JP2003145428A - 表面微細研削方法及び表面微細研削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高面圧強度の歯車等の機械要素部品を製造す
るため，荒れた表面を滑らかに微細研削でき，且つ効率
的に行うことができる手法と装置を提供する． 【解決手段】 切削や研削加工処理，またはその後のシ
ョットピーニング加工の冷間加工処理して荒れた表面を
持つ歯車等の機械要素部品ワーク２と，圧力タンクを経
たジェット部１９の水等の圧力媒体と砥石の混合体を噴
射可能なノズル２０が装置１内に所定間隔に定置し，更
にワーク２は装置１下部に備わるモーター９とエアーシ
リンダー１４にて，回転とともに上下運動を行うことが
可能である．上記関係にて，装置１内のノズル２０から
所定圧力にて上記混合体をワーク２へ噴き付けることに
より，表面微細研削が可能とされている．

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、鋳造、鍛造、転造
ないしは研削、切削処理、または、その後のショットピ
ーニング処理によって荒れた表面を有する被加工材（例
えば、歯車、軸、カム、ピン、ローラ等の回転摺動する
一般産業機械の機械要素，伝動装置、自動車用トランス
ミッションやデフ部等の自動車部品）の表面を円滑にす
る表面微細研削技術に関する。特に、被加工材が複雑な
形状を有する場合にも、表面全体を効率的に均一な表面
粗度とするための技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的に歯車等の機械部品では、その強
度を向上するために金属球を機械部品の表面に衝突させ
るショットピーニング処理が施される。ショットピーニ
ング処理では、機械部品の表面に圧縮残留応力が付与さ
れることで強度向上が図れるものの、金属球の衝突によ
り表面性状が劣化して面圧強度が低下する。このような
表面性状の劣化に対しては、一般の機械研削方法により
表面を円滑化する方法もあるが、機械部品の形状が複雑
となると長時間の加工が必要となったり、また、大がか
りな装置が必要となる等の問題がある。このため、機械
部品等の荒れた表面を円滑化する表面研削技術が種々開
発されている。従来の表面研削技術のとして、回転機械
装置の中の槽にワークと砥粒を充填し、槽の回転により
砥粒に作用する遠心力と回転時のワーク（被加工材）と
砥粒の速度差を利用して研削する方法（バレル処理）
や、アルミナ等のセラミックス砥粒をワークと押し冶具
の間に介在させ、所定圧で押し冶具を押してワークを研
削する遊離砥粒研削方法が開発されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記のバレル処理は、
主に金属やセラミックス等のコーナー部のバリ取り方法
として広く工業分野にて用いられている。このバレル処
理は、ジャイロ法、遠心法、回転法、振動法等がある
が、いずれの方法も遠心力や砥石とワークの運動速度差
を利用しているため、研削力を大きくするためには装置
がおおがかりとなる傾向にある。このバレル処理を、図
１を参照して具体的に説明する。図１ではジャイロ法に
よるバレル処理を示している。図１に示すように、中心
冶具３aに固定されたバレル槽１ａには、砥石４９と溶
剤５０との混合液が充填される。ワーク２は冶具３ｂに
保持され、冶具３ｂが回転することによって回転するよ
うになっている。ワーク２を研削するためには、冶具３
ｂが回転することでワーク２を回転させ、同時に中心冶
具３ａを冶具３ｂの回転方向と反対方向へ回転させるこ
とでバレル槽１ａを回転させ、この状態で、ワーク２を
バレル槽１ａ内に挿入する。したがって、ワーク２の自
転（冶具３ｂの回転）とバレル槽１ａの反対方向への自
転（中心冶具３aの回転）によって生じたワーク２に対
する砥石４９の相対速度差、及びバレル槽１ａの回転に
よって砥石４９に作用する遠心力によって、ワーク２の
表面が砥石４９により研削される。したがって、バレル
槽１ａの大型化（大型化による遠心力の増大）すること
なく研削能力を上げるためには、ワーク２の回転速度を
上げたり、バレル槽１ａの回転速度を上げる必要が生じ
る。しかしながら、ワーク２の回転速度を上げたり、バ
レル槽１ａの回転速度を上げると砥石４９に作用する遠
心力等も大きくなる。したがって、ワーク２の形状が複
雑となると、砥石４９がワーク２の凹部（例えば、歯車
における歯元部）に侵入しづらくなり、ワーク２の凸部
（例えば、歯車における歯先部）のみが優先的に研削さ
れる（ワーク２の表面研削状態にムラが生じる）。した
がって、ワーク２の回転速度やバレル槽１ａの回転速度
には限界があり、その結果、装置全体を大きくすること
なく研削能力を上げることは困難であった。一方、遊離
砥粒研削方法（代表的にはベルト研削やバフ研削）で
は、押し冶具の押し付け圧のコントロールが容易でな
く、また、複雑な形状（例えば、歯車等）のワークの研
削加工は困難であった。

【０００４】本発明は上述した点に鑑みてなされたもの
であり、複雑な形状の被加工材であってもその表面全体
を研削することができ、かつ、装置を大型化することな
く研削能力を上げることができる表面研削技術を提供す
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段及び効果】上記課題を解決
するため本発明の表面研削方法は、砥石と低圧力溶媒と
の混合体を被加工物に向って噴射し、その噴射された混
合体を被加工物の表面に衝突させることで被加工物の表
面を研削する。上記の方法によると、砥石と低圧力溶媒
との混合体を被加工物に向って噴射するため、被加工材
の形状によらず被加工材の全面を加工することができ
る。また、混合体を噴射する圧力等を調整するだけで砥
石に与えられる運動エネルギー（研削能力）を調整する
ことができ、これによって装置を大型化することなく研
削能力を向上することができる。

【０００６】前記砥石の比重（水に対する比重）は、２
〜５で、かつ、その径が１〜１２ｍｍの範囲内であるこ
とが好ましく、より好ましくは比重が３〜４で、かつ、
その径が２〜６ｍｍの範囲内であること好ましい。砥石
の比重が２より小さくなると研削能力が低くなりすぎ、
逆に、比重が５を超えると研削能力が大きくなりすぎて
被加工材の表面性状が悪化するためである。特に、比重
が３〜４の場合には、被加工材の表面性状を良好としな
がら表面研削能力を高くすることができる。同様に、砥
石の径が１ｍｍより小さくなると研削能力が低くなりす
ぎ、逆に、砥石の径が１２ｍｍを超えると研削能力が大
きくなりすぎて被加工材の表面性状が悪化したり、被加
工材の細部（凹部）を研削できないためである。特に、
砥石の径は２〜６ｍｍの範囲内であると、効率的に表面
を検索加工することができる。このような砥石として
は、例えば、セラミックス焼結またはセラミックス焼成
した砥石や、ガラスビーズ等を好適に用いることができ
る。

【０００７】前記低圧力溶媒は比重（水に対する比重）
が０．９１〜１．００であることが好ましく、より好ま
しくは比重０．９５〜１．００の範囲内であることが好
ましい。低圧力溶媒の比重が０．９１より小さいと、砥
石が被加工材の表面に衝突したときの衝撃を緩和するこ
とができず砥石の寿命が短くなり、逆に、比重が１．０
０を超えると砥石が被加工材の表面に衝突したときの衝
撃が緩和されすぎて被加工材の表面が研削されないため
である。このような低圧力溶媒としては、例えば、水溶
性溶剤を用いることができる。

【０００８】前記混合体の噴射圧力は、０．１〜１０．
０ＭＰａであることが好ましい。噴射圧力が０．１ＭＰ
ａより小さいと研削能力が小さくなりすぎ、逆に、噴射
圧力が１０．０ＭＰａを超えると研削能力が大きくなり
すぎて被加工材の表面性状を悪化させるためである。

【０００９】さらには、前記混合体を被加工物表面に衝
突させる際に、被加工物を回転させながら、混合体の噴
射方向に対して略直交する方向に往復運動させることが
好ましい。このような構成によると、被加工材が回転し
ながら、さらに噴射方向に対して略直交する方向に往復
運動するため、被加工材の表面にできる研削跡がランダ
ムとなり面圧強度を向上することができる。

