JP4821961B2 - 面発光半導体レーザ装置およびその製造方法 - Google Patents
面発光半導体レーザ装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4821961B2 JP4821961B2 JP2005175432A JP2005175432A JP4821961B2 JP 4821961 B2 JP4821961 B2 JP 4821961B2 JP 2005175432 A JP2005175432 A JP 2005175432A JP 2005175432 A JP2005175432 A JP 2005175432A JP 4821961 B2 JP4821961 B2 JP 4821961B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- mesa
- substrate
- laser device
- semiconductor laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
10:基板
12:メサ
14:トレンチ溝
16:外周部
18:樹脂
20:溝
101:バッファ層
102:下部DBR層
103:活性領域
104:上部DBR層
105:AlAs層(電流狭窄層)
106:コンタクト層
107:n側電極層
108:出射開口
109:p側電極層
110:酸化領域
111:酸化アパーチャ
Claims (25)
- 基板と、前記基板上に形成されたメサと、前記基板上に形成されかつ前記メサの周囲に形成されたトレンチ溝によって前記メサから隔離された外周部と、前記トレンチ溝内に充填される樹脂とを含む面発光型半導体レーザ装置であって、
前記メサと対向する前記外周部の側壁には、前記基板と垂直方向に延在しかつ選択された奥行きおよび周方向の長さを有する溝が複数形成され、
前記複数の溝は、前記樹脂の熱処理時に熱膨張した樹脂の一部が前記溝内に入り込むことによって前記樹脂による前記メサへの熱応力を緩和させる、応力緩和領域として機能する、面発光型半導体レーザ装置。 - 前記複数の溝は、前記外周部の側壁に等しい間隔で配置されている、請求項1に記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 基板と、前記基板上に形成されたメサと、前記基板上に形成されかつ前記メサの周囲に形成されたトレンチ溝によって前記メサから隔離された外周部と、前記トレンチ溝内に充填される樹脂とを含む面発光型半導体レーザ装置であって、
前記メサと対向する前記外周部の側壁には、前記外周部の半導体層の一部を除去することにより前記基板と水平方向に延在しかつ選択された深さを有する空隙が形成され、
前記空隙は、前記樹脂の熱処理時に熱膨張した樹脂の一部が前記空隙内に入り込むことによって前記樹脂による前記メサへの熱応力を緩和させる、応力緩和領域として機能する、面発光型半導体レーザ装置。 - 前記外周部は、前記メサと同一積層構造の半導体多層膜を含み、前記空隙は、前記半導体多層膜の一部を除去することにより水平方向に複数形成される、請求項3に記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記半導体多層膜は、Alの組成が相対的に高い化合物半導体膜とAlの組成が相対的に低い化合物半導体膜とを積層し、前記空隙は、前記Alの組成が高い化合物半導体膜を選択的にエッチングすることにより形成される、請求項3または4に記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 基板と、前記基板上に形成されたメサと、前記基板上に形成されかつ前記メサの周囲に形成されたトレンチ溝によって前記メサから隔離された外周部と、前記トレンチ溝内に充填される樹脂とを含む面発光型半導体レーザ装置であって、
前記溝の底部には、表面を粗す処理を施すことによって複数の凹部または凸部が形成され、
前記複数の凹部または凸部は、前記樹脂の熱処理時に熱膨張した樹脂の一部が前記凹部または凸部に入り込むことによって前記樹脂による前記メサへの熱応力を緩和させる、応力緩和領域として機能する、面発光型半導体レーザ装置。 - 前記樹脂は、真空成形された樹脂であり、樹脂中に気泡を含む、請求項1ないし6いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記樹脂は、前記トレンチ溝の少なくとも一部を充填する第1の樹脂と、第1の樹脂上に第1の樹脂よりも熱膨張率が小さい第2の樹脂とを含む、請求項1ないし7いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記第2の樹脂は、前記メサに含まれる活性層の周囲を少なくとも充填する、請求項8に記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記メサは、上部半導体ミラー層、下部半導体ミラー層、上部半導体ミラー層と下部半導体ミラー層との間に活性層と電流狭窄層を含み、電流狭窄層は、Alを含む半導体層を選択的に酸化した領域を含む、請求項1ないし9いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 請求項1ないし10いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置をパッケージ化したモジュール。
- 請求項11に記載されたモジュールと、モジュールから発せられたレーザ光を送信する送信手段とを備えた、光送信装置。
- 請求項11に記載されたモジュールと、モジュールから発せられた光を空間伝送する伝送手段とを備えた、光空間伝送装置。
- 請求項11に記載されたモジュールと、モジュールから発せられたレーザ光を送信する送信手段とを備えた、光送信システム。
