JP4848556B2 - 洗浄用超音波振動子 - Google Patents

洗浄用超音波振動子 Download PDF

Info

Publication number
JP4848556B2
JP4848556B2 JP2005347109A JP2005347109A JP4848556B2 JP 4848556 B2 JP4848556 B2 JP 4848556B2 JP 2005347109 A JP2005347109 A JP 2005347109A JP 2005347109 A JP2005347109 A JP 2005347109A JP 4848556 B2 JP4848556 B2 JP 4848556B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaned
ultrasonic
cleaning
edge
vibration transmitting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005347109A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2007157786A (ja
Inventor
洋介 本多
春男 山森
雄一 舞田
涼次 近藤
直之 藤原
智美 疋田
喜和 村松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Honda Electronics Co Ltd
Original Assignee
Honda Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Honda Electronics Co Ltd filed Critical Honda Electronics Co Ltd
Priority to JP2005347109A priority Critical patent/JP4848556B2/ja
Priority to US11/482,444 priority patent/US7942158B2/en
Priority to DE602006002564T priority patent/DE602006002564D1/de
Priority to EP06014410A priority patent/EP1743715B1/en
Priority to KR1020060065354A priority patent/KR101052399B1/ko
Priority to CN2006101058382A priority patent/CN1895799B/zh
Publication of JP2007157786A publication Critical patent/JP2007157786A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4848556B2 publication Critical patent/JP4848556B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Description

