JP5906398B2 - Screen printing apparatus and mask positioning method in screen printing apparatus - Google Patents

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本発明は、基板と接触したマスク上でスキージを摺動させて基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法に関するものである。   The present invention relates to a screen printing apparatus for printing a paste on a substrate by sliding a squeegee on a mask in contact with the substrate, and a mask positioning method in the screen printing apparatus.

従来のスクリーン印刷装置では、マスクをマスクホルダに対する規定の取付け位置に位置決めする場合には、マスクの前縁(オペレータから見たマスクの手前側の縁)が所定の目印と上下に一致するようにしていた。この場合目印はマスクと基板の位置合わせをする際に用いられるカメラの上面に設けられ、マスクの位置決めを行う前にカメラをオペレータの側に移動させるようにしていた(例えば特許文献1)。   In the conventional screen printing apparatus, when the mask is positioned at a predetermined mounting position with respect to the mask holder, the front edge of the mask (the edge on the front side of the mask as viewed from the operator) is aligned with a predetermined mark vertically. It was. In this case, the mark is provided on the upper surface of the camera used when aligning the mask and the substrate, and the camera is moved to the operator side before positioning the mask (for example, Patent Document 1).

特開2007−237647号公報JP 2007-237647 A

しかしながら、上記従来のマスクの位置決め方法では、マスクの前縁と目印とを上下に正確に一致させて規定の取付け位置にマスクを位置決めするには熟練が必要であった。また、カメラはマスクと基板の位置合わせ時における通常の使用の範囲を超えてオペレータ側に移動させる必要があることから、その分オペレータ側の領域にスペースが必要となってスクリーン印刷装置が大型化するという問題点もあった。   However, in the conventional mask positioning method described above, skill is required to position the mask at a predetermined mounting position by accurately matching the front edge of the mask and the mark vertically. In addition, the camera needs to be moved to the operator side beyond the range of normal use when aligning the mask and the substrate, which necessitates more space on the operator side, and the screen printing device becomes larger. There was also the problem of doing.

そこで本発明は、熟練を必要とすることなく、マスクホルダに対するマスクの正確な位置決めを行うことができ、併せて装置の大型化を防止することができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention can perform accurate positioning of the mask with respect to the mask holder without requiring skill, and at the same time, can prevent enlargement of the apparatus and a mask positioning method in the screen printing apparatus. The purpose is to provide.

本発明のスクリーン印刷装置は、マスクホルダに保持されたマスクに基板を接触させ、前記基板と接触した前記マスク上でスキージを摺動させて前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記マスクホルダに対する規定の取付け位置に位置された前記マスクの後縁を映し出すことができる所定の位置に位置されて撮像を行う撮像手段と、前記マスクホルダに設けられ、前記所定の位置に位置された前記撮像手段の撮像視野内に前記マスクの前記後縁が入る前記マスクの仮位置決め位置を標示する仮位置決め位置標示部と、前記マスクの仮位置決め位置の情報を記憶する記憶部と、前記仮位置決め位置に前記マスクが位置決めされた状態で前記撮像手段の撮像画像を表示するとともに、その撮像画像内に、前記マスクが前記規定の取付け位置に位置決め位置された場合に前記マスクの前記後縁が位置すべき位置を示す後縁位置マークを表示する画像表示手段とを備え、前記画像表示手段は、前記仮位置決め位置標示部によって標示される仮位置決め位置の情報を前記記憶部から読みだして表示する The screen printing apparatus of the present invention is a screen printing apparatus for contacting a substrate with a mask held by a mask holder and sliding a squeegee on the mask in contact with the substrate to print a paste on the substrate, An imaging means for performing imaging by being positioned at a predetermined position capable of projecting a rear edge of the mask positioned at a predetermined attachment position with respect to the mask holder; and provided at the mask holder and positioned at the predetermined position Further, a temporary positioning position indicating unit for indicating the temporary positioning position of the mask where the trailing edge of the mask enters the imaging field of view of the imaging means, a storage unit for storing information on the temporary positioning position of the mask, and the temporary The captured image of the imaging means is displayed in a state where the mask is positioned at the positioning position, and the mask is included in the captured image. And an image display means for displaying the edge position mark after indicating the trailing edge should position the position of the mask when positioned located at a fixed mounting position, the image display unit, the provisional positioning positional indicia The temporary positioning position information indicated by is read from the storage unit and displayed .

本発明のスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法は、マスクホルダに保持されたマスクに基板を接触させ、前記基板と接触した前記マスク上でスキージを摺動させて前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法であって、前記マスクホルダに対する規定の取付け位置に位置された前記マスクの後縁を映し出すことができる所定の位置に位置した撮像手段の撮像視野内に前記マスクの前記後縁が入るように、前記マスクホルダに設けられた仮位置決め位置標示部によって標示される仮位置決め位置に前記マスクを位置決めする仮位置決め工程と、前記マスクを前記仮位置決め位置に位置決めした状態で前記撮像手段の撮像画像を画像表示手段に表示するとともに、その撮像画像内に、前記マスクが前記規定の取付け位置に位置決めされた場合に前記マスクの前記後縁が位置すべき位置を示す後縁位置マークを表示する画像表示工程と、前記画像表示手段に表示される前記撮像画像を見ながら前記マスクの前記後縁が前記後縁位置マークに合うように前記マスクホルダ上で前記マスクを移動させて前記マスクを位置決めする本位置決め工程とを含み、前記仮位置決め工程で、前記画像表示手段は前記仮位置決め位置標示部によって標示される仮位置決め位置の情報を表示するA mask positioning method in a screen printing apparatus according to the present invention is a screen printing apparatus in which a substrate is brought into contact with a mask held by a mask holder, and a paste is printed on the substrate by sliding a squeegee on the mask in contact with the substrate. The mask positioning method in claim 1, wherein the trailing edge of the mask is within an imaging field of imaging means positioned at a predetermined position capable of projecting the trailing edge of the mask positioned at a predetermined mounting position with respect to the mask holder. A temporary positioning step of positioning the mask at a temporary positioning position indicated by a temporary positioning position indicator provided on the mask holder, and the imaging means in a state where the mask is positioned at the temporary positioning position. The captured image is displayed on the image display means, and the mask is placed in front of the captured image. An image display step of displaying a trailing edge position mark indicating a position where the trailing edge of the mask is to be positioned when positioned at a predetermined mounting position; and viewing the captured image displayed on the image display means It said trailing edge of the mask is the on the mask holder by moving the mask to fit the trailing edge position mark saw including a present positioning step of positioning the mask, the at provisional positioning step, said image display means Information on the temporary positioning position indicated by the temporary positioning position indicator is displayed .