- 請求項11に記載されたモジュールと、モジュールから発せられた光を空間伝送する伝送手段とを備えた、光空間伝送システム。
- 基板と、前記基板上に形成されたメサと、前記基板上に形成されかつ前記メサの周囲に形成されたトレンチ溝によって前記メサから隔離された外周部と、前記トレンチ溝内に充填される樹脂とを含む面発光型半導体レーザ装置の製造方法であって、
前記基板上に形成された複数の半導体多層膜をエッチングし、前記基板上に前記トレンチ溝を形成するとともに前記メサと対向する前記外周部の側壁に、前記基板と垂直方向に延在しかつ選択された奥行きおよび周方向の長さを有する溝を複数を形成するステップと、
前記トレンチ溝内に樹脂を充填するステップとを含み、
前記複数の溝は、前記樹脂の熱処理時に熱膨張した樹脂の一部が前記溝内に入り込むことによって前記樹脂による前記メサへの熱応力を緩和させる、応力緩和領域として機能する、製造方法。 - 基板と、前記基板上に形成されたメサと、前記基板上に形成されかつ前記メサの周囲に形成されたトレンチ溝によって前記メサから隔離された外周部と、前記トレンチ溝内に充填される樹脂とを含む面発光型半導体レーザ装置の製造方法であって、
前記基板上に形成された複数の半導体多層膜をエッチングし、前記基板上に前記トレンチ溝を形成するステップと、
前記メサと対向する前記外周部の側壁の半導体層の一部をエッチングすることにより、前記側壁に前記基板と水平方向に延在しかつ選択された深さを有する空隙を形成するステップと、
前記トレンチ溝内に樹脂を充填するステップとを含み、
前記空隙は、前記樹脂の熱処理時に熱膨張した樹脂の一部が前記空隙内に入り込むことによって前記樹脂による前記メサへの熱応力を緩和させる、応力緩和領域として機能する、製造方法。 - 前記空隙を形成するステップは、前記トレンチ溝内にエッチャントを充填させ前記外周部の側壁をウエットエッチングするステップを含む、請求項17に記載の製造方法。
- 前記外周部は、Alの組成の相対的に高い化合物半導体膜とAlの組成が相対的に低い化合物半導体膜とを積層し、前記空隙は、前記Alの組成の高い化合物半導体膜をバッファードフッ酸(BHF)によりエッチングすることで形成される、請求項17または18に記載の製造方法。
- 基板と、前記基板上に形成されたメサと、前記基板上に形成されかつ前記メサの周囲に形成されたトレンチ溝によって前記メサから隔離された外周部と、前記トレンチ溝内に充填される樹脂とを含む面発光型半導体レーザ装置の製造方法であって、
前記基板上に形成された複数の半導体多層膜をエッチングし、基板上に前記トレンチ溝を形成するステップと、
前記トレンチ溝の底部に、表面を粗す処理を施すことによって複数の凹部または凸部を形成するステップと、
前記トレンチ溝内に樹脂を充填するステップとを含み、
前記複数の凹部または凸部は、前記樹脂の熱処理時に熱膨張した樹脂の一部が前記凹部または凸部に入り込むことによって前記樹脂による前記メサへの熱応力を緩和させる、応力緩和領域として機能する、製造方法。 - 前記樹脂を充填するステップは、真空成形により樹脂を充填する、請求項16ないし20いずれか1つに記載の製造方法。
- 前記樹脂を充填するステップは、前記トレンチ溝の少なくとも一部に第1の樹脂を充填するステップと、前記第1の樹脂の上に前記第1の樹脂よりも熱膨張率が小さい第2の樹脂を充填するステップとを含む、請求項16ないし21いずれか1つに記載の製造方法。
- 前記樹脂を充填するステップはさらに、第1の樹脂よりも熱膨張率が小さい第2の樹脂を加圧成形により充填するステップを含む、請求項22に記載の製造方法。
- 前記第1の樹脂よりも熱膨張率が小さい第2の樹脂は、前記メサに含まれる活性層の周囲に充填される、請求項22または23に記載の製造方法。
- 製造方法はさらに、前記メサに含まれる電流狭窄層をメサ側面から選択的に酸化するステップを含む、請求項14ないし24いずれか1つに記載の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005175432A JP4821961B2 (ja) | 2005-06-15 | 2005-06-15 | 面発光半導体レーザ装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005175432A JP4821961B2 (ja) | 2005-06-15 | 2005-06-15 | 面発光半導体レーザ装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006351797A JP2006351797A (ja) | 2006-12-28 |
JP4821961B2 true JP4821961B2 (ja) | 2011-11-24 |
Family
ID=37647328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005175432A Expired - Fee Related JP4821961B2 (ja) | 2005-06-15 | 2005-06-15 | 面発光半導体レーザ装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4821961B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107466431A (zh) * | 2015-04-10 | 2017-12-12 | 皇家飞利浦有限公司 | 用于光学传感应用的安全激光设备 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10581225B1 (en) * | 2018-09-27 | 2020-03-03 | Avago Technologies International Sales Pte. Limited | Optical devices with bandwidth enhancing structures |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3758938B2 (ja) * | 1999-06-16 | 2006-03-22 | セイコーエプソン株式会社 | 光モジュール及びその製造方法並びに光伝達装置 |