本発明は、半導体ウエハ、液晶硝子基板等の被洗浄物のエッジを洗浄するようにした洗浄用超音波振動子に関するものである。
従来の超音波洗浄装置としては、図３に示すように、ノズル１に装着した洗浄液供給管２からノズル１の内部に洗浄液を供給し、超音波発振器からリード線３を介してノズル１内の超音波振動子に発振出力を供給することにより、回転する半導体ウエハのような被洗浄物５の上にノズル１から洗浄液４が供給されるとともに、この洗浄液４に超音波振動子からの超音波を乗せて被洗浄物５に照射して洗浄するようにした洗浄装置が提案されている。
又、図４に示すように、超音波発生部６の下面に超音波振動子（図示せず）が装着され、超音波振動子は超音波発生部６の上部に装着したコネクタ７に電気的に接続され、このコネクタ７にケーブル８を介して超音波発振器９から発振出力が供給され、さらに、超音波発生部６の超音波振動子と対向して半導体ウエハのような被洗浄物５が微小間隙を設けて保持され、超音波発生部６の両側に洗浄液供給装置１１から洗浄液が供給されるノズル１０が装着され、このノズル１０から供給された洗浄液は超音波振動子と被洗浄物５の間隙に流入して、超音波振動子から照射された超音波によって被洗浄物５の表面を洗浄するようにした超音波洗浄装置が提案されている。
しかしながら、このような超音波洗浄装置では、超音波が照射される被洗浄物５の平面部は十分に洗浄されるが、表面で除去された汚れが洗浄液とともに流れ、被洗浄物５のエッジやノッチ部に引っ掛かってしまうという欠点があり、又、このような流水式の超音波洗浄装置で、流水をこのエッジ部に集中して洗浄しても、エッジ部の汚れが取れないという問題があった。
特願２０００−３６９４９０
解決しようとする問題点は、従来の超音波洗浄装置では、被洗浄物の平面部で洗浄した汚れが洗浄液とともに流れて、被洗浄物のエッジ及びノッチの部分に引っ掛かるという点である。
本発明では、一端に圧電素子を装着する石英で構成する取付端部と、該取付端部から伸びる棒状の石英で構成する振動伝達体と、該振動伝達体の前記取付端部に対向した端部に形成された傾斜面と、前記取付端部と前記傾斜面との間の振動伝達体の側部に形成され、前記圧電素子から照射された前記振動伝達体中を伝播する超音波の前記振動伝達体中における収束位置より前記傾斜面に近い位置の前記振動伝達体の側面に形成した切り込み部とからなり、該切り込み部に被洗浄物のエッジを挿入し、前記被洗浄物のエッジ近傍に洗浄液を供給して、前記圧電素子から供給された前記超音波を前記切り込み部に供給して、前記切り込み部に流れ込んだ前記洗浄液に照射することにより、前記被洗浄物のエッジを洗浄するものであり、又、前記振動伝達体の傾斜面は前記切り込み部の下方の端部から前記取付端部と平行な平面から０度〜４５度の範囲で傾斜しているものであり、さらに、前記振動伝達体及び取付端部は石英で構成するものである。
本発明の超音波洗浄装置では、振動伝達体の側部に形成した切り込み部を被洗浄物のエッジと微小間隙を開けて装着し、振動伝達体の端部に接着した超音波振動子を駆動し、被洗浄物のエッジ近傍に装着された洗浄液供給部から供給される洗浄液に、振動伝達体の切り込み部から超音波を被洗浄物のエッジに照射することにより、被洗浄物のエッジを洗浄することができるという利点がある。
図１は本発明の実施例の洗浄用超音波振動子の側面図で、振動伝達体１２の一端に圧電素子１３を装着する取付端部１４が形成され、振動伝達体１２の他端の端部１２ａから対向する端部１２ｂにかけて取付端部１４の面と平行な面から０度〜４５度の範囲で傾斜された傾斜面１５が形成され、振動伝達体１２の傾斜面１５の端部１２ａと取付端部の間に切り込み１６を形成し、振動伝達体の傾斜面１５は前記切り込み部の下方の端部から前記取付端部と平行な平面から０度〜４５度の範囲で傾斜され、圧電素子１３の超音波Ａは切り込み部の上側の面に伝達され、超音波Ｂは切り込み部の上側の面に伝達せず、切り込み部１６を通過した超音波が傾斜面１５で反射して切り込み部１６の下側の面に伝播するように、切り込み部１６の距離及び傾斜部の角度を適宜設定している。
このように構成された本実施例の洗浄用超音波振動子では、図２に示すように、被洗浄物１７のエッジ１７ａを振動伝達体１２の切り込み部１５の間に微小間隔を開けて装着し、洗浄液供給部１８から洗浄液１９が供給することにより、洗浄液１９が被洗浄物１７のエッジ１７ａと振動伝達体１２の切り込み部１６の間に注入され、ここで、圧電素子１３を駆動すると、超音波Ａは圧電素子１３から振動伝達体１２を通って切り込み部１６の上側の面１６ａに伝播するとともに、圧電素子１３から照射された超音波Ｂは傾斜面１４で反射され、切り込み部１６の下側の面１６ｂに照射され、それによって、被洗浄物１７のエッジ１７ａが洗浄され、又、この洗浄によって除去された汚れは洗浄液１９とともに、被洗浄物１７と切り込み部１６の間を通って被洗浄物１７の下側に落下するように構成されている。
本実施例の超音波洗浄装置では、このように、振動伝達体１２の側部に切り込み部１６を形成し、この切り込み部１６と被洗浄物１７のエッジ１７ａの間に微小間隙を開けて挟持することにより、この切り込み部１６に集中して発生される超音波と洗浄液供給部１８から供給される洗浄液１９とにより、被洗浄物１７のエッジ１７ａに付着する汚れを効果的に速やかに除去することができる。
なお、上記実施例では、被洗浄物１７が半導体で構成されているので、その場合は、振動伝達体１２は石英で構成する。
本発明の実施例の超音波洗浄装置の斜視図である。 図１の洗浄用超音波振動子を使用した超音波洗浄装置の構成図である。 従来の超音波洗浄装置の斜視図である。 従来の他の超音波洗浄装置の斜視図である。
１２ 振動伝達体
１３ 圧電体振動子
１４ 取付端部
１５ 傾斜面
１６ 切り込み部
１７ 被洗浄物
１８ 洗浄液供給部
１９ 洗浄液

Claims (2)