【００１０】上記方法は、請求項８に記載の装置で好適
に実施することができる。すなわち、請求項８に記載の
装置は、砥石と低圧力溶媒との混合体を被加工物に向っ
て噴射し、その噴射された混合体を被加工物の表面に衝
突させることで被加工物の表面を研削する表面研削装置
である。この装置は、被加工物を保持する冶具と、冶具
に保持される被加工物と対向する位置に設けられる混合
体の噴射装置と、冶具を噴射装置から噴射される混合体
の噴射方向に対して略直交する方向に往復運動させ、か
つ、往復運動方向周りに回転運動させる往復回転駆動装
置とを有する。上記装置によると、上述した本発明に係
る方法を好適に実施することができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】上記の表面研削方法の一実施の形
態を説明する。本発明の一実施の形態では、従来の技術
を克服して、ミクロンオーダーの表面粗さを保持した高
面圧強度の歯車を得るため，バレル処理での研削能，つ
まり一個の砥石の持つ速度（1.5〜3.0m/s）による運動
エネルギーmv²/2（m：質量，v：速度）と同等のエネル
ギーを砥石に与えて，その研削能を利用して歯車表面を
高速で研削する方法を用いた．つまり水と砥石との混合
状態にして（30〜100m/s）0.3〜1.0MPaの低圧力にて，
ノズルより噴射する方法を用いた．図２に当該法の基本
原理を示す．つまり，従来のバレル法の考えを利用した
方法である．バレル法では砥石に遠心力を与え，その力
やワークと砥石との速度差を利用して研削していたが，
本手法ではその遠心力と同等のエネルギーを水の圧力と
砥石に与えて回転ワークへ噴き付け，衝突とその時の研
削削食力を行かして研削する方法である．ワーク２を回
転させ，砥石と水の混合体をノズル２０からワーク２表
面に吹き付ける．その衝撃の際，砥石の持つエネルギー
をベースにした回転力を利用して，金属表面を研削す
る．つまりミクロ現象的には一般の砥石による機械研削
と同等のことを行うこととなる．このときの砥石スピー
ドはバレル式（ジャイロ式）の１０倍以上である．従っ
て高速処理が可能となる．衝突の際の水は砥石とワーク
の衝突による衝撃力を緩和する役目をし，砥石粉砕を防
ぐ．さらに，ワーク表面をランダム方向に研削するため
にワークに乗せた治具をエアー，または油圧の作用にて
ワーク回転とともに連続的に上下動（0.8〜1.6m/s）す
ることにより，図３に示される正弦状の研削痕が形成さ
れることになる．逆回転や速度調節にて任意の大きさの
正弦波曲線が描け，限りなくランダム状の研削痕形成が
可能となる．このランダム状の研削痕により，潤滑油が
容易にランダム方向へ流れることを可能にし，潤滑，摩
耗，面圧強度上有利に作用する．このようにして，任意
形状の歯車が容易に高速で表面研削が可能となり，歯車
等の高面圧強度部材が作成できる．さらに，一般の金属
球等によるショットピーニング処理にて高曲げ強度部材
を作成し，その後荒れた表面に当該処理を行うことによ
り，曲げ強度，面圧強度の大きい部材が容易に創出可能
となる．

【００１２】当該処理方式を用いれば，歯車等の任意形
状の表面の微細研削処理速度が従来の約1/30〜1/60に短
縮できることとなる．また本方式の基本技術はショット
ピーニング処理と類似しており，ショットピーニング処
理過程での逐次１個処理と同様に，連続一個ずつの処理
が可能である．従って，ショットピーニング後に微細研
削する際，高速で且つ連続で処理できることとなり，量
産効果が飛躍的に上がる．これらは従来のバレル処理
（遠心式やジャイロ式）では得られない高速処理で，且
つ連続一個処理を克服する歯車表面微細研削方法といえ
る．このようにして面圧強度，曲げ強度を同時に具備し
た歯車が容易に作成可能となる．また，従来上述のバレ
ル処理法における大がかりな装置が必要でなく，シンプ
ルな装置で処理可能である．更に，従来のバレル処理で
困難であった歯元部（凹部）の処理も，ノズルの角度や
位置を微調整することにより，容易に行える．当該装置
に上下動の機構を付加することにより，ランダム方向の
研削が可能であり，摩耗，潤滑等，歯車強度上，更に有
利となる．浸炭歯車へ当該処理（0.3MPa，アルミナ系砥
石）を施して得られた表面粗さ例を図４に示す．