JP2001013378A (ja) * | 1999-06-29 | 2001-01-19 | Seiko Epson Corp | 光モジュール及びその製造方法並びに光伝達装置 |
JP2003086896A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-03-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体素子及び面発光型半導体レーザ素子 |
-
2005
- 2005-06-15 JP JP2005175432A patent/JP4821961B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107466431A (zh) * | 2015-04-10 | 2017-12-12 | 皇家飞利浦有限公司 | 用于光学传感应用的安全激光设备 |
CN107466431B (zh) * | 2015-04-10 | 2020-07-14 | 通快光电器件有限公司 | 用于光学传感应用的安全激光设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006351797A (ja) | 2006-12-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4899344B2 (ja) | 表面発光型半導体レーザおよびその製造方法 | |
JP4892940B2 (ja) | 面発光型半導体レーザ装置およびその製造方法 | |
JP4935278B2 (ja) | 表面発光型半導体アレイ素子、モジュール、光源装置、情報処理装置、光送信装置、光空間伝送装置、および光空間伝送システム | |
JP4839662B2 (ja) | 面発光半導体レーザアレイおよびそれを用いた光伝送システム | |
JP4116587B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP4946041B2 (ja) | 面発光型半導体レーザ装置およびその製造方法 | |
JP4160597B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP5092432B2 (ja) | 面発光型半導体レーザ、面発光型半導体レーザの製造方法、光学装置、光照射装置、情報処理装置、光送信装置、光空間伝送装置および光伝送システム | |
JP5151317B2 (ja) | 面発光型半導体レーザ装置およびその製造方法 | |
JP4967463B2 (ja) | 面発光型半導体レーザ装置 | |
JP2009194103A (ja) | 面発光型半導体レーザ | |
JP2000049414A (ja) | 光機能素子装置、これを用いた光送受信装置、光インターコネクション装置および光記録装置 | |
JP2007053243A (ja) | 面発光型半導体レーザアレイ | |
JP4892941B2 (ja) | 面発光型半導体レーザ装置およびその製造方法 | |
JP4784123B2 (ja) | マルチスポット型面発光レーザおよびその製造方法 | |
JP5087874B2 (ja) | 面発光型半導体レーザおよびその製造方法 | |
JP6252222B2 (ja) | 面発光レーザアレイ及びレーザ装置 | |
JP2007059672A (ja) | 面発光型半導体レーザアレイ | |
JP4821961B2 (ja) | 面発光半導体レーザ装置およびその製造方法 | |
JP6197602B2 (ja) | 面発光型半導体レーザアレイ、面発光型半導体レーザ装置、光伝送装置および情報処理装置 | |
JP2006351799A (ja) | 表面発光型半導体素子アレイ | |
JP2007214252A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP4946029B2 (ja) | 面発光型半導体レーザ | |
JP2009238815A (ja) | 面発光型半導体レーザおよびその製造方法 | |
JP2021002541A (ja) | 光学装置、光源装置、検出装置及び電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080317 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101101 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110524 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110721 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110721 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110810 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110823 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4821961 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140916 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |