JP2011189670A - Screen printing machine and mask installation method in screen printing machine - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a screen printing machine that dispenses with attachment and detachment of a screw whenever the distance between mask support rails is adjusted and that can improve workability in mask installation, and to provide a mask installation method in a screen printing machine. <P>SOLUTION: The screen printing machine includes: a pair of front and rear guide members 31 that are horizontally extended and arranged in the upper part of a substrate holding part 24 for holding a substrate 2; a pair of mask support rails 32 that are freely movably installed along the pair of front and rear guide members 31 and the distance therebetween can be adjusted while the parallel posture of them is maintained; and a plurality of rail fixing devices 33 that are installed in each mask support rail 32 and fix the pair of mask support rails 32 to the guide members 31 by lowering a fixing pin 43 installed movably in a vertical direction from an elevated position and fitting it into a fixing pin fitting hole 31b formed in the guide members 31 while adjusting the distance between the pair of mask support rails 32. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機におけるマスク設置方法に関するものである。   The present invention relates to a screen printer for printing a paste on a substrate through a mask and a mask installation method in the screen printer.

基板保持部に保持した基板に半田ペースト等のペーストの印刷を行うスクリーン印刷機は、基板の電極に応じたパターン孔が形成されたマスクを電極とパターン孔が上下に一致するよう基板に接触させた後、ペーストが供給されたマスク上でスキージを摺動させてペーストを掻き寄せることにより、マスクのパターン孔を介して電極にペーストを転写させるようになっている。   A screen printer that prints a paste such as solder paste on a substrate held by the substrate holding unit makes the mask in which pattern holes corresponding to the electrodes on the substrate are formed contact the substrate so that the electrodes and the pattern holes are aligned vertically. After that, the paste is transferred to the electrodes through the pattern holes of the mask by sliding the squeegee on the mask supplied with the paste and scraping the paste.

このようなスクリーン印刷機では、マスクは基板保持部の上方に設けられたマスクホルダによって水平姿勢に保持される。マスクホルダは、基板保持部の上方に水平に延びて配置されたガイド部材と、ガイド部材に沿って移動自在に設けられ、互いに平行な姿勢を保持したままその間隔を調整可能な一対のマスク支持レールを有して構成され、マスクはガイド部材に固定された一対のマスク支持レールによって対向する両辺部が支持されるようになっている。   In such a screen printing machine, the mask is held in a horizontal position by a mask holder provided above the substrate holding unit. The mask holder is provided with a guide member that extends horizontally above the substrate holding portion and a pair of mask supports that are movably provided along the guide member and can adjust the distance while maintaining a parallel posture. The mask is configured to have a rail, and the mask is configured such that both sides facing each other are supported by a pair of mask support rails fixed to the guide member.

ここで、マスクは生産対象となる基板の種類によってマスクの大きさが変わる場合には、ガイド部材に沿ってマスク支持レールを移動させてその間隔を変える必要がある。このため従来、マスク支持レールの間隔をマスクの外径寸法に合わせて調整したときに上下に合致する孔をマスク支持レールとガイド部材の双方に設けておき、マスク支持レールの間隔の調整を行なった後、マスク支持レールに設けられた孔とガイド部材に設けられた孔の両孔に固定用の螺子を挿通することによって、マスク支持レールをガイド部材に固定するようにしていた(例えば、特許文献1)。   Here, when the size of the mask varies depending on the type of substrate to be produced, it is necessary to move the mask support rail along the guide member to change the interval. For this reason, conventionally, when the distance between the mask support rails is adjusted in accordance with the outer diameter of the mask, holes that coincide vertically are provided in both the mask support rail and the guide member to adjust the distance between the mask support rails. After that, the mask support rail is fixed to the guide member by inserting a fixing screw into both the hole provided in the mask support rail and the hole provided in the guide member (for example, a patent Reference 1).

特開2006−7625号公報JP 2006-7625 A

しかしながら、上記従来のスクリーン印刷機では、マスク支持レールの間隔の調整を行うたびにマスク支持レールをガイド部材に固定する螺子の着脱が必要となり、作業に時間がかかるうえ、螺子を紛失しないように細心の注意を払う必要があるため、マスク設置時の作業性がよくないという問題点があった。   However, in the above conventional screen printing machine, it is necessary to attach and detach the screw for fixing the mask support rail to the guide member every time the interval between the mask support rails is adjusted, and it takes time for the work and the screw is not lost. Since it was necessary to pay close attention, there was a problem that workability at the time of mask installation was not good.

そこで本発明は、マスク支持レールの間隔の調整を行うたびに螺子の着脱を行う必要がなく、マスク設置時の作業性の向上を図ることができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機におけるマスク設置方法を提供すること目的とする。   Accordingly, the present invention provides a screen printing machine and a mask installation method in the screen printing machine that can improve the workability at the time of mask installation without having to attach and detach the screw every time the interval of the mask support rail is adjusted. The purpose is to provide.

請求項1に記載のスクリーン印刷機は、基板を保持する基板保持部と、基板保持部の上方に水平に延びて配置されたガイド部材と、ガイド部材に沿って移動自在に設けられ、互いに平行な姿勢を保持したままその間隔を調整可能な一対のマスク支持レールと、各マスク支持レールに設けられ、一対のマスク支持レールの間隔が調整された状態で、昇降自在に設けられたピン状部材を上昇位置から下降させてガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔に嵌入させることにより一対のマスク支持レールをガイド部材に固定する複数のレール固定手段と、ガイド部材に固定された一対のマスク支持レールにより対向する両辺部が支持された状態で、基板保持部に保持された基板と接触されるマスクと、基板と接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクを介して基板にペーストを転写させるスキージとを備えた。   The screen printing machine according to claim 1 is provided so as to be movable along the guide member, a substrate holding portion that holds the substrate, a guide member that extends horizontally above the substrate holding portion, and is parallel to each other. A pair of mask support rails that can adjust the distance while maintaining a proper posture, and a pin-like member that is provided on each mask support rail and that can be raised and lowered while the distance between the pair of mask support rails is adjusted A plurality of rail fixing means for fixing the pair of mask support rails to the guide member by lowering the guide from the raised position and inserting it into pin-like member insertion holes provided in the guide member, and a pair of masks fixed to the guide member In a state where both opposing sides are supported by the support rail, the mask that is in contact with the substrate held by the substrate holding portion and the mask that is in contact with the substrate slide on the mask. By scrape the supplied paste on the mask, and a squeegee for transferring the paste to the substrate through a mask.

請求項2に記載のスクリーン印刷機は、請求項1に記載のスクリーン印刷機であって、手動操作される操作手段と、操作手段の手動操作に応じて各レール固定手段のピン状部材を昇降させるピン状部材昇降機構とを備えた。   A screen printing machine according to a second aspect is the screen printing machine according to the first aspect, wherein the manually operated operation means and the pin-like member of each rail fixing means are moved up and down according to the manual operation of the operation means. And a pin-like member raising / lowering mechanism.

請求項3に記載のスクリーン印刷機は、請求項2に記載のスクリーン印刷機であって、前記ピン状部材昇降機構は、操作手段の手動操作に応じて前記複数のレール固定手段のうちの少なくとも2つのレール固定手段のピン状部材を同時に昇降させる。   The screen printing machine according to claim 3 is the screen printing machine according to claim 2, wherein the pin-like member lifting mechanism is at least one of the plurality of rail fixing means according to a manual operation of the operating means. The pin-like members of the two rail fixing means are moved up and down simultaneously.

請求項4に記載のスクリーン印刷機におけるマスク設置方法は、基板を保持する基板保持部と、基板保持部の上方に水平に延びて配置されたガイド部材と、ガイド部材に沿って移動自在に設けられ、互いに平行な姿勢を保持したままその間隔を調整可能な一対のマスク支持レールと、各マスク支持レールに設けられ、一対のマスク支持レールの間隔が調整された状態で、昇降自在に設けられたピン状部材を上昇位置から下降させてガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔に嵌入させることにより一対のマスク支持レールをガイド部材に固定する複数のレール固定手段と、ガイド部材に固定された一対のマスク支持レールにより対向する両辺部が支持された状態で、基板保持部に保持された基板と接触されるマスクと、基板と接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクを介して基板にペーストを転写させるスキージとを備えたスクリーン印刷機におけるマスク設置方法であって、各レール固定手段が備えるピン状部材を下降位置から上昇させることによりガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔から抜去させてレール固定手段によるマスク支持レールのガイド部材に対する固定を解除する工程と、マスク支持レールのガイド部材に対する固定を解除した後、一対のマスク支持レールをガイド部材に沿って移動させることにより、一対のマスク支持レールの間隔をマスクの外径寸法に応じて調節する工程と、一対のマスク支持レールの間隔をマスクの外径寸法に応じて調節した後、各レール固定手段が備えるピン状部材を上昇位置から下降させることによりガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔に嵌入させて一対のマスク支持レールをガイド部材に固定する工程と、ガイド部材に固定した一対のマスク支持レールにマスクの対向する両辺部を支持させる工程とを含む。   The mask installation method in the screen printing machine according to claim 4 is provided with a substrate holding portion for holding a substrate, a guide member extending horizontally above the substrate holding portion, and movable along the guide member. A pair of mask support rails that can be adjusted in intervals while maintaining parallel postures, and provided on each mask support rail, and can be moved up and down while the distance between the pair of mask support rails is adjusted. A plurality of rail fixing means for fixing the pair of mask support rails to the guide member by lowering the pin-shaped member from the raised position and inserting the pin-shaped member into a pin-shaped member insertion hole provided in the guide member; The mask that is in contact with the substrate held by the substrate holding portion and the mask that is in contact with the substrate in a state where both opposing sides are supported by the pair of mask support rails. A method for installing a mask in a screen printing machine comprising a squeegee that slides on the mask and squeezes the paste supplied onto the mask onto the substrate by transferring the paste to the substrate through the mask. Removing the pin from the pin-like member insertion hole provided in the guide member by lifting the pin-like member included in the fixing means from the lowered position, and releasing the fixation of the mask support rail to the guide member by the rail fixing means; and mask support A step of adjusting a distance between the pair of mask support rails according to an outer diameter of the mask by moving the pair of mask support rails along the guide member after releasing the fixing of the rails to the guide member; After adjusting the mask support rail spacing according to the outer diameter of the mask, each rail fixing means has a pin-shaped part Is lowered from the raised position to be fitted into a pin-like member insertion hole provided in the guide member, and the pair of mask support rails are fixed to the guide member, and the mask is fixed to the pair of mask support rails fixed to the guide member. Supporting both sides facing each other.

