JP4851797B2 - 液体ホーニング加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、感光ドラム基体用パイプの素管等の様々な筒状ワークについてその表面を粗面化するために好適に用いられる液体ホーニング加工装置に関する。

例えば電子複写機、レーザプリンタ等に搭載される感光ドラムにおける、セレンや有機感光体等の光電導性の感光層を支持する感光ドラム基体は、アルミニウム（その合金を含む。）等の金属製パイプから形成されている。このパイプは、高い寸法精度（例：真直度）が要求される上、更に、高品位な画像を得るために高い表面精度が要求される。

ところで、このパイプは、多くの場合、引抜き加工により得られた素管から製作されているが、このような素管は不均一な表面状態であることが多い。そこで、従来では、素管の表面を均一化（例えば均一に粗面化）するために、素管の表面を液体ホーニング加工している。（例えば特許文献１−３参照）。

従来の液体ホーニング加工では、図５に示すように、素管としての筒状ワーク（100）を鉛直に配置したのち、ワーク（100）の上下両端開口内にそれぞれ対応する上下各ワーク保持部（101）（102）の嵌込み部（101a）（102a）を嵌め込むことにより、ワーク（100）を鉛直状態に保持している。そしてこの状態で、下ワーク保持部（102）を回転駆動させてワーク（100）を自軸回転させながら、ホーニングガン（103）によりホーニング液（104）をワーク（100）の表面に吹き付けることにより、ワーク（100）の表面を粗面化している。

上ワーク保持部（101）は、鉛直に配置され且つ軸方向に昇降する昇降軸（105）の下端部に、上ワーク保持部（101）の内部に設けられたラジアル軸受け（図示せず）を介して回転自在に取り付けられており、これにより、上ワーク保持部（101）はワーク（100）の自軸回転動作に対して従動回転するものとなされている。

また、下ワーク保持部（102）は、鉛直に配置され且つワーク（100）を自軸回転させる回転駆動軸（106）の上端部に一体に設けられている。また、回転駆動軸（106）は、ラジアル軸受け（図示せず）を介して支持体（図示せず）に鉛直に支持されている。
特開２００４−２４６１２４号公報 特開平６−３５２１１号公報 特開２００２−２９２５６７号公報

而して、液体ホーニング加工時においては、ホーニング液（104）が上ワーク保持部（101）の内部に設けられた軸受けに浸入する場合がある。そうなると、この軸受けの回転機能が損なわれ、上ワーク保持部（101）が円滑に回転しなくなる。その結果、上ワーク保持部（101）がワーク（100）に対して従動回転できず、上ワーク保持部（101）とワーク（100）との間で回転差が生じ、図７に示すように、該ワーク（100）の内表面の上端部に周方向に傷（Ｋ）が付く。この傷（Ｋ）でバリが形成されると、ワーク（100）を例えば感光ドラム基体として使用する場合に、ワーク（100）の端面にフランジを適正状態に装着できなくなる虞がある。更には、この傷発生時に生じたワークの微細な切粉がワーク（100）の表面に付着し、ワーク（100）の表面品質が低下するという問題も発生する。

さらに、液体ホーニング加工時においては、ホーニング液（104）が回転駆動軸（106）用の軸受けに浸入する場合がある。そうなると、この軸受けに摩耗が生じ、その結果、自軸回転しているワーク（100）が図６に示すように首振り回転運動し、上ワーク保持部（101）とワーク（100）が強く接触するようになり、やはりワーク（100）の内表面の上端部に周方向に傷（Ｋ）が付いてしまう。

本発明は、上述した技術背景を鑑みてなされたもので、その目的は、ワーク保持部が円滑に回転可能な液体ホーニング加工装置、該加工装置を備えたパイプの製造装置、前記加工装置を用いた液体ホーニング加工方法、及び前記加工装置を用いたパイプの製造方法を提供することにある。

本発明は以下の手段を提供する。

［１］ ホーニング槽内に略鉛直に配置される筒状ワークの上端開口内に嵌め込まれる嵌込み部を有する上ワーク保持部が、前記ホーニング槽内に略鉛直に配置され且つワークの自軸回転動作に対して従動回転する従動回転軸の下端部に一体に設けられるとともに、前記ホーニング槽内における該ホーニング槽の天壁部の下側に、ホーニング液浸入阻止状態に密閉された回転軸継手収納用箱体が配置されており、略鉛直に配置され且つ軸方向に昇降する昇降軸が前記ホーニング槽の天壁部の上側から該天壁部を貫通して前記箱体内に挿入されるとともに、前記従動回転軸が前記箱体の底壁部の下側から該底壁部を貫通して前記箱体内に挿入されており、前記箱体の内部において、前記昇降軸と前記従動回転軸とが互いに同一軸線上に並んだ状態で前記昇降軸の下端部に前記従動回転軸の上端部が回転軸継手を介して回転自在に連結されていることを特徴とする液体ホーニング加工装置。

［２］ 前記箱体の内部にガスが供給されるように構成されている前項１記載の液体ホーニング加工装置。

［３］ 前記回転軸継手は、ボールベアリング用ハウジングと、前記ハウジング内に装填されたボールベアリングとを備え、前記回転駆動軸の下端部に前記ハウジングが一体に設けられるとともに、前記従動回転軸の上端部が前記ハウジング内において前記ボールベアリングを介して回転自在に保持されている前項１又は２記載の液体ホーニング加工装置。

［４］ 前記箱体の天壁部が前記ホーニング槽の天壁部で構成されている前項１〜３のいずれか１項記載の液体ホーニング加工装置。

［５］ ワークの下端開口内に嵌め込まれる嵌込み部を有する下ワーク保持部が、前記ホーニング槽内に略鉛直に配置され且つワークを自軸回転させる回転駆動軸の上端部に一体に設けられるとともに、前記ホーニング槽内に配置された回転駆動軸用支持体に軸挿通孔が略鉛直方向に延設され、前記回転駆動軸が前記軸挿通孔にその内側に軸方向に互いに離間して装填された複数個のボールベアリングを介して回転自在に挿通されており、前記複数個のボールベアリングのうち前記軸挿通孔の軸方向に互いに隣り合う二個のボールベアリング間における、前記回転駆動軸の周面と前記軸挿通孔の周面との間の隙間に、ガスが供給されるように構成されている前項１〜４のいずれか１項記載の液体ホーニング加工装置。

［６］ 前記ホーニング槽内における前記支持体の下側に、ホーニング液浸入阻止状態に密閉された伝動装置収納用箱体が配置されるとともに、前記回転駆動軸に駆動源の駆動力を伝達する伝動装置が、前記箱体の内部に収納されている前項５記載の液体ホーニング加工装置。