本発明では、マスクホルダに対する規定の取付け位置に位置されたマスクの後縁を映し出すことができる所定の位置に位置した撮像手段の撮像視野内にマスクの後縁が入るように、マスクホルダに設けられた仮位置決め位置標示部によって標示される仮位置決め位置にマスクの位置決め(仮位置決め)を行った後、画像表示手段に表示される撮像手段の撮像画像を見ながら、マスクの後縁が後縁位置マークに合うようにマスクホルダ上でマスクを移動させてマスクの位置決め(本位置決め)を行うようになっており、マスクの位置決めに際してオペレータの個人差が生じる余地は少ないので、熟練を必要とすることなく、マスクホルダに対するマスクの正確な位置決めを行うことができる。また、マスクの後縁を映し出す撮像手段がマスクと基板との位置合わせをする際の位置合わせ用のカメラとしての用いられる場合には、位置合わせ時に必要な範囲を超えてオペレータ側に移動させる必要がないのでそのためのスペースが不要であり、スクリーン印刷装置の大型化を防止することができる。   In the present invention, the mask holder is provided in such a manner that the trailing edge of the mask enters the imaging field of the imaging means positioned at a predetermined position where the trailing edge of the mask positioned at a predetermined mounting position with respect to the mask holder can be projected. After the mask is positioned (temporary positioning) at the temporary positioning position indicated by the provisional positioning position indicator, the trailing edge of the mask is the trailing edge while viewing the captured image of the imaging means displayed on the image display means. Mask positioning (main positioning) is performed by moving the mask on the mask holder so that it matches the position mark, and there is little room for operator differences in positioning the mask, so skill is required. Therefore, accurate positioning of the mask with respect to the mask holder can be performed. In addition, when the imaging means that projects the rear edge of the mask is used as a camera for alignment when aligning the mask and the substrate, it is necessary to move the operator beyond the range required for alignment. Therefore, a space for that purpose is unnecessary, and an increase in the size of the screen printing apparatus can be prevented.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の側面図The side view of the screen printing apparatus in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の一部の平面図The top view of a part of screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the screen printing apparatus in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置のマスクホルダに対するマスクの位置決め手順を説明する図(A) (b) The figure explaining the positioning procedure of the mask with respect to the mask holder of the screen printing apparatus in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるディスプレイ装置に表示される表示画面の一例を示す図The figure which shows an example of the display screen displayed on the display apparatus with which the screen printing apparatus in one embodiment of this invention is provided. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図Operation explanatory diagram of a screen printing apparatus in an embodiment of the present invention

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1に示すスクリーン印刷装置1は基板2に対する半田ペースト等のペーストPstのスクリーン印刷を繰り返し実行する装置であり、基台3上に設けられて基板2の保持及び移動を行う基板保持移動ユニット4、基板保持移動ユニット4の上方に設けられたマスクホルダ5、マスクホルダ5によって水平姿勢に保持されたマスク6、マスクホルダ5の上方に設けられたスキージユニット7及びマスクホルダ5の下方を移動自在に設けられたカメラユニット8を備えている。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. A screen printing apparatus 1 shown in FIG. 1 is an apparatus that repeatedly executes screen printing of a paste Pst such as solder paste on a substrate 2, and is provided on a base 3 to hold and move the substrate 2. The mask holder 5 provided above the substrate holding and moving unit 4, the mask 6 held in a horizontal posture by the mask holder 5, the squeegee unit 7 provided above the mask holder 5, and the mask holder 5 can be freely moved below. The camera unit 8 is provided.

図1において、基板保持移動ユニット4は、基台3上に設けられたXYθ移動機構11によって水平面内方向移動と上下軸回り回転が可能なベーステーブル12の上方に第1昇降テーブル13と第2昇降テーブル14が下方からこの順で設けられた構成を有する。   In FIG. 1, the substrate holding / moving unit 4 includes a first lifting table 13 and a second lifting table 13 above a base table 12 that can move in a horizontal plane and rotate around a vertical axis by an XYθ moving mechanism 11 provided on a base 3. The elevating table 14 has a configuration provided in this order from below.

XYθ移動機構11は基台3上をY軸方向(図2に示すオペレータOPから見た前後方向であり、図1の紙面の左右方向)に延びたY軸テーブル11a、Y軸テーブル11a上をX軸方向(オペレータOPから見た左右方向であり、図1の紙面に直交する方向)に延びて設けられたX軸テーブル11b及びX軸テーブル11b上に設けられたθテーブル11cが段積みされて成り、Y軸テーブル11aの駆動によりX軸テーブル11bがY軸テーブル11a上をY軸方向に移動し、X軸テーブル11bの駆動によりθテーブル11cがX軸テーブル11b上をX軸方向に移動し、θテーブル11cの駆動によりベーステーブル12が図1の紙面の上下方向の軸(Z軸方向とする)回りに回転する。すなわちベーステーブル12はXYθ移動機構11によって水平面内で移動する。第1昇降テーブル13は第1昇降テーブル昇降モータ13mによってベーステーブル12に対して昇降し、第2昇降テーブル14は第2昇降テーブル昇降モータ14mによって第1昇降テーブル13に対して昇降する。   The XYθ moving mechanism 11 moves on the Y-axis table 11a and the Y-axis table 11a extending on the base 3 in the Y-axis direction (the front-rear direction as viewed from the operator OP shown in FIG. 2 and the left-right direction of the drawing in FIG. 1). The X-axis table 11b provided extending in the X-axis direction (the left-right direction as viewed from the operator OP and perpendicular to the paper surface of FIG. 1) and the θ table 11c provided on the X-axis table 11b are stacked. The X axis table 11b moves on the Y axis table 11a in the Y axis direction by driving the Y axis table 11a, and the θ table 11c moves on the X axis table 11b in the X axis direction by driving the X axis table 11b. Then, the base table 12 rotates about the vertical axis (referred to as the Z-axis direction) on the paper surface of FIG. 1 by driving the θ table 11c. That is, the base table 12 is moved in the horizontal plane by the XYθ moving mechanism 11. The first lift table 13 is lifted and lowered with respect to the base table 12 by a first lift table lift motor 13m, and the second lift table 14 is lifted and lowered with respect to the first lift table 13 by a second lift table lift motor 14m.

第1昇降テーブル13からは一対のコンベア支持部材15が第2昇降テーブル14を貫通して上方に延びて設けられており、これら一対のコンベア支持部材15によって、X軸方向に延びてY軸方向に対向配置された一対の搬送コンベア16が支持されている。一対の搬送コンベア16は基板2の両端部を下方から支持してX軸方向に搬送する。第2昇降テーブル14の上面には下受け部材17が設けられている。   A pair of conveyor support members 15 are provided from the first lift table 13 so as to penetrate the second lift table 14 and extend upward. The pair of conveyor support members 15 extend in the X-axis direction and in the Y-axis direction. A pair of transport conveyors 16 disposed opposite to each other are supported. The pair of conveyors 16 supports both ends of the substrate 2 from below and conveys them in the X-axis direction. A lower receiving member 17 is provided on the upper surface of the second lifting table 14.

一対の搬送コンベア16の上方にはY軸方向に延びてX軸方向に対向配置された一対のクランプ部材(クランパ18)が設けられている。一対のクランパ18はクランパ開閉シリンダ18sの作動によってY軸方向に開閉し、搬送コンベア16上の基板2の両端部を挟んで保持(クランプ)する。   A pair of clamp members (clampers 18) extending in the Y-axis direction and arranged to face each other in the X-axis direction are provided above the pair of conveyors 16. The pair of clampers 18 is opened and closed in the Y-axis direction by the operation of the clamper opening / closing cylinder 18s, and is held (clamped) by sandwiching both ends of the substrate 2 on the transport conveyor 16.

図1及び図2において、マスクホルダ5はY軸方向に延びてX軸方向に対向して配置された断面「L」字状の一対のマスク載置部材5aと、各マスク載置部材5aの上方に配置された複数のマスク固定シリンダ5bを有して成る。   1 and 2, the mask holder 5 extends in the Y-axis direction and is arranged to face the X-axis direction, and has a pair of mask mounting members 5a having an L-shaped cross section, and each mask mounting member 5a. It has a plurality of mask fixing cylinders 5b arranged above.

図2において、マスク6はXY平面に広がって延びた平板形状のプレート部6aとプレート部6aの外周を保持する枠状部6bから成り、枠状部6bによって囲まれたプレート部6aの矩形の領域内には基板2上の電極2aに対応するパターン孔6hが設けられている。マスク6は枠状部6bのX軸方向に対向する両辺がマスクホルダ5の一対のマスク載置部材5aにY軸方向にスライド移動自在に支持されており、規定の取付け位置に位置決めされた状態で複数のマスク固定シリンダ5bによって上方からマスク載置部材5aに押し付けられることでマスクホルダ5に保持される。マスクホルダ5に対するマスク6の取付け位置はスクリーン印刷の対象とする基板2の種類に応じて個別に規定されている。マスクホルダ5に対するマスク6の規定の取付け位置への位置決め手順については後述する。   In FIG. 2, the mask 6 is composed of a flat plate-like plate portion 6a extending in the XY plane and a frame-like portion 6b holding the outer periphery of the plate portion 6a, and the rectangular shape of the plate portion 6a surrounded by the frame-like portion 6b. A pattern hole 6 h corresponding to the electrode 2 a on the substrate 2 is provided in the region. The mask 6 is supported in such a manner that both sides of the frame-like portion 6b facing in the X-axis direction are slidably supported in the Y-axis direction on the pair of mask mounting members 5a of the mask holder 5 and are positioned at a predetermined mounting position. Then, it is held by the mask holder 5 by being pressed against the mask mounting member 5a from above by the plurality of mask fixing cylinders 5b. The attachment position of the mask 6 with respect to the mask holder 5 is individually defined according to the type of the substrate 2 to be screen printed. The positioning procedure of the mask 6 to the prescribed mounting position with respect to the mask holder 5 will be described later.

図2において、基板2の対角位置には2つ一組の基板側マーク2mが設けられており、マスク6のプレート部6aには基板側マーク2mに対応して配置された2つ一組のマスク側マーク6mが設けられている(図4(b)も参照)。これら基板側マーク2mとマスク側マーク6mとが平面視において一致する状態で基板2をマスク6に接触させると、基板2の電極2aとマスク6のパターン孔6hとが合致した状態となる。   In FIG. 2, a pair of substrate-side marks 2m are provided at diagonal positions of the substrate 2, and a set of two disposed on the plate portion 6a of the mask 6 corresponding to the substrate-side marks 2m. The mask side mark 6m is provided (see also FIG. 4B). When the substrate 2 is brought into contact with the mask 6 in a state where the substrate-side mark 2m and the mask-side mark 6m coincide with each other in plan view, the electrode 2a of the substrate 2 and the pattern hole 6h of the mask 6 are brought into agreement.

図1において、スキージユニット7は、スキージベース21の下方にY軸方向に対向配置された2つのスキージ22を備えて成り、スキージユニット移動機構23によってY軸方向に移動される。スキージユニット移動機構23は、マスクホルダ5の上方をY軸方向に延びたスキージユニット移動ボール螺子23a及びスキージユニット移動ボール螺子23aを回転駆動するスキージユニット移動モータ23bから成り、スキージユニット移動ボール螺子23aはスキージベース21に貫通螺入している。このためスキージユニット移動モータ23bによりスキージユニット移動ボール螺子23aを正逆回転させるとこれに応じてスキージベース21がY軸方向に往復移動する。2つのスキージ22はスキージベース21に設けられたスキージ昇降シリンダ24によってスキージベース21に対して個別に昇降される。   In FIG. 1, the squeegee unit 7 includes two squeegees 22 arranged opposite to each other in the Y-axis direction below the squeegee base 21, and is moved in the Y-axis direction by the squeegee unit moving mechanism 23. The squeegee unit moving mechanism 23 includes a squeegee unit moving ball screw 23a extending in the Y-axis direction above the mask holder 5 and a squeegee unit moving motor 23b for rotationally driving the squeegee unit moving ball screw 23a. Is threaded through the squeegee base 21. Therefore, when the squeegee unit moving ball screw 23a is rotated forward and backward by the squeegee unit moving motor 23b, the squeegee base 21 reciprocates in the Y-axis direction accordingly. The two squeegees 22 are individually raised and lowered with respect to the squeegee base 21 by a squeegee lifting cylinder 24 provided on the squeegee base 21.

図1及び図2において、カメラユニット8は撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ31と撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ32を有して成り、カメラユニット8はカメラユニット移動機構33によって水平面内で移動自在になっている。カメラユニット移動機構33は、マスクホルダ5の下方をY軸方向に延びて設けられたY軸ガイド34、Y軸ガイド34に一端が取付けられてX軸方向に延びたX軸ガイド35、X軸ガイド35をY軸ガイド34に沿って移動させるY軸駆動モータ34m及びX軸ガイド35に設けられたカメラユニット8をX軸ガイド35に沿って移動させるX軸駆動モータ35mから成り、カメラユニット8は、Y軸駆動モータ34mによるX軸ガイド35のY軸方向への移動と、X軸駆動モータ35mの駆動によるカメラユニット8自身のX軸方向への移動との組み合わせによって水平面内で移動される。   1 and 2, the camera unit 8 includes an upper imaging camera 31 whose imaging field is directed upward and a lower imaging camera 32 whose imaging field is directed downward. The camera unit 8 is moved by a camera unit moving mechanism 33. It can move freely in the horizontal plane. The camera unit moving mechanism 33 includes a Y-axis guide 34 that extends in the Y-axis direction below the mask holder 5, an X-axis guide 35 that has one end attached to the Y-axis guide 34 and extends in the X-axis direction, The camera unit 8 includes a Y-axis drive motor 34 m that moves the guide 35 along the Y-axis guide 34 and an X-axis drive motor 35 m that moves the camera unit 8 provided on the X-axis guide 35 along the X-axis guide 35. Is moved in the horizontal plane by a combination of movement of the X-axis guide 35 in the Y-axis direction by the Y-axis drive motor 34m and movement of the camera unit 8 itself in the X-axis direction by driving of the X-axis drive motor 35m. .