請求項5に記載のスクリーン印刷機におけるマスク設置方法は、請求項4に記載のスクリーン印刷機におけるマスク設置方法であって、操作手段の手動操作に応じて各レール固定手段のピン状部材が昇降するようにした。   The mask installation method in the screen printing machine according to claim 5 is the mask installation method in the screen printing machine according to claim 4, wherein the pin-like member of each rail fixing means is moved up and down in response to manual operation of the operation means. I tried to do it.

請求項6に記載のスクリーン印刷機におけるマスク設置方法は、請求項5に記載のスクリーン印刷機におけるマスク設置方法であって、操作手段の手動操作に応じて前記複数のレール固定手段のうちの少なくとも2つのレール固定手段のピン状部材を同時に昇降させるようにした。   The mask installation method in the screen printing machine according to claim 6 is the mask installation method in the screen printing machine according to claim 5, wherein at least one of the plurality of rail fixing means according to a manual operation of the operation means. The pin-shaped members of the two rail fixing means are moved up and down simultaneously.

本発明では、一対のマスク支持レールの間隔が調整された状態で、各マスク支持レールに設けられた複数のレール固定手段の各ピン状部材を、ガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔に嵌入させることによってマスク支持レールをガイド部材に固定するようになっているので、従来のようにマスク支持レールの間隔の調整を行うたびに螺子の着脱を行う必要がなく、マスク設置時の作業性の向上を図ることができる。   In the present invention, in a state where the distance between the pair of mask support rails is adjusted, each pin-like member of the plurality of rail fixing means provided on each mask support rail is inserted into the pin-like member insertion hole provided on the guide member. Since the mask support rail is fixed to the guide member by inserting it, it is not necessary to attach and detach the screw every time the mask support rail interval is adjusted as in the past, and workability at the time of mask installation Can be improved.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図The top view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図The front view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図The side view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクホルダに設置されたマスクの平面図The top view of the mask installed in the mask holder with which the screen printing machine in one embodiment of this invention is equipped, and the mask holder 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダの斜視図The perspective view of the mask holder with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスク固定シリンダの動作制御系統を示す図The figure which shows the operation | movement control system of the mask fixed cylinder with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の手順を示すフローチャートThe flowchart which shows the procedure of the screen printing operation which the screen printer in one embodiment of this invention performs (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの正面図(A) (b) The front view of the board | substrate holding | maintenance movement unit with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの側面図(A) (b) Side view of the substrate holding and moving unit provided in the screen printer in one embodiment of the present invention. (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの側面図(A) (b) Side view of the substrate holding and moving unit provided in the screen printer in one embodiment of the present invention. (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの側面図(A) (b) (c) Side view of the substrate holding and moving unit provided in the screen printing machine according to the embodiment of the present invention. (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの側面図(A) (b) (c) Side view of the substrate holding and moving unit provided in the screen printing machine according to the embodiment of the present invention. (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダの斜視図(A) (b) The perspective view of the mask holder with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダの斜視図(A) (b) The perspective view of the mask holder with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダの斜視図(A) (b) The perspective view of the mask holder with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1、図2及び図3に示すスクリーン印刷機1は、実装基板生産用の電子部品実装ラインを構成する電子部品実装用装置の一種であり、基板2を搬入してその基板2の表面に設けられた電極3上に半田ペーストや導電性ペースト等のペーストPst(図3参照)を転写するスクリーン印刷を行った後、その基板2を下流側の電子部品実装機(図示せず)等に搬出する動作を連続実行するものである。以下、説明の便宜上、このスクリーン印刷機1における基板2の搬送方向をX軸方向(図1の紙面左右方向)、X軸方向と直交する水平面内方向をY軸方向(図1の紙面上下方向)とし、上下方向をZ軸方向とする。また、Y軸方向をスクリーン印刷機1の前後方向、X軸方向をスクリーン印刷機1の横(左右)方向とする。更に、前後方向のうち、スクリーン印刷機1のオペレータOP(図1)がスクリーン印刷機1に対して作業を行う側(図1の紙面下方)をスクリーン印刷機1の前方、その反対側(図1の紙面上方)をスクリーン印刷機1の後方とする。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. A screen printing machine 1 shown in FIGS. 1, 2 and 3 is a kind of electronic component mounting apparatus constituting an electronic component mounting line for mounting substrate production. A substrate 2 is carried in and placed on the surface of the substrate 2. After performing screen printing for transferring a paste Pst (see FIG. 3) such as a solder paste or a conductive paste onto the provided electrode 3, the substrate 2 is transferred to an electronic component mounting machine (not shown) on the downstream side. The operation to carry out is executed continuously. Hereinafter, for convenience of explanation, the transport direction of the substrate 2 in the screen printing machine 1 is the X axis direction (left and right direction in FIG. 1), and the horizontal direction perpendicular to the X axis direction is the Y axis direction (up and down direction in FIG. 1). ) And the vertical direction is the Z-axis direction. The Y-axis direction is the front-rear direction of the screen printing machine 1 and the X-axis direction is the horizontal (left-right) direction of the screen printing machine 1. Further, in the front-rear direction, the operator OP (FIG. 1) of the screen printing machine 1 performs the operation on the screen printing machine 1 (below the paper surface in FIG. 1) is the front side of the screen printing machine 1, and the opposite side (see FIG. 1). 1) is the rear side of the screen printer 1.

図1、図2及び図3において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、基台11上に設けられた基板保持移動ユニット12、基板保持移動ユニット12の上方に設けられたプレート状のマスク13、前後一対のスキージ14及びカメラユニット15を備えている。   1, 2, and 3, the screen printing machine 1 according to the present embodiment includes a substrate holding / moving unit 12 provided on a base 11, and a plate-like mask provided above the substrate holding / moving unit 12. 13. A pair of front and rear squeegees 14 and a camera unit 15 are provided.

図2及び図3において、基板保持移動ユニット12は、水平移動部21、昇降部22、コンベア部23及び基板保持部24から成る。   2 and 3, the substrate holding / moving unit 12 includes a horizontal moving unit 21, a lifting / lowering unit 22, a conveyor unit 23, and a substrate holding unit 24.

水平移動部21は、Yテーブル駆動モータMyの作動によって基台11に対してY軸方向に移動するYテーブル21a、Xテーブル駆動モータMxの作動によってYテーブル21aに対してX軸方向に移動するXテーブル21b、Xテーブル21bに対してZ軸回りに回転するθテーブル21c、θテーブル21cの上面に固定されたベーステーブル21d及びベーステーブル21dの上面から上方に延びて設けられた複数の昇降テーブルガイド21eから成る。   The horizontal moving unit 21 moves in the X-axis direction with respect to the Y table 21a by the operation of the Y table 21a that moves in the Y-axis direction with respect to the base 11 by the operation of the Y-table drive motor My, and the operation of the X-table drive motor Mx. X table 21b, θ table 21c rotating around Z axis with respect to X table 21b, base table 21d fixed to the upper surface of θ table 21c, and a plurality of lifting tables provided extending upward from the upper surface of base table 21d It consists of a guide 21e.

昇降部22は、水平移動部21の複数の昇降テーブルガイド21eにガイドされてベーステーブル21dに対して昇降する昇降テーブル22a及び昇降テーブル22aの上面から上方に延びて設けられた複数の下受けユニット昇降ガイド22bから成る。   The elevating unit 22 is guided by a plurality of elevating table guides 21e of the horizontal moving unit 21 and elevates with respect to the base table 21d. The elevating unit 22a extends upward from the upper surface of the elevating table 22a. It consists of a lifting guide 22b.

図3において、コンベア部23は下受けユニット昇降ガイド22bの上端に取り付けられて昇降テーブル22aとともにベーステーブル21dに対して昇降する前後一対のベルトコンベア支持部材23aと、各ベルトコンベア支持部材23aに支持されてX軸方向に進退動作する前後一対のベルトコンベア23bから成っており、これら前後のベルトコンベア23bが同期して作動することにより、基板2のX軸方向への搬送がなされる。   In FIG. 3, the conveyor unit 23 is attached to the upper end of the receiving unit elevating guide 22b and supported by a pair of front and rear belt conveyor supporting members 23a that elevate and lower with respect to the base table 21d together with the elevating table 22a, and each belt conveyor supporting member 23a. The front and rear belt conveyors 23b are moved forward and backward in the X-axis direction, and the front and rear belt conveyors 23b are operated in synchronization, whereby the substrate 2 is transported in the X-axis direction.

図2及び図3において、基板保持部24は、コンベア部23が備える前後のベルトコンベア支持部材23aそれぞれの上部にY軸方向に移動自在に設けられた前後一対のクランプ部材24a(図1も参照)、コンベア部23の下方において、下受けユニット昇降ガイド22bにガイドされて昇降する下受けユニット支持テーブル24b及び下受けユニット支持テーブル24bの上面に設けられた下受けユニット24cから成る。下受けユニット24cは、下受けユニット支持テーブル24bとともに昇降テーブル22aに対して昇降することにより、コンベア部23上の基板2を下方から支持する。前後のクランプ部材24aは、前後のベルトコンベア23bによって両端部が支持され、下受けユニット24cによって下面が支持された基板2のY軸方向の両側部を基板2の外方から挟んでクランプする。   2 and 3, the substrate holding part 24 is a pair of front and rear clamping members 24a (see also FIG. 1) provided on the upper parts of the front and rear belt conveyor support members 23a provided in the conveyor part 23 so as to be movable in the Y-axis direction. ), A lower receiving unit support table 24b which is guided by the lower receiving unit elevating guide 22b and which is moved up and down, and a lower receiving unit 24c provided on the upper surface of the lower receiving unit supporting table 24b. The lower receiving unit 24c supports the substrate 2 on the conveyor unit 23 from below by moving up and down with respect to the lifting table 22a together with the lower receiving unit support table 24b. The front and rear clamp members 24a are clamped by sandwiching both sides in the Y-axis direction of the substrate 2 supported at both ends by the front and rear belt conveyors 23b and supported by the lower receiving unit 24c from the outside of the substrate 2.