［７］ 前記駆動源は、前記ホーニング槽の外側に配置されている前項６記載の液体ホーニング加工装置。

［８］ 前記伝動装置収納用箱体は、複数個の壁板から組み立てられたものであり、且つ、前記複数個の壁板のうち互いに隣接する２個の壁板間にシール部材が介在されている前項６又は７記載の液体ホーニング加工装置。

［９］ 前記回転駆動軸の下端部が、前記伝動装置収納用箱体の底壁部に設けられた軸挿通孔にその内側に装填された軸受けを介して回転自在に挿通されており、前記下ワーク保持部の嵌込み部にはエアピッカーが設けられており、前記エアピッカーに対してエアを供給及び排出するエア給排孔が前記下ワーク保持部及び前記回転駆動軸にその軸方向に順次延設されるとともに、前記回転駆動軸の下端面に前記エア給排孔のエア給排口が設けられ、前記ホーニング槽内において、前記伝動装置収納用箱体の底壁部の下面に、前記エア給排口と該エア給排口に接続されたエア給排管とを覆う態様にして、断面略Ｕ字状のエア給排管カバーがホーニング液浸入阻止状態に取り付けられている前項６〜８のいずれか１項記載の液体ホーニング加工装置。

［１０］ 前記伝動装置収納用箱体の底壁部の下面に前記カバーがシール部材を介して取り付けられている前項９記載の液体ホーニング加工装置。

［１１］ ホーニング槽内に略鉛直に配置される筒状ワークの下端開口内に嵌め込まれる嵌込み部を有する下ワーク保持部が、前記ホーニング槽内に略鉛直に配置され且つワークを自軸回転させる回転駆動軸の上端部に一体に設けられるとともに、前記ホーニング槽内に配置された回転駆動軸用支持体に軸挿通孔が略鉛直方向に延設され、前記回転駆動軸が前記軸挿通孔にその内側に軸方向に互いに離間して装填された複数個のボールベアリングを介して回転自在に挿通されており、前記複数個のボールベアリングのうち前記軸挿通孔の軸方向に互いに隣り合う二個のボールベアリング間における、前記回転駆動軸の周面と前記軸挿通孔の周面との間の隙間に、ガスが供給されるように構成されていることを特徴とする液体ホーニング加工装置。

［１２］ 前記ホーニング槽内における前記支持体の下側に、ホーニング液浸入阻止状態に密閉された伝動装置収納用箱体が配置されるとともに、前記回転駆動軸に駆動源の駆動力を伝達する伝動装置が、前記箱体の内部に収納されている前項１１記載の液体ホーニング加工装置。

［１３］ 前記駆動源は、前記ホーニング槽の外側に配置されている前項１２記載の液体ホーニング加工装置。

［１４］ 前記伝動装置収納用箱体は、複数個の壁板から組み立てられたものであり、且つ、前記複数個の壁板のうち互いに隣接する２個の壁板間にシール部材が介在されている前項１２又は１３記載の液体ホーニング加工装置。

［１５］ 前記回転駆動軸の下端部が、前記伝動装置収納用箱体の底壁部に設けられた軸挿通孔にその内側に装填された軸受けを介して回転自在に挿通されており、前記下ワーク保持部の嵌込み部にはエアピッカーが設けられており、前記エアピッカーに対してエアを供給及び排出するエア給排孔が前記下ワーク保持部及び前記回転駆動軸にその軸方向に順次延設されるとともに、前記回転駆動軸の下端面に前記エア給排孔のエア給排口が設けられ、前記ホーニング槽内において、前記伝動装置収納用箱体の底壁部の下面に、前記エア給排口と該エア給排口に接続されたエア給排管とを覆う態様にして、断面略Ｕ字状のエア給排管カバーがホーニング液浸入阻止状態に取り付けられている前項１１〜１４のいずれか１項記載の液体ホーニング加工装置。

［１６］ 前記伝動装置収納用箱体の底壁部の下面に前記カバーがシール部材を介して取り付けられている前項１５記載の液体ホーニング加工装置。

［１７］ ワークは、感光ドラム基体用パイプの素管である前項１〜１６のいずれか１項記載の液体ホーニング加工装置。

［１８］ 素管の表面を加工する液体ホーニング加工装置を備えたパイプの製造装置において、前記液体ホーニング加工装置として、前項１〜１６のいずれか１項記載の液体ホーニング加工装置を備えていることを特徴とするパイプの製造装置。

［１９］ パイプは、感光ドラム基体用パイプである前項１８記載のパイプの製造装置。

［２０］ 前項１〜１６のいずれか１項記載の液体ホーニング加工装置を用いてワークの表面を粗面化する液体ホーニング加工方法。

［２１］ 素管の表面を粗面化する液体ホーニング加工工程を含むパイプの製造方法において、前記液体ホーニング加工工程では、前項１〜１６のいずれか１項記載の液体ホーニング加工装置を用いて素管の表面を粗面化することを特徴とするパイプの製造方法。

本発明は以下の効果を奏する。

［１］の発明では、ホーニング液浸入阻止状態に密閉された箱体の内部において、昇降軸の下端部に従動回転軸の上端部が回転軸継手を介して回転自在に連結されているので、ホーニング液が回転軸継手に付着するのを防止することができて、上ワーク保持部の円滑な回転動作を長期に亘って維持することができるし、上ワーク保持部とワークとの間の回転差を生じなくなり、もってワークの内表面の上端部に傷が付く不具合を防止することができる。

［２］の発明では、液体ホーニング加工時に箱体の内部にガスを供給することにより、ホーニング液が箱体内部に浸入するのを確実に防止することができる。

［３］の発明では、昇降軸の下端部に従動回転軸の上端部を確実に回転自在に連結することができる。

［４］の発明では、箱体の天壁部がホーニング槽の天壁部で構成されているので、箱体の構造を簡素化することができる。

［５］の発明では、液体ホーニング加工時にガスを所定の隙間に供給することにより、ホーニング液が回転駆動軸用のボールベアリングに付着するのを防止することができて、回転駆動軸の円滑な回転動作を長期に亘って維持することができる。これにより、ワークの首振り回転運動を確実に防止することができ、もってワークの内表面の上端部に傷が付く不具合を確実に防止することができる。

［６］の発明では、ホーニング液浸入阻止状態に密閉された箱体の内部に伝動装置が収納されているので、ホーニング液が伝動装置に付着することによる伝動装置の損傷を防止することができる。さらに、伝動装置に付着した油や伝動装置から発生する粉塵等の異物でホーニング槽の内部を汚染する不具合を防止することができ、もってワークの表面を良好に粗面化することができる。

［７］の発明では、駆動源がホーニング槽の外側に配置されているので、駆動源に付着した油や駆動源から発生する粉塵等の異物でホーニング槽の内部を汚染する不具合を防止することができ、もってワークの表面を更に良好に粗面化することができる。

［８］の発明では、ホーニング液が伝動装置収納用箱体の内部に浸入するのを確実に防止することができる。

［９］の発明では、ホーニング液がエア給排口とエア給排管との接続部に生じた隙間からエア給排孔へ浸入する不具合をカバーによって防止することができる。さらに、エア給排管の表面に付着した塵埃等の異物でホーニング槽の内部が汚染される不具合を防止することができる。

［１０］の発明では、ホーニング液がカバーの内側へ浸入する不具合を確実に防止することができる。

［１１］の発明では、液体ホーニング加工時にガスを所定の隙間に供給することにより、ホーニング液が回転駆動軸用のボールベアリングに付着するのを防止することができて、回転駆動軸の円滑な回転動作を長期に亘って維持することができる。これにより、ワークの首振り回転運動を確実に防止することができ、もってワークの内表面の上端部がホーニング液中の砥粒で傷付く不具合を防止することができる。

［１２］の発明では、ホーニング液が伝動装置に付着することによる伝動装置の損傷を防止することができる。さらに、伝動装置に付着した油や伝動装置から発生する粉塵等の異物でホーニング槽の内部を汚染する不具合を防止することができ、もってワークの表面を良好に粗面化することができる。

［１３］の発明では、駆動源に付着した油や駆動源から発生する粉塵等の異物でホーニング槽の内部を汚染する不具合を防止することができ、もってワークの表面を更に良好に粗面化することができる。

［１４］の発明では、ホーニング液が伝動装置収納用箱体の内部に浸入するのを確実に防止することができる。

［１５］の発明では、ホーニング液がエア給排口とエア給排管との接続部に生じた隙間からエア給排孔へ浸入する不具合をカバーによって防止することができる。さらに、エア給排管の表面に付着した塵埃等の異物でホーニング槽の内部が汚染される不具合を防止することができる。

［１６］の発明では、ホーニング液がカバーの内側へ浸入する不具合を確実に防止することができる。

［１７］の発明では、感光ドラム基体用パイプの素管の表面を良好に粗面化することができる。

［１８］の発明では、素管の表面を良好に粗面化することができるパイプの製造装置を提供できる。

［１９］の発明では、感光ドラム基体用パイプの素管の表面を良好に粗面化することができるパイプの製造装置を提供できる。

［２０］の発明では、ワークの表面を良好に粗面化することができる液体ホーニング加工方法を提供できる。

［２１］の発明では、素管の表面を良好に粗面化することができるパイプの製造方法を提供できる。

次に、本発明の一実施形態を図面を参照して以下に説明する。

図１において、（１）は、本発明の一実施形態に係る液体ホーニング加工装置である。この液体ホーニング加工装置（１）により加工されるワーク（Ｗ）は、精密パイプの素管であり、詳述すると、電子複写機、レーザプリンタ、ＦＡＸ装置等に搭載される感光ドラムの基体に用いられるパイプの素管、即ち感光ドラム基体用パイプの素管である。

このワーク（素管）（Ｗ）は、所定長さに設定された円筒状のものであり、引抜き加工により得られたアルミニウム（その合金を含む、以下同じ。）製の引抜き管からなる。例えば、このワーク（Ｗ）の長さは２００〜４５０ｍｍ、外径は１５〜５０ｍｍ、肉厚は０．５〜２ｍｍに設定されている。

なお本発明では、ワーク（Ｗ）はアルミニウム製のものに限定されるものではなく、他の金属製のものであっても良いし、他の材料製のものであっても良い。また、ワーク（Ｗ）の形状は円筒状に限定されるものではなく、筒状であれば良い。

本実施形態では、ワーク（Ｗ）の表面（詳述するとワーク（Ｗ）の外表面）をこの液体ホーニング加工装置（１）を用いて液体ホーニング加工する（即ち粗面化する）ことにより、感光ドラム基体用パイプが製造される。換言すると、この液体ホーニング加工装置（１）は、感光ドラム基体用パイプの製造装置に備えられた、ワーク（素管）（Ｗ）の表面を加工（粗面化）するためのものである。なお、ワーク（Ｗ）の表面は、例えばＲｚが１〜３μｍの範囲になるように加工される。ただし本発明では、ワーク（Ｗ）の表面のＲｚがこの範囲になるように加工されることに限定されるものではない。

この液体ホーニング加工装置（１）は、ホーニング槽（２）を備えるとともに、このホーニング槽（２）内で複数個（本実施形態では７個）のワーク（Ｗ）の表面を一括して加工するものである。加工時には、ワーク（Ｗ）はホーニング槽（２）内において鉛直に配置されるとともに、この鉛直姿勢で自軸回転される。

ホーニング槽（２）内には、鉛直に配置されたワーク（Ｗ）の上下両端面に取り付けられワーク（Ｗ）を鉛直姿勢に保持する上下一対のプラスチック製ワーク保持部（３）（11）が複数組（本実施形態では７組）配置されている。さらに、ホーニング槽（２）内には、ホーニング液（Ｈ）を噴出するホーニングガン（Ｇ）が各ワーク（Ｗ）に対応して配置されている。

ホーニング液（Ｈ）には砥粒が含有されている。砥粒は、酸化アルミニウム、酸化カルシウム、炭化珪素、窒化珪素、窒化ホウ素等からなる。また、ホーニング液（Ｈ）における砥粒濃度は、例えば５〜１５vol％の範囲に設定される。ただし本発明では、砥粒濃度はこの範囲に限定されるものではない。

図１において、（2a）、（2b）及び（2c）は、それぞれホーニング槽（２）の天壁部、底壁部及び側壁部である。

上ワーク保持部（３）は、断面円形状のものであり、図２に示すように、ワーク（Ｗ）の上端開口（Wa）内に適合状態に嵌め込まれる、下方に突出した略円錐台状態の嵌込み部（3a）を一体に有している。さらに、この上ワーク保持部（３）において、該上ワーク保持部（３）の周面と嵌込み部（3a）の周面との間の段差面によって環状のワーク着座面（3b）が形成されている。

この上ワーク保持部（３）は、ホーニング槽（２）内に鉛直に配置された従動回転軸（４）の下端部に一体に設けられ、従動回転軸（４）と一体に回転するものとなされている。本実施形態では、上ワーク保持部（３）は従動回転軸（４）の下端部にネジ等の固定手段（図示せず）によって固定状態に取り付けられている。

