JP4825903B2 - 有機el素子の発光層を蒸着する方法、該蒸着方法を含む有機el素子の製造方法、及びその製造方法により製造された有機el素子 - Google Patents
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Description
本発明のさらに他の特徴によれば、前記1次蒸着ステップで整列されたマスクを、列方向(±y方向)に2N+1(Nは自然数)ピクセルピッチ以上移動させることによって、前記2次蒸着ステップを進めることができる。
112 開口部
200 絶縁基板
B11 青色サブピクセル
B41 青色サブピクセル
C 汚染物質
P3y 3ピクセルピッチ
S’ 第1暗点
S’’ 第2暗点
210 赤色(R)発光層
220 緑色(G)の発光層
230 青色(B)発光層
Claims (15)
- 複数の相異なるカラーを備えたサブピクセルの組み合わせを単位ピクセルとし、行方向に複数のサブピクセルが順に交互に配置され、列方向に同一カラーのサブピクセルが配された有機EL素子の発光層を蒸着する方法であって、
前記サブピクセルのうち、奇数行(または偶数行)に配された同一カラーのサブピクセルの位置に対応する開口部を備えたマスクを利用して発光層を1次蒸着するステップと、
前記マスクを移動させて、前記1次蒸着ステップで発光層が蒸着されたサブピクセルに直接隣接するサブピクセルには、前記1次蒸着ステップで蒸着された発光層を蒸着するのに使われた前記マスクの同一開口部により蒸着されないように発光層を2次蒸着するステップと、を含む有機EL素子の発光層蒸着方法。 - 前記複数の相異なるカラーを備えたサブピクセルは、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)のサブピクセルを含むことを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子の発光層蒸着方法。
- 前記1次蒸着ステップで整列されたマスクを、列方向(±y方向)に2N+1(Nは自然数)ピクセルピッチ以上移動させることによって、前記2次蒸着ステップを進めることを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子の発光層蒸着方法。
- 前記1次蒸着ステップで整列されたマスクを、列方向(±y方向)に2N−1(Nは自然数)ピクセルピッチ以上、及び行方向(±x方向)にN(Nは自然数)ピクセルピッチ以上移動させることによって、前記2次蒸着ステップを進めることを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子の発光層蒸着方法。
- 前記1次蒸着ステップで整列されたマスクを前記マスクの中心に対して180°回転移動させ、単位ピクセルを3サブピクセルの組み合わせにより構成している場合に、行方向(−x方向)に1サブピクセルピッチ移動させることによって、前記2次蒸着ステップを進めることを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子の発光層蒸着方法。
- 前記1次蒸着ステップで整列されたマスクを前記マスクの中心に対して180°回転移動させ、単位ピクセルを3サブピクセルの組み合わせにより構成している場合に、行方向(−x方向)に1サブピクセルピッチ平行移動させ、列方向(±y方向)に1ピクセルピッチほど平行移動させることによって、前記2次蒸着ステップを進めることを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子の発光層蒸着方法。
- 前記開口部を備えたマスクを利用して、相異なるカラーのサブピクセルの発光層をそれぞれ独立的に蒸着することを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子の発光層蒸着方法。
- 前記開口部を備えたマスクは、高精細メタルマスクであることを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子の発光層蒸着方法。
- 絶縁基板上に所定パターンの第1電極層を形成するステップと、
前記第1電極層の上部に所定パターンの発光層を備える有機発光層を形成するステップと、
前記有機発光層の上部に所定パターンの第2電極層を形成するステップと、
前記第2電極層の外部を密封するステップと、を含むが、
前記有機発光層を形成するステップは、複数の相異なるカラーを備えたサブピクセルの組み合わせを単位ピクセルとし、行方向に複数のサブピクセルが順に交互に配置され、列方向に同一カラーのサブピクセルが配された有機EL素子に、
前記サブピクセルのうち、奇数行(または偶数行)に配された同一カラーのサブピクセルの位置に対応する開口部を備えたマスクを利用して、前記有機発光層を1次蒸着するステップと、
前記マスクを移動させて、前記1次蒸着ステップで発光層が蒸着されたサブピクセルに直接隣接するサブピクセルには、前記1次蒸着ステップで蒸着された発光層を蒸着するのに使われた前記マスクの同一開口部により蒸着されないように有機発光層を2次蒸着するステップと、を含む有機EL素子の製造方法。 - 前記複数の相異なるカラーを備えたサブピクセルは、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)のサブピクセルを含むことを特徴とする請求項9に記載の有機EL素子の製造方法。
- 前記1次蒸着ステップで整列されたマスクを、列方向(±y方向)に2N+1(Nは自然数)ピクセルピッチ以上移動させることによって、前記2次蒸着ステップを進めることを特徴とする請求項9に記載の有機EL素子の製造方法。
- 前記1次蒸着ステップで整列されたマスクを、列方向(±y方向)に2N−1(Nは自然数)ピクセルピッチ以上、及び行方向(±x方向)にN(Nは自然数)ピクセルピッチ以上移動させることによって、前記2次蒸着ステップを進めることを特徴とする請求項9に記載の有機EL素子の製造方法。
- 前記1次蒸着ステップで整列されたマスクを前記マスクの中心に対して180°回転移動させ、単位ピクセルを3サブピクセルの組み合わせにより構成している場合に、行方向(−x方向)に1サブピクセルピッチ移動させることによって、前記2次蒸着ステップを進めることを特徴とする請求項9に記載の有機EL素子の製造方法。
- 前記1次蒸着ステップで整列されたマスクを前記マスクの中心に対して180°回転移動させ、単位ピクセルを3サブピクセルの組み合わせにより構成している場合に、行方向(−x方向)に1サブピクセルピッチ平行移動させ、列方向(±y方向)に1ピクセルピッチほど平行移動させることによって、前記2次蒸着ステップを進めることを特徴とする請求項9に記載の有機EL素子の製造方法。
- 前記開口部を備えたマスクを利用して、相異なるカラーのサブピクセルの発光層をそれぞれ独立的に蒸着することを特徴とする請求項9に記載の有機EL素子の製造方法。
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