JP4830444B2 - レーザ加工装置とレーザ加工方法 - Google Patents
レーザ加工装置とレーザ加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4830444B2 JP4830444B2 JP2005306921A JP2005306921A JP4830444B2 JP 4830444 B2 JP4830444 B2 JP 4830444B2 JP 2005306921 A JP2005306921 A JP 2005306921A JP 2005306921 A JP2005306921 A JP 2005306921A JP 4830444 B2 JP4830444 B2 JP 4830444B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- unit
- detection
- laser
- laser processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Numerical Control (AREA)
Description
あるいは、2回目以降の位置検出では、初回の位置検出時より位置検出部の検出エリアを小さくするようにしたものである。
図1は本発明を用いたのプリント基板用レーザ加工装置の構成を示すものである。
2 制御部
3 レーザ発振部
4 加工テーブル部
5 ガルバノスキャナ部
6 カメラ部
7 主制御部
8 レーザ制御部
9 加工テーブル制御部
10 ガルバノ制御部
11 位置検出部
12 シーケンス部
13 補正データ作成部
14 測定位置データ記憶部
15 不正データ除去部
16 補正データ演算部
17 補正データ格納部
101 制御装置
102 レーザ発振器
103 レーザ光
104 ガルバノ装置
105 fθレンズ
106 加工テーブル
107 カメラ
Claims (16)
- レーザ光を少なくとも二次元に位置決めする光走査部と、前記光走査部が位置決めしたレーザ光による加工点の位置を検出する位置検出部を備え、前記位置検出部から出力する複数回行った同じ加工パターンの加工穴の位置検出データを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶した複数個の位置検出データから不正データを除去して位置データを作成する不正データ除去部と、前記不正データ除去部から出力する位置データから前記光走査部の幾何学的または光学的なレーザ光の位置ずれに対する補正データを作成する補正データ作成部を設けたレーザ加工装置であって、
初回の検出位置から2回目以降の加工点が位置検出部の検出エリアの中心位置になるように位置検出部を位置決めするレーザ加工装置。 - レーザ光を少なくとも二次元に位置決めする光走査部と、前記光走査部が位置決めしたレーザ光による加工点の位置を検出する位置検出部を備え、前記位置検出部から出力する複数回行った同じ加工パターンの加工穴の位置検出データを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶した複数個の位置検出データから不正データを除去して位置データを作成する不正データ除去部と、前記不正データ除去部から出力する位置データから前記光走査部の幾何学的または光学的なレーザ光の位置ずれに対する補正データを作成する補正データ作成部を設けたレーザ加工装置であって、
2回目以降の位置検出では、初回の位置検出時より位置検出部の検出エリアを小さくするレーザ加工装置。 - 不正データ除去部で、複数個の検出位置を平均処理し、位置データを作成する請求項1または2記載のレーザ加工装置。
- 不正データ除去部で、複数個の検出位置の最大値及び最小値を除去した後、平均処理し、位置データを作成する請求項1または2記載のレーザ加工装置。
- 不正データ除去部で、複数個の検出位置の中心位置を演算し、位置データを作成する請求項1または2記載のレーザ加工装置。
- 不正データ除去部で、複数個の検出位置の最大値及び最小値を除去した後、中心位置を演算し、位置データを作成する請求項1または2記載のレーザ加工装置。
- 不正データ除去部で、複数個の検出位置の最大値及び最小値を除去した後の位置データのバラツキ幅が規定値以上の場合、アラーム出力する請求項1または2記載のレーザ加工装置。
- 不正データ除去部で、複数個の検出位置の最大値及び最小値を除去した後の位置データのバラツキ幅が規定値以上の場合、再度最大値及び最小値を除去する請求項1または2記載のレーザ加工装置。
- 位置決め手段にてレーザ光を少なくとも二次元に位置決めしてレーザ加工を行う前に、前記位置決め手段の幾何学的または光学的なレーザ光の位置ずれに対する補正データを作成し、レーザ加工に用いる位置データを前記補正データで補正するレーザ加工方法であって、同じ加工パターンのレーザ加工を複数回行うステップと、各加工における加工穴の位置検出データを記憶するステップと、加工穴毎に記憶した複数個の位置検出データから不正データを除去して各加工穴の位置データを作成するステップと、不正データを除去した位置データから前記位置決め手段の光走査部の幾何学的または光学的なレーザ光の位置ずれに対する補正データを作成するステップを有し、
初回の検出位置から2回目以降の加工点が位置検出部の検出エリアの中心位置になるように位置検出部を位置決めするレーザ加工方法。 - 位置決め手段にてレーザ光を少なくとも二次元に位置決めしてレーザ加工を行う前に、前記位置決め手段の幾何学的または光学的なレーザ光の位置ずれに対する補正データを作成し、レーザ加工に用いる位置データを前記補正データで補正するレーザ加工方法であって、同じ加工パターンのレーザ加工を複数回行うステップと、各加工における加工穴の位置検出データを記憶するステップと、加工穴毎に記憶した複数個の位置検出データから不正データを除去して各加工穴の位置データを作成するステップと、不正データを除去した位置データから前記位置決め手段の光走査部の幾何学的または光学的なレーザ光の位置ずれに対する補正データを作成するステップを有し、
2回目以降の位置検出では、初回の位置検出時より位置検出部の検出エリアを小さくするレーザ加工方法。 - 不正データを除去する際に、複数個の検出位置を平均処理し、位置データを作成する請求項9または10記載のレーザ加工方法。
- 不正データを除去する際に、複数個の検出位置の最大値及び最小値を除去した後、平均処理し、位置データを作成する請求項9または10記載のレーザ加工方法。
- 不正データを除去する際に、複数個の検出位置の中心位置を演算し、位置データを作成する請求項9または10記載のレーザ加工方法。
- 不正データを除去する際に、複数個の検出位置の最大値及び最小値を除去した後、中心位置を演算し、位置データを作成する請求項9または10記載のレーザ加工方法。
- 不正データを除去する際に、複数個の検出位置の最大値及び最小値を除去した後の位置データのバラツキ幅が規定値以上の場合、アラーム出力する請求項9または10記載のレーザ加工方法。