従動回転軸（４）は、ワーク（Ｗ）の自軸回転動作に対して従動回転するものである。この従動回転軸（４）はステンレス鋼等の金属製であり、断面円形状で所定の長さに設定されている。

ホーニング槽（２）内における該ホーニング槽（２）の天壁部（2a）の下側で該天壁部（2a）の近傍には、図１、図２及び図４に示すように、箱体（６）が配置されている。本実施形態では、この箱体（６）の天壁部（6a）はホーニング槽（２）の天壁部（2a）で構成されている。

この箱体（６）は、回転軸継手（５）を昇降移動自在に収納するためのもの、即ち回転軸継手収納用箱体であり、ホーニング液浸入阻止状態に密閉されており、ホーニング液（Ｈ）が箱体（６）の内部に浸入しないものとなされている。

この箱体（６）の構成について詳述すると、図４に示すように、箱体（６）の内部が隔壁部（6d）によって複数個に仕切られ、これにより、箱体（６）の内部に複数個（本実施形態では７個）の回転軸継手収納室（6x）が形成されている。そして、各収納室（6x）に回転軸継手（５）が昇降移動自在に一個ずつ収納されている。さらに、箱体（６）の側壁部（6c）の上端部が天壁部（2a）に固着されている。

さらに、液体ホーニング加工装置（１）は、図２に示すように、上ワーク保持部（３）を昇降させる昇降装置（７）を備えている。

この昇降装置（７）は、流体圧シリンダ装置（例えばエアシリンダ装置）（８）を備えている。流体圧シリンダ装置（８）は、シリンダ本体（例えばエアシリンダ本体）（8a）と、該シリンダ本体（8a）に対して進退自在な昇降軸（8b）とを有している。

シリンダ本体（8a）は、ホーニング槽（２）の天壁部（2a）の上側に配置されており、詳述すると天壁部（2a）の上面に鉛直に設置されている。

昇降軸（8b）は、鉛直に配置され且つ流体圧シリンダ装置（８）の作動により軸方向に昇降するものであって、ステンレス鋼等の金属製であり、また断面円形状である。そして、この昇降軸（8b）は、ホーニング槽（２）の天壁部（2a）の上側から該天壁部（2a）を貫通した状態で箱体（６）内に挿入配置されている。詳述すると、ホーニング槽（２）の天壁部（2a）には昇降軸挿通孔（2h）が設けられており、この挿通孔（2h）に昇降軸（8b）が軸方向に摺動自在に挿通されることにより、昇降軸（8b）が天壁部（2a）を貫通した状態となっている。さらに、箱体（６）内には昇降軸支持体（９）が天壁部（2a）の下面に固着されて配置されている。この昇降軸支持体（９）には鉛直方向に貫通した昇降軸支持孔（9h）が設けられ、この支持孔（9h）に昇降軸（8b）が軸方向に摺動自在に挿通されている。

一方、従動回転軸（４）の上部は、箱体（６）の底壁部（6b）の下側から該底壁部（6b）を貫通した状態で箱体（６）内に挿入配置されている。詳述すると、箱体（６）の底壁部（6b）には従動回転軸挿通孔（6h）が設けられており、この挿通孔（6h）にその内側に装填されたプラスチック製環状滑り軸受け（6g）を介して従動回転軸（４）が軸方向に摺動自在に挿通されることにより、従動回転軸（４）が底壁部（6b）を貫通した状態となっている。

さらに、箱体（６）の内部において、昇降軸（8b）と従動回転軸（４）とが互いに同一軸線上に並んだ状態で昇降軸（8b）の下端部に従動回転軸（４）の上端部が回転軸継手（５）を介して昇降軸（8b）に対して相対回転自在に連結されている。

回転軸継手（５）は、円筒状のボールベアリング用ハウジング（5a）と、該ハウジング（5a）内に軸方向に互いに離間して装填された複数個（本実施形態では２個）のラジアル軸受けとしての環状ボールベアリング（5g）（5g）とを備えている。ハウジング（5a）は昇降軸（8b）の下端部に一体に設けられ、昇降軸（8b）と一体に昇降するものとなされている。ハウジング（5a）の上下両端開口はそれぞれ該ハウジング（5a）の上壁部（5b）及び下壁部（5c）で閉塞されている。本実施形態では、ハウジング（5a）の上壁部（5b）が昇降軸（8b）の下端部にネジ等の固定手段（図示せず）によって固定状態に取り付けられている。一方、従動回転軸（４）の上端部はハウジング（5a）内においてボールベアリング（5g）（5g）を介して回転自在に保持されている。詳述すると、従動回転軸（４）の上端部は環状ボールベアリング（5g）（5g）内に回転自在に挿通されている。そしてこの状態で、従動回転軸（４）の上端に径方向外向きに膨出して形成された抜止め用膨出部（4a）が上側のボールベアリング（5g）に係止されることにより、従動回転軸（４）のボールベアリング（5g）（5g）からの抜出が防止されるとともに、従動回転軸（４）の上端部の周面に形成された段部（4b）がハウジング（5a）の下壁部（5c）の下面に衝合することにより、従動回転軸（４）の昇降軸（8b）側への移動が規制されるものとなされている。このようにして、従動回転軸（４）の上端部がハウジング（5a）内においてボールベアリング（5g）（5g）内に挿通された状態で回転自在に保持されるとともに、従動回転軸（４）が昇降軸（8b）の昇降動作に連動して昇降移動するものとなされている。

また、この液体ホーニング加工装置（１）は、箱体（６）内部の各収納室（6x）にホーニング槽（２）の外側から空気等のガス（g1）を供給する第１ガス供給手段（10）を備えている。

この第１ガス供給手段（10）は、箱体（６）の壁部（詳述すると側壁部（6c））に設けられ且つ該箱体（６）内部の各収納室（6x）にガス（g1）が流入するガス流入孔（10a）と、該ガス流入孔（10a）の入口に接続されたガス供給管（10b）とを有している。そして、ガス（g1）として空気がホーニング槽（２）の外側からガス供給管（10b）及びガス流入孔（10a）を順次通って箱体（６）内部の各収納室（6x）に供給されるものとなされている。

下ワーク保持部（11）は、断面円形状のものであり、図３に示すように、ワーク（Ｗ）の下端開口（Wb）内に適合状態に嵌め込まれる、上方に突出した略円錐台状態の嵌込み部（11a）を一体に有している。さらに、この下ワーク保持部（11）において、該下ワーク保持部（11）の周面と嵌込み部（11a）の周面との間の段差面によって環状のワーク着座面（11b）が形成されている。さらに、下ワーク保持部（11）の嵌込み部（11a）には、ワーク（Ｗ）を内掴みするエアピッカー（12）が設けられている。

