JP4836359B2 - スパッタターゲット、ゲート絶縁膜および電子部品 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハフニウム、ジルコニウムまたはそれらの合金からなるスパッタターゲット、それによって成膜されたゲート絶縁膜およびこのゲート絶縁膜を具備する電子部品に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、LSIに代表される半導体工業は急速に進捗しつつある。中でも256MビットDRAM、ロジックやシステムLSI等、あるいはそれ以降の半導体素子においては、集積回路の高集積化・高信頼性・高機能化が進むにつれて微細加工技術に要求される精度も益々高まっている。このような集積回路の高密度化、高速化に伴って、アルミニウムや銅を主成分として形成される金属配線の幅は0.13μm以下になりつつある。このように金属配線の幅が0.13μm以下にまでになると、ゲート絶縁膜の厚さもSiO2換算膜厚で2〜3nmに薄膜化する必要がある。
【0003】
ところが、ゲート絶縁膜をここまで薄膜化すると、リーク電流が増加したり、多結晶Siゲート電極に添加した硼素が基板に突き抜けてしまうことがあって、トランジスタ特性を劣化させたり、信頼性を十分確保できないという問題がある。
【0004】
このゲート絶縁膜の薄膜化の限界を打破するため、高誘電率ゲート絶縁膜(HfO2、ZrO2)の開発が進められている。この方法によれば、ゲート絶縁膜へHfO2やZrO2を導入することにより一層の薄膜化(SiO2換算で膜厚1.13nm)が期待できる。HfO2の比誘電率は30であり、ZrO2での比誘電率は25と高いことから、この方法では絶縁膜中の酸素が抜けてケイ素を酸化してゲート絶縁膜が厚くなってしまう問題が起きにくくなる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
従来のハフニウムまたはジルコニウムスパッタターゲットを用いて、反応性スパッタによって得られた酸化膜、即ち酸化ハフニウム(HfO2)または酸化ジルコニウム(ZrO2)膜は、膜厚の均一性が良好でないという問題点があった。直径8インチのSiウェーハでも膜厚均一性を5%以下に制御することが困難であった。今後、12インチサイズのSiウェーハになってくると均一性がより良好であることが必要となってくる。
【0006】
絶縁膜の膜厚が不均一である場合には絶縁性の低下が避けられないので、絶縁膜の均一性を高めることは、集積回路のさらなる高密度化、高速化、歩留まりの向上ならびに製造の際のウェーハを大口径化するうえで重要である。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、スパッタターゲットのスパッタされる面の平均結晶粒径およびそのばらつきを特定することによって、上記課題に解決を与えようとするものである。
【0008】
したがって、請求項1の本発明によるスパッタターゲットは、ハフニウム、ジルコニウムまたはそれらの合金からからなるスパッタターゲットであって、そのスパッタされる面の平均結晶粒径が500μm以下でありかつ平均結晶粒径のばらつきが20%以内であること、を特徴とするものである。
【0009】
請求項2の本発明によるスパッタターゲットは、酸素、窒素、炭素、硫黄および水素の含有量の合計が800ppm以下であることを特徴とする、請求項1のスパッタターゲットである。
【0010】
請求項3の本発明によるスパッタターゲットは、銅もしくはアルミニウムもしくはそれらの合金材のバッキングプレートと複合一体化されてなることを特徴とする、請求項1または請求項2のスパッタターゲットである。
【0011】
請求項4の本発明によるゲート絶縁膜は、酸素ガス雰囲気中で、請求項1乃至請求項3のいずれかのスパッタターゲットを用いて成膜された酸化ハフニウム膜あるいは酸化ジルコニウム膜からなること、を特徴とするものである。
【0012】
請求項5の本発明によるゲート絶縁膜は、ゲート絶縁膜の場所による厚さのばらつきが5%以内であること、を特徴とする請求項4のゲート絶縁膜である。
【0013】
請求項6の本発明による電子部品は、請求項1乃至請求項3のいずれかのスパッタターゲットを用いて形成されてなる膜を有すること、を特徴とするものである。
【0014】
請求項7の本発明による電子部品は、請求項4または請求項5のゲート絶縁膜を具備すること、を特徴とするものである。
【0015】
【発明の実施の形態】
<スパッタターゲット>
本発明によるスパッタターゲットは、ハフニウム、ジルコニウムまたはそれらの合金からなるスパッタターゲットであって、そのスパッタされる面の平均結晶粒径が500μm以下でありかつ平均結晶粒径のばらつきが20%以内であること、を特徴とするものである。
【0016】
上記の平均結晶粒径が500μm超過であると、膜厚均一性が低下することから、本発明の目的を達成することが困難になる。本発明では、上記平均結晶粒径が300μm以下、さらには100μm以下であるものが好ましい。
【0017】
上記の平均結晶粒径のスパッタされる面の場所によるばらつきは20%以内、好ましくは10%以内、さらに好ましくは5%以内である。このような、ばらつきが少ないスパッタターゲットを使用することによって、より均一性が高いゲート絶縁膜を容易に得ることができる。
【0018】
なお、本発明において、上記「平均結晶粒径」およびその「スパッタされる面での場所によるばらつき」は、下記のようにして求めたものである。
すなわち、図1に示すように、円盤状のスパッタターゲットの中心部(位置1)と、この中心部を通り円周を均等に分割した4本の直線上の中心から90%(中心を0%、半径の長さを100%とする)の距離にある点(位置2〜9)、および中心から50%(上記と同様に、中心を0%、半径の長さを100%とする)の距離にある点(位置10〜17)から、それぞれ長さ15mm、幅15mmの試験片を合計17個採取する。採集された試験片を#1000まで研磨し、更にバフ研磨を行って、表面を鏡面にする。この鏡面研磨された試験片の平均結晶粒径を測定する。測定は10回以上行い、その平均値をもとに上記の平均結晶粒径を求める。採取された17個の各試験片について、それぞれ上記の平均結晶粒径の値を求める。
【0019】
平均結晶粒径は、上記各試料の顕微鏡視野中の結晶粒数をカウントして、結晶粒一個の平面面積を算出し、ついで粒一個当りの平均直径を算出する。単位面積当りの結晶粒の数(NA)は次のようにして測定できる。
【0020】
金属組織の顕微鏡写真において、ある円の面積Aの中に含まれる結晶粒(NW)と一部分が含まれる結晶粒(Ni)とを数える。この場合、十分な数の結晶粒(30個以上)が円に含まれていることが望ましい。この時の結晶粒の総和(NT)は、
NT = NW + (1/2)Ni
で与えられる。次いで、A/NTで粒1個当りの平均面積が算出される。この平均面積の直径が平均結晶粒径となる。
【0021】
本発明での平均結晶粒径の「スパッタされる面での場所によるばらつき」は、上記のようにして得られた17の試験片のうちの最大値および最小値から
{ (最大値−最小値)/(最大値+最小値) } × 100
の式に基づいて求めた値を、単位(%)により表すものとする。
【0022】
本発明によるスパッタターゲットは、高純度のハフニウムまたはジルコニウム、特に酸素、窒素、炭素、硫黄および水素の含有量の合計が800ppm以下である高純度のハフニウムまたはジルコニウムからなるものが好ましい。
【0023】
このように、スパッタターゲット中の上記不純物(即ち、酸素、窒素、炭素、硫黄および水素)の含有量の合計量が800ppm以下に低減すると、成膜されたゲート絶縁膜の膜厚のばらつき(均一性)を4%以下に抑えられることが判明した。そして、スパッタターゲットの上記不純物の合計量を800ppm以下に低減することは、ゲート絶縁膜のリーク電流をさらに少なくして、絶縁性をより向上させることに有効であることが判明した。
【0024】
ここで、スパッタターゲット中の不純物の合計量を800ppm以下にすると成膜されたゲート絶縁膜の絶縁性が向上する理由は、不純物である酸素、窒素、硫黄あるいは水素原子がハフニウムやジルコニウム原子と容易に化合物をつくってしまい、この化合物が介在物として粒界に析出して粒界をもろくしてしまい、リーク電流が増加、即ち絶縁性が低下、するためであると考えられる。
【0025】
本発明のスパッタターゲットは、不純物元素としての鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、クロム(Cr)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、ナトリウム(Na)、カリウム(K)、ウラン(U)およびトリウム(Th)の合計の含有量が100ppm以下である高純度ハフニウムまたはジルコニウムで構成することが好ましい。言い換えると、Fe、Ni、Cr、Cu、Al、Na、K、U、Thの各含有量(質量%)の合計量を100%から引いた値[100−(Fe+Ni+Cr+Cu+Al+Na+K+U+Th)]が99.99%以上の高純度ジルコニウムまたはハフニウムを用いることが好ましい。
【0026】
本発明によるスパッタターゲットは、バッキングプレートと接合一体化することができる。バッキングプレートとしては従来から用いられているもの、好ましくは銅、アルミニウムもしくはそれらの合金材、を本発明においても使用することができる。スパッタターゲットとバッキングプレートとの接合も従来から行われてきた方法、好ましくはソルダー結合および拡散接合、によって行うことができる。ソルダー接合の際の接合剤としては、インジウム系あるいは錫系の接合材を挙げることができる。
【0027】
<スパッタターゲットの製造>
本発明によるスパッタターゲットは、そのスパッタされる面の平均結晶粒径およびそのばらつきに関する上記要件が満たされるのであれば、任意の方法によって製造することができる。例えば、公知のスパッタターゲットの製造の際に使用されていたインゴットを、適当な塑性加工、加熱および冷却処理、並びに再結晶化処理に付すことによって製造することができる。
【0028】
例えば、インゴット作製後、液体窒素等を用いて、極冷間(−50℃〜−150℃)で塑性加工を行う。塑性加工は、鍛造および圧延加工を採用することができる。塑性加工率は、10〜98%、特に30〜90%が適当である。その後、再結晶処理を行う。再結晶化処理は、300〜800℃、特に400〜600℃の温度で、1時間以上、特に3時間以上、行うのが好ましい。
【0029】
<ゲート絶縁膜>
本発明は、さらに、上記のスパッタターゲットを用いて形成されたゲート絶縁膜、具体的には、酸素雰囲気中で上記スパッタターゲットを用いて成膜された酸化膜からなるゲート絶縁膜、に関するものである。
【0030】
このような本発明によるゲート絶縁膜は、場所による膜厚のばらつきが5%以内というような均一性が極めて高いものである。よって、ゲート絶縁膜の絶縁性、熱的安定性、強度等の特性も膜全面にわたって一様であって、これらが極端に低下した部分の発生が抑制されている。
【0031】
ここで、ゲート絶縁膜の「場所による厚さのばらつき」は、表面にゲート絶縁膜が成膜されたSiウエーハの、図1に示された17点から採取された試験片について絶縁膜厚を、接触段差計によって測定し、これらの17の測定値のうちの最大値および最小値から
{ (最大値−最小値)/(最大値+最小値) } × 100
の式に基づいて求めた値を、単位(%)によって表すこととする。
【0032】
上記の酸素雰囲気は、実質的に酸素ガスのみからなるものおよび酸素ガスを含む不活性ガスからなるものが代表的である。このような酸素ガス雰囲気中で行うスパッタ処理の方法およびその具体的条件は、合目的的な任意のものを採用することができる。
【0033】
本発明では、所定のスパッタターゲットを使用することによって、均一性が極めて高いゲート絶縁膜を容易に得ることができることから、大型の基板に適用しても部留まりが極めて良好となる。また、スパッタ処理の条件等を厳格に制御する必要性が低くなっている。
【0034】
<電子部品>
本発明による電子部品は、本発明のスパッタターゲットを用いて形成された膜を具備するものであり、特に上記のゲート絶縁膜を具備することを特徴とするものである。本発明によるゲート絶縁膜の特性が顕著に認められるものとしては、Siウエーハ基板上に上記ゲート絶縁膜が成膜された構造からなるもの、特に高集積化された電子部品である。例えば、半導体装置、液晶表示装置等、各種用途に使用することができる。
【0035】
【実施例】
次に、本発明の具体的な実施例について説明する。
<実施例1>
アイオダイドハフニウムを原料にし、ハフニウムの電子ビーム溶解(以下、EB溶解と記す)インゴット(φ250×30mm)を作製した。このEB溶解インゴットを液体窒素中で冷却し、加工率(60%)で、極冷間圧延を行った。その後、500℃で2時間の再結晶化熱処理を行って、ターゲット形状に機械加工した。
【0036】
Al製のバッキングプレートを拡散接合法によって接合して、本発明による実施例1−1のスパッタターゲットを製造した。
【0037】
このようにして製造したスパッタターゲットを用いて、さらに同様方法でEB溶解条件、極低温圧延条件および再結晶化処理条件を適宜変更することにより実施例1−2、1−3、1−4のスパッタターゲットを製造した。8インチのSiウェーハ上に成膜を行った。
【0038】
上記で得られたスパッタターゲットの平均結晶粒径、粒径ばらつき、不純物含量、膜厚ばらつきおよびリーク電流密度は、表1に示される通りであった。
各元素の含有量はICP−MASSによって測定し、リーク電流密度を測定した。
なお、各ターゲットの不純物量(Fe、Ni、Cr、Cu、Al、Na、K、U、Thの合計量)は10ppm以下であった。
【0039】
表1から明らかなように、高純度ハフニウムからなる本発明によるスパッタターゲットは、膜厚のばらつきが低くかつ絶縁性が良好な膜を成膜することができる。
【0040】
<実施例2>
市販されているハフニウムを原料にし、ハフニウムのEB溶解インゴット(φ250×30mm)を作製した。その後、実施例と同様の方法により、実施例2−1のスパッタターゲットを製造した。
【0041】
さらに、同様方法でEB溶解条件、極低温圧延条件および再結晶化処理条件を適宜変更することにより実施例2−2、2−3、2−4のスパッタターゲットを製造した。
これらのスパッタターゲットを用いた以外は実施例1と同様にして成膜を行った。実施例1と同様に、スパッタターゲットの平均結晶粒径、そのばらつき、不純物含量、膜厚ばらつきおよびリーク電流密度を測定した。結果は、表1に示される通りである。
なお、各ターゲットの不純物量(Fe、Ni、Cr、Cu、Al、Na、K、U、Thの合計量)は10ppm以下であった。
【0042】
表1から明らかなように、実施例2の本発明によるスパッタターゲットから成膜された膜は、膜厚のばらつきが低くかつ絶縁性が良好なものである。ただし、不純物含量が少ない実施例1に比べれば、膜厚のばらつきおよび絶縁性は若干劣る。
【0043】
<比較例1>
実施例1と同条件で、インゴット作製後、液体窒素を用いて極冷間圧延するのではなく、冷間圧延(加工率60%)を行った。その後、500℃で2時間の再結晶化熱処理を行って、ターゲット形状に機械加工し、バッキングプレートを同様に接合し、比較例1−1のスパッタターゲットを製造した。
【0044】
さらに、同様方法でEB溶解条件、冷間圧延条件および再結晶化処理条件を適宜変更することにより比較例1−2、1−3、1−5、1−6のスパッタターゲットを製造した。
これらのスパッタターゲットを用いた以外は実施例1と同様にして成膜を行った。実施例1と同様に、スパッタターゲットの平均結晶粒径、粒径ばらつき、不純物含量、膜厚ばらつきおよびリーク電流密度を測定した。結果は、表1に示される通りである。
【0045】
表1から明らかなように、スパッタターゲットが所定の平均結晶粒径、粒径ばらつきのものでない場合、膜厚ばらつきが5%以下の膜を得ることはできなかった。また、絶縁性も低かった。
【0046】
<比較例2>
市販されているハフニウムを原料にし、ハフニウムのEB溶解インゴット(φ250×30mm)を作製した。その後、比較例1と同様の方法により、比較例2−1のスパッタターゲットを製造した。
【0047】
さらに、同様方法でEB溶解条件、冷間圧延条件および再結晶化処理条件を適宜変更することにより比較例2−2、2−3のスパッタターゲットを製造した。
【0048】
このターゲット形状に機械加工し、バッキングプレートを同様に接合した。
このスパッタターゲットを用いた以外は実施例1と同様にして成膜を行った。
実施例1と同様に、スパッタターゲットの平均結晶粒径、粒径ばらつき、不純物含量、膜厚ばらつきおよびリーク電流密度を測定した。結果は、表1に示される通りである。
【0049】
表1から明らかなように、スパッタターゲットが所定に平均結晶粒径、粒径ばらつきのものでない場合、膜厚ばらつきが5%以下の膜を得ることはできなかった。また、絶縁性も低かった。
【0050】
【表1】
【0051】
【発明の効果】
以上から明らかなように、本発明のスパッタターゲットは、従来達成することができなかった膜厚均一性および絶縁性が高い酸化ハフニウムあるいは酸化ジルコニウムのゲート絶縁膜を得ることができる。
【0052】
このような本発明によるスパッタターゲットを用いて成膜したゲート絶縁膜および電子部品によれば、製品歩留まりを大幅に向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】スパッタターゲットの平均結晶粒径、粒径ばらつき並びにゲート絶縁膜の膜厚ばらつきを測定した試験片の採取箇所を示す図
Claims (7)
- ハフニウム、ジルコニウムまたはそれらの合金からなるスパッタターゲットであって、そのスパッタされる面の平均結晶粒径が500μm以下であり、平均結晶粒径のばらつきが20%以内であり、かつ酸素、窒素、炭素、硫黄および水素の含有量の合計が800ppm以下であることを特徴とする、スパッタターゲット。
- 前記のスパッタターゲットが、不純物元素としての鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、クロム(Cr)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、ナトリウム(Na)、カリウム(K)、ウラン(U)およびトリウム(Th)の合計の含有量が100ppm以下のものである、請求項1に記載のスパッタターゲット。
- 前記のスパッタターゲットが、電子ビーム溶解インゴットを、−50℃〜−150℃の極冷間で、10〜98%の塑性加工率で塑性加工を行い、その後、300〜800℃の温度で、1時間以上の再結晶化熱処理に付して得られたものである、請求項1または2に記載のスパッタターゲット。
- 銅もしくはアルミニウムもしくはそれらの合金材のバッキングプレートと複合一体化されてなることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載のスパッタターゲット。
- 酸素ガス雰囲気中で、請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のスパッタターゲットを用いて成膜された酸化ハフニウム膜あるいは酸化ジルコニウム膜からなるゲート絶縁膜であって、このゲート絶縁膜の場所による厚さのばらつきが5%以内であることを特徴とする、ゲート絶縁膜。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のスパッタターゲットを用いて形成されてなる膜を有することを特徴とする、電子部品。
- 請求項5に記載のゲート絶縁膜を具備することを特徴とする、電子部品。
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