図1及び図2において、基板保持移動ユニット12を構成するコンベア部23のX軸方向の両側(基板2の搬送方向の上流側と下流側)の位置には、スクリーン印刷機1の外部(図1及び図2の紙面左側)から投入された基板2を搬送(搬入)してコンベア部23に受け渡す基板搬入コンベア25と、コンベア部23から受け渡された基板2をスクリーン印刷機1の外部(図1及び図2の紙面右側)に搬送(搬出)する基板搬出コンベア26が備えられている。   In FIGS. 1 and 2, at the positions on both sides in the X-axis direction (upstream side and downstream side in the conveyance direction of the substrate 2) of the conveyor unit 23 that constitutes the substrate holding and moving unit 12, the screen printing machine 1 (see FIG. 1 and the substrate loading conveyor 25 that conveys (loads) the substrate 2 that has been loaded from the left side of the sheet of FIG. 2 and delivers it to the conveyor unit 23, and the substrate 2 that has been delivered from the conveyor unit 23 to the outside of the screen printer 1 A substrate carry-out conveyor 26 for carrying (carrying out) is provided (on the right side in FIG. 1 and FIG. 2).

図1及び図2において、基台11上には基板搬入コンベア25及び基板搬出コンベア26をそれぞれY軸方向に跨ぐ一対の門型フレーム28が設けられており、これら一対の門型フレーム28には、マスク13を水平姿勢に保持するマスクホルダ30が取り付けられている。   In FIG. 1 and FIG. 2, a pair of gate-shaped frames 28 are provided on the base 11 so as to straddle the substrate carry-in conveyor 25 and the substrate carry-out conveyor 26 in the Y-axis direction. A mask holder 30 for holding the mask 13 in a horizontal posture is attached.

図1及び図4において、マスク13は平面視において矩形の枠状部材から成るマスク枠13wによって四辺が支持されており、マスク枠13wによって囲まれた矩形の領域には、基板2上の複数の電極3に対応した多数のパターン孔13aが設けられている。すなわちマスク13は、基板2の電極3の配置に応じて形成された多数のパターン孔13aを有したものとなっている。   In FIG. 1 and FIG. 4, the mask 13 is supported by a mask frame 13w made of a rectangular frame-like member in plan view, and a rectangular region surrounded by the mask frame 13w has a plurality of areas on the substrate 2. A large number of pattern holes 13 a corresponding to the electrodes 3 are provided. That is, the mask 13 has a large number of pattern holes 13 a formed according to the arrangement of the electrodes 3 on the substrate 2.

図1において、基板2の対角位置には2つ一組の基板側位置決め用マークmkが設けられている。一方、図4において、マスク13には、基板側位置決め用マークmkに対応して配置された2つ一組のマスク側位置決め用マークMKが設けられている。これら基板側位置決め用マークmkとマスク側位置決め用マークMKが上下に合致する状態で基板2をマスク13に接触させると、基板2の電極3とマスク13のパターン孔13aは上下に合致した状態となる。   In FIG. 1, two sets of substrate-side positioning marks mk are provided at diagonal positions of the substrate 2. On the other hand, in FIG. 4, the mask 13 is provided with a pair of mask side positioning marks MK arranged corresponding to the substrate side positioning marks mk. When the substrate 2 is brought into contact with the mask 13 with the substrate-side positioning mark mk and the mask-side positioning mark MK aligned vertically, the electrode 3 of the substrate 2 and the pattern hole 13a of the mask 13 are aligned vertically. Become.

図4及び図5において、マスクホルダ30は、門型フレーム28に両端が取り付けられて基板保持移動ユニット12が備える基板保持部24の上方をX軸方向に(したがって水平に)延びて配置された前後一対のガイド部材31と、Y軸方向に(したがって水平に)延びるとともに前後のガイド部材31に沿ってX軸方向に移動自在に設けられ、互いに平行な姿勢を保持したままその間隔を調整可能な左右一対のマスク支持レール32とを備えている。   4 and 5, the mask holder 30 is disposed so that both ends thereof are attached to the portal frame 28 and extends in the X-axis direction (and thus horizontally) above the substrate holding portion 24 included in the substrate holding and moving unit 12. A pair of front and rear guide members 31 are provided so as to extend in the Y-axis direction (and therefore horizontally) and to be movable in the X-axis direction along the front and rear guide members 31, and the distance between the guide members 31 can be adjusted while maintaining a parallel posture. And a pair of left and right mask support rails 32.

図4及び図5において、各マスク支持レール32のX軸方向の外側の側面(マスク支持レール32同士が対向する側とは反対側の側面)には、そのマスク支持レール32を両ガイド部材31に固定する前後一対のレール固定装置33(レール固定手段)が設けられている。これら前後一対のレール固定装置33のうち前方に位置するレール固定装置33は前方のガイド部材31の上方に配置されており、前後一対のレール固定装置33のうち後方に位置するレール固定装置33は後方のガイド部材31の上方に配置されている。   4 and 5, the mask support rail 32 is attached to both guide members 31 on the outer side surface in the X-axis direction of each mask support rail 32 (the side surface opposite to the side where the mask support rails 32 face each other). A pair of front and rear rail fixing devices 33 (rail fixing means) are provided for fixing to the rail. Of the pair of front and rear rail fixing devices 33, the rail fixing device 33 positioned in the front is disposed above the front guide member 31, and the rail fixing device 33 positioned rearward of the pair of front and rear rail fixing devices 33 is It is arranged above the rear guide member 31.

各レール固定装置33はそれぞれ、ロッド部41aを上方に突没させる固定ピン昇降シリンダ41と、固定ピン昇降シリンダ41のロッド部41aの上端に一端が取り付けられて水平方向(Y軸方向)に延びた平板状部材42と、平板状部材42の他端に上端が取り付けられて下方に延びた固定ピン43(ピン状部材)を有して成り、固定ピン昇降シリンダ41のロッド部41aを昇降させることにより、平板状部材42を介して固定ピン43を上昇位置と下降位置との間で昇降させることができるようになっている(図5中に示す矢印A)。   Each rail fixing device 33 has a fixed pin elevating cylinder 41 for projecting and retracting the rod portion 41a upward, and one end attached to the upper end of the rod portion 41a of the fixed pin elevating cylinder 41 and extending in the horizontal direction (Y-axis direction). A flat plate member 42 and a fixed pin 43 (pin-shaped member) having an upper end attached to the other end of the flat plate member 42 and extending downward, and the rod portion 41a of the fixed pin lift cylinder 41 is moved up and down. Thus, the fixing pin 43 can be moved up and down between the raised position and the lowered position via the flat plate member 42 (arrow A shown in FIG. 5).

図5において、前後のガイド部材31のそれぞれの上面には、左右一対のマスク支持レール32をその間隔がスクリーン印刷機1によって使用されるマスク13の外径寸法に応じた長さになるように調節したときに(図5中に示す矢印B)、各マスク支持レール32の特定の部分(例えば、マスク支持レール32の外側の側面の下縁部分)が位置することとなる位置にY軸方向に延びたガイド線31aが設けられている。また、各ガイド部材31には、各マスク支持レール32を上記ガイド線31aに合わせた状態でそのマスク支持レール32が備えるレール固定装置33の固定ピン43を下降させて上方から嵌入させることができる固定ピン嵌入孔31bがガイド部材31の厚さ方向(Z軸方向)に延びて設けられている。   In FIG. 5, a pair of left and right mask support rails 32 are provided on the upper surfaces of the front and rear guide members 31 so that the distance between them is a length corresponding to the outer diameter of the mask 13 used by the screen printer 1. When adjusted (arrow B shown in FIG. 5), a specific portion of each mask support rail 32 (for example, the lower edge portion on the outer side surface of the mask support rail 32) is positioned in the Y-axis direction. A guide wire 31a extending in the direction is provided. In addition, each guide member 31 can be fitted from above by lowering the fixing pin 43 of the rail fixing device 33 provided in the mask support rail 32 in a state where the mask support rail 32 is aligned with the guide line 31a. A fixing pin insertion hole 31 b is provided extending in the thickness direction (Z-axis direction) of the guide member 31.

これらガイド線31a及び固定ピン嵌入孔31bは、スクリーン印刷機1によって使用される外径寸法が異なる複数種のマスク13のそれぞれについて設けられている。このため、各ガイド部材31上には、外径寸法が異なるマスク13の種類に応じた複数のガイド線31aと固定ピン嵌入孔31bが、マスク支持レール32の移動方向(X軸方向)に並んで設けられている。   The guide wire 31a and the fixed pin insertion hole 31b are provided for each of a plurality of types of masks 13 having different outer diameters used by the screen printer 1. Therefore, on each guide member 31, a plurality of guide lines 31 a and fixing pin insertion holes 31 b corresponding to the types of the masks 13 having different outer diameters are arranged in the movement direction (X-axis direction) of the mask support rail 32. Is provided.