この下ワーク保持部（11）は、ホーニング槽（２）内に鉛直に配置された回転駆動軸（13）の上端部に一体に設けられており、回転駆動軸（13）と一体に回転するものとなされている。本実施形態では、下ワーク保持部（11）は回転駆動軸（13）の上端部にネジ等の固定手段（図示せず）によって固定状態に取り付けられている。

回転駆動軸（13）はワーク（Ｗ）を自軸回転させるものである。この回転駆動軸（13）はステンレス鋼等の金属製であり、断面円形状で所定の長さに設定されている。

また、ホーニング槽（２）内には回転駆動軸用支持体（14）が配置されており、この支持体（14）に軸挿通孔（15）が鉛直方向に貫通して設けられている。この軸挿通孔（15）の内側には、２個のラジアル軸受けとしての回転駆動軸用環状ボールベアリング（15g）（15g）が軸方向に互いに離間して装填されている。そして、回転駆動軸（13）がこの軸挿通孔（15）にボールベアリング（15g）（15g）を介して回転自在に挿通されるとともに、この状態で、回転駆動軸（13）の上端部の周面に形成された段部（13a）が上側のボールベアリング（15g）に係止されることにより、回転駆動軸（13）の軸挿通孔（15）からの下方への抜出が防止されるとともに、回転駆動軸（13）が鉛直に支持されている。さらに、上下２個のボールベアリング（15g）（15g）のうち上側のボールベアリング（15g）の上側における、回転駆動軸（13）の周面と軸挿通孔（15）の周面との間には、ホーニング液（Ｈ）の浸入阻止度を高めるためのシール部材として、環状オイルシール（15s）が介在されている。

また、この液体ホーニング加工装置（１）は、前記上下２個のボールベアリング（15g）（15g）間における、回転駆動軸（13）の周面と軸挿通孔（15）の周面との間の隙間（15a）に、ホーニング槽（２）の外側から空気等のガス（g2）を供給する第２ガス供給手段（16）を備えている。

この第２ガス供給手段（16）は、支持体（14）にその外周面から前記隙間（15a）に向かって延設され且つ隙間（15a）にガス（g2）が流入するガス流入孔（16a）と、該ガス流入孔（16a）の入口に接続されたガス供給管（16b）とを有している。そして、ガス（g2）として空気がホーニング槽（２）の外側からガス供給管（16b）及びガス流入孔（16a）を順次通って前記隙間（15a）に供給されるものとなされている。

また、回転駆動軸（13）における支持体（14）上側近傍部には、ベアリングカバー（17）がシール部材としてのＯリング（17s）を介して設けられている。このベアリングカバー（17）は、ホーニング液（Ｈ）が支持体（14）のボールベアリング（15g）（15g）に付着するのを防止するためのものであり、支持体（14）の上面上側に水平状に離間して配置された円板状部（17a）と、該円板状部（17a）の周縁部に一体形成され支持体（14）の上部を包囲する円筒状部（17b）とを有している。このベアリングカバー（17）は回転駆動軸（13）と一体に回転するように回転駆動軸（13）に取り付けられている。

また、ホーニング槽（２）内における支持体（14）の下側近傍には、伝動装置収納用箱体（18）が配置されている。この箱体（18）は、回転駆動軸（13）に駆動源としてのモータ（19a）の駆動力を伝達する伝動装置（19）を収納するためのものであり、ホーニング液浸入阻止状態に密閉されている。モータ（19a）は、図１に示すようにホーニング槽（２）の外側に該ホーニング槽（２）に隣接して配置されている。

この箱体（18）の構成について詳述すると、図３に示すように、箱体（18）は、複数個の壁板として、天壁部（18a）と複数個の側壁部（18c）と底壁部（18b）とから組み立てられたものであり、天壁部（18a）と各側壁部（18c）とがネジ（18n）で互いに連結されるとともに、底壁部（18b）と各側壁部（18c）とがネジ（18n）で互いに連結されている。さらに、天壁部（18a）と各側壁部（18c）との間、及び底壁部（18b）と各側壁部（18c）との間には、それぞれシール部材としてゴムパッキン（18s）が介在されている。

この箱体（18）の天壁部（18a）には複数個の嵌合孔（18d）が設けられており、各支持体（14）の下端部が対応する嵌合孔（18d）に嵌合された状態で、各支持体（14）が箱体（18）の天壁部（18a）にネジ（18n）でホーニング液浸入阻止状態に固定されることにより、各支持体（14）が箱体（18）の天壁部（18a）の上面に設置されている。

伝動装置（19）は、公知の構成のものであり、例えば、駆動源としてのモータ（19a）とタイミングプーリ（19b）との間を循環回転する無端状伝動ベルト（タイミングベルト）（19c）と、各回転駆動軸（13）に取り付けられた複数個の歯車（19d）とを備えており、モータ（19a）を作動させて伝動ベルト（19c）を循環回転させることにより、複数個の回転駆動軸（13）が歯車（19d）を介して同じ回転数で同じ方向に回転するものとなされている。なお、（19e）は中継歯車である。

さらに、回転駆動軸（13）の下端部は、箱体（18）の底壁部（18b）に設けられた軸挿通孔（18e）にその内側に装填されたラジアル軸受けとしての環状ボールベアリング（18g）を介して回転自在に挿通されている。

また、下ワーク保持部（11）及び回転駆動軸（13）には、エアピッカー（12）に対して外部からエアを供給及び排出するエア給排孔（20）が軸方向に順次延設されている。このエア給排孔（20）のエア給排口（20a）は回転駆動軸（13）の下端面に設けられており、このエア給排口（20a）にエア給排管（21）が接続されている。このエア給排管（21）は、箱体（18）の底壁部（18b）の下側に該底壁部（18b）の長さ方向に延びて配置されている。

さらに、箱体（18）の底壁部（18b）の下面には、断面略Ｕ字状（断面Ｕ字状）のエア給排管カバー（23）がエア給排口（20a）とエア給排管（20b）とを覆う態様にして、ネジ（23n）でホーニング液浸入阻止状態にシール部材としてのゴムパッキン（23s）を介して取り付けられている。

次に、上記液体ホーニング加工装置（１）を用いてワークの表面を加工する方法について以下に説明する。

まず、各ワーク（Ｗ）をホーニング槽（２）内に入れて対応する下ワーク保持部（11）の上方位置に鉛直に配置する。そして、ワーク（Ｗ）を下方に移動させることにより、図３に示すように、下ワーク保持部（11）の嵌込み部（11a）をワーク（Ｗ）の下端開口（Wb）内に適合状態に嵌め込んでワーク（Ｗ）の下端面をワーク着座面（11b）に当接させる。次いで、空気をエア給排管（21）及びエア給排孔（20）を通じてエアピッカー（12）に供給することにより、エアピッカー（12）の掴み部（12a）を膨張変形させ、ワーク（Ｗ）を内掴みする。

次いで、図４に示すように、各流体圧シリンダ装置（８）を作動させて昇降軸（8b）を下降させる。これにより、従動回転軸（４）が昇降軸（8b）と一緒に下降され、図２に示すように、上ワーク保持部（３）の嵌込み部（3a）がワーク（Ｗ）の上端開口（Wa）内に適合状態に嵌め込まれてワーク（Ｗ）の上端面がワーク着座面（3b）に当接される。

次いで、回転軸継手収納用箱体（６）内部の各収納室（6x）にガス（g1）として空気をガス供給管（10b）及びガス流入孔（10a）を通じて供給する。また、図３に示すように、支持体（14）の上下２個のボールベアリング（15g）（15g）間における、回転駆動軸（13）の周面と軸挿通孔（15）の周面との間の隙間（15a）に、ガス（g2）として空気をガス供給管（16b）及びガス流入孔（16a）を通じて供給する。

この状態を保持したままで、モータ（19a）を作動させその駆動力を伝動装置（19）を介して回転駆動軸（13）に伝達し、該回転駆動軸（13）を回転駆動させる。これにより、ワーク（Ｗ）が自軸回転されるとともに、このワーク（Ｗ）の自軸回転動作に従動して従動回転軸（４）が回転される。

次いで、ホーニング液（Ｈ）をホーニングガン（Ｇ）によりワーク（Ｗ）の表面に向けて噴射しながら、ホーニングガン（Ｇ）をワーク（Ｗ）の軸方向に移動させることにより、ワーク（Ｗ）の表面全部を加工（粗面化）する。

加工が終了したら、ホーニングガン（Ｇ）によるホーニング液（Ｈ）の噴射を停止するとともに、モータ（19a）を停止してワーク（Ｗ）の自軸回転を止める。

次いで、各流体圧シリンダ装置（８）を作動させて昇降軸（8b）を上昇させる。これにより、従動回転軸（４）が昇降軸（8b）と一緒に上昇され、上ワーク保持部（３）の嵌込み部（3a）がワーク（Ｗ）の上端開口（Wa）内から抜出される。

次いで、エアピッカー（12）内の空気をエア給排孔（20）及びエア給排管（21）を通じて外部へ排出し、エアピッカー（12）によるワーク（Ｗ）の内掴みを解除する。そして、ワーク（Ｗ）を持ち上げることにより、ワーク（Ｗ）の下端開口（Wb）内から下ワーク保持部（11）の嵌込み部（11a）を抜出し、ワーク（Ｗ）をホーニング槽（２）から取り出す。

次いで、空気（g1）の収納室（6x）への供給を停止するとともに、空気（g2）の前記隙間（15a）への供給を停止する。

而して、本実施形態の液体ホーニング加工装置（１）によれば、回転軸継手収納用箱体（６）はホーニング液浸入阻止状態に密閉されるとともに、この箱体（６）の内部において、昇降軸（8b）の下端部に従動回転軸（４）の上端部が回転軸継手（５）を介して回転自在に連結されているので、ホーニング液（Ｈ）が回転軸継手（５）に付着するのを防止することができて、上ワーク保持部（11）の円滑な回転動作を長期に亘って維持することができるし、上ワーク保持部（３）とワーク（Ｗ）との間の回転差を生じなくなり、もってワーク（Ｗ）の内表面の上端部に傷が付く不具合を防止することができる。

また、液体ホーニング加工時に箱体（６）内部の収納室（6x）に空気（g1）を供給することにより、ホーニング液（Ｈ）が箱体（６）に生じた構造上不可避の僅かな隙間から箱体（６）の内部に浸入するのを確実に防止することができる。

さらに、箱体（６）の天壁部（6a）がホーニング槽（２）の天壁部（2a）で構成されているので、箱体（６）の構造を簡素化することができる。

さらに、液体ホーニング加工時に空気（g2）を支持体（14）の前記隙間（15a）に供給することにより、ホーニング液（Ｈ）が回転駆動軸用ボールベアリング（15g）に付着するのを防止することができて、回転駆動軸（13）の円滑な回転動作を長期に亘って維持することができる。これにより、ボールベアリング（15g）の摩耗により生じることのあるワーク（Ｗ）の首振り回転運動を確実に防止することができ、もってワーク（Ｗ）の内表面の上端部に傷が付く不具合を確実に防止することができる。

さらに、伝動装置収納用箱体（18）はホーニング液浸入阻止状態に密閉されるとともに、この箱体（18）の内部に伝動装置（19）が収納されているので、ホーニング液（Ｈ）が伝動装置（19）に付着することによる伝動装置（19）の損傷を防止することができる。さらに、伝動装置（19）に付着した油や伝動装置（19）から発生する粉塵等の異物でホーニング槽（２）の内部が汚染される不具合を防止することができ、もってワーク（Ｗ）の表面を良好に粗面化することができる。

さらに、駆動源としてのモータ（19a）がホーニング槽（２）の外側に配置されているので、モータ（19a）に付着した油やモータ（19a）から発生する粉塵等の異物でホーニング槽（２）の内部が汚染される不具合を防止することができ、もってワーク（Ｗ）の表面を更に良好に粗面化することができる。

さらに、伝動装置収納用箱体（18）は、天壁部（18a）と複数個の側壁部（18c）と底壁部（18b）とから組み立てられたものであって、天壁部（18a）と各側壁部（18c）との間、及び底壁部（18b）と各側壁部（18c）との間にそれぞれシール部材としてゴムパッキン（18s）が介在されているので、ホーニング液（Ｈ）が箱体（18）の内部に浸入するのを確実に防止することができる。

さらに、伝動装置収納用箱体（18）の底壁部（18b）の下面にエア給排管カバー（23）が、エア給排口（20a）とエア給排管（21）とを覆う態様にしてホーニング液浸入阻止状態に取り付けられていることから、ホーニング液（Ｈ）がエア給排口（20a）とエア給排管（21）との接続部に生じた隙間からエア給排孔（20）へ浸入する不具合をカバー（23）によって防止することができる。さらに、エア給排管（21）の表面に付着した塵埃等の異物でホーニング槽（２）の内部が汚染される不具合を防止することができる。

さらに、底壁部（18b）の下面にエア給排管カバー（23）がシール部材としてのゴムパッキン（23s）を介して取り付けられているから、ホーニング液（Ｈ）がカバー（23）の内側へ浸入する不具合を確実に防止することができる。

以上で、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に示したものに限定されるものではなく、様々に設定変更可能である。

例えば、本発明に係る液体ホーニング加工装置により加工されるワークは、感光ドラム基体用パイプの素管の他に、例えば、光学機器（例：カメラ、望遠鏡）の鏡筒用パイプ等の精密パイプの素管であっても良いし、その他の用途に用いられる素管であっても良い。

また、本発明に係るパイプの製造方法により製造されるパイプは、感光ドラム基体用パイプの他に、例えば、光学機器（例：カメラ、望遠鏡）の鏡筒用パイプ等の精密パイプであっても良いし、その他の用途に用いられるパイプであっても良い。

また、ハウジング（５）内に装填されるベアリング（5g）の個数は、上記実施形態では２個であるが、本発明では、その他に例えば、１個であっても良いし、３個以上であっても良い。

また、支持体（14）の軸挿通孔（15）の内側に装填されるボールベアリング（15g）の個数は、上記実施形態では２個であるが、本発明では、その他に例えば、３個以上であっても良い。

また、本発明では、ホーニング槽（２）の、回転軸継手収納用箱体（６）が取り付けられる天壁部（2a）は、エアシリンダ装置等の駆動力によりホーニング槽（２）の前後方向に箱体（６）と一体にスライドされるように構成されていても良い。この場合においては、天壁部（2a）を後方へスライドさせると、ホーニング槽（２）の上面にワーク投入口及び取出口が生じ、このワーク投入口及び取出口を通じてワーク（Ｗ）が投入され又は取出されるものとなされるとともに、天壁部（2a）を元の位置にスライドさせることにより、ワーク投入口及び取出口が天壁部（2a）で閉塞されるものとなされる。

また、本発明では、回転軸継手収納用箱体（６）は、ホーニング槽（２）の天壁部（2a）の上面に設置されていても良い。

また本発明では、ワーク（Ｗ）は完全に鉛直に配置されても良いし、鉛直方向に対して少し傾斜した状態、例えば、鉛直方向に対して±１０°（詳述すると±５°）の範囲内で傾斜した状態に配置されても良い。

また本発明では、従動回転軸（４）は完全に鉛直に配置されていても良いし、鉛直方向に対して少し傾斜した状態、例えば、鉛直方向に対して±１０°（詳述すると±５°）の範囲内で傾斜した状態に配置されていても良い。

また本発明では、昇降軸（8b）は完全に鉛直に配置されていても良いし、鉛直方向に対して少し傾斜した状態、例えば、鉛直方向に対して±１０°（詳述すると±５°）の範囲内で傾斜した状態に配置されていても良い。

また本発明では、軸挿通孔（15）は完全に鉛直方向に延びていても良いし、鉛直方向に対して少し傾斜した方向、例えば、鉛直方向に対して±１０°（詳述すると±５°）の範囲内で傾斜した方向に延びていても良い。

本発明は、感光ドラム基体用パイプの素管や光学機器の鏡筒用パイプの素管等のワークの表面を液体ホーニング加工する液体ホーニング加工装置及び液体ホーニング加工方法に利用可能である。

また本発明は、感光ドラム基体用パイプや光学機器の鏡筒用パイプ等のパイプを製造するパイプの製造装置及びパイプの製造方法に利用可能である。

本発明の一実施形態に係る液体ホーニング加工装置の一部切欠き斜視図である。 図１中のＸ−Ｘ線断面図である。 図１中のＹ−Ｙ線断面図である。 ホーニング槽の天壁部と箱体の一部切欠き正面図である。 従来の液体ホーニング加工方法で加工する途中の状態のワークの断面図である。 加工途中状態の同ワークの斜視図である。 同ワークの上端部の斜視図である。

符号の説明

１…液体ホーニング加工装置
２…ホーニング槽
2a…天壁部
３…上ワーク保持部
3a…嵌込み部
４…従動回転軸
５…回転軸継手
5a…ボールベアリング用ハウジング
5g…ボールベアリング
６…回転軸継手収納用箱体
6a…天壁部
6b…底壁部
6c…側壁部
6d…隔壁部
6g…滑り軸受け
6h…従動回転軸挿通孔
6x…回転継手収納室
７…昇降装置
８…流体圧シリンダ装置
8a…シリンダ本体
8b…昇降軸
10…第１ガス供給手段
10a…ガス流入孔
10b…ガス供給管
11…下ワーク保持部
11a…嵌込み部
12…エアピッカー
12a…掴み部
13…回転駆動軸
14…回転駆動軸用支持体
15…軸挿通孔
15a…隙間
15g…ボールベアリング
15s…オイルシール（シール部材）
16…第２ガス供給手段
16a…ガス流入孔
16b…ガス供給管
17…ベアリングカバー
18…伝動装置収納用箱体
18a…天壁部（壁板）
18b…底壁部（壁板）
18c…側壁部（壁板）
18d…嵌合孔
18e…軸挿通孔
18g…ボールベアリング
18s…ゴムパッキン（シール部材）
19…伝動装置
19a…モータ（駆動源）
19b…タイミングプーリ
19c…無端状伝動ベルト
19d…歯車
20…エア給排孔
20a…エア給排口
21…エア給排管
23…エア給排管カバー
23s…ゴムパッキン（シール部材）
Ｗ…ワーク（素管）

Claims (19)

1. ホーニング槽内に略鉛直に配置される筒状ワークの上端開口内に嵌め込まれる嵌込み部を有する上ワーク保持部が、前記ホーニング槽内に略鉛直に配置され且つワークの自軸回転動作に対して従動回転する従動回転軸の下端部に一体に設けられるとともに、
   前記ホーニング槽内における該ホーニング槽の天壁部の下側に、ホーニング液浸入阻止状態に密閉された回転軸継手収納用箱体が配置されており、
   略鉛直に配置され且つ軸方向に昇降する昇降軸が前記ホーニング槽の天壁部の上側から該天壁部を貫通して前記箱体内に挿入されるとともに、
   前記従動回転軸が前記箱体の底壁部の下側から該底壁部を貫通して前記箱体内に挿入されており、
   前記箱体の内部において、前記昇降軸と前記従動回転軸とが互いに同一軸線上に並んだ状態で前記昇降軸の下端部に前記従動回転軸の上端部が回転軸継手を介して回転自在に連結されていることを特徴とする液体ホーニング加工装置。
2. 前記箱体の内部にガスが供給されるように構成されている請求項１記載の液体ホーニング加工装置。
3. 前記回転軸継手は、ボールベアリング用ハウジングと、前記ハウジング内に装填されたボールベアリングとを備え、
   前記昇降軸の下端部に前記ハウジングが一体に設けられるとともに、前記従動回転軸の上端部が前記ハウジング内において前記ボールベアリングを介して回転自在に保持されている請求項１又は２記載の液体ホーニング加工装置。
4. 前記箱体の天壁部が前記ホーニング槽の天壁部で構成されている請求項１〜３のいずれか１項記載の液体ホーニング加工装置。
5. ワークの下端開口内に嵌め込まれる嵌込み部を有する下ワーク保持部が、前記ホーニング槽内に略鉛直に配置され且つワークを自軸回転させる回転駆動軸の上端部に一体に設けられるとともに、
   前記ホーニング槽内に配置された回転駆動軸用支持体に軸挿通孔が略鉛直方向に延設され、
   前記回転駆動軸が前記軸挿通孔にその内側に軸方向に互いに離間して装填された複数個のボールベアリングを介して回転自在に挿通されており、
   前記複数個のボールベアリングのうち前記軸挿通孔の軸方向に互いに隣り合う二個のボールベアリング間における、前記回転駆動軸の周面と前記軸挿通孔の周面との間の隙間に、ガスが供給されるように構成されている請求項１〜４のいずれか１項記載の液体ホーニング加工装置。
6. 前記ホーニング槽内における前記支持体の下側に、ホーニング液浸入阻止状態に密閉された伝動装置収納用箱体が配置されるとともに、
   前記回転駆動軸に駆動源の駆動力を伝達する伝動装置が、前記箱体の内部に収納されている請求項５記載の液体ホーニング加工装置。
7. 前記駆動源は、前記ホーニング槽の外側に配置されている請求項６記載の液体ホーニング加工装置。
8. 前記伝動装置収納用箱体は、複数個の壁板から組み立てられたものであり、且つ、前記複数個の壁板のうち互いに隣接する２個の壁板間にシール部材が介在されている請求項６又は７記載の液体ホーニング加工装置。
9. 前記回転駆動軸の下端部が、前記伝動装置収納用箱体の底壁部に設けられた軸挿通孔にその内側に装填された軸受けを介して回転自在に挿通されており、
   前記下ワーク保持部の嵌込み部にはエアピッカーが設けられており、
   前記エアピッカーに対してエアを供給及び排出するエア給排孔が前記下ワーク保持部及び前記回転駆動軸にその軸方向に順次延設されるとともに、前記回転駆動軸の下端面に前記エア給排孔のエア給排口が設けられ、
   前記ホーニング槽内において、前記伝動装置収納用箱体の底壁部の下面に、前記エア給排口と該エア給排口に接続されたエア給排管とを覆う態様にして、断面略Ｕ字状のエア給排管カバーがホーニング液浸入阻止状態に取り付けられている請求項６〜８のいずれか１項記載の液体ホーニング加工装置。
10. 前記伝動装置収納用箱体の底壁部の下面に前記カバーがシール部材を介して取り付けられている請求項９記載の液体ホーニング加工装置。
11. ホーニング槽内に略鉛直に配置される筒状ワークの下端開口内に嵌め込まれる嵌込み部を有する下ワーク保持部が、前記ホーニング槽内に略鉛直に配置され且つワークを自軸回転させる回転駆動軸の上端部に一体に設けられるとともに、
    前記ホーニング槽内に配置された回転駆動軸用支持体に軸挿通孔が略鉛直方向に延設され、
    前記回転駆動軸が前記軸挿通孔にその内側に軸方向に互いに離間して装填された複数個のボールベアリングを介して回転自在に挿通されており、
    前記複数個のボールベアリングのうち前記軸挿通孔の軸方向に互いに隣り合う二個のボールベアリング間における、前記回転駆動軸の周面と前記軸挿通孔の周面との間の隙間に、ガスが供給されるように構成されており、
    前記ホーニング槽内における前記支持体の下側に、ホーニング液浸入阻止状態に密閉された伝動装置収納用箱体が配置されるとともに、
    前記回転駆動軸に駆動源の駆動力を伝達する伝動装置が、前記箱体の内部に収納されており、
    前記回転駆動軸の下端部が、前記伝動装置収納用箱体の底壁部に設けられた軸挿通孔にその内側に装填された軸受けを介して回転自在に挿通されており、
    前記下ワーク保持部の嵌込み部にはエアピッカーが設けられており、
    前記エアピッカーに対してエアを供給及び排出するエア給排孔が前記下ワーク保持部及び前記回転駆動軸にその軸方向に順次延設されるとともに、前記回転駆動軸の下端面に前記エア給排孔のエア給排口が設けられ、
    前記ホーニング槽内において、前記伝動装置収納用箱体の底壁部の下面に、前記エア給排口と該エア給排口に接続されたエア給排管とを覆う態様にして、断面略Ｕ字状のエア給排管カバーがホーニング液浸入阻止状態に取り付けられていることを特徴とする液体ホーニング加工装置。
12. 前記駆動源は、前記ホーニング槽の外側に配置されている請求項１１記載の液体ホーニング加工装置。
13. 前記伝動装置収納用箱体は、複数個の壁板から組み立てられたものであり、且つ、前記複数個の壁板のうち互いに隣接する２個の壁板間にシール部材が介在されている請求項１１又は１２記載の液体ホーニング加工装置。
14. 前記伝動装置収納用箱体の底壁部の下面に前記カバーがシール部材を介して取り付けられている請求項１１〜１３のいずれか１項記載の液体ホーニング加工装置。
15. ワークは、感光ドラム基体用パイプの素管である請求項１〜１４のいずれか１項記載の液体ホーニング加工装置。
16. 素管の表面を加工する液体ホーニング加工装置を備えたパイプの製造装置において、
    前記液体ホーニング加工装置として、請求項１〜１４のいずれか１項記載の液体ホーニング加工装置を備えていることを特徴とするパイプの製造装置。
17. パイプは、感光ドラム基体用パイプである請求項１６記載のパイプの製造装置。
18. 請求項１〜１５のいずれか１項記載の液体ホーニング加工装置を用いてワークの表面を粗面化する液体ホーニング加工方法。
19. 素管の表面を粗面化する液体ホーニング加工工程を含むパイプの製造方法において、
    前記液体ホーニング加工工程では、請求項１〜１５のいずれか１項記載の液体ホーニング加工装置を用いて素管の表面を粗面化することを特徴とするパイプの製造方法。

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