JP4820980B2 - p−i−n型円偏光変調発光半導体素子及びレーザ素子 - Google Patents
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Description
特許文献1には、「活性領域を有するpn接合またはpin接合構造の半導体素子の上部又は下部又はその両方に磁性体電極を設け、該磁性体電極により活性領域にスピン偏極した電子又は正孔を注入するようにした光半導体素子」が開示されている。
図1(a)〜(d)に、本発明の円偏光変調発光半導体素子及び円偏光変調発光レーザ素子(本発明素子)において特徴とする4つの素子構造と、そのエネルギー準位構造を示す。
ここで、図1(d)に示す素子構造を例にとり、本発明素子の動作原理を説明する。図2(a)に、上記素子構造をとる本発明素子の一例(本発明素子例)を示し、図2(b)及び(c)に、そのエネルギー準位構造を示す。
A.成膜
分子線エピタキシー法(MBE法)を用い、Siドープn型GaAsの上に、下記の手順に従って成膜を行った。
MBE法で作製した上記素子構造を、(110)面をへき開面としてへき開した。素子長(L)は300μm、幅(W)は200μmである。上部に、p電極としてTi(5nm)/Au(50nm)を蒸着した。蒸着後、n−GaAs基板の裏面をICホルダの銅電極上に、Inでマウントした。さらに、p電極を、金線でICホルダの端子に接続した。
(C-1)上記素子の強磁性半導体(Ga、Mn)Asのキューリ温度は100Kであるので、該素子を液体窒素温度(77K)に冷却した。強磁性半導体は、キューリ温度以下で自発磁化を有している(容易化軸は面内)ので、素子に外部磁場を印加する必要はないが、より大きな円偏光度を得るために、動作時(又は動作前)に、磁場印加用の永久磁石を置いて、0.55Tesla程度の磁場を印加して着磁してもよい。
図5(c)に、円偏光度の印加電圧依存性を示す。円偏光度Pは、最大で20%である。本素子を用いて、電流値を一定にし、電圧をVaとVbの間で変調することにより、左回り円偏光と右回り円偏光の間で変調を行った。本素子において、円偏光度の最大変調周波数は、約100MHzであった。
A.成膜
分子線エピタキシー法(MBE法)を用い、Siドープn型GaAsの上に、下記の手順に従って成膜を行った。
MBE法で作製した上記素子構造の上部を、ホトリソグラフィで加工し、Al0.3Ga0.7Asをストライプ状に残した。ストライプ幅(S)は10μmとした(図3(b)、参照)。その後、同じくホトリソグラフィを用いて、Al0.3Ga0.7As上に、p電極として、Ti(5nm)/Au(20nm)を蒸着した。
図8に、出力レーザ光の波長を光スペクトラムアナライザーにより測定した結果を示す。順方向印加電圧0.70Vの時、及び、0.71Vの時に、レーザ発振が起きた。
本発明素子を用いて、図10に示すような上記測定装置を構成できる。
本発明素子を、エリプソメトリ装置に応用することができる(図11、参照)。エリプソメトリ装置では、光源からの光を直線偏光子により直線偏光して、試料に、斜めに入射し、その反射光の楕円率を測定するが、この方法では、少なくとも、三つの外部光学素子(機器)を必要とする(図11(a)、参照)ので、装置全体の小型化には限界がある。
既存の光通信網では、光強度の強弱を信号の0、1に対応させて通信を行う。通信の多重化を実現するため、偏光の自由度を用いることが考えられるが、従来技術では、右回り・左回りの円偏光度を、外部の光学素子(機器)で制御しなければならず、光源の小型化、さらに、高速化も困難である。
左回り円偏光と右回り円偏光では、試料表面の垂直磁化の方向に対応して反射率が異なるので、磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)などの表面の磁区構造を直接観察するための小型光源として用いることができる。
B 量子井戸層(バンドギャップの小さい非磁性半導体で形成される層)
C 障壁層(バンドギャップの大きい非磁性半導体で形成される層)
D 磁性半導体層(バンドギャップの小さい磁性半導体で形成される層)
D1 バルク層(エネルギーは量子化されていない)
D2 量子井戸層(エネルギーは量子化されている)
E 障壁層(バンドギャップの大きい非磁性半導体で形成される層)
F〜M エネルギー準位
Q 基板(n型)
R バッファ層(n型)
S コンタクト層
Claims (18)
- 非磁性半導体層からなる量子井戸構造と、該構造の障壁層に隣接して、バンドギャップが該障壁層のバンドギャップより小さい磁性半導体層を備え、該量子井戸構造と該磁性半導体層を隔てる上記障壁層が薄く、上記非磁性半導体の量子井戸層におけるキャリアの波動関数と、上記磁性半導体層におけるキャリアの波動関数が結合していて、外部印加電界を、上記磁性半導体層のアップスピンエネルギー準位が、上記量子井戸構造をなす上記非磁性半導体層の価電子帯のエネルギー準位と一致する電圧と、上記磁性半導体層のダウンスピンエネルギー準位が、上記量子井戸構造をなす上記非磁性半導体層の価電子帯のエネルギー準位と一致する電圧を選択して印加することで、上記磁性半導体層に蓄えられたアップスピン正孔又はダウンスピン正孔を、上記障壁層を通して上記量子井戸構造に選択的に注入し、その結果起きる正孔・電子再結合発光の円偏光度(右回り、左回り)を、直接変調できることを特徴とするp−i−n型円偏光変調発光半導体素子。
- 前記磁性半導体層が、非磁性半導体の障壁層で挟まれ量子井戸層を形成していることを特徴とする請求項1に記載のp−i−n型円偏光変調発光半導体素子。
- 前記磁性半導体層が、強磁性半導体層であることを特徴とする請求項1又は2に記載のp−i−n型円偏光変調発光半導体素子。
- 前記非磁性半導体が、III−V族非磁性半導体又はII−VI族非磁性半導体であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のp−i−n型円偏光変調発光半導体素子。
- 前記III−V族非磁性半導体が、A1-xInxAs1-ySby(A:Al、Gaのうちのいずれか1種又は2種)であることを特徴とする請求項4に記載のp−i−n型円偏光変調発光半導体素子。
- 前記II−VI族非磁性半導体が、AB(A:Cd、Zn、Hgのうちのいずれか1種又は2種以上、B:O、S、Se、Teのうちのいずれか1種又は2種以上)であることを特徴とする請求項4に記載のp−i−n型円偏光変調発光半導体素子。
- 前記磁性半導体が、III−V族磁性半導体又はII−VI族磁性半導体であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のp−i−n型円偏光変調発光半導体素子。
- 前記III−V族磁性半導体が、A1-xBxC(A:Al、Ga、Inのうちのいずれか1種又は2種以上、B:Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Niのうちのいずれか1種又は2種以上、C:N、P、As、Sbのうちのいずれか1種又は2種以上)であることを特徴とする請求項7に記載のp−i−n型円偏光変調発光半導体素子。
- 前記II−VI族磁性半導体が、A1-xBxC(A:Cd、Hgのうちのいずれか1種又は2種、B:Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Niのうちのいずれか1種又は2種以上、C:O、S、Se、Teのうちのいずれか1種又は2種以上)であることを特徴とする請求項7に記載のp−i−n型円偏光変調発光半導体素子。
- 非磁性半導体層からなる量子井戸構造と、該構造の障壁層に隣接して、バンドギャップが該障壁層のバンドギャップより小さい磁性半導体層を備え、かつ、共振器構造を備え、該量子井戸構造と該磁性半導体層を隔てる上記障壁層が薄く、上記非磁性半導体の量子井戸層におけるキャリアの波動関数と、上記磁性半導体層におけるキャリアの波動関数が結合していて、外部印加電界を、上記磁性半導体層のアップスピンエネルギー準位が、上記量子井戸構造をなす上記非磁性半導体層の価電子帯のエネルギー準位と一致する電圧と、上記磁性半導体層のダウンスピンエネルギー準位が、上記量子井戸構造をなす上記非磁性半導体層の価電子帯のエネルギー準位と一致する電圧を選択して印加することで、上記磁性半導体層に蓄えられたアップスピン正孔又はダウンスピン正孔を、上記障壁層を通して上記量子井戸構造に選択的に注入し、その結果起きる正孔・電子再結合発光の円偏光度(右回り、左回り)を、直接変調できることを特徴とするp−i−n型円偏光変調発光レーザ素子。
- 前記磁性半導体層が、非磁性半導体の障壁層で挟まれ量子井戸層を形成していることを特徴とする請求項10に記載のp−i−n型円偏光変調発光レーザ素子。
- 前記磁性半導体層が、強磁性半導体層であることを特徴とする請求項10又は11に記載のp−i−n型円偏光変調発光レーザ素子。
- 前記非磁性半導体が、III−V族非磁性半導体又はII−VI族非磁性半導体であることを特徴とする請求項10〜12のいずれか1項に記載のp−i−n型円偏光変調発光レーザ素子。
- 前記III−V族非磁性半導体が、A1-xInxAs1-ySby(A:Al、Gaのうちのいずれか1種又は2種)であることを特徴とする請求項13に記載のp−i−n型円偏光変調発光レーザ素子。
- 前記II−VI族非磁性半導体が、AB(A:Cd、Zn、Hgのうちのいずれか1種又は2種以上、B:O、S、Se、Teのうちのいずれか1種又は2種以上)であることを特徴とする請求項13に記載のp−i−n型円偏光変調発光レーザ素子。
- 前記磁性半導体が、III−V族磁性半導体又はII−VI族磁性半導体であることを特徴とする請求項10〜15のいずれか1項に記載のp−i−n型円偏光変調発光レーザ素子。
- 前記III−V族磁性半導体が、A1-xBxC(A:Al、Ga、Inのうちのいずれか1種又は2種以上、B:Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Niのうちのいずれか1種又は2種以上、C:N、P、As、Sbのうちのいずれか1種又は2種以上)であることを特徴とする請求項16に記載のp−i−n型円