JP4829877B2 - 半導体素子搭載部材とそれを用いた半導体装置 - Google Patents
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Description
0.3×T1≦T2≦0.95×T1 (1)
を満足しているのが好ましい。
10 片面
10a 素子搭載領域
2 枠体
21 面
3 接合層
31 第1の接合層
32 第2の接合層
4 リード端子
BL 半導体素子搭載部材
0.3×T1≦T2≦0.95×T1 (1)
を満足していることが好ましい。距離T1と、リード端子4の厚みT2とが、前記式(1)を満足する範囲に設定されていれば、リード端子4の上下において、接合層3の厚みを十分に確保して、リード端子4を、さらに良好に気密を維持した状態で、接合層3を貫通させることができる。
0.5×T1≦T2≦0.8×T1 (3)
を満足していることが、さらに好ましい。
セラミック成分としての、所定量のAl2O3、SiO2、MgO、CaO、Cr2O3、MnO2、およびTiO2を、有機バインダ、溶剤、可塑剤、および分散剤と混合してスラリーを調製した後、前記スラリーを、スプレードライ法によって顆粒化した。次いで、前記顆粒を、所定形状のプレス金型を用いてプレス成形し、1500℃で焼成した後、表面をラップ研磨して、図1〜図3に示すように、略矩形平板状の基板1と、外形が基板1と一致する略矩形状に形成されていると共に、その中央部に、略矩形状の通孔20を備えた平面形状を有する枠体2とを形成した。
基板1の片面10に形成される第1の接合層31のもとになる樹脂の層、および枠体2の、基板1の片面10に対向する面21に形成される第2の接合層32のもとになる樹脂の層として、いずれも、熱硬化後の、150℃での弾性率が、それぞれ、表1に示す値となる、未硬化のエポキシ樹脂からなるシートを用いたこと以外は、実施例1と同様にして、同形状、同寸法の半導体素子搭載部材BLを製造した。
基板1の片面10、および枠体2の、基板1の片面10に対向する面21に、樹脂の層に代えて、低融点ガラスを含むペーストを、スクリーン印刷によって、所定の平面形状となるように印刷し、焼成して、それぞれの面に、低融点ガラスの層を形成すると共に、形成した低融点ガラスの層で、リードフレームの、リード端子4の部分を挟んだ状態で、トンネル型の連続式加熱炉を通して380℃に加熱することで、低融点ガラスの層を溶融させ、一体化させて接合層を形成したこと以外は、実施例1と同様にして、同形状、同寸法の半導体素子搭載部材BLを製造した。
枠体2の、基板1の片面10に対向する面21に形成される、第2の接合層32のもとになる樹脂の層として、熱硬化後の、150℃での弾性率が、それぞれ、表1に示す値となる、未硬化のエポキシ樹脂からなるシートを用いたこと以外は、実施例1と同様にして、同形状、同寸法の半導体素子搭載部材BLを製造した。
第1および第2の接合層31、32のもとになる、未硬化のエポキシ樹脂のシートの厚みを調整して、接合層3によって接合された状態での、基板1の片面10と、枠体2の、基板1の片面10に対向する面21との間の距離T1を0.35mmに維持しながら、リード端子4の厚みT2を0.3mm(実施例9、T2=0.86×T1)、0.2mm(実施例10、T2=0.57×T1)、0.15mm(実施例11、T2=0.43×T1)、0.1mm(実施例12、T2=0.29×T1)としたこと以外は、実施例1と同様にして、前記厚み以外は同形状、同寸法の半導体素子搭載部材BLを製造した。
基板1および枠体2の、長辺の長さを30mm、短辺の長さを20mm、基板1の面積を600mm2としたこと以外は、実施例1と同様にして、前記長さと面積以外は同形状、同寸法の半導体素子搭載部材BLを製造した。
基板1および枠体2の、長辺の長さを20mm、短辺の長さを10mm、基板1の面積を200mm2としたこと以外は、実施例1と同様にして、前記長さと面積以外は同形状、同寸法の半導体素子搭載部材BLを製造した。
基板1および枠体2の、長辺の長さを30mm、短辺の長さを20mm、基板1の面積を600mm2としたこと以外は、比較例3と同様にして、前記長さと面積以外は同形状、同寸法の半導体素子搭載部材BLを製造した。
基板1および枠体2の、長辺の長さを20mm、短辺の長さを10mm、基板1の面積を200mm2としたこと以外は、比較例3と同様にして、前記長さと面積以外は同形状、同寸法の半導体素子搭載部材BLを製造した。
Claims (11)
- 片面に素子搭載領域を有する基板と、前記素子搭載領域を囲む枠体と、前記枠体を、基板の片面に、素子搭載領域を囲んで気密に接合した接合層と、前記接合層の、厚み方向の中間位置を、接合層による気密を維持しつつ貫通して、素子搭載領域内に突出したリード端子とを有する半導体素子搭載部材であって、接合層が、樹脂によって形成されていると共に、前記接合層のうち、基板の片面とリード端子との間の領域が、素子搭載領域内に延設されて、枠体側の面が露出されたリード端子を、基板側から下支えしており、かつ、前記領域の、150℃での弾性率が100MPa以上であることを特徴とする半導体素子搭載部材。
- 接合層のうち、基板の片面とリード端子との間の領域の、150℃での弾性率が400MPa以上である請求項1記載の半導体素子搭載部材。
- 接合層が、基板の片面に設けられた、150℃での弾性率が100MPa以上である第1の接合層のもとになる樹脂の層と、枠体の、基板の片面に対向する面に設けられた、第2の接合層のもとになる樹脂の層とを、リード端子を挟んで、一体に接合することで形成されている請求項1記載の半導体素子搭載部材。
- 第2の接合層の、150℃での弾性率が、第1の接合層の、150℃での弾性率よりも小さい請求項3記載の半導体素子搭載部材。
- 接合層によって接合された状態での、基板の片面と、枠体の、基板の片面に対向する面との間の距離T1と、リード端子の、同方向の厚みT2とが、式(1):
0.3×T1≦T2≦0.95×T1 (1)
を満足する請求項1記載の半導体素子搭載部材。 - 基板の熱伝導率が10W/mK以上、熱膨張係数が10×10−6/℃以下である請求項1記載の半導体素子搭載部材。
- 基板が、AlN、Al2O3およびSiCからなる群より選ばれる少なくとも1種を含むセラミックからなる請求項6記載の半導体素子搭載部材。
- 枠体の熱膨張係数が10×10−6/℃以下で、かつ枠体の熱膨張係数と、基板の熱膨張係数との差が3×10−6/℃以下である請求項6記載の半導体素子搭載部材。
- 基板の面積が500mm2以上である請求項1記載の半導体素子搭載部材。
- 請求項1記載の半導体素子搭載部材の素子搭載領域に半導体素子が搭載されると共に、枠体の上面に、蓋体が、気密に接合されたことを特徴とする半導体装置。
- 半導体素子が撮像素子であると共に、蓋体が、透光性の材料によって形成されている請求項10記載の半導体装置。
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