to the arrow D.

制御装置20は、マスクプレート5のパターン孔内にペーストPTを充填させたら、Zテーブル12を下降させ、マスクプレート5を基板PBから分離させる。これにより、いわゆる版離れが行われ、マスクプレート5のパターン孔内に充填されたペーストPTが基板PB上に印刷(転写)される(印刷工程)。   After filling the pattern PT of the mask plate 5 with the paste PT, the control device 20 lowers the Z table 12 and separates the mask plate 5 from the substrate PB. Thereby, so-called plate separation is performed, and the paste PT filled in the pattern holes of the mask plate 5 is printed (transferred) onto the substrate PB (printing process).

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、支持レール4、支持レール4にスライド自在に支持されたマスクプレート5、支持レール4に固定して設けられ、支持レール4上に設定されたマスク設置位置を越えてスライドされたマスクプレート5と当接してマスクプレート5を仮位置決めするストッパ4a、ストッパ4aに当接したマスクプレート5に係止される係止部材としての空圧シリンダ9、マスクプレート5に係止された空圧シリンダ9をマスクプレート5がマスク設置位置に到達するまで移動させてマスクプレート5をマスク設置位置に位置決めする係止部材移動手段としてのスキージヘッド移動機構24、マスク設置位置に位置決めされたマスクプレート5に対して基板PBを相対移動させて基板PBをマスクプレート5に接触させる基板移動手段としての基板移動ユニット3、基板PBと接触したマスクプレート5にペーストPTを供給するペースト供給手段としてのペースト供給シリンジ7及びペーストPTが供給されたマスクプレート5に対して摺動され、マスクプレート5に形成されたパターン孔を介して基板PBにペーストPTを印刷するスキージ6aを備えたものとなっている。   As described above, the screen printing machine 1 according to the present embodiment is provided on the support rail 4, the mask plate 5 slidably supported by the support rail 4, and the support rail 4. A stopper 4a for temporarily positioning the mask plate 5 in contact with the mask plate 5 slid beyond the mask installation position, and a pneumatic cylinder 9 as a locking member locked to the mask plate 5 in contact with the stopper 4a The squeegee head moving mechanism 24 as a locking member moving means for moving the pneumatic cylinder 9 locked to the mask plate 5 until the mask plate 5 reaches the mask setting position to position the mask plate 5 at the mask setting position. Then, the substrate PB is moved relative to the mask plate 5 positioned at the mask installation position, and the substrate PB is masked. A substrate moving unit 3 as a substrate moving means to be brought into contact with the gate 5, a paste supply syringe 7 as a paste supply means for supplying the paste PT to the mask plate 5 in contact with the substrate PB, and a mask plate 5 to which the paste PT is supplied. The squeegee 6a is printed on the substrate PB through the pattern holes formed on the mask plate 5 so that the paste PT is printed.

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法は、支持レール4にスライド自在に支持されたマスクプレート5を支持レール4上に設定されたマスク設置位置を越えてスライドさせ、支持レール4に固定して設けられたストッパ4aにマスクプレート5を当接させてマスクプレート5を仮位置決めする工程(仮位置決め工程)、ストッパ4aに当接させたマスクプレート5に係止部材である空圧シリンダ9を係止させる工程(係止工程)、マスクプレート5に係止させた空圧シリンダ9をマスクプレート5がマスク設置位置に到達するまで移動させてマスクプレート5をマスク設置位置に位置決めする工程(位置決め工程)、マスク設置位置に位置決めしたマスクプレート5に対して基板PBを相対移動させ
て基板PBをマスクプレート5に接触させる工程(接触工程)、基板PBと接触したマスクプレート5にペーストPTを供給する工程(ペースト供給工程)及びペーストPTが供給されたマスクプレート5に対してスキージ6aを摺動させ、マスクプレート5に形成されたパターン孔を介して基板PBにペーストPTを印刷する工程(印刷工程)を含むものとなっている。
In the screen printing method according to the present embodiment, the mask plate 5 slidably supported on the support rail 4 is slid beyond the mask installation position set on the support rail 4 and fixed to the support rail 4. A process of temporarily positioning the mask plate 5 by bringing the mask plate 5 into contact with the provided stopper 4a (temporary positioning process), and a pneumatic cylinder 9 as a locking member engaged with the mask plate 5 brought into contact with the stopper 4a. A step of stopping (locking step), a step of positioning the mask plate 5 at the mask installation position by moving the pneumatic cylinder 9 locked to the mask plate 5 until the mask plate 5 reaches the mask installation position (positioning step) ), By moving the substrate PB relative to the mask plate 5 positioned at the mask installation position, the substrate PB is moved to the mask plate 5 A step of contacting (contacting step), a step of supplying the paste PT to the mask plate 5 in contact with the substrate PB (paste supplying step), and a squeegee 6a sliding on the mask plate 5 to which the paste PT has been supplied. 5 includes a step (printing step) of printing the paste PT on the substrate PB through the pattern holes formed in the pattern 5.

本実施の形態におけるスクリーン印刷機1(スクリーン印刷方法)では、マスク設置位置を越えてスライドしたマスクプレート5は支持レール4上に固定して設けられたストッパ4aに当接されて仮位置決めされた後、その仮位置決めされたマスクプレート5に空圧シリンダ9が係止され、空圧シリンダ9が移動されることによってマスクプレート5がマスク設置位置に位置決めされるようになっている。このため、オペレータがマスクプレート5を押し込んだときの押し込み力はストッパ4aを介して支持レール4に受け止められ、空圧シリンダ9にはオペレータの押し込み力は作用しないので、空圧シリンダ9を破損させるおそれがない。このため、オペレータはマスクプレート5の設置作業を迅速に行うことができ、スクリーン印刷作業全体の作業効率を向上させることができる。   In the screen printing machine 1 (screen printing method) in the present embodiment, the mask plate 5 that has slid beyond the mask installation position is temporarily positioned by abutting against a stopper 4a that is fixedly provided on the support rail 4. Thereafter, the pneumatic cylinder 9 is locked to the temporarily positioned mask plate 5, and the pneumatic cylinder 9 is moved so that the mask plate 5 is positioned at the mask installation position. For this reason, the pushing force when the operator pushes the mask plate 5 is received by the support rail 4 via the stopper 4a, and the pushing force of the operator does not act on the pneumatic cylinder 9, so that the pneumatic cylinder 9 is damaged. There is no fear. For this reason, the operator can perform the installation work of the mask plate 5 quickly, and can improve the work efficiency of the whole screen printing work.

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、係止手段としての空圧シリンダ9は、マスクプレート5がストッパ4aに当接した状態がマスクプレート当接検出器4bによって検出された後、ストッパ4aに当接したマスクプレート5の先頭部と対向する所定位置に位置されるようになっていたが、マスクプレート5がストッパ4aに当接される前(マスクプレート5が支持レール4に投入される前)から上記所定位置に位置されるようになっていてもよい。   Although the embodiments of the present invention have been described so far, the present invention is not limited to those shown in the above-described embodiments. For example, in the above-described embodiment, the pneumatic cylinder 9 as the locking means is in contact with the stopper 4a after the mask plate contact detector 4b detects that the mask plate 5 is in contact with the stopper 4a. However, before the mask plate 5 is brought into contact with the stopper 4a (before the mask plate 5 is thrown into the support rail 4). You may come to be located in the said predetermined position.

また、ストッパ4aに当接したマスクプレート5に係止される係止部材は、マスクプレートに係止された状態でマスク設置位置の側に移動されたときに、マスクプレート5をマスク設置位置まで移動させることができるものであればよく、必ずしも空圧シリンダ9でなくてもよい。   Further, when the locking member that is locked to the mask plate 5 that is in contact with the stopper 4a is moved to the mask setting position while being locked to the mask plate, the mask plate 5 is moved to the mask setting position. Any pneumatic cylinder 9 may be used as long as it can be moved.

マスクプレートの設置作業を迅速に行うことができ、スクリーン印刷作業全体の作業効率を向上させることができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。   Provided are a screen printing machine and a screen printing method capable of quickly setting a mask plate and improving the work efficiency of the entire screen printing work.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の構成説明図Structure explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of the present invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機において実行されるマスクプレートの位置決め手順の説明図(A) (b) (c) Explanatory drawing of the positioning procedure of the mask plate performed in the screen printing machine in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention

符号の説明Explanation of symbols

1 スクリーン印刷機
3 基板移動ユニット(基板移動手段)
4 支持レール
4a ストッパ
5 マスクプレート
6a スキージ
7 ペースト供給シリンジ(ペースト供給手段)
9 空圧シリンダ(係止部材)
24 スキージヘッド移動機構(係止部材移動手段)
PB 基板
PT ペースト
1 Screen printer 3 Substrate moving unit (substrate moving means)
4 Support rail 4a Stopper 5 Mask plate 6a Squeegee 7 Paste supply syringe (paste supply means)
9 Pneumatic cylinder (locking member)
24 Squeegee head moving mechanism (locking member moving means)
PB substrate PT paste

Claims (2)

支持レールと、
支持レールにスライド自在に支持されたマスクプレートと、
支持レールに固定して設けられ、支持レール上に設定されたマスク設置位置を越えてスライドされたマスクプレートと当接してマスクプレートを仮位置決めするストッパと、
ストッパに当接したマスクプレートに係止される係止部材と、
マスクプレートに係止された係止部材をマスクプレートがマスク設置位置に到達するまで移動させてマスクプレートをマスク設置位置に位置決めする係止部材移動手段と、
マスク設置位置に位置決めされたマスクプレートに対して基板を相対移動させて基板をマスクプレートに接触させる基板移動手段と、
基板と接触したマスクプレートにペーストを供給するペースト供給手段と、
ペーストが供給されたマスクプレートに対して摺動され、マスクプレートに形成されたパターン孔を介して基板にペーストを印刷するスキージと、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
A support rail;
A mask plate slidably supported on a support rail;
A stopper that is fixed to the support rail and that temporarily contacts the mask plate that has been slid beyond the mask installation position set on the support rail;
A locking member that is locked to the mask plate in contact with the stopper;
Locking member moving means for moving the locking member locked to the mask plate until the mask plate reaches the mask setting position and positioning the mask plate at the mask setting position;
A substrate moving means for moving the substrate relative to the mask plate positioned at the mask installation position to bring the substrate into contact with the mask plate;
Paste supply means for supplying paste to the mask plate in contact with the substrate;
A squeegee that slides against the mask plate supplied with the paste and prints the paste on the substrate through the pattern holes formed in the mask plate;
A screen printing machine comprising:
支持レールにスライド自在に支持されたマスクプレートを支持レール上に設定されたマスク設置位置を越えてスライドさせ、支持レールに固定して設けられたストッパに当接させてマスクプレートを仮位置決めする工程と、
ストッパに当接させたマスクプレートに係止部材を係止させる工程と、
マスクプレートに係止させた係止部材をマスクプレートがマスク設置位置に到達するまで移動させてマスクプレートをマスク設置位置に位置決めする工程と、
マスク設置位置に位置決めしたマスクプレートに対して基板を相対移動させて基板をマスクプレートに接触させる工程と、
基板と接触したマスクプレートにペーストを供給する工程と、
ペーストが供給されたマスクプレートに対してスキージを摺動させ、マスクプレートに形成されたパターン孔を介して基板にペーストを印刷する工程と、
を含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
The mask plate that is slidably supported by the support rail is slid beyond the mask installation position set on the support rail, and the mask plate is temporarily positioned by contacting a stopper provided fixed to the support rail. When,
Locking the locking member to the mask plate abutted against the stopper;
Moving the locking member locked to the mask plate until the mask plate reaches the mask installation position to position the mask plate at the mask installation position;
A step of moving the substrate relative to the mask plate positioned at the mask installation position to bring the substrate into contact with the mask plate;
Supplying paste to the mask plate in contact with the substrate;
Sliding the squeegee against the mask plate supplied with the paste, and printing the paste on the substrate through the pattern holes formed in the mask plate;
A screen printing method comprising:
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