- 不正データを除去する際に、複数個の検出位置の最大値及び最小値を除去した後の位置データのバラツキ幅が規定値以上の場合、再度最大値及び最小値を除去する請求項9または10記載のレーザ加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005306921A JP4830444B2 (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | レーザ加工装置とレーザ加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005306921A JP4830444B2 (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | レーザ加工装置とレーザ加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007111750A JP2007111750A (ja) | 2007-05-10 |
JP4830444B2 true JP4830444B2 (ja) | 2011-12-07 |
Family
ID=38094399
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005306921A Active JP4830444B2 (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | レーザ加工装置とレーザ加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4830444B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5204575B2 (ja) * | 2008-07-29 | 2013-06-05 | 川崎重工業株式会社 | 位置測定方法及び位置測定装置 |
JP5930522B2 (ja) * | 2011-10-17 | 2016-06-08 | 株式会社アマダホールディングス | 加工モニタリング装置及びその方法 |
JP6487183B2 (ja) * | 2014-11-06 | 2019-03-27 | ビアメカニクス株式会社 | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
JP7137466B2 (ja) * | 2018-12-28 | 2022-09-14 | 株式会社キーエンス | レーザ加工装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2965215B2 (ja) * | 1990-11-26 | 1999-10-18 | ヤマザキマザック株式会社 | 工作機械における熱変位補正装置 |
JP2004276101A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
JP2004322149A (ja) * | 2003-04-24 | 2004-11-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加工装置およびその制御方法と生産設備 |
-
2005
- 2005-10-21 JP JP2005306921A patent/JP4830444B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007111750A (ja) | 2007-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101435352B1 (ko) | 레이저 가공장치 및 기판위치 검출방법 | |
KR100535426B1 (ko) | 가공장치와 가공방법 | |
KR101720004B1 (ko) | 가공 위치 보정장치 및 그 방법 | |
JP6594545B2 (ja) | 基板計測装置およびレーザ加工システム | |
US5670067A (en) | Apparatus for laser cutting wiring in accordance with a measured size of the wiring | |
JP5089827B1 (ja) | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 | |
KR100864067B1 (ko) | 레이저 가공 방법 및 가공 장치 | |
JP4830444B2 (ja) | レーザ加工装置とレーザ加工方法 | |
WO2018225159A1 (ja) | 情報処理装置および加工不良特定方法 | |
JP4392388B2 (ja) | 穴明け方法及び穴明け装置 | |
JPH10301052A (ja) | レーザ加工装置の加工位置ずれ補正方式 | |
JP3046697B2 (ja) | 露光装置 | |
JP4840559B2 (ja) | プリント配線板及びその製造装置並びに製造方法 | |
US7952050B2 (en) | Drilling method and laser machining apparatus | |
JP4351955B2 (ja) | 基準点の位置決定方法 | |
JP2001334376A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ光スポット位置補正方法 | |
JP2004322149A (ja) | レーザ加工装置およびその制御方法と生産設備 | |
JP2010240694A (ja) | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 | |
JPH1058175A (ja) | レーザ加工装置の光軸の較正方法 | |
JP3643104B2 (ja) | レーザ加工装置における加工位置ずれ補正方法 | |
JP2005116869A (ja) | 基準マーク位置検出装置および基準マーク位置検出プログラム | |
JP2010025803A (ja) | 位置決め機能を有する検査装置、位置決め機能を有する検査装置用プログラム、位置決め機能を有する検査装置の検査方法 | |
JP6487183B2 (ja) | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 | |
JP4901077B2 (ja) | 加工上の基準点の位置決定方法およびレーザ加工機 | |
JP7294783B2 (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081003 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110222 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110823 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110905 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4830444 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140930 Year of fee payment: 3 |