【００１３】

【実施例】本発明の実施例を装置概要とともに図５に示
す．基本動作は次のステップよりなる． １．ワークのセット ：図に示されないロボット等に
よるワークの当該装置へのセット ２．ワークの回転 ：インバーター付きモーターの
ON，OFFによる速度調整（10〜1800rpm） ３．ワークの上下動 ：エアーシリンダーの上下動
（ON，OFF）（ストローク20〜100mm） ４．ウォータージェット：砥石径2〜10mmと水混在のウ
ォータージェット（圧力0.3〜1.0MPa） ５．砥石回収 ：噴射衝突後の水と砥石の分離と
砥石の回収及びベルトコンベアーによる砥石タンクへの
運搬） ６．ワークのエアー処理：エアーによる水，及び砥石の
排除 ７．ワーク取り出し ：ロボット等によるワークの装
置外への取り出し ワーク（歯車）２は，微細加工装置１ｂのハウジング下
部台１１aの中の鋼製治具３ａの所定位置へ，図に示さ
れないロボットアームにて運搬，設置される．その後，
蓋１５が自動に閉まる．治具３ａはスプライン４の軸４
aを介してハウジング１１aの下部に設置したシール部６
を通過してモーターフランジ継手８にリンクしている．
治具３ａの下に，アンギュラー玉軸受け５が軸受け台５
aの上に設置されている．継手８はモーター出力軸８aに
繋がり，モーター出力を伝動している．インバーター制
御モーター９は側面にモーターの上下方向の移動をガイ
ドする治具１１ｂと併設して設置されている．モーター
９の下部は，モーター固定台１０で固定され，さらにモ
ーター固定台１０は軸付きフランジ１２にリンクされて
いる．つまり，インバーター制御モーター９のコントロ
ールにて，ワーク２は設定速度（10〜100rpm）の正逆回
転が可能である．更にフランジ１２の軸固定部にはエア
ーシリンダー１４の出力軸が貫入可能な構造となってお
り，エアーシリンダー１４は当該装置１の下部カバー部
１３ｂとカバー治具１３ａにて固定されている．このエ
アーシリンダーは，コンプレッサー２４，逆止弁２６，
２８，及びリリーフ弁３０のON，OFF制御，及び変位計
３１とのフィードバック制御にてエアーがシリンダー部
へ供給排除され，コントロールされている（移動距離10
〜100mm）．従って，全体の上下動がエアーシリンダー
のON，OFF制御にて可能である．

【００１４】上述の上下動と回転動作との混合モード
を，同時に作用させることにより，ワーク２は回転しな
がら上下動が行えることになる．更に，ワーク２へのジ
ェット流（水と砥石（砥石径2〜10mm）の混合流体）の
吹き付けは砥石タンク１６中のコック１７を開にするこ
とにより，砥石をジェット部１９へ導入し，高圧タンク
２３の先のバルブ２９を開にすることにより，直圧式的
に，ノズル２０により吹き付ける．高圧水２２はコンプ
レッサー２４とブースト部２３の機構にて中圧（10気
圧）まで上昇できる．噴き出したジェットはワーク（歯
車）２の歯面へ衝突し，砥石の回転力と衝撃力にて歯面
を研削する．ここでは衝突時の速度は100m/s，圧力0.3
〜1.0MPa以上に保たれており，衝突時の砥石の衝撃力は
この水の作用により緩和され，粉砕は生じない．ジェッ
トの狙いを歯面に対してできる限り法線方向から３０°
以内に向けると効果が大きい．この自動制御はジェット
先端にチルト機構を加えボールネジとのモーター制御に
て電気機械的に容易に行える．ジェット後の水と砥石は
ドレン部３２ｂを通過後，図に示されないフィルターに
て分離され，微粉は沈殿槽へ沈殿し，所定の大きさの砥
石（2〜10mm）はバスケット付きエレベーター３３b，ま
たはベルトコンベアー３３aにて砥石タンク１６へ回収
される．処置後のワークは図に示されない別のエアーブ
ローにて吹き付け乾燥される．その後ワーク２は蓋１５
開後，図に示されないロボットアームにて自動的に装置
外へ搬送される．