基板保持移動ユニット4が備える搬送コンベア16による基板2のX軸方向への搬送動作、第2昇降テーブル昇降モータ14mによる第2昇降テーブル14の昇降動作(後述する基板2の下面の支持動作)、クランパ開閉シリンダ18sによるクランパ18の基板クランプ動作、XYθ移動機構11による基板2の水平面内での移動動作及び第1昇降テーブル昇降モータ13mによる第1昇降テーブル13の昇降動作(後述するクランプされた基板2の昇降動作)の各制御は、スクリーン印刷装置1が備える制御装置40が行う(図3)。また、スキージユニット移動モータ23bによるスキージユニット7のY軸方向への移動動作及びスキージ昇降シリンダ24による各スキージ22の昇降動作の各制御も制御装置40が行う(図3)。更に、複数のマスク固定シリンダ5bによるマスクホルダ5へのマスク6の固定動作も、制御装置40が各マスク固定シリンダ5bを作動させることによってなされる(図3)。   An operation of transporting the substrate 2 in the X-axis direction by the transport conveyor 16 provided in the substrate holding and moving unit 4, a lifting operation of the second lifting table 14 by the second lifting table lifting motor 14 m (supporting operation of the lower surface of the substrate 2 described later), Substrate clamping operation of the clamper 18 by the clamper opening / closing cylinder 18s, movement operation of the substrate 2 in the horizontal plane by the XYθ moving mechanism 11, and raising / lowering operation of the first lifting table 13 by the first lifting table lifting motor 13m (a clamped substrate to be described later) 2 is performed by the control device 40 provided in the screen printing apparatus 1 (FIG. 3). Further, the control device 40 also performs control of the movement operation of the squeegee unit 7 in the Y-axis direction by the squeegee unit moving motor 23b and the movement of the squeegee 22 by the squeegee lifting cylinder 24 (FIG. 3). Further, the operation of fixing the mask 6 to the mask holder 5 by the plurality of mask fixing cylinders 5b is also performed by the controller 40 operating each mask fixing cylinder 5b (FIG. 3).

Y軸駆動モータ34mとX軸駆動モータ35mによるカメラユニット8の水平面内での移動動作、カメラユニット8が備える上方撮像カメラ31の撮像動作及び下方撮像カメラ32の撮像動作の各制御は制御装置40によってなされる。上方撮像カメラ31の撮像動作によって得られた画像データ及び下方撮像カメラ32の撮像動作によって得られた画像データはそれぞれ制御装置40に入力され、画像認識部40aにおいて画像認識処理される(図3)。また、上方撮像カメラ31の撮像画像は制御装置40の表示制御部40bを通じて制御装置40に繋がるディスプレイ装置41に表示される(図3)。   The control device 40 controls each of the movement operation of the camera unit 8 in the horizontal plane by the Y-axis drive motor 34m and the X-axis drive motor 35m, the imaging operation of the upper imaging camera 31 and the imaging operation of the lower imaging camera 32 provided in the camera unit 8. Made by. The image data obtained by the imaging operation of the upper imaging camera 31 and the image data obtained by the imaging operation of the lower imaging camera 32 are respectively input to the control device 40 and subjected to image recognition processing by the image recognition unit 40a (FIG. 3). . The captured image of the upper imaging camera 31 is displayed on the display device 41 connected to the control device 40 through the display control unit 40b of the control device 40 (FIG. 3).

図2及び図4(a),(b)において、マスクホルダ5の一方のマスク載置部材5aの前方位置(オペレータOPの側の位置)にはY軸方向に目盛が刻まれたスケールSCがY軸方向(マスクホルダ5に対するマスク6のスライド移動可能な方向)に延びて設けられている。   2 and 4 (a) and 4 (b), a scale SC having a scale in the Y-axis direction is provided at the front position (position on the operator OP side) of one mask placing member 5a of the mask holder 5. It extends in the Y-axis direction (direction in which the mask 6 can slide relative to the mask holder 5).

次に、スクリーン印刷装置1によるスクリーン印刷作業に先立って行われるマスクホルダ5に対するマスク6の位置決め作業の実行手順(マスク位置決め方法)とその後のマスクホルダ5へのマスク6の固定作業の実行手順について説明する。オペレータOPは、マスク6の位置決め作業を行うには、先ず、制御装置40に繋がる入力部42(図3)から、これから取付けようとするマスク6の種類を指定したマスク位置決め作業開始操作を行う。   Next, an execution procedure (mask positioning method) for positioning the mask 6 with respect to the mask holder 5 performed prior to the screen printing operation by the screen printing apparatus 1 and a subsequent execution procedure for fixing the mask 6 to the mask holder 5. explain. In order to perform the positioning operation of the mask 6, first, the operator OP performs a mask positioning operation start operation specifying the type of the mask 6 to be attached from the input unit 42 (FIG. 3) connected to the control device 40.

制御装置40は、オペレータOPによるマスク位置決め作業開始の操作入力を受けたら、カメラユニット移動機構33を構成するY軸駆動モータ34m及びX軸駆動モータ35mの作動制御を行ってカメラユニット8を水平面内で移動させ、マスクホルダ5に対する規定の取付け位置に位置したマスク6の後縁6R(オペレータOPから見たマスク6の枠状部6bの奥側の縁)を下方から映し出すことができる所定の位置(「撮像位置」と称する)に上方撮像カメラ31を位置させたうえで(図4(a))、上方撮像カメラ31の撮像画像W(動画)をディスプレイ装置41の表示画面41a(図5)に表示させる。このように上方撮像カメラ31は、マスクホルダ5に対する規定の取付け位置に位置されたマスク6の後縁6Rを映し出すことができる所定の位置(撮像位置)に位置されて撮像を行う撮像手段となっている。なお、上方撮像カメラ31が位置される撮像位置はスクリーン印刷作業の対象とする基板2の種類(したがってマスク6の種類)によって異なるが、制御装置40はオペレータOPが入力操作で指定したマスク6の種類に応じて適宜選択して設定する。   When receiving the operation input for starting the mask positioning operation by the operator OP, the control device 40 controls the operation of the Y-axis drive motor 34m and the X-axis drive motor 35m constituting the camera unit moving mechanism 33 to place the camera unit 8 in the horizontal plane. And a predetermined position at which the rear edge 6R of the mask 6 positioned at a predetermined mounting position with respect to the mask holder 5 (the rear edge of the frame 6b of the mask 6 as viewed from the operator OP) can be projected from below. After the upper imaging camera 31 is positioned (referred to as “imaging position”) (FIG. 4A), the captured image W (moving image) of the upper imaging camera 31 is displayed on the display screen 41a of the display device 41 (FIG. 5). To display. As described above, the upper imaging camera 31 is an imaging unit that performs imaging by being positioned at a predetermined position (imaging position) where the rear edge 6R of the mask 6 positioned at a predetermined mounting position with respect to the mask holder 5 can be projected. ing. Note that the imaging position where the upper imaging camera 31 is positioned differs depending on the type of the substrate 2 to be subjected to the screen printing work (and therefore the type of the mask 6), but the control device 40 has the mask 6 specified by the operator OP by the input operation. Select and set as appropriate according to the type.

図5に示すように、ディスプレイ装置41に表示される上方撮像カメラ31の撮像画像W内には、マスク6の後縁6Rの延びる方向(X軸方向)と平行な直線から成る後縁位置マークMが表示される。この後縁位置マークMは、マスク6がマスクホルダ5に対する規定の取付け位置に位置決めされた場合にマスク6の後縁6Rが位置すべき位置を示す。   As shown in FIG. 5, in the captured image W of the upper imaging camera 31 displayed on the display device 41, a trailing edge position mark composed of a straight line parallel to the extending direction (X-axis direction) of the trailing edge 6 </ b> R of the mask 6. M is displayed. The trailing edge position mark M indicates a position where the trailing edge 6R of the mask 6 should be positioned when the mask 6 is positioned at a predetermined mounting position with respect to the mask holder 5.

制御装置40の制御によって上方撮像カメラ31が撮像位置に移動され、上方撮像カメラ31の撮像視野内の画像である撮像画像Wがディスプレイ装置41の表示画面41aに表示される状態となったら、オペレータOPは、マスクホルダ5の一対のマスク載置部材5a上でマスク6の枠状部6bの左右両辺をスライドさせるようにしてマスクホルダ5上にマスク6を載置する。そして、マスクホルダ5上でマスク6をスライド移動させ、撮像位置に位置した上方撮像カメラ31の撮像視野内にマスク6の後縁6Rが入るように、スケールSCによって標示される仮位置決め位置にマスク6を位置決め(仮位置決め)する(図4(b)。仮位置決め工程)。   When the upper imaging camera 31 is moved to the imaging position under the control of the control device 40 and the captured image W that is an image within the imaging field of the upper imaging camera 31 is displayed on the display screen 41a of the display device 41, the operator The OP places the mask 6 on the mask holder 5 by sliding the left and right sides of the frame-like portion 6b of the mask 6 on the pair of mask placement members 5a of the mask holder 5. Then, the mask 6 is slid on the mask holder 5, and the mask is positioned at the temporary positioning position indicated by the scale SC so that the rear edge 6R of the mask 6 enters the imaging field of the upper imaging camera 31 located at the imaging position. 6 is positioned (temporary positioning) (FIG. 4B).

ここで、上記仮位置決め位置は、マスクホルダ5に対するマスク6の前縁6F(オペレータOPから見たマスク6の枠状部6bの手前側の縁)の位置によって規定される。仮位置決め位置は基板2の種類に応じて予め定められており、オペレータOPはその位置をスケールSCの目盛から読み取る。そして、マスク6の前縁6Fをそのマスク6に対応した仮位置決め位置に位置させる。このように本実施の形態において、スケールSCは、マスクホルダ5に設けられ、撮像位置に位置された上方撮像カメラ31の撮像視野内にマスク6の後縁6Rが入るマスク6の仮位置決め位置を標示する仮位置決め位置標示部となっている。   Here, the temporary positioning position is defined by the position of the front edge 6F of the mask 6 with respect to the mask holder 5 (the edge on the near side of the frame 6b of the mask 6 as viewed from the operator OP). The temporary positioning position is predetermined according to the type of the substrate 2, and the operator OP reads the position from the scale SC. Then, the front edge 6F of the mask 6 is positioned at a temporary positioning position corresponding to the mask 6. As described above, in the present embodiment, the scale SC is provided in the mask holder 5, and the temporary positioning position of the mask 6 where the trailing edge 6R of the mask 6 enters the imaging field of view of the upper imaging camera 31 positioned at the imaging position. It is a temporary positioning position marking part for marking.

ここで、基板2の種類に応じたマスク6の仮位置決め位置(マスク6の前縁6Fの位置)がスケールSCの目盛のどの位置に対応するかについての情報は、図5に示すように、ディスプレイ装置41の表示画面41a内の仮位置決め位置画像表示部41bに画像表示される。このとき制御装置40は、オペレータOPが入力部42から指定した基板2の種類に対応するマスク6の仮位置決め位置の情報を記憶部40c(図3)から読みだしてディスプレイ装置41に表示する。仮位置決め位置画像表示部41b中に示す目盛はスケールSC上の目盛に対応したものとなっており、このためオペレータOPは、ディスプレイ装置41の表示画面41aを見ながら仮位置決め時におけるマスク6の仮位置決め位置を確認することができる。   Here, information on which position on the scale of the scale SC the temporary positioning position of the mask 6 corresponding to the type of the substrate 2 (the position of the front edge 6F of the mask 6) corresponds, as shown in FIG. An image is displayed on the temporary positioning position image display unit 41 b in the display screen 41 a of the display device 41. At this time, the control device 40 reads information on the temporary positioning position of the mask 6 corresponding to the type of the substrate 2 designated by the operator OP from the input unit 42 from the storage unit 40c (FIG. 3) and displays it on the display device 41. The scales shown in the temporary positioning position image display unit 41b correspond to the scales on the scale SC. For this reason, the operator OP looks at the display screen 41a of the display device 41 and temporarily displays the mask 6 during temporary positioning. The positioning position can be confirmed.

なお、マスク6の仮位置決め位置は、上記のようにディスプレイ装置41の表示画面41aに画像表示する代わりに、スケールSCにマーク等を書き込んで標示するようにしてもよい。また、基板2の種類とスケールSCの目盛の位置との対応を記した対応表を用意してこれをオペレータOPの見やすい位置に取付けておくようにしてもよい。或いは、スケールSCを用いることなく、マスクホルダ5のマスク載置部材5aの前方の上面位置(スケールSCが取付けられる位置)に仮位置決め位置がマーク等により標示されるのであってもよい。   The temporary positioning position of the mask 6 may be indicated by writing a mark or the like on the scale SC instead of displaying an image on the display screen 41a of the display device 41 as described above. Alternatively, a correspondence table describing the correspondence between the type of the substrate 2 and the scale position of the scale SC may be prepared and attached to a position that is easy for the operator OP to view. Alternatively, the temporary positioning position may be marked with a mark or the like on the upper surface position (position where the scale SC is attached) in front of the mask placing member 5a of the mask holder 5 without using the scale SC.

