JP4836071B2 - 高性能二酸化バナジウム系自動調光材料及び調光材料の性能向上方法 - Google Patents
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Description
(1)二酸化バナジウム系サーモクロミック調光薄膜材料に、空孔(porosity)を導入及び/又は透明体材料を混入して複合化することにより、二酸化バナジウム系調光薄膜材料において、太陽光を環境温度に応じて自動的に調節する太陽光調節率の自動調光性能を更に向上させた高性能二酸化バナジウム系自動調光材料であって、
その体積空孔率が2〜98%の範囲にあり、透明体材料の体積分率が5〜95%の範囲にあり、空孔を導入及び/又は二酸化バナジウムより屈折率が小さい(n<3.0)透明体材料を混入して複合化することにより、薄膜の等価光学定数(n)を、緻密な二酸化バナジウム材料の理論値(n=3.0)より小さく制御することで太陽光調節率の自動調光性能を向上させたことを特徴とする高性能二酸化バナジウム系自動調光材料。
(2)二酸化バナジウム系薄膜に、二酸化バナジウム系薄膜より屈折率が小さい(n<3.0)透明体材料を少なくとも1種類以上混入した、前記(1)記載の高性能二酸化バナジウム系自動調光材料。
(3)空孔及び/又は透明体材料が、二酸化バナジウム系薄膜に均一及び/又は不均一分布している、前記(1)又は(2)記載の高性能自動調光材料。
(4)反射防止及び/又は多機能化のために、少なくとも1層以上の透明体薄膜が更に付加されている、前記(1)から(3)のいずれかに記載の高性能自動調光材料。
(5)前記(1)から(4)のいずれかに記載の高性能二酸化バナジウム系自動調光材料を被覆したことを特徴とする高性能自動調光部材。
(6)調光部材が、上記高性能二酸化バナジウム系自動調光薄膜をガラスに被覆した調光ガラスである、前記(5)記載の高性能自動調光部材。
(7)調光部材が、上記高性能二酸化バナジウム系調光薄膜をフィルムに被覆した調光フィルムである、前記(5)記載の高性能自動調光部材。
(8)二酸化バナジウム系サーモクロミック調光薄膜材料に、空孔を導入及び/又は二酸化バナジウムより屈折率が小さい(n<3.0)透明体材料を混入して複合化することにより、二酸化バナジウム系調光薄膜材料の等価光学定数(n)を、緻密な二酸化バナジウム材料の理論値(n=3.0)より小さく制御することで、二酸化バナジウム系調光薄膜において、太陽光を環境温度に応じて自動的に調節する太陽光調節率の自動調光性能を向上させることを特徴とする二酸化バナジウム系調光薄膜材料の調光性能向上方法。
本発明は、二酸化バナジウム系調光材料に、空孔(porosity)を導入及び/又は透明体材料を混入することにより、調光材料の屈折率を制御することで調光性能を向上させた高性能二酸化バナジウム系自動調光材料の点に、特徴を有するものである。本発明では、二酸化バナジウム系薄膜に、空孔を導入し、その体積空孔率を2〜98%の範囲にすること、二酸化バナジウム系薄膜に、二酸化バナジウム系薄膜より屈折率が小さい(n<3.0)透明体材料を少なくとも1種類以上混入し、透明体材料の体積分率を5〜95%の範囲にすることを好ましい実施の態様としている。
(1)表面の反射と屈折率
光が屈折率の異なる物質の界面に入射すると、その界面において光の反射が生じる。例えば、光が屈折率1の空気を通してガラス基板又は薄膜の表面に到達したとき、その表面に反射光が見られ、反射光の強さが基板や薄膜の屈折率に関係している。光が、屈折率が1である空気から屈折率がnの基板又は薄膜の表面に垂直入射する場合を考えると、その表面でのエネルギー反射率Rは、フレネルの式で、次のように表される。
R = {(1−n)/(1+n)}2 (1)
一般に、薄膜中にミクロな空孔などが含まれたり、複数の物質からなる混合体であったりする場合、ミクロの構造が波長よりも十分小さい場合には、有効媒質理論を用いて、見かけ上に等価な均質な光学薄膜として取り扱うことができ、光学定数を求めることができる(「薄膜・光デバイス」吉田貞史 矢嶋弘義著 東京大学出版社 1994年9月20日初版、第34頁)。
n = Σ fi ni (2)