オペレータOPは、使用するマスク13の外径寸法に応じて左右一対のマスク支持レール32の間隔調整を行うときは、各マスク支持レール32の特定の部分をガイド部材31上に並んだ複数のガイド線31aの中からマスク13の外径寸法に対応したものとして選択したひとつのガイド線31aに合わせるようにする。そして、そのマスク支持レール32の間隔調整を行った状態から、左右一対のマスク支持レール32に設けられた計4個のレール固定装置33のうち、オペレータOPからみて左側のマスク支持レール32に取り付けられた前後一対のレール固定装置33(左側のレール固定装置33)の固定ピン43を上昇位置から下降位置まで下降させて両ガイド部材31に設けられた固定ピン嵌入孔31bに嵌入させるとともに、計4個のレール固定装置33のうち、オペレータOPからみて右側のマスク支持レール32に取り付けられた前後一対のレール固定装置33(右側のレール固定装置33)の固定ピン43を上昇位置から下降位置まで下降させて両ガイド部材31に設けられた固定ピン嵌入孔31bに嵌入させることにより、間隔調整を行った状態の左右一対のマスク支持レール32を、前後一対のガイド部材31に固定することができる。   When the operator OP adjusts the distance between the pair of left and right mask support rails 32 according to the outer diameter size of the mask 13 to be used, a plurality of guides in which specific portions of the mask support rails 32 are arranged on the guide member 31 are arranged. The guide line 31a is selected so as to correspond to the outer diameter of the mask 13 from the line 31a. Then, from the state in which the distance between the mask support rails 32 is adjusted, of the four rail fixing devices 33 provided on the pair of left and right mask support rails 32, the mask support rails 32 are attached to the left mask support rail 32 as viewed from the operator OP. The fixing pins 43 of the pair of front and rear rail fixing devices 33 (the left rail fixing device 33) are lowered from the raised position to the lowered position to be fitted into the fixed pin insertion holes 31b provided in both guide members 31, and Of the four rail fixing devices 33, the fixing pins 43 of the pair of front and rear rail fixing devices 33 (the right rail fixing device 33) attached to the right mask support rail 32 as viewed from the operator OP are moved from the raised position to the lowered position. The distance is adjusted by lowering and inserting into fixed pin insertion holes 31b provided in both guide members 31. A pair of left and right mask support rails 32 in the state, can be fixed to the pair of guide members 31 back and forth.

図4及び図5において、各マスク支持レール32の内側の側面(マスク支持レール32同士が対向する側の側面)には、下方に突没自在なロッド部34aを備えたマスク固定シリンダ34が複数個ずつ(ここでは2個ずつ。計4個)設けられている。マスク13は、左右一対のマスク支持レール32の間に挿入され、マスク枠13wの先頭部がマスク支持レール32上に設けられたストッパ32a(図1も参照)に当接するまで後方に押し込まれることによってマスクホルダ30に取り付けられて左右一対のマスク支持レール32によって支持されるが、このようにマスク13が左右一対のマスク支持レール32によって支持された状態で、上記4個のマスク固定シリンダ34の各ロッド部34aを上昇位置から下降位置まで突出(下降)させてマスク枠13wの上面に上方から当接させることにより、マスク13をマスク支持レール32上に固定することができる。   4 and 5, a plurality of mask fixing cylinders 34 each having a rod portion 34a that can be protruded and retracted downward are provided on the inner side surface of each mask support rail 32 (the side surface on which the mask support rails 32 face each other). It is provided one by one (here, two each, a total of four). The mask 13 is inserted between the pair of left and right mask support rails 32 and pushed backward until the leading portion of the mask frame 13w comes into contact with a stopper 32a (see also FIG. 1) provided on the mask support rails 32. Is attached to the mask holder 30 and supported by the pair of left and right mask support rails 32. With the mask 13 being supported by the pair of left and right mask support rails 32 in this way, The mask 13 can be fixed on the mask support rail 32 by projecting (lowering) each rod portion 34a from the raised position to the lowered position and bringing it into contact with the upper surface of the mask frame 13w from above.

図1及び図2において、一対の門型フレーム28には、X軸方向に延びたX軸ステージ51の両端部がY軸方向にスライド自在に支持されている。X軸ステージ51上にはカメラ支持ステージ52がX軸方向に移動自在に設けられており、カメラ支持ステージ52には前述のカメラユニット15が取り付けられている。カメラユニット15は、撮像視野を下方に向けた第1カメラ15aと撮像視野を上方に向けた第2カメラ15bを備えている(図3)。   1 and 2, the pair of portal frames 28 support both ends of an X-axis stage 51 extending in the X-axis direction so as to be slidable in the Y-axis direction. A camera support stage 52 is provided on the X-axis stage 51 so as to be movable in the X-axis direction. The camera unit 15 is attached to the camera support stage 52. The camera unit 15 includes a first camera 15a whose imaging field is directed downward and a second camera 15b whose imaging field is directed upward (FIG. 3).

また、図1及び図2において、一対の門型フレーム28にはX軸方向に延びたスキージベース53の両端が支持されており、スキージベース53は門型フレーム28に沿ってY軸方向に往復移動自在となっている。このスキージベース53には前述の前後一対のスキージ14がY軸方向に対向して設けられている。各スキージ14はX軸方向に延びた「へら」状の部材から成り、それぞれスキージベース53に対して昇降自在に取り付けられている。   In FIGS. 1 and 2, both ends of a squeegee base 53 extending in the X-axis direction are supported by a pair of portal frames 28, and the squeegee base 53 reciprocates in the Y-axis direction along the portal frame 28. It is free to move. The squeegee base 53 is provided with the pair of front and rear squeegees 14 facing each other in the Y-axis direction. Each squeegee 14 is made of a “spar” -like member extending in the X-axis direction, and is attached to the squeegee base 53 so as to be movable up and down.

このスクリーン印刷機1において、基板2の搬送を行う基板搬送路としての基板搬入コンベア25、基板保持移動ユニット12のコンベア部23及び基板搬出コンベア26の各動作は、制御装置60(図6)が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構61(図6)の作動制御を行うことによってなされ、クランプ部材24aによる基板2のクランプ動作は、制御装置60が図示しないアクチュエータ等から成るクランプ部材作動機構62(図6)の作動制御を行うことによってなされる。   In this screen printing machine 1, the control device 60 (FIG. 6) performs each operation of the substrate carry-in conveyor 25 as a substrate carrying path for carrying the substrate 2, the conveyor unit 23 of the substrate holding and moving unit 12, and the substrate carry-out conveyor 26. Clamping operation of the substrate 2 by the clamp member 24a is performed by controlling the operation of the substrate transport path operating mechanism 61 (FIG. 6) including an actuator (not shown). The control device 60 is a clamp member operating mechanism including an actuator (not shown). This is done by performing the operation control 62 (FIG. 6).

基台11に対するYテーブル21aのY軸方向への移動、Yテーブル21aに対するXテーブル21bのX軸方向への移動、Xテーブル21bに対するθテーブル21cの(すなわちベーステーブル21dの)Z軸回りの回転、ベーステーブル21dに対する昇降テーブル22aの昇降、昇降テーブル22aに対する下受けユニット支持テーブル24bの(すなわち下受けユニット24cの)昇降の各動作は、制御装置60がYテーブル駆動モータMyやXテーブル駆動モータMxを含むアクチュエータ等から成る基板保持移動ユニット作動機構63(図6)の作動制御を行うことによってなされる。   Movement of the Y table 21a relative to the base 11 in the Y-axis direction, movement of the X table 21b relative to the Y table 21a in the X-axis direction, rotation of the θ table 21c relative to the X table 21b (ie, the base table 21d) around the Z axis The control device 60 operates the Y table drive motor My and the X table drive motor for the operations of raising and lowering the elevation table 22a relative to the base table 21d and raising and lowering the lower support unit support table 24b relative to the elevation table 22a (that is, lower support unit 24c). This is done by controlling the operation of the substrate holding / moving unit operating mechanism 63 (FIG. 6) including an actuator including Mx.

カメラユニット15の水平面内での移動動作、すなわち一対の門型フレーム28に対するX軸ステージ51のY軸方向への移動動作及びX軸ステージ51に対するカメラ支持ステージ52のX軸方向への移動動作の各制御は、制御装置60が図示しないアクチュエータから成るカメラユニット移動機構64(図6)の作動制御を行うことによってなされる。   Movement of the camera unit 15 in the horizontal plane, that is, movement of the X-axis stage 51 in the Y-axis direction with respect to the pair of portal frames 28 and movement of the camera support stage 52 in the X-axis direction with respect to the X-axis stage 51 Each control is performed when the control device 60 controls the operation of the camera unit moving mechanism 64 (FIG. 6) including an actuator (not shown).

前後のスキージ14をY軸方向に往復移動させるスキージベース53の作動制御は、制御装置60が図示しないアクチュエータ等から成るスキージ移動機構65(図6)の制御を行うことによってなされる。また、各スキージ14のスキージベース53に対する昇降動作は、制御装置60がスキージベース53の上部に取り付けられたスキージ昇降シリンダ66(図2、図3及び図6)の作動制御を行うことによってなされる。   The operation control of the squeegee base 53 for reciprocating the front and rear squeegees 14 in the Y-axis direction is performed by the control device 60 controlling a squeegee moving mechanism 65 (FIG. 6) including an actuator (not shown). Further, the raising / lowering operation of each squeegee 14 with respect to the squeegee base 53 is performed when the control device 60 controls the operation of a squeegee raising / lowering cylinder 66 (FIG. 2, FIG. 3 and FIG. 6) attached to the upper part of the squeegee base 53. .

カメラユニット15を構成する第1カメラ15aは、制御装置60に制御されて、基板保持移動ユニット12が備える基板保持部24によって保持された基板2の基板側位置決め用マークmkの撮像を行い、第2カメラ15bは、制御装置60に制御されて、マスク13に設けられたマスク側位置決め用マークMKの撮像を行う。第1カメラ15aの撮像によって得られた画像データと第2カメラ15bの撮像によって得られた画像データはともに制御装置60に入力される(図6)。   The first camera 15a constituting the camera unit 15 is controlled by the control device 60 to image the substrate side positioning mark mk of the substrate 2 held by the substrate holding unit 24 included in the substrate holding and moving unit 12, The two camera 15b is controlled by the control device 60 and images the mask side positioning mark MK provided on the mask 13. Both the image data obtained by the imaging of the first camera 15a and the image data obtained by the imaging of the second camera 15b are input to the control device 60 (FIG. 6).

図4及び図5において、左側のマスク支持レール32の前端部には、オペレータOPによって手動操作される操作手段としての押しボタン式の左側スイッチ71aを備えた左側バルブ71が設けられており、右側のマスク支持レール32の前端部には、同じくオペレータOPによって手動操作される操作手段としての押しボタン式の右側スイッチ72aを備えた右側バルブ72が設けられている。   4 and 5, a left valve 71 having a push button type left switch 71a as an operation means manually operated by an operator OP is provided at the front end of the left mask support rail 32, and the right side At the front end of the mask support rail 32, a right valve 72 having a push button type right switch 72a as an operating means which is also manually operated by the operator OP is provided.

左側のレール固定装置33を構成する前後一対の固定ピン昇降シリンダ41と左側バルブ71とは図示しない空圧管路によって繋がっており、オペレータOPが左側スイッチ71aの押圧操作或いは押圧操作の解除を行って左側バルブ71のスプール(図示せず)の位置切り替えを行うと、左側のレール固定装置33を構成する2つの固定ピン昇降シリンダ41それぞれへの空圧供給経路が切り替わって、これら2つの固定ピン昇降シリンダ41のロッド部41aが(したがってこれらロッド部41aに連結された前後一対の固定ピン43が)同時に昇降するようになっている。ここでは、オペレータOPが左側スイッチ71aを押圧操作すると左側の前後一対の固定ピン43が下降位置から上昇位置まで同時に上昇し、オペレータOPが左側スイッチ71aの押圧操作の解除をすると、左側の前後一対の固定ピン43が上昇位置から下降位置まで同時に下降する。   The pair of front and rear fixed pin elevating cylinders 41 constituting the left rail fixing device 33 and the left valve 71 are connected by a pneumatic pipe (not shown), and the operator OP performs the pressing operation of the left switch 71a or releasing the pressing operation. When the position of the spool (not shown) of the left valve 71 is switched, the pneumatic pressure supply path to each of the two fixed pin lifting cylinders 41 constituting the left rail fixing device 33 is switched, and the two fixed pins are lifted and lowered. The rod portions 41a of the cylinder 41 (and therefore the pair of front and rear fixing pins 43 connected to the rod portions 41a) are moved up and down simultaneously. Here, when the operator OP presses the left switch 71a, the left and right pair of fixing pins 43 are simultaneously raised from the lowered position to the raised position, and when the operator OP releases the pressing operation of the left switch 71a, the left and right pair of front and rear fixed pins 43 are simultaneously lifted. The fixing pins 43 of the first and second fixing pins 43 are simultaneously lowered from the raised position to the lowered position.

また、同様に、右側のレール固定装置33を構成する前後一対の固定ピン昇降シリンダ41と右側バルブ72とは図示しない空圧管路によって繋がっており、オペレータOPが右側スイッチ72aの押圧操作或いは押圧操作の解除を行って右側バルブ72のスプール(図示せず)の位置切り替えを行うと、右側のレール固定装置33を構成する2つの固定ピン昇降シリンダ41それぞれへの空圧供給経路が切り替わって、これら2つの固定ピン昇降シリンダ41のロッド部41aが(したがってこれらロッド部41aに連結された前後一対の固定ピン43が)同時に昇降するようになっている。ここでは、オペレータOPが右側スイッチ72aを押圧操作すると右側の前後一対の固定ピン43が下降位置から上昇位置まで同時に上昇し、オペレータOPが右側スイッチ72aの押圧操作の解除をすると、右側の前後一対の固定ピン43が上昇位置から下降位置まで同時に下降する。   Similarly, the pair of front and rear fixed pin elevating cylinders 41 and the right valve 72 constituting the right rail fixing device 33 are connected by a pneumatic pipe (not shown), and the operator OP presses or presses the right switch 72a. Is released and the position of the spool (not shown) of the right valve 72 is switched, the air pressure supply path to each of the two fixing pin elevating cylinders 41 constituting the right rail fixing device 33 is switched. The rod portions 41a of the two fixed pin lifting cylinders 41 (and therefore the pair of front and rear fixed pins 43 connected to the rod portions 41a) are moved up and down simultaneously. Here, when the operator OP presses the right switch 72a, the pair of right and left fixing pins 43 are simultaneously lifted from the lowered position to the raised position, and when the operator OP releases the pressing operation of the right switch 72a, The fixing pins 43 of the first and second fixing pins 43 are simultaneously lowered from the raised position to the lowered position.

図7において、基台11に設けられた操作盤70には、オペレータOPによって操作される押しボタン式のマスク固定シリンダ上昇スイッチ73aとマスク固定シリンダ下降スイッチ73bが設けられている(図6も参照)。各マスク固定シリンダ34が下降位置にある状態からオペレータOPがマスク固定シリンダ上昇スイッチ73aを押圧操作すると、制御装置60は、4個のマスク固定シリンダ34に対応して配置された4個のマスク固定シリンダ操作バルブ34bを介して、4個のマスク固定シリンダ34の各ロッド部34aを下降位置から上昇位置まで同時に上昇させる。また、この状態からオペレータOPがマスク固定シリンダ下降スイッチ73bを押圧操作すると、制御装置60は、上記4個のマスク固定シリンダ操作バルブ34bを介して、4個のマスク固定シリンダ34の各ロッド部34aを上昇位置から下降位置まで同時に下降させる。   In FIG. 7, the operation panel 70 provided on the base 11 is provided with a push button type mask fixing cylinder raising switch 73a and a mask fixing cylinder lowering switch 73b operated by an operator OP (see also FIG. 6). ). When the operator OP presses the mask fixing cylinder ascent switch 73a from the state where each mask fixing cylinder 34 is in the lowered position, the control device 60 fixes the four masks arranged corresponding to the four mask fixing cylinders 34. The respective rod portions 34a of the four mask fixing cylinders 34 are simultaneously raised from the lowered position to the raised position via the cylinder operation valve 34b. When the operator OP presses the mask fixing cylinder lowering switch 73b from this state, the control device 60 causes the rod portions 34a of the four mask fixing cylinders 34 to pass through the four mask fixing cylinder operation valves 34b. Are simultaneously lowered from the raised position to the lowered position.

次に、図8のフローチャート及び図9〜図13の説明図を加えてスクリーン印刷機1の動作手順を説明する。スクリーン印刷機1の制御装置60は、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する下降位置に位置させるとともに、下受けユニット24cを昇降テーブル22aに対する下降位置に位置させた状態で(図9(a))、図示しない検知手段によってスクリーン印刷機1の上流側に設置された他の装置等(図示せず)から基板搬入コンベア25に基板2が投入されたことを検知した場合には、基板搬入コンベア25とコンベア部23を連動作動させてスクリーン印刷機1内に基板2を搬入し(図9(a)中に示す矢印C)、更に、図示しない検知手段により、コンベア部23が搬入する基板2が所定の搬送停止位置に到達したことを検知したところでコンベア部23の作動を停止させて、基板2を静止させる(図9(b)。図8のステップST1に示す基板搬入工程)。   Next, the operation procedure of the screen printing machine 1 will be described with reference to the flowchart of FIG. 8 and the explanatory diagrams of FIGS. The control device 60 of the screen printing machine 1 places the lifting table 22a in the lowered position with respect to the base table 21d and the lower receiving unit 24c in the lowered position with respect to the lifting table 22a (FIG. 9A). When it is detected by a detection means (not shown) that the substrate 2 has been loaded into the substrate carry-in conveyor 25 from another device or the like (not shown) installed on the upstream side of the screen printing machine 1, The conveyor unit 23 is operated in conjunction to carry the substrate 2 into the screen printing machine 1 (arrow C shown in FIG. 9A), and the substrate 2 into which the conveyor unit 23 is loaded is determined by a detection means (not shown). When it is detected that the transport stop position is reached, the operation of the conveyor unit 23 is stopped and the substrate 2 is stopped (FIG. 9B). Substrate loading step shown in flop ST1).

制御装置60は、基板2の搬入が終わったら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する下降位置に位置させたまま、下受けユニット24cを(下受けユニット支持テーブル24bを)昇降テーブル22aに対して上昇させ(図10(a)中に示す矢印D1)、下受けユニット24cの上端が基板2の下面に接触したところで下受けユニット24cの上昇を停止させる(図10(a))。そして、クランプ部材24aを作動させ(図10(b)中に示す矢印E1)、コンベア部23上の基板2の両側部を前後のクランプ部材24aによりクランプする(図10(b))。   When the loading of the substrate 2 is finished, the control device 60 raises the lower receiving unit 24c (with the lower receiving unit support table 24b) with respect to the lifting table 22a while keeping the lifting table 22a at the lowered position with respect to the base table 21d. Then, when the upper end of the lower receiving unit 24c comes into contact with the lower surface of the substrate 2, the raising of the lower receiving unit 24c is stopped (FIG. 10 (a)). Then, the clamp member 24a is operated (arrow E1 shown in FIG. 10B), and both sides of the substrate 2 on the conveyor portion 23 are clamped by the front and rear clamp members 24a (FIG. 10B).

制御装置60は、前後のクランプ部材24aにより基板2をクランプしたら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する下降位置に位置させたまま、下受けユニット24cを更に昇降テーブル22aに対して上昇させて、下受けユニット24cで基板2を押し上げる(図11(a)。図中に示す矢印D2)。これにより基板2はY軸方向の両端をクランプ部材24aに対して摺動させながら上昇し(基板2はコンベア部23の両ベルトコンベア23bから上方に離間する)、下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する上昇位置に位置して基板2の上面が両クランプ部材24aの上面とほぼ同じ高さになったところで、下受けユニット24cの押し上げを停止させる。これにより基板保持部24によって基板2が保持された状態となる(図11(a)。図8のステップST2に示す基板保持工程)。   After clamping the substrate 2 with the front and rear clamping members 24a, the control device 60 further raises the lower receiving unit 24c with respect to the lifting table 22a while keeping the lifting table 22a in the lowered position with respect to the base table 21d. The substrate 2 is pushed up by the receiving unit 24c (FIG. 11 (a), arrow D2 shown in the figure). As a result, the substrate 2 is raised while sliding both ends in the Y-axis direction with respect to the clamp member 24a (the substrate 2 is separated upward from both the belt conveyors 23b of the conveyor unit 23), and the receiving unit 24c is moved to the lifting table 22a. When the upper surface of the substrate 2 is almost at the same height as the upper surfaces of the clamp members 24a, the push-up of the lower receiving unit 24c is stopped. As a result, the substrate 2 is held by the substrate holding unit 24 (FIG. 11A). The substrate holding step shown in step ST2 of FIG.

制御装置60は、上記のようにして基板保持部24により基板2を保持したら、カメラユニット移動機構64の作動制御を行い(X軸ステージ51をY軸方向に移動させるとともに、カメラ支持ステージ52をX軸方向に移動させ)、第1カメラ15aを基板2に設けられた基板側位置決め用マークmkの直上に位置させて、第1カメラ15aに基板側位置決め用マークmkの撮像を行わせる一方、第2カメラ15bをマスク13に設けられたマスク側位置決め用マークMKの直下に位置させて、第2カメラ15bにマスク側位置決め用マークMKの撮像を行わせる。そして、制御装置60は、得られた基板側位置決め用マークmkの画像データから基板2の位置を把握するとともに、得られたマスク側位置決め用マークMKの画像データからマスク13の位置を把握し、基板保持移動ユニット12が備える水平移動部21の作動制御を行って基板保持部24を(したがって基板2を)水平面内方向に移動させ、基板側位置決め用マークmkとマスク側位置決め用マークMKが上下に対向するようにして、マスク13に対する基板2の水平面内方向の位置決めを行う(図8のステップST3に示す位置決め工程)。   After holding the substrate 2 by the substrate holding unit 24 as described above, the control device 60 controls the operation of the camera unit moving mechanism 64 (moves the X-axis stage 51 in the Y-axis direction and moves the camera support stage 52). The first camera 15a is positioned immediately above the substrate-side positioning mark mk provided on the substrate 2 to cause the first camera 15a to image the substrate-side positioning mark mk, The second camera 15b is positioned immediately below the mask side positioning mark MK provided on the mask 13, and the second camera 15b is caused to image the mask side positioning mark MK. Then, the control device 60 grasps the position of the substrate 2 from the obtained image data of the substrate-side positioning mark mk, grasps the position of the mask 13 from the obtained image data of the mask-side positioning mark MK, The horizontal holding unit 21 provided in the substrate holding / moving unit 12 is controlled to move the substrate holding unit 24 (and hence the substrate 2) in the horizontal plane, and the substrate side positioning mark mk and the mask side positioning mark MK are moved up and down. The substrate 2 is positioned with respect to the mask 13 in the horizontal plane direction (positioning step shown in step ST3 of FIG. 8).

制御装置60は、上記基板2とマスク13の水平面内方向の位置決めが終わったら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対して上昇させ(図11(b)中に示す矢印F1)、基板2の被印刷面である上面をマスク13に下方から接触させる(図11(b)。図8のステップST4に示す接触工程)。これによりマスク13のパターン孔13aと基板2上の電極3とが上下方向に合致した状態となる。   When the positioning of the substrate 2 and the mask 13 in the horizontal plane direction is finished, the control device 60 raises the lifting table 22a with respect to the base table 21d (arrow F1 shown in FIG. 11B), and the substrate 2 is covered. The upper surface, which is the printing surface, is brought into contact with the mask 13 from below (FIG. 11 (b). Contacting step shown in step ST4 of FIG. 8). As a result, the pattern hole 13a of the mask 13 and the electrode 3 on the substrate 2 are aligned in the vertical direction.

制御装置60は、基板2をマスク13に接触させたら、スクリーン印刷機1の動作を一時中断したうえで、図示しないディスプレイ装置による画像表示等を介して、オペレータOPにペーストPstの供給を促す。オペレータOPは、現在マスク13上に残っているペーストPstの量に基づいて、ペーストPstの供給(補充)を行うべきかどうかの判断を行い、ペーストPstの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ80(図12(a))により、マスク13上にペーストPstの供給を行う。そして、ペーストPstの供給が終わったら、図示しない動作再開ボタンの操作を行う。オペレータOPは、ペーストPstの供給が不要と判断した場合においても、動作再開ボタンの操作を行う。   When the control device 60 brings the substrate 2 into contact with the mask 13, the operation of the screen printing machine 1 is temporarily interrupted, and the operator OP is prompted to supply the paste Pst via an image display or the like by a display device (not shown). The operator OP determines whether or not to supply (supplement) the paste Pst based on the amount of the paste Pst currently remaining on the mask 13, and determines that the supply of the paste Pst should be performed separately. The paste Pst is supplied onto the mask 13 by the prepared paste supply syringe 80 (FIG. 12A). Then, when the supply of the paste Pst is finished, an operation restart button (not shown) is operated. The operator OP operates the operation restart button even when it is determined that the supply of the paste Pst is unnecessary.

制御装置60はステップST4の後、動作再開ボタンの操作が行われたかどうかの判断を行い(図8のステップST5に示す第1の判断工程)、動作再開ボタンの操作が行われたと判断した場合には、スクリーン印刷機1の動作中断を解除し、スキージ14を(スキージベース53を)Y軸方向に往復移動させて、マスク13のパターン孔13a内にペーストPstを充填させることによって、ペーストPstを基板2の電極3上に転写させる(図8のステップST6に示す転写工程)。   When the control device 60 determines whether or not the operation restart button has been operated after step ST4 (first determination step shown in step ST5 in FIG. 8), and determines that the operation restart button has been operated In this case, the operation interruption of the screen printing machine 1 is canceled, the squeegee 14 (the squeegee base 53) is moved back and forth in the Y-axis direction, and the paste Pst is filled in the pattern holes 13a of the mask 13, whereby the paste Pst Is transferred onto the electrode 3 of the substrate 2 (transfer step shown in step ST6 of FIG. 8).

スキージ14によるペーストPstの基板2への転写動作では、先ず、前方のスキージ14(図12における紙面左側のスキージ14)を下降させてその下縁をマスク13の上面に接触(当接)させた後、スキージベース53をY軸方向の後方に移動させ、前方のスキージ14をマスク13上で摺動させることによって、後方のクランプ部材24aの上面領域までペーストPstを掻き寄せる(図12(b)中に示す矢印G1)。ペーストPstを後方のクランプ部材24aの上面領域まで掻き寄せたら、スキージベース53の移動を停止させたうえで、前方のスキージ14を上昇させてマスク13から離間させるとともに、後方のスキージ14(図12における紙面右側のスキージ14)を下降させてその下縁をマスク13の上面に接触(当接)させる。そして、スキージベース53を矢印G1とは反対の方向に移動させ、後方のスキージ14をマスク13上で摺動させることによって、前方のクランプ部材24aの上面領域までペーストPstを掻き寄せる(図12(c)中に示す矢印G2)。これによりマスク13のパターン孔13aを介して基板2の電極3上にペーストPstが転写される。   In the transfer operation of the paste Pst to the substrate 2 by the squeegee 14, first, the front squeegee 14 (the squeegee 14 on the left side in FIG. 12) is lowered and the lower edge thereof is brought into contact (contact) with the upper surface of the mask 13. Thereafter, the squeegee base 53 is moved rearward in the Y-axis direction, and the front squeegee 14 is slid on the mask 13 to scrape the paste Pst to the upper surface region of the rear clamping member 24a (FIG. 12B). Arrow G1) shown in the inside. When the paste Pst is scraped to the upper surface area of the rear clamp member 24a, the movement of the squeegee base 53 is stopped, the front squeegee 14 is lifted away from the mask 13 and the rear squeegee 14 (FIG. 12). The squeegee 14 on the right side of the paper is lowered and the lower edge thereof is brought into contact (contact) with the upper surface of the mask 13. Then, the squeegee base 53 is moved in the direction opposite to the arrow G1, and the rear squeegee 14 is slid on the mask 13 to scrape the paste Pst up to the upper surface region of the front clamp member 24a (FIG. 12 ( c) Arrow G2) shown in the figure. As a result, the paste Pst is transferred onto the electrode 3 of the substrate 2 through the pattern hole 13 a of the mask 13.

制御装置60は、基板2の電極3上にペーストPstを転写させたら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対して下降させ(図13(a)中に示す矢印F2)、マスク13から基板2を離間させる(図13(a))。これにより版離れが行われ、ペーストPstが基板2の電極3上に印刷された状態となる(図8のステップST7に示す版離れ工程)。   After transferring the paste Pst onto the electrode 3 of the substrate 2, the control device 60 lowers the lifting table 22a with respect to the base table 21d (arrow F2 shown in FIG. 13A), and removes the substrate 2 from the mask 13. They are separated (FIG. 13 (a)). As a result, plate separation is performed, and the paste Pst is printed on the electrode 3 of the substrate 2 (plate separation step shown in step ST7 of FIG. 8).

制御装置60は、基板2へのペーストPstの印刷が終了したら、クランプ部材24aを作動させて基板2のクランプを解除したうえで(図13(b)中に示す矢印E2)、下受けユニット24cを(下受けユニット支持テーブル24bを)昇降テーブル22aに対して下降させ(図13(c)中に示す矢印D3)、基板2をコンベア部23上に降ろす(図13(c))。これにより基板保持部24による基板2の保持が解除される(図8のステップST8に示す基板保持解除工程)。   When the printing of the paste Pst on the substrate 2 is finished, the control device 60 operates the clamp member 24a to release the clamp of the substrate 2 (arrow E2 shown in FIG. 13B), and then the receiving unit 24c. (The receiving unit support table 24b) is lowered with respect to the lifting table 22a (arrow D3 shown in FIG. 13C), and the substrate 2 is lowered onto the conveyor unit 23 (FIG. 13C). Thereby, the holding of the substrate 2 by the substrate holding unit 24 is released (substrate holding releasing step shown in step ST8 of FIG. 8).

制御装置60は、基板2の保持を解除したら、基板保持移動ユニット12が備える水平移動部21を作動させ、基板搬出コンベア26に対するコンベア部23の位置調整を行ったうえで、コンベア部23と基板搬出コンベア26を連動作動させ、コンベア部23上の基板2を基板搬出コンベア26に受け渡してそのまま基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する(図8のステップST9に示す基板搬出工程)。   When the holding of the substrate 2 is released, the control device 60 operates the horizontal moving unit 21 provided in the substrate holding and moving unit 12 to adjust the position of the conveyor unit 23 with respect to the substrate carry-out conveyor 26, and then the conveyor unit 23 and the substrate The carry-out conveyor 26 is operated in an interlocked manner, the substrate 2 on the conveyor unit 23 is transferred to the substrate carry-out conveyor 26, and the substrate 2 is directly carried out of the screen printing machine 1 (substrate carry-out process shown in step ST9 in FIG. 8).

制御装置60は、基板2を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板2があるかどうかの判断を行う(図8のステップST10に示す第2の判断工程)。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板2があった場合にはステップST1に戻って新たな基板2の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板2がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。   After unloading the substrate 2, the control device 60 determines whether there is another substrate 2 on which screen printing is to be performed (second determination step shown in step ST10 of FIG. 8). As a result, if there is another substrate 2 to be screen-printed, the process returns to step ST1 to carry in a new substrate 2, and if there is no other substrate 2 to be screen-printed, a series of screen printing operations. Exit.

本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、上記の手順によって基板2に対するスクリーン印刷を行うが、基板2の種類が変わって設置するマスク13の大きさが変わる場合には、オペレータOPはマスクホルダ30が備える左右一対のマスク支持レール32の間隔を変化させる作業を行ったうえで、マスクホルダ30にマスク13を設置する。   In the screen printing machine 1 according to the present embodiment, screen printing is performed on the substrate 2 by the above-described procedure. When the size of the mask 13 to be installed is changed due to the type of the substrate 2 being changed, the operator OP changes the mask holder 30. The mask 13 is set on the mask holder 30 after the operation of changing the distance between the pair of left and right mask support rails 32 included in the mask holder 30 is performed.

オペレータOPは、マスク支持レール32の間隔を変化させるときは、先ず、マスク固定シリンダ上昇スイッチ73aを押圧操作して計4個のマスク固定シリンダ34のロッド部34aを下降位置から上昇位置まで上昇させ、左右一対のマスク支持レール32に対するマスク13の固定を解除する。そして、左側スイッチ71aを押圧操作して左側の前後一対の固定ピン43を下降位置から上昇位置まで上昇させるとともに、右側スイッチ72aを押圧操作して右側の前後一対の固定ピン43を下降位置から上昇位置まで上昇させることにより、4個のレール固定装置33が備える全ての固定ピン43をガイド部材31に設けられた固定ピン嵌入孔31bから抜去させて、レール固定装置33によるマスク支持レール32のガイド部材31に対する固定を解除する(図14(a)。図中に示す矢印A1参照。レール固定解除工程)。   When changing the interval between the mask support rails 32, the operator OP first presses the mask fixing cylinder ascent switch 73a to raise the rod portions 34a of the total four mask fixing cylinders 34 from the lowered position to the raised position. Then, the fixation of the mask 13 to the pair of left and right mask support rails 32 is released. The left switch 71a is pressed to raise the left pair of front and rear fixed pins 43 from the lowered position to the raised position, and the right switch 72a is pushed to raise the right pair of front and rear fixed pins 43 from the lowered position. By raising to the position, all the fixing pins 43 provided in the four rail fixing devices 33 are removed from the fixing pin insertion holes 31b provided in the guide member 31, and the mask fixing rails 33 are guided by the rail fixing device 33. The fixing to the member 31 is released (FIG. 14A. See the arrow A1 shown in the figure. Rail fixing releasing step).

オペレータOPは、レール固定装置33によるマスク支持レール32のガイド部材31に対する固定を解除したら、その状態のまま(左側スイッチ71aと右側スイッチ72aをそれぞれ押圧操作した状態のまま)、左右一対のマスク支持レール32を前後一対のガイド部材31に沿ってX軸方向に移動させることにより、左右一対のマスク支持レール32の間隔をマスク13の外径寸法に応じて調整する(レール間隔調整工程。図14(b)中に示す矢印B)。このとき、左側のマスク支持レール32と右側のマスクレール32はそれぞれ、特定の部分がマスク13の外径寸法に対応したガイド部材31上のガイド線31aに一致するようにする。   When the operator OP releases the fixation of the mask support rail 32 to the guide member 31 by the rail fixing device 33, the operator OP remains in that state (while pressing the left switch 71a and the right switch 72a, respectively) and supports the pair of left and right masks. The distance between the pair of left and right mask support rails 32 is adjusted according to the outer diameter of the mask 13 by moving the rail 32 along the pair of front and rear guide members 31 in the X-axis direction (rail distance adjustment step, FIG. 14). (B) Arrow B shown in the figure. At this time, each of the left mask support rail 32 and the right mask rail 32 has a specific portion that coincides with the guide line 31 a on the guide member 31 corresponding to the outer diameter of the mask 13.

オペレータOPは、上記のようにして一対のマスク支持レール32の間隔をマスク13の外径寸法に応じて調節したら、左側スイッチ71aの押圧操作を解除し、左側の前後一対の固定ピン43を上昇位置から下降位置まで下降させて前後一対のガイド部材31に設けられた固定ピン嵌入孔31bに嵌入させるとともに、右側スイッチ72aの押圧操作を解除し、右側の前後一対の固定ピン43を上昇位置から下降位置まで下降させて前後一対のガイド部材31に設けられた固定ピン嵌入孔31bに嵌入(図15(a)中に示す矢印A2)させ、左右一対のマスク支持レール32を前後一対のガイド部材31に固定する(レール固定工程)。   When the operator OP adjusts the distance between the pair of mask support rails 32 according to the outer diameter of the mask 13 as described above, the operator OP releases the pressing operation of the left switch 71a and raises the pair of front and rear fixing pins 43 on the left side. It is lowered from the position to the lowered position and is fitted into the fixed pin insertion holes 31b provided in the pair of front and rear guide members 31, and the pressing operation of the right switch 72a is released, and the right pair of front and rear fixed pins 43 are moved from the raised position. The pair of left and right mask support rails 32 is moved down to the lowered position and inserted into the fixing pin insertion holes 31b provided in the pair of front and rear guide members 31 (arrow A2 shown in FIG. 15A). It fixes to 31 (rail fixing process).

オペレータOPは、上記のようにして一対のマスク支持レール32をガイド部材31に固定したら、そのガイド部材31に固定した一対のマスク支持レール32の間にマスク13を挿入し(図15(b)中に示す矢印H)、前述のように、マスク枠13wの先頭部がマスク支持レール32上に設けられたストッパ32aに当接するまで後方に押し込んで(図16(a))、一対のマスク支持レール32にマスク13の対向(ここではX軸方向に対向)する両辺部を支持させる(マスク支持工程)。   When the operator OP fixes the pair of mask support rails 32 to the guide member 31 as described above, the operator OP inserts the mask 13 between the pair of mask support rails 32 fixed to the guide member 31 (FIG. 15B). The arrow H shown in the figure), and as described above, the head portion of the mask frame 13w is pushed backward until it abuts against the stopper 32a provided on the mask support rail 32 (FIG. 16A), and a pair of mask supports Both sides of the rail 32 facing the mask 13 (here, facing in the X-axis direction) are supported (mask support process).

そして、オペレータOPは、マスク固定シリンダ下降スイッチ73bを押圧操作して4個のマスク固定シリンダ34の各ロッド部34aを上昇位置から下降位置まで下降させ(図16(b)中に示す矢印K)、4個のマスク固定シリンダ34のロッド部34aによりマスク枠13wを左右一対の支持レール32上に押し付けて固定する(図16(b)。マスク固定工程)。   Then, the operator OP presses the mask fixing cylinder lowering switch 73b to lower each rod portion 34a of the four mask fixing cylinders 34 from the raised position to the lowered position (arrow K shown in FIG. 16B). The mask frame 13w is pressed and fixed onto the pair of left and right support rails 32 by the rod portions 34a of the four mask fixing cylinders 34 (FIG. 16B, mask fixing step).

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1及びこのスクリーン印刷機1におけるマスク設置方法では、一対のマスク支持レール32の間隔が調整された状態で、各マスク支持レール32に設けられた複数(上記例では4個であったが、幾つであっても構わない)のレール固定装置33の固定ピン43を、前後一対のガイド部材31に設けられた固定ピン嵌入孔31bに嵌入させることによって左右一対のマスク支持レール32をガイド部材31に固定するようになっているので、従来のようにマスク支持レール32の間隔の調整を行うたびに螺子の着脱を行う必要がなく、マスク設置時の作業性の向上を図ることができる。   As described above, in the screen printer 1 and the mask installation method in the screen printer 1 according to the present embodiment, the mask support rails 32 are provided on the mask support rails 32 with the distance between the pair of mask support rails 32 adjusted. In addition, the fixing pins 43 of the plurality of rail fixing devices 33 (the number is four in the above example) may be inserted into the fixing pin insertion holes 31b provided in the pair of front and rear guide members 31. As a result, the pair of left and right mask support rails 32 are fixed to the guide member 31, so that it is not necessary to attach and detach the screws each time the distance between the mask support rails 32 is adjusted as in the prior art. The workability at the time can be improved.

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、手動操作される操作手段としての左側スイッチ71a及び右側スイッチ72aと、これら両スイッチ71a,72aの手動操作に応じて各レール固定装置33の固定ピン43を昇降させる、左側バルブ71、右側バルブ72及び4個の固定ピン昇降シリンダ41から成るピン状部材昇降機構を備えた構成となっているので、オペレータOPによるワンタッチ操作で固定ピン43を昇降させることができ、マスク設置時の作業性の更なる向上を図ることができるようになっている。特に、本実施の形態では、上記ピン状部材昇降機構によって、左側スイッチ71a及び右側スイッチ72aそれぞれの手動操作に応じて左右2個ずつのレール固定装置33の固定ピン43を同時に昇降させる構成となっているので、マスク支持レール32の間隔調整が非常に行い易いものとなっている。   Further, in the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the left switch 71a and the right switch 72a as operation means to be manually operated, and the fixing pin of each rail fixing device 33 according to the manual operation of both the switches 71a and 72a. 43 has a pin-like member raising / lowering mechanism comprising a left valve 71, a right valve 72, and four fixed pin raising / lowering cylinders 41, and the fixing pin 43 is raised / lowered by a one-touch operation by the operator OP. Therefore, the workability at the time of mask installation can be further improved. In particular, in the present embodiment, the pin-like member raising / lowering mechanism is configured to simultaneously raise and lower the fixing pins 43 of the left and right rail fixing devices 33 according to the manual operation of the left switch 71a and the right switch 72a. Therefore, it is very easy to adjust the distance between the mask support rails 32.

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、4個のレール固定装置33が備える各固定ピン43は上記ピン状部材昇降機構によって昇降されるようになっていたが、各固定ピン43は、上記ピン状部材昇降機構によらず、オペレータOPが手動によって昇降させる構成であってもよい。   Although the embodiments of the present invention have been described so far, the present invention is not limited to those shown in the above-described embodiments. For example, in the above-described embodiment, each fixing pin 43 included in the four rail fixing devices 33 is lifted and lowered by the pin-like member lifting mechanism. Instead of the lifting mechanism, the operator OP may be manually raised and lowered.

また、上記実施の形態では、ピン状部材昇降機構によって、左側の前後一対の固定ピン43が左側スイッチ71aの操作によって同時に昇降され、右側の前後一対の固定ピン43が右側スイッチ72aの操作によって同時に昇降されるようになっていたが、ピン状部材昇降機構は、操作手段の手動操作に応じて4個のレール固定装置33(すなわち複数のレール固定手段)のうちの少なくとも2つのレール固定装置33の固定ピン43を同時に昇降させるようになっていることが好ましく、4個の固定ピン43が、オペレータOPによって手動操作されるひとつの操作手段の操作によって同時に昇降されるようになっていてもよい。   In the above-described embodiment, the pair of left and right fixing pins 43 are simultaneously lifted and lowered by the operation of the left switch 71a by the pin-like member lifting mechanism, and the right and left pair of fixing pins 43 are simultaneously lifted by the operation of the right switch 72a. The pin-like member raising / lowering mechanism has been adapted to be lifted / lowered, but the pin-like member lifting / lowering mechanism has at least two rail fixing devices 33 out of the four rail fixing devices 33 (that is, a plurality of rail fixing devices) according to the manual operation of the operation means. It is preferable that the fixed pins 43 are simultaneously lifted and lowered, and the four fixed pins 43 may be lifted and lowered simultaneously by operation of one operating means manually operated by the operator OP. .

マスク支持レールの間隔の調整を行うたびに螺子の着脱を行う必要がなく、マスク設置時の作業性の向上を図ることができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機におけるマスク設置方法を提供する。   Provided are a screen printing machine and a mask installation method in a screen printing machine, which can improve the workability at the time of mask installation without having to attach and detach screws every time the interval of the mask support rail is adjusted.

1 スクリーン印刷機
2 基板
13 マスク
14 スキージ
24 基板保持部
31 ガイド部材
31b 固定ピン嵌入孔(ピン状部材嵌入孔)
32 マスク支持レール
33 レール固定装置(レール固定手段)
41 固定ピン昇降シリンダ(ピン状部材昇降機構)
43 固定ピン(ピン状部材)
71 左側バルブ(ピン状部材昇降機構)
71a 左側スイッチ(操作手段)
72 右側バルブ(ピン状部材昇降機構)
72a 右側スイッチ(操作手段)
Pst ペースト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Screen printer 2 Board | substrate 13 Mask 14 Squeegee 24 Board | substrate holding | maintenance part 31 Guide member 31b Fixed pin insertion hole (pin-shaped member insertion hole)
32 Mask support rail 33 Rail fixing device (rail fixing means)
41 Fixed Pin Lifting Cylinder (Pin-shaped Member Lifting Mechanism)
43 Fixing pin (pin-shaped member)
71 Left valve (Pin-shaped member lifting mechanism)
71a Left switch (operating means)
72 Right side valve (Pin-shaped member lifting mechanism)
72a Right switch (operating means)
Pst paste

Claims (6)

基板を保持する基板保持部と、
基板保持部の上方に水平に延びて配置されたガイド部材と、
ガイド部材に沿って移動自在に設けられ、互いに平行な姿勢を保持したままその間隔を調整可能な一対のマスク支持レールと、
各マスク支持レールに設けられ、一対のマスク支持レールの間隔が調整された状態で、昇降自在に設けられたピン状部材を上昇位置から下降させてガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔に嵌入させることにより一対のマスク支持レールをガイド部材に固定する複数のレール固定手段と、
ガイド部材に固定された一対のマスク支持レールにより対向する両辺部が支持された状態で、基板保持部に保持された基板と接触されるマスクと、
基板と接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクを介して基板にペーストを転写させるスキージとを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
A substrate holder for holding the substrate;
A guide member disposed horizontally extending above the substrate holder;
A pair of mask support rails that are movably provided along the guide member and that can adjust the distance while maintaining a parallel posture;
A pin-shaped member provided on each mask support rail, with the distance between the pair of mask support rails adjusted, is lowered from a raised position to a pin-shaped member insertion hole provided on the guide member. A plurality of rail fixing means for fixing the pair of mask support rails to the guide member by fitting,
A mask that is in contact with the substrate held by the substrate holding portion in a state where both sides facing each other are supported by a pair of mask support rails fixed to the guide member;
Screen printing characterized by comprising a squeegee that slides on a mask in contact with the substrate and scrapes the paste supplied on the mask onto the mask to transfer the paste to the substrate through the mask Machine.
手動操作される操作手段と、
操作手段の手動操作に応じて各レール固定手段のピン状部材を昇降させるピン状部材昇降機構とを備えたことを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷機。
Manually operated operating means;
2. The screen printing machine according to claim 1, further comprising a pin-like member lifting mechanism for raising and lowering the pin-like member of each rail fixing means in accordance with a manual operation of the operation means.
前記ピン状部材昇降機構は、操作手段の手動操作に応じて前記複数のレール固定手段のうちの少なくとも2つのレール固定手段のピン状部材を同時に昇降させることを特徴とする請求項2に記載のスクリーン印刷機。   The said pin-shaped member raising / lowering mechanism raises / lowers the pin-shaped member of at least two rail fixing means of the said plurality of rail fixing means simultaneously according to manual operation of an operating means. Screen printing machine. 基板を保持する基板保持部と、基板保持部の上方に水平に延びて配置されたガイド部材と、ガイド部材に沿って移動自在に設けられ、互いに平行な姿勢を保持したままその間隔を調整可能な一対のマスク支持レールと、各マスク支持レールに設けられ、一対のマスク支持レールの間隔が調整された状態で、昇降自在に設けられたピン状部材を上昇位置から下降させてガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔に嵌入させることにより一対のマスク支持レールをガイド部材に固定する複数のレール固定手段と、ガイド部材に固定された一対のマスク支持レールにより対向する両辺部が支持された状態で、基板保持部に保持された基板と接触されるマスクと、基板と接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクを介して基板にペーストを転写させるスキージとを備えたスクリーン印刷機におけるマスク設置方法であって、
各レール固定手段が備えるピン状部材を下降位置から上昇させることによりガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔から抜去させてレール固定手段によるマスク支持レールのガイド部材に対する固定を解除する工程と、
マスク支持レールのガイド部材に対する固定を解除した後、一対のマスク支持レールをガイド部材に沿って移動させることにより、一対のマスク支持レールの間隔をマスクの外径寸法に応じて調節する工程と、
一対のマスク支持レールの間隔をマスクの外径寸法に応じて調節した後、各レール固定手段が備えるピン状部材を上昇位置から下降させることによりガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔に嵌入させて一対のマスク支持レールをガイド部材に固定する工程と、
ガイド部材に固定した一対のマスク支持レールにマスクの対向する両辺部を支持させる工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷機におけるマスク設置方法。
A substrate holding part that holds the substrate, a guide member that extends horizontally above the substrate holding part, and a guide member that is movable along the guide member. The distance between the two can be adjusted while maintaining a parallel posture. A pair of mask support rails and a pin-like member provided on each mask support rail, the pin-like member provided so as to be able to move up and down are adjusted and provided on the guide member with the distance between the pair of mask support rails adjusted. A plurality of rail fixing means for fixing the pair of mask support rails to the guide member by being inserted into the pin-shaped member insertion holes, and opposite sides supported by the pair of mask support rails fixed to the guide member In this state, the mask that is in contact with the substrate held by the substrate holder and the mask that is in contact with the substrate slide on the mask, and the paste supplied on the mask is scraped on the mask. By, a mask installation method in the screen printing machine comprising a squeegee for transferring the paste to the substrate through a mask,
A step of lifting the pin-shaped member included in each rail fixing means from the lowered position to remove it from the pin-shaped member insertion hole provided in the guide member and releasing the fixation of the mask support rail to the guide member by the rail fixing means;
Adjusting the distance between the pair of mask support rails according to the outer diameter of the mask by moving the pair of mask support rails along the guide member after releasing the fixation of the mask support rail to the guide member;
After the distance between the pair of mask support rails is adjusted according to the outer diameter of the mask, the pin-like member provided in each rail fixing means is lowered from the raised position to be fitted into the pin-like member insertion hole provided in the guide member. And fixing the pair of mask support rails to the guide member;
And a step of supporting the opposite sides of the mask on a pair of mask support rails fixed to the guide member.
操作手段の手動操作に応じて各レール固定手段のピン状部材が昇降するようにしたことを特徴とする請求項4に記載のスクリーン印刷機におけるマスク設置方法。   5. The method of installing a mask in a screen printing machine according to claim 4, wherein the pin-like member of each rail fixing means is raised and lowered in response to a manual operation of the operating means. 操作手段の手動操作に応じて前記複数のレール固定手段のうちの少なくとも2つのレール固定手段のピン状部材を同時に昇降させるようにしたことを特徴とする請求項5に記載のスクリーン印刷機におけるマスク設置方法。   6. The mask for a screen printing machine according to claim 5, wherein the pin-like members of at least two rail fixing means among the plurality of rail fixing means are moved up and down simultaneously in response to manual operation of the operation means. Installation method.
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