【００１５】本装置を用いた実験例を図６と図７に示
す．その際に圧力媒体と砥石等との関係及び適切な圧力
範囲等の条件を表１に示す．

【表１】 図６は噴き付ける圧力と処理されるスチール材の表面粗
さ改善能（１／処理後の表面粗さ／初期硬さ（５ミクロ
ンメートル最大表面粗さ）との関係を圧力媒体と砥石
（径2〜6mm）を変化させた場合の例として示している．
例えば水溶性溶剤（比重＝0.95〜1）と砥石（比重＝3〜
4，砥石径2〜6mm）の場合，圧力が0.1から1MPaの範囲で
表面粗さ改善能が大きくなり，特に0.2〜0.4MPaで大き
い傾向を示している．圧力媒体が油（比重＝0.91）で砥
石（比重＝2〜4）の組み合わせでは，上記組み合わせの
場合より表面粗さ改善能はやや低下している程度である
が，空気が圧力媒体の場合の表面粗さ改善能は，上記二
つの組み合わせの場合より低下している．これらの場合
の砥石寿命を比較した結果を図７に示す．水溶性溶剤と
砥石（比重＝3〜4）の組み合わせが，他の二つの組み合
わせの場合（油と砥石（比重＝2〜4），空気と砥石（比
重＝2〜5））より砥石寿命が長くなっている．全体とし
て１ＭＰ以下で急激に寿命は伸びていて，0.2〜0.4MPa
以下の範囲で寿命は安定域に入っている．圧力媒体が水
または油の場合，処理材と砥石との衝撃の際の緩衝の役
割を果たし，相対寿命が長くなっている．表１及び上記
図６，図７の結果から，特に処理材が歯車等のスケール
の場合，処理上の最適条件は水溶性溶剤（比重＝0.95〜
1），砥石（比重＝3〜4）のアルミナ，シリカを用いた
場合で，その圧力範囲は0.2〜0.4MPaである．

【００１６】

【応用例】当該装置を用いた処理システム応用例を示
す．連続処理が可能なショットピーニング装置と当該装
置を併設，または結合することにより，ワーク（歯車）
を連続的に短時間（30秒から1分間）処理が可能であ
る．これにより，ショットピーニング処理にて圧縮残留
応力付与や表面硬化現象にて強化された歯車の歯元や歯
面部を，次のプロセスである当該装置による表面微細加
工にて歯車表面をランダム研削し，表面粗さを円滑にす
ることにより耐摩耗性と潤滑性を向上させ，結果的に面
圧強度が向上する．上記システム処理による浸炭歯車材
のピッチングに関する面圧強度向上例を図８に示す．ま
た，図９，図１０にショットピーニング装置と組み合わ
せた例を示す．図７の応用タイプとして，ショットピー
ニング用ノズルと表面微細加工用ノズルを同一室に設置
し，ショットピーニング処理と表面微細加工処理を同一
室で処理することも可能である．この場合，装置のコン
パクト化が計れる．図１１に，そのシステム概要のみを
示す．

【００１７】図９では，図に示されないワーク（歯車）
供給部を経てロボットアーム４６にて搬送されてきたワ
ーク２が，ショットピーニング処理室３９の治具３ａへ
設置される．このロボットアーム４６は，ここではロボ
ット本体のアーム部のみ略して示されている．ロボット
は台４５及び荷台４４に設置されている．治具３ｃの下
部にはモーター部４２があり，正逆回転可能である．ノ
ズル４０からはショットピーニング制御部４１にて制御
された所定圧力（速度）の金属鋼球が噴射される．この
部分は一般のショットピーニング装置と同等である．図
の右側には，当該装置が設置され，ショットピーニング
処理後のワーク２はロボットアームにて表面微細加工処
理装置１６へ運搬され，蓋１５が開いた状態で治具３ａ
へ設置される．その後蓋１５は閉じ，以下既述の表面微
細加工処理が施される．処理後は装置蓋１５が開き，ワ
ーク２はロボットアーム４６にて搬出される．

【００１８】図１０では，ショットピーニング処理と表
面微細加工処理が一つの装置上で連続処理できる例を示
す．荷台３５に設置されたリニアニアモーター４７が設
置され，そのガイド３４の上に左右へ移動可能な台３７
が載っている．台３７の上にワーク（歯車）２が設置さ
れている．この設置は，前述の例のロボット装置にて蓋
１５を開閉することにより可能である．まず，ショット
ピーニング処理装置３９に設置されたワークへは，ショ
ットピーニング制御部４１とリンクしたノズル４０から
金属球の噴射にてショットピーニング処理が行われる．
ワークは台３７内に固定されたインバーター付きモータ
ー９とエアーシリンダー１４の運動にて，正逆回転と上
下動が可能である．処理後，台３７はカーテン３８を貫
通して，表面微細加工装置１ｂへリニアガイド上を移動
する．所定位置に進んだ後は，既述と同様の表面微細加
工処理が施される．処理後は蓋１５が開き，その後図に
示されないロボットアームにより掴まれ搬出される．

【００１９】図１１に応用例として合併タイプを示す．
図に示されないロボットアームにて搬送されてきたワー
ク２は蓋１５開状態にて治具３ａへ設置されている．そ
の後，蓋１５は閉じられる．モーター９とエアーシリン
ダー１４の作動にて，回転，及び上下動が行われ，ノズ
ル４０からショットピーニング制御系統から制御された
金属球がワーク目がけて噴射される．この処理後，ノズ
ル２０から既述の表面微細加工用の砥石と水との混合流
体が噴射され，処理される．モーター９，エアーシリン
ダー１４の回転と上下動の運動制御は既述と同様であ
る．処理後は，ロボットアームにて搬出される．ここで
上記の砥石，または水との混合流体をガラスビーズに変
えても，同様な効果が得られる処理が可能である．

【００２０】さらに上記［請求項３］の後工程に，セラ
ミックス焼成，または焼結砥石を用いた従来のバレル処
理を行うことにより，さらにサブミクロンの超仕上げ状
態が容易に得られる．従って，ショットピーニング装置
から当該装置を経て，バレル装置までの複合処理及びそ
の装置も可能である．本装置による処理，及び本応用シ
ステムによる処理は金属歯車のみならず，機械要素部品
（軸，軸受け，カム，CVT等）及びプラスチック，複合
材，表面被覆材にも適用可能である．また，IC部品や電
子部品の表面微細加工にも適用可能である．

【図面の簡単な説明】

【図１】従来法（表面微細加工）

【図２】金属表面微細研削法

【図３】処理ワーク表面研削痕状態

【図４】表面粗さ例

【図５】表面微細加工研削法を用いた装置例

【図６】表面粗さ改善能

【図７】相対砥石寿命

【図８】当該処理歯車の面圧強度評価例（浸炭歯車材）

【図９】ショットピーニング処理装置と併設したシステ
ム例１

【図１０】システム例２（結合タイプ）

【図１１】システム例３（合併タイプ）

【符号の説明】

１ｂ・・・装置 ２ ・・・ワーク ９ ・・・モーター １４・・・エアーシリンダー １９・・・ジェット部 ２０・・・ノズル ２３・・・圧力タンク ３９・・・ショットピーニング装置

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 砥石と低圧力溶媒との混合体を被加工物
   に向って噴射し、その噴射された混合体を被加工物の表
   面に衝突させることで被加工物の表面を研削する表面研
   削方法。
2. 【請求項２】 前記砥石の比重が２〜５で、かつ、その
   径が１〜１２ｍｍであることを特徴とする請求項１に記
   載の表面研削方法。
3. 【請求項３】 前記砥石の比重が３〜４で、かつ、その
   径が２〜６ｍｍであることを特徴とする請求項２に記載
   の表面研削方法。
4. 【請求項４】 前記低圧力溶媒が比重０．９１〜１．０
   ０であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに
   記載の表面研削方法。
5. 【請求項５】 前記低圧力溶媒が比重０．９５〜１．０
   ０の水溶性溶剤であることを特徴とする請求項１乃至４
   のいずれかに記載の表面研削方法。
6. 【請求項６】 前記混合体の噴射圧力が０．１〜１０．
   ０ＭＰａであることを特徴とする請求項１乃５のいずれ
   かに記載の表面研削方法。
7. 【請求項７】 前記混合体を被加工物表面に衝突させる
   際に、被加工物を回転させながら、混合体の噴射方向に
   対して略直交する方向に往復運動させることを特徴とす
   る請求項１に記載の表面研削方法。
8. 【請求項８】 砥石と低圧力溶媒との混合体を被加工物
   に向って噴射し、その噴射された混合体を被加工物の表
   面に衝突させることで被加工物の表面を研削する表面研
   削装置であって、被加工物を保持する冶具と、冶具に保
   持される被加工物と対向する位置に設けられる混合体の
   噴射装置と、冶具を噴射装置から噴射される混合体の噴
   射方向に対して略直交する方向に往復運動させ、かつ、
   往復運動方向周りに回転運動させる往復回転駆動装置
   と、を有する表面研削装置。