本発明において、VO2薄膜の屈折率を適切に下げるためには、薄膜制作中に構造制御を加えること、具体的には、1)薄膜中に空孔(Porosity、n=1)を導入すること、2)他の誘電体等の透明物質と複合すること、が必要とされる。すなわち、構造制御や複合化により屈折率が制御されたVO2調光薄膜、そして、任意の構成として、更に反射防止や他の機能性複層薄膜を形成することが本発明の最も重要なポイントであり、それにより、従来の緻密なVO2系単一相薄膜からなる調光ガラスの限界に近い太陽光調節率を更に増加させることが実現可能となる。本発明において、薄膜構造の制御による屈折率の制御方法としては、次の方法が例示される。
スパッタ法による成膜の場合を例に説明すると、一般的なスパッタ薄膜の構造モデル(J.A.Thornton:J.Vac.Sci.Technol.11(1974)666)によれば、スパッタ薄膜の構造(空孔率)制御が、基板温度とスパッタ圧力又は基板バイアスなど、基板に到達するスパッタ粒子の移動度を調節することにより達成される。一例として、本発明者らの研究が挙げられ、空孔率とスパッタ圧力及び基板バイアスの関係が明らかにされている(P.Jin,S.Nakao,S.Tanemura,S.Maruno:Thin Solid Films 271(1995)19)。すなわち、この文献では、(TiZr)Nスパッタ薄膜において、全圧及び基板バイアスにより、薄膜の空孔率をややマイナス(過緻密)から2割以上制御できることが示されている。
例えば、スパッタ法では、複数ターゲットによる同時スパッタ、複数材料の混合・複合物ターゲットによるスパッタ、或いはスパッタと他の成膜法、例えば、真空蒸着法等による同時、或いは交替使用による方法などが挙げられる。しかし、本発明では、いかなる他の成膜法による複合薄膜の形成法をも排除するものではない。その他、任意の複合・混合薄膜を作製する方法として、文献記載の方法(例えば、藤原史郎編、石黒浩三/池田英生/横田英嗣著、「光学薄膜」第9章、共立出版社、1986年10月)を適宜応用することができる。
(1)二酸化バナジウム系自動調光材料において、その屈折率を制御することで、該調光材料の調光性能を高度に向上させることができる。
(2)二酸化バナジウム系調光膜に、空孔を導入及び/又は屈折率の低い透明体材料を混入して複合化することにより、屈折率を制御した調光膜を提供できる。
(3)太陽光調節率などの調光薄膜の諸性能を高度に向上させた二酸化バナジウム系調光膜を提供できる。
(4)調光薄膜の光学定数の制御により、調光薄膜の性能を向上させることで、太陽光調節率を大幅に向上させた調光薄膜製品を提供できる。
(1)屈折率
上述の式(2)により空孔を含めたVO2薄膜のスペクトル屈折率を計算した。ただし、空孔の屈折率を空気のものと見なした。その結果は、次の通りであった。ただし、屈折率を波長588nmの値で表す。
空気の屈折率:n=1、k=0
緻密なVO2薄膜半導体相(VO2100%)の屈折率:n=3.04、k=0.383(測定値)
式(2)によって空孔を含めた複合薄膜の屈折率を計算した。一例として、空孔が50%含まれるVO2薄膜(VO2 50%:Air 50%)の半導体相の屈折率は、式(2)により、n=2.02、k=0.192である。
空孔を50%まで含めたVO2薄膜の半導体相、金属相の可視光及び太陽光透過率及びそれらの差の膜厚依存性を光学計算により算出した。その結果を図1に示す。そこでは、Tlum:可視光分光透過率;Tsol:太陽光分光透過率;s:半導体相;m:金属相;delta:半導体相と金属相との透過率の差、である。
ガラス基板と空孔を含まないVO2薄膜系(VO2 100% on glass)材料:
空孔を含まないVO2薄膜の半導体相、金属相の可視光及び太陽光透過率、及びそれらの差の膜厚依存性を図2に示す。図1と図2は、質量膜厚を一致させることでより直感的に比較できる。すなわち、空孔率50%含むVO2薄膜の見かけ上の厚さが、質量膜厚として空孔を含まないVO2薄膜の値の丁度半分であるため、横軸の長さのスケールを倍にすることで並べることができる。これらの図より、全ての膜厚に対して、空孔を含むVO2薄膜系の可視光透過率・太陽光透過率、及びそれらの差は、空孔を含まないVO2薄膜系よりはるかに高いことが明らかである。
(1)屈折率
式(2)によりSiO2を混在させたVO2薄膜のスペクトル屈折率を計算した。その結果は、次の通りであった。ただし、波長588nmの値で表す。
緻密なVO2薄膜半導体相(VO2100%)の屈折率:n=3.04、k=0.383(測定値)
緻密なSiO2薄膜(SiO2100%)の屈折率:n=1.52、k=0(測定値)
式(2)によってSiO2を含むVO2複合薄膜の屈折率の計算を行った。その結果、一例として、SiO2を60%含むVO2複合薄膜(VO2 40%:SiO260%)の半導体相の屈折率の値は、n=2.12、k=0.156であった。
SiO2を60%含めたVO2薄膜の可視光及び太陽光透過率、及びそれらの差の膜厚依存性について光学計算を行った。その結果を図3に示す。空孔を含まないVO2薄膜の半導体相、金属相の可視光及び太陽光透過率、及びそれらの差の膜厚依存性を示す図2と比べると、空孔を50%含めたVO2薄膜の結果(図1)と同じように、屈折率の値を小さくすることで、極めて大きな可視光透過率・太陽光調光率の増加が確認された。
ガラス基板上に形成された、VO2薄膜(VO2100%、70nm)を、2層の誘電体反射防止薄膜(AR)で挟む複層構造系について、系の可視光透過スペクトルとして、半導体相及び金属相のそれぞれを青い曲線で図4に示す。また、調光能力(半導体相と金属相の透過率の差)を青い影として図5に示す。
二酸化バナジウム(純度99.5%、直径50mm、厚さ5mm)化合物ターゲットを使って、アルゴンガス中にスパッタすることで、また、全圧を制御することで、空孔を含む二酸化バナジウム薄膜を作製した。バックグランドの真空度2×10−6Paにしてから、アルゴンガスを導入し、基板温度400−600℃、RF電力100Wなどの他の条件を一定にしながら、全圧を0.1Paから10Paまで変化させてスパッタ成膜を行い、石英ガラス、耐熱ガラス、シリコン単結晶及びサファイア単結晶基板上に二酸化バナジウム薄膜を約100nm厚さで(質量薄膜)形成した。
Claims (8)
- 二酸化バナジウム系サーモクロミック調光薄膜材料に、空孔(porosity)を導入及び/又は透明体材料を混入して複合化することにより、二酸化バナジウム系調光薄膜材料において、太陽光を環境温度に応じて自動的に調節する太陽光調節率の自動調光性能を更に向上させた高性能二酸化バナジウム系自動調光材料であって、
その体積空孔率が2〜98%の範囲にあり、透明体材料の体積分率が5〜95%の範囲にあり、空孔を導入及び/又は二酸化バナジウムより屈折率が小さい(n<3.0)透明体材料を混入して複合化することにより、薄膜の等価光学定数(n)を、緻密な二酸化バナジウム材料の理論値(n=3.0)より小さく制御することで太陽光調節率の自動調光性能を向上させたことを特徴とする高性能二酸化バナジウム系自動調光材料。 - 二酸化バナジウム系薄膜に、二酸化バナジウム系薄膜より屈折率が小さい(n<3.0)透明体材料を少なくとも1種類以上混入した、請求項1記載の高性能二酸化バナジウム系自動調光材料。
- 空孔及び/又は透明体材料が、二酸化バナジウム系薄膜に均一及び/又は不均一分布している、請求項1又は2記載の高性能自動調光材料。
- 反射防止及び/又は多機能化のために、少なくとも1層以上の透明体薄膜が更に付加されている、請求項1から3のいずれかに記載の高性能自動調光材料。
- 請求項1から4のいずれかに記載の高性能二酸化バナジウム系自動調光材料を被覆したことを特徴とする高性能自動調光部材。
- 調光部材が、上記高性能二酸化バナジウム系自動調光薄膜をガラスに被覆した調光ガラスである、請求項5記載の高性能自動調光部材。
- 調光部材が、上記高性能二酸化バナジウム系調光薄膜をフィルムに被覆した調光フィルムである、請求項5記載の高性能自動調光部材。
- 二酸化バナジウム系サーモクロミック調光薄膜材料に、空孔を導入及び/又は二酸化バナジウムより屈折率が小さい(n<3.0)透明体材料を混入して複合化することにより、二酸化バナジウム系調光薄膜材料の等価光学定数(n)を、緻密な二酸化バナジウム材料の理論値(n=3.0)より小さく制御することで、二酸化バナジウム系調光薄膜において、太陽光を環境温度に応じて自動的に調節する太陽光調節率の自動調光性能を向上させることを特徴とする二酸化バナジウム系調光薄膜材料の調光性能向上方法。
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