  1. 一端に圧電素子を装着する石英で構成する取付端部と、該取付端部から伸びる棒状の石英で構成する振動伝達体と、該振動伝達体の前記取付端部に対向した端部に形成された傾斜面と、前記取付端部と前記傾斜面との間の振動伝達体の側部に形成され、前記圧電素子から照射された前記振動伝達体中を伝播する超音波の前記振動伝達体中における収束位置より前記傾斜面に近い位置の前記振動伝達体の側面に形成した切り込み部とからなり、該切り込み部に被洗浄物のエッジを挿入し、前記被洗浄物のエッジ近傍に洗浄液を供給して、前記圧電素子から供給された前記超音波を前記切り込み部に供給して、前記切り込み部に流れ込んだ前記洗浄液に照射することにより、前記被洗浄物のエッジを洗浄することを特徴とする洗浄用超音波振動子。
  2. 前記振動伝達体の傾斜面は前記切り込み部の下方の端部から前記取付端部と平行な平面から０度〜４５度の範囲で傾斜していることを特徴とする請求項１記載の洗浄用超音波振動子。
JP2005347109A 2005-07-13 2005-11-30 洗浄用超音波振動子 Expired - Fee Related JP4848556B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005347109A JP4848556B2 (ja) 2005-11-30 2005-11-30 洗浄用超音波振動子
US11/482,444 US7942158B2 (en) 2005-07-13 2006-07-07 Ultrasonic edge washing apparatus
DE602006002564T DE602006002564D1 (de) 2005-07-13 2006-07-11 Ultraschallreinigungsvorrichtung zur Reinigung des Randbereiches eines Werkstückes
EP06014410A EP1743715B1 (en) 2005-07-13 2006-07-11 An ultrasonic edge washing apparatus for washing an edge of a material
KR1020060065354A KR101052399B1 (ko) 2005-07-13 2006-07-12 초음파 둘레부 세정장치
CN2006101058382A CN1895799B (zh) 2005-07-13 2006-07-13 超声波边沿清洗装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005347109A JP4848556B2 (ja) 2005-11-30 2005-11-30 洗浄用超音波振動子

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007157786A JP2007157786A (ja) 2007-06-21
JP4848556B2 true JP4848556B2 (ja) 2011-12-28

Family

ID=38241810

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005347109A Expired - Fee Related JP4848556B2 (ja) 2005-07-13 2005-11-30 洗浄用超音波振動子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4848556B2 (ja)

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3075356B1 (ja) * 1999-03-29 2000-08-14 株式会社カイジョー 超音波洗浄装置
JP3978296B2 (ja) * 1999-08-05 2007-09-19 株式会社カイジョー 基板端面用超音波励振装置及びこれを備えた基板端面用超音波洗浄装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007157786A (ja) 2007-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20160014133A (ko) 대면적 초음파 정밀 세정장치
KR102016684B1 (ko) 파울링 감소 기기 및 방법
JP4324653B2 (ja) 超音波洗浄装置
JP4848556B2 (ja) 洗浄用超音波振動子
JP4533406B2 (ja) 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法
EP1743715B1 (en) An ultrasonic edge washing apparatus for washing an edge of a material
KR101069457B1 (ko) 초음파 세정장치
JP4691638B2 (ja) 超音波洗浄装置
KR101033815B1 (ko) 초음파 진동기와 이를 이용한 초음파 세정장치 및 그세정방법
KR101662287B1 (ko) 초음파 세정장치
KR101045963B1 (ko) 초음파 세정장치
JP4862172B2 (ja) 超音波洗浄用振動子
JP2004167377A (ja) 超音波洗浄機
JP2789178B2 (ja) 超音波洗浄装置
JP2010260016A (ja) 超音波洗浄装置
KR20070077100A (ko) 초음파 세정장치 및 초음파 세정방법
JP2003181394A (ja) 超音波洗浄方法及びその装置
JP4263536B2 (ja) 超音波基板洗浄装置
JP2007253121A (ja) 超音波洗浄装置
JP3309749B2 (ja) 超音波洗浄装置
JP2002176021A (ja) 超音波洗浄方法及びその装置
JP2010282994A (ja) 超音波エッジ洗浄装置
KR101448580B1 (ko) 미세세정 노즐장치
JP2007216209A (ja) 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法
CN116234642A (zh) 超声波喷淋清洗装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20081031

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100824

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100901

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101101

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110421

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110629

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20110706

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110906

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110929

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4848556

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141028

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees