JP4847458B2 - 一体型高圧室および真空槽を有するクラスターツール用プロセスチャンバー - Google Patents
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Description
は、移送槽とハウジングとの間に設けられる。
Claims (20)
- 移送槽と、
該移送槽に接続される少なくとも一つのプロセスチャンバーであって、高圧室が該プロセスチャンバー内で分解される第1の位置と該高圧室が該プロセスチャンバー内で組み立てられる第2の位置との間で調整可能とされる少なくとも一つのプロセスチャンバーを含み、
該少なくとも一つのプロセスチャンバーは、
ハウジングと、
前記ハウジングに接続される高圧室アッセンブリーであって、上槽部と、該上槽部に対して移動可能な下槽部と、該上槽部と該下槽部との間に延在し該上槽部を該下槽部に接続する部分を、それぞれ、有する複数の液圧シリンダーとを含み、
前記上槽部および前記ハウジングが、前記下槽部がある区画された部分を画定し、
前記下槽部が前記上槽部から離隔される開放位置と、該下槽部が上槽部に接触し、それにより、ウェーハが加工される組み立てられた高圧室、前記下槽部と前記ハウジングの底壁との間の区画される部分内に画定される空間を形成し、該空間が、前記プロセスチャンバー内の真空室の一部を形成する閉塞位置との間で調整可能とされる該高圧室アッセンブリーと、
前記移送槽と前記ハウジングとの間の第1のバルブと、
を含むクラスターツール。 - 前記ツールは、
前記第1のバルブが開放し、前記高圧室アッセンブリーが開放し、前記移送槽および前記区画された部分が共通の圧力を有する第1の状態と、
前記第1のバルブが閉塞され、前記高圧室アッセンブリーが開放し、前記移送槽が第1の圧力を有し、前記下槽部と前記底壁との間の空間が該第1の圧力とは異なる第2の圧力を有する第2の状態と、
前記第1のバルブが閉塞され、高圧室アッセンブリーが閉塞され、前記移送槽が第1の圧力を有し、前記下槽部と前記底壁との間の空間が第2の圧力を有し、前記組み立てられた高圧室が第3の圧力を有し、該第1および第2の圧力が大気圧未満であり、該第3の圧力が大気圧以上である第3の状態との間で調整可能である請求項1記載のクラスターツール。 - 前記移送槽、前記プロセスチャンバー、および、前記高圧室は、該移送槽内のウェーハが真空下で該高圧室へ移送可能なように構成される請求項1記載のクラスターツール。
- 前記ハウジングは、矩形のフットプリントを有し、
3つの側壁と、前壁にも連結される底壁と、
前記前壁内に形成される長孔であって、ウェーハを運ぶロボットハンドルが通り抜ける通過を可能にするように十分な形状および大きさである長孔と、を含み、
前記高圧室アッセンブリーは、前記ハウジングの複数の壁により支持される請求項1記載のクラスターツール。 - 前記上槽部は、前記ハウジングの複数の壁にあるリップを有する上槽の壁を含む請求項4記載のクラスターツール。
- 前記高圧室への流体の入口および出口は、前記上槽部だけを通り抜ける請求項1記載のクラスターツール。
- 前記上槽部は、複数の貫通路が流体の入口または出口のために設けられる上壁を含み、
前記下槽部は、そのような貫通路がない下壁を含む請求項1記載のクラスターツール。 - 前記下槽部は、下壁と、前面および該下壁に当接する背面を有するロアプレートと、を含み、
該ロアプレートは、流体の移送のための少なくとも一つの貫通路を備え、
該ロアプレートの背面は、流体のさらなる移送のために横方向に延在する少なくとも一つの溝を備える請求項1記載のクラスターツール。 - 前記下壁は、そのような貫通路がない請求項8記載のクラスターツール。
- 高圧室がプロセスチャンバー内で分解される第1の位置と該高圧室が該プロセスチャンバー内で組み立てられる第2の位置との間で調整可能とされるプロセスチャンバーにおいて、
ハウジングと、高圧室アッセンブリーとを含み、
前記高圧室アッセンブリーは、前記ハウジングに取り付けられる上槽部と、前記上槽部に対して移動可能とされる下槽部と、を含み、
該下槽部は、下壁と、
前面および該下壁に当接する背面を有し、流体の移送のための少なくとも一つの貫通路を備えるロアプレートであって、該ロアプレートの背面は、流体のさらなる移送のために横方向に延在する少なくとも一つの溝を備えるロアプレートと、
前記上槽部と前記下槽部との間に延在し、該上槽部を該下槽部に接続する複数の液圧シリンダーと、を含み、
前記高圧室アッセンブリーが、前記下槽部が前記上槽部から離隔される開放位置と、該下槽部が上槽部に接触し、それにより、ウェーハが加工される組み立てられた高圧室、該下槽部と前記ハウジングの下壁との間に画定される空間を形成する閉塞位置との間で調整可能とされ、
前記高圧室への流体の入口および出口が、上槽部だけを貫通し、前記空間は、前記プロセスチャンバー内で真空室の一部を形成するプロセスチャンバー。 - クラスターツールの移送槽にバルブを介して接続され、ウェーハが挿入または取り外され得る開放位置と該ウェーハが処理され得る閉塞位置との間で調整可能な高圧室を含むプロセスチャンバー内でウェーハを清浄する方法において、
前記バルブおよび前記高圧室が双方、開放される場合、前記ウェーハを前記移送槽から該高圧室に導入し、
前記バルブを閉塞し、
前記高圧室を閉塞し、
前記高圧室と前記プロセスチャンバーの複数の壁との間の空間内を真空にし、
流体即ちガスを前記高圧室に導入し、前記ウェーハを処理し、
前記高圧室を通気し、
前記バルブが閉塞される間、前記高圧室を開放し、
前記空間と前記移送槽との間の圧力を等しくするように該空間内を真空引きし、
前記バルブを開放し、
前記ウェーハを前記移送槽を介して取り外すことを含む方法。 - 移送槽と、
該移送槽に接続される少なくとも一つのプロセスチャンバーであって、高圧室が該プロセスチャンバー内で分解される第1の位置と該高圧室が該プロセスチャンバー内で組み立てられる第2の位置との間で調整可能とされる少なくとも一つのプロセスチャンバーを含み、
該少なくとも一つのプロセスチャンバーは、
ハウジングと、
前記ハウジングに接続される高圧室アッセンブリーであって、上槽部と該上槽部に対し移動可能とされる下槽部とを含み、前記下槽部が前記上槽部から離隔される開放位置と、該下槽部が上槽部に接触しそれにより、ウェーハが加工される組み立てられた高圧室、前記プロセスチャンバー内の真空室の一部を形成する前記下槽部と前記ハウジングの底壁との間の空間を形成する閉塞位置との間で調整可能とされる該高圧室アッセンブリーと、を含むクラスターツール。 - 前記ツールは、
前記移送槽と前記ハウジングとの間に位置する前記第1のバルブが開放し、前記高圧室アッセンブリーが開放し、前記移送槽および前記下槽部がある区画された部分が共通の圧力を有する第1の状態と、
前記第1のバルブが閉塞され、前記高圧室アッセンブリーが開放し、前記移送槽が第1の圧力を有し、前記下槽部と前記底壁との間の前記空間が該第1の圧力とは異なる第2の圧力を有する第2の状態と、
前記第1のバルブが閉塞され、高圧室アッセンブリーが閉塞され、前記移送槽が第1の圧力を有し、前記下槽部と前記底壁との間の前記空間が第2の圧力を有し、前記組み立てられた高圧室が第3の圧力を有し、該第1および第2の圧力が大気圧未満であり、該第3の圧力が大気圧以上である第3の状態との間で調整可能である請求項12記載のクラスターツール。 - 前記移送槽、前記プロセスチャンバー、および、前記高圧室は、該移送槽内のウェーハが真空下で該高圧室へ移送可能なように構成される請求項12記載のクラスターツール。
- 前記ハウジングは、矩形のフットプリントを有し、
3つの側壁と、前壁にも連結される底壁と、
前記前壁内に形成される長孔であって、ウェーハを運ぶロボットハンドルが通り抜ける通過を可能にするように十分な形状および大きさである長孔と、を含み、
前記高圧室アッセンブリーは、前記ハウジングの複数の壁により支持される請求項12記載のクラスターツール。 - 前記上槽部は、前記ハウジングの複数の壁にあるリップを有する上槽の壁を含む請求項15記載のクラスターツール。
- 前記高圧室への流体の入口および出口は、前記上槽部だけを通り抜ける請求項12記載のクラスターツール。
- 前記上槽部は、複数の貫通路が流体の入口または出口のために設けられる上壁を含み、
前記下槽部は、そのような貫通路がない下壁を含む請求項12記載のクラスターツール。 - 前記下槽部は、下壁と、前面および該下壁に当接する背面を有するロアプレートと、を含み、
該ロアプレートは、流体の移送のための少なくとも一つの貫通路を備え、
該ロアプレートの背面は、流体のさらなる移送のために横方向に延在する少なくとも一つの溝を備える請求項12記載のクラスターツール。 - 前記下壁は、そのような貫通路がない請求項19記載のクラスターツール。
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