オペレータOPが上記のようにしてマスク6の仮位置決めを行うと、上方撮像カメラ31の撮像視野内にマスク6の後縁6Rが入り、ディスプレイ装置41に表示される上方撮像カメラ31の撮像画像W内にマスク6の後縁6Rとともに上記後縁位置マークMが映し出される(図5)。すなわち、制御装置40は、マスク6が仮位置決め位置に位置決め(仮位置決め)された状態で上方撮像カメラ31の撮像画像Wをディスプレイ装置41に表示するとともに、その撮像画像W内に、マスク6が規定の取付け位置に位置決めされた場合にマスク6の後縁6Rが位置すべき位置を示す後縁位置マークMを表示する(画像表示工程)。このときディスプレイ装置41は、仮位置決め位置にマスク6が位置決め(仮位置決め)された状態で上方撮像カメラ31の撮像画像Wを表示するとともに、その撮像画像W内に、マスク6が規定の取付け位置に位置決め位置された場合にマスク6の後縁6Rが位置すべき位置を示す後縁位置マークMを表示する画像表示手段として機能する。   When the operator OP performs the temporary positioning of the mask 6 as described above, the trailing edge 6R of the mask 6 enters the imaging field of the upper imaging camera 31, and the captured image W of the upper imaging camera 31 displayed on the display device 41. The trailing edge position mark M is projected together with the trailing edge 6R of the mask 6 (FIG. 5). That is, the control device 40 displays the captured image W of the upper imaging camera 31 on the display device 41 in a state where the mask 6 is positioned at the temporary positioning position (temporary positioning), and the mask 6 is included in the captured image W. A rear edge position mark M indicating the position where the rear edge 6R of the mask 6 should be positioned when positioned at a predetermined mounting position is displayed (image display step). At this time, the display device 41 displays the captured image W of the upper imaging camera 31 in a state where the mask 6 is positioned (temporarily positioned) at the temporary positioning position, and the mask 6 is in the specified mounting position in the captured image W. When the positioning position of the mask 6 is reached, it functions as an image display means for displaying the trailing edge position mark M indicating the position where the trailing edge 6R of the mask 6 should be positioned.

ディスプレイ装置41に表示される上方撮像カメラ31の撮像画像W内にマスク6の後縁6Rが後縁位置マークMとともに映し出されたら、オペレータOPは、ディスプレイ装置41に表示される撮像画像Wを見ながら、マスク6の後縁6Rが後縁位置マークMに合うようにマスクホルダ5上でマスク6を移動させてマスク6の位置決め(本位置決め)を行う(本位置決め工程)。   When the trailing edge 6R of the mask 6 is projected together with the trailing edge position mark M in the captured image W of the upper imaging camera 31 displayed on the display device 41, the operator OP views the captured image W displayed on the display device 41. On the other hand, the mask 6 is moved on the mask holder 5 so that the trailing edge 6R of the mask 6 is aligned with the trailing edge position mark M to perform positioning (main positioning) of the mask 6 (main positioning step).

上記本位置決め工程が終了してマスクホルダ5に対するマスク6の位置決め作業が完了したら、オペレータOPはマスクホルダ5に対するマスク6の固定作業を行う。オペレータOPは、マスク6の位置決め作業の後、そのままマスク6の固定作業に移るのであればディスプレイ装置41の表示画面41aに表示された実行ボタン41c(図5)を操作し、マスク6の固定作業に移らないのであれば表示画面41aに表示された中断ボタン41d(図5)を操作する。制御装置40は、実行ボタン41cの操作入力を受けたらマスク固定シリンダ5bを作動させ、マスク6をマスクホルダ5に固定する。これによりマスクホルダ5へのマスク6の固定作業が終了する。   When the positioning operation of the mask 6 with respect to the mask holder 5 is completed after the main positioning step is completed, the operator OP performs the fixing operation of the mask 6 with respect to the mask holder 5. The operator OP operates the execution button 41c (FIG. 5) displayed on the display screen 41a of the display device 41 to move to the fixing operation of the mask 6 as it is after the positioning operation of the mask 6 to fix the mask 6. If not, the interrupt button 41d (FIG. 5) displayed on the display screen 41a is operated. When receiving the operation input of the execution button 41 c, the control device 40 operates the mask fixing cylinder 5 b to fix the mask 6 to the mask holder 5. Thereby, the fixing operation of the mask 6 to the mask holder 5 is completed.

上記のようにしてマスクホルダ5に対するマスク6の固定作業が終了したら、オペレータOPは入力部42から所定のスクリーン印刷作業開始操作を行う。スクリーン印刷作業開始操作を受けた制御装置40は、スクリーン印刷装置1の外部から投入された基板2を搬送コンベア16により受け取って搬送し、一対のクランパ18の間の下方の作業位置に基板2を位置決めする。そして、第2昇降テーブル14を第1昇降テーブル13に対して上昇させ、下受け部材17により基板2の下面を支持した後、第2昇降テーブル14を上昇させて基板2を搬送コンベア16から持ち上げ、一対のクランパ18により基板2の両端部をY軸方向からクランプして保持する。   When the work for fixing the mask 6 to the mask holder 5 is completed as described above, the operator OP performs a predetermined screen printing work start operation from the input unit 42. Upon receiving the screen printing operation start operation, the control device 40 receives the substrate 2 loaded from the outside of the screen printing device 1 by the transport conveyor 16 and transports the substrate 2 to a lower work position between the pair of clampers 18. Position. The second elevating table 14 is raised with respect to the first elevating table 13, and the lower surface of the substrate 2 is supported by the lower receiving member 17, and then the second elevating table 14 is raised to lift the substrate 2 from the transport conveyor 16. The both ends of the substrate 2 are clamped and held from the Y-axis direction by the pair of clampers 18.

制御装置40は基板2をクランプしたら、カメラユニット8をマスク6の下方領域内に移動させ、基板2に設けられた基板側マーク2mを基板2の上方から下方撮像カメラ32により撮像して基板側マーク2mの画像データを取得し、次いでマスク6に設けられたマスク側マーク6mをマスク6の下方から上方撮像カメラ31により撮像してマスク側マーク6mの画像データを取得する。そして、得られた基板側マーク2mの画像データに基づく画像認識を行って基板2の位置を算出するとともに、マスク側マーク6mの画像データに基づく画像認識を行ってマスク6の位置を算出する。   After clamping the substrate 2, the control device 40 moves the camera unit 8 into the lower region of the mask 6, and images the substrate side mark 2 m provided on the substrate 2 from above the substrate 2 by the lower imaging camera 32. Image data of the mark 2m is acquired, and then the mask side mark 6m provided on the mask 6 is imaged by the upper imaging camera 31 from below the mask 6 to acquire image data of the mask side mark 6m. Then, the position of the substrate 2 is calculated by performing image recognition based on the image data of the obtained substrate side mark 2m, and the position of the mask 6 is calculated by performing image recognition based on the image data of the mask side mark 6m.

制御装置40は、基板2の位置とマスク6の位置を算出したら、カメラユニット8をマスク6の下方領域から外れた位置に移動させる。そして、XYθ移動機構11の作動制御を行って、基板側マーク2mがマスク側マーク6mの直下に位置するように基板2を移動させる。これによりマスク6に対する基板2の位置合わせがなされる。   After calculating the position of the substrate 2 and the position of the mask 6, the control device 40 moves the camera unit 8 to a position outside the area below the mask 6. Then, the operation control of the XYθ moving mechanism 11 is performed to move the substrate 2 so that the substrate side mark 2m is positioned immediately below the mask side mark 6m. As a result, the substrate 2 is aligned with the mask 6.

制御装置40は、マスク6に対する基板2の位置合わせを行ったら、基板保持移動ユニット4の第1昇降テーブル13をベーステーブル12に対して上昇させて(図6中に示す矢印A)、基板2の上面及びクランパ18の上面をマスク6の下面に接触させる(図6)。これにより基板2の電極2aとマスク6のパターン孔6hが合致した状態となる。   After positioning the substrate 2 with respect to the mask 6, the control device 40 raises the first lifting table 13 of the substrate holding and moving unit 4 with respect to the base table 12 (arrow A shown in FIG. 6), and the substrate 2. And the upper surface of the clamper 18 are brought into contact with the lower surface of the mask 6 (FIG. 6). As a result, the electrode 2a of the substrate 2 and the pattern hole 6h of the mask 6 are brought into alignment.

制御装置40は、マスク6に基板2を接触させたら、一方のスキージ22をスキージベース21に対して下降させてその下端部をマスク6上に当接させ、スキージベース21をY軸方向に移動させることによって(図6中に示す矢印B)、スキージ22をマスク6上で摺動させる。これにより予めマスク6上に供給しておいたペーストPstがスキージ22によって掻き寄せられ、マスク6上のペーストPstが基板2の電極2aに転写される。   When the control device 40 brings the substrate 2 into contact with the mask 6, one of the squeegees 22 is lowered with respect to the squeegee base 21, and the lower end of the squeegee 22 is brought into contact with the mask 6, so By doing so (arrow B shown in FIG. 6), the squeegee 22 is slid on the mask 6. As a result, the paste Pst previously supplied onto the mask 6 is scraped by the squeegee 22, and the paste Pst on the mask 6 is transferred to the electrode 2 a of the substrate 2.

上記ペーストPstの転写工程では、制御装置40は、スキージベース21をスクリーン印刷装置1の前方から後方に(図6では紙面の左方から右方に)移動させるときには前方(図6の紙面の左側)に位置するスキージ22をマスク6に当接させ、スキージベース21をスクリーン印刷装置1の後方から前方に(図6では紙面の右方から左方に)移動させるときには後方(図6の紙面に右側))に位置するスキージ22をマスク6に当接させる。   In the transfer process of the paste Pst, the control device 40 moves forward (left side of the paper in FIG. 6) when moving the squeegee base 21 from the front to the rear of the screen printing apparatus 1 (from left to right in FIG. 6). ) Squeegee 22 is brought into contact with the mask 6, and when the squeegee base 21 is moved from the rear to the front of the screen printing apparatus 1 (from right to left in FIG. 6), it is moved backward (to the paper of FIG. 6). The squeegee 22 located on the right side)) is brought into contact with the mask 6.

制御装置40は、上記ペーストPstの転写作業が終了したら、第1昇降テーブルの13を下降させ、マスク6から基板2を離間させることによって版離れを行い、更に、一対のクランパ18による基板2の保持(クランプ)を解除した後、第2の昇降テーブル14を下降させて、基板2を搬送コンベア16に下す。そして、搬送コンベア16を作動させてスクリーン印刷装置1の外部に基板2を搬出する。これにより基板2の1枚当たりのスクリーン印刷作業が終了する。   When the transfer operation of the paste Pst is completed, the control device 40 lowers the first lifting table 13 and separates the substrate 2 from the mask 6, and further separates the plate 2. After releasing the holding (clamping), the second elevating table 14 is lowered and the substrate 2 is lowered onto the conveyor 16. Then, the conveyance conveyor 16 is operated to carry out the substrate 2 to the outside of the screen printing apparatus 1. As a result, the screen printing operation for one substrate 2 is completed.

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置1及びスクリーン印刷装置1におけるマスク位置決め方法では、マスクホルダ5に対する規定の取付け位置に位置されたマスク6の後縁6Rを映し出すことができる所定の位置(撮像位置)に位置した上方撮像カメラ31の撮像視野内にマスク6の後縁6Rが入るように、マスクホルダ5に設けられた仮位置決め位置標示部(スケールSC)によって標示される仮位置決め位置にマスク6の位置決め(仮位置決め)を行った後、ディスプレイ装置41に表示される上方撮像カメラ31の撮像画像Wを見ながら、マスク6の後縁6Rが後縁位置マークMに合うようにマスクホルダ5上でマスク6を移動させてマスク6の位置決め(本位置決め)を行うようになっており、マスク6の位置決めに際してオペレータOPの個人差が生じる余地は少ないので、熟練を必要とすることなく、マスクホルダ5に対するマスク6の正確な位置決めを行うことができる。また、マスク6の後縁6Rを映し出す上方撮像カメラ31はマスク6と基板2との位置合わせをする際の位置合わせ用のカメラとしても用いられているが、位置合わせ時に必要な範囲を超えてオペレータOP側に移動させる必要がないのでそのためのスペースが不要であり、スクリーン印刷装置1の大型化を防止することができる。   As described above, in the screen printing apparatus 1 and the mask positioning method in the screen printing apparatus 1 according to the present embodiment, the predetermined edge capable of projecting the rear edge 6 </ b> R of the mask 6 positioned at the specified mounting position with respect to the mask holder 5. Temporary positioning position marking section (scale SC) provided on the mask holder 5 so that the trailing edge 6R of the mask 6 enters the imaging field of view of the upper imaging camera 31 located at the position (imaging position). After positioning the mask 6 at the positioning position (temporary positioning), the rear edge 6R of the mask 6 is aligned with the rear edge position mark M while viewing the captured image W of the upper imaging camera 31 displayed on the display device 41. The mask 6 is moved on the mask holder 5 to position the mask 6 (main positioning). Since room is less individual difference of the operator OP occurs during positioning, skill without the need for, it is possible to perform accurate positioning of the mask 6 with respect to the mask holder 5. The upper imaging camera 31 that projects the rear edge 6R of the mask 6 is also used as an alignment camera when aligning the mask 6 and the substrate 2, but exceeds the range necessary for alignment. Since it is not necessary to move to the operator OP side, the space for that is unnecessary, and the enlargement of the screen printing apparatus 1 can be prevented.

熟練を必要とすることなく、マスクホルダに対するマスクの正確な位置決めを行うことができ、併せて装置の大型化を防止することができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法を提供する。   Provided are a screen printing apparatus and a mask positioning method in a screen printing apparatus that can accurately position a mask with respect to a mask holder without requiring skill and can prevent an increase in size of the apparatus.

1 スクリーン印刷装置
2 基板
5 マスクホルダ
6 マスク
6F 前縁
6R 後縁
22 スキージ
31 上方撮像カメラ(撮像手段)
41 ディスプレイ装置(画像表示手段)
SC スケール(仮位置決め位置標示部)
M 後縁位置マーク
W 撮像画像
Pst ペースト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Screen printer 2 Board | substrate 5 Mask holder 6 Mask 6F Front edge 6R Rear edge 22 Squeegee 31 Upper imaging camera (imaging means)
41 Display device (image display means)
SC scale (temporary positioning position marking part)
M Trailing edge position mark W Captured image Pst Paste

Claims (2)

マスクホルダに保持されたマスクに基板を接触させ、前記基板と接触した前記マスク上でスキージを摺動させて前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、
前記マスクホルダに対する規定の取付け位置に位置された前記マスクの後縁を映し出すことができる所定の位置に位置されて撮像を行う撮像手段と、
前記マスクホルダに設けられ、前記所定の位置に位置された前記撮像手段の撮像視野内に前記マスクの前記後縁が入る前記マスクの仮位置決め位置を標示する仮位置決め位置標示部と、
前記マスクの仮位置決め位置の情報を記憶する記憶部と、
前記仮位置決め位置に前記マスクが位置決めされた状態で前記撮像手段の撮像画像を表示するとともに、その撮像画像内に、前記マスクが前記規定の取付け位置に位置決め位置された場合に前記マスクの前記後縁が位置すべき位置を示す後縁位置マークを表示する画像表示手段とを備え
前記画像表示手段は、前記仮位置決め位置標示部によって標示される仮位置決め位置の情報を前記記憶部から読みだして表示することを特徴とするスクリーン印刷装置。
A screen printing apparatus for bringing a substrate into contact with a mask held by a mask holder and sliding a squeegee on the mask in contact with the substrate to print a paste on the substrate,
An imaging means for performing imaging by being positioned at a predetermined position capable of projecting a rear edge of the mask positioned at a predetermined mounting position with respect to the mask holder;
A temporary positioning position indicating unit that is provided in the mask holder and indicates the temporary positioning position of the mask where the trailing edge of the mask enters the imaging field of the imaging means positioned at the predetermined position;
A storage unit for storing information on a temporary positioning position of the mask;
The captured image of the imaging means is displayed in a state where the mask is positioned at the temporary positioning position, and when the mask is positioned at the specified mounting position in the captured image, the rear of the mask is displayed. Image display means for displaying a trailing edge position mark indicating a position where the edge should be located ;
The screen printing apparatus , wherein the image display means reads out and displays information on a temporary positioning position indicated by the temporary positioning position indication unit from the storage unit .
マスクホルダに保持されたマスクに基板を接触させ、前記基板と接触した前記マスク上でスキージを摺動させて前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法であって、
前記マスクホルダに対する規定の取付け位置に位置された前記マスクの後縁を映し出すことができる所定の位置に位置した撮像手段の撮像視野内に前記マスクの前記後縁が入るように、前記マスクホルダに設けられた仮位置決め位置標示部によって標示される仮位置決め位置に前記マスクを位置決めする仮位置決め工程と、
前記マスクを前記仮位置決め位置に位置決めした状態で前記撮像手段の撮像画像を画像表示手段に表示するとともに、その撮像画像内に、前記マスクが前記規定の取付け位置に位置決めされた場合に前記マスクの前記後縁が位置すべき位置を示す後縁位置マークを表示する画像表示工程と、
前記画像表示手段に表示される前記撮像画像を見ながら前記マスクの前記後縁が前記後縁位置マークに合うように前記マスクホルダ上で前記マスクを移動させて前記マスクを位置決めする本位置決め工程とを含み、
前記仮位置決め工程で、前記画像表示手段は前記仮位置決め位置標示部によって標示される仮位置決め位置の情報を表示することを特徴とするスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法。
A mask positioning method in a screen printing apparatus for contacting a substrate to a mask held by a mask holder and sliding a squeegee on the mask in contact with the substrate to print a paste on the substrate,
The mask holder is placed on the mask holder so that the trailing edge of the mask enters the imaging field of the imaging means located at a predetermined position where the trailing edge of the mask positioned at a predetermined mounting position with respect to the mask holder can be projected. A temporary positioning step of positioning the mask at a temporary positioning position indicated by the provisional positioning position indicator provided;
When the mask is positioned at the temporary positioning position, the captured image of the imaging unit is displayed on the image display unit, and when the mask is positioned at the specified mounting position in the captured image, An image display step of displaying a trailing edge position mark indicating a position where the trailing edge is to be located;
A main positioning step of positioning the mask by moving the mask on the mask holder so that the trailing edge of the mask is aligned with the trailing edge position mark while viewing the captured image displayed on the image display means; only including,
The mask positioning method in a screen printing apparatus , wherein in the temporary positioning step, the image display means displays information on a temporary positioning position marked by the temporary positioning position marking unit .
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI594893B (en) * 2014-12-24 2017-08-11 Komori Corp Electronic circuit printing method and device
JP2019196511A (en) * 2018-05-08 2019-11-14 住友重機械工業株式会社 Plate processor and plate processing method
CN109466189A (en) * 2018-12-21 2019-03-15 昆山森特斯印刷技术有限公司 Chromatography positioning device and chromatography positioning system with the chromatography positioning device
CN111660657B (en) * 2020-05-15 2022-03-01 南京林美鑫电子科技有限公司 Printing device for silicone rubber keys

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19614740A1 (en) * 1996-04-15 1997-10-16 Kammann Maschf Werner Method and device for printing self-supporting individual objects
JP2003237031A (en) * 2002-02-13 2003-08-26 Dainippon Printing Co Ltd Alignment device for screen printing
JP4386428B2 (en) * 2004-06-09 2009-12-16 ニューロング精密工業株式会社 Method and apparatus for aligning plates in screen printing
JP4944407B2 (en) * 2005-08-01 2012-05-30 富士機械製造株式会社 Screen / substrate alignment method and apparatus
JP4857828B2 (en) * 2006-03-10 2012-01-18 パナソニック株式会社 Screen printing apparatus and screen printing method
JP4858522B2 (en) * 2008-09-30 2012-01-18 パナソニック株式会社 Screen printing machine and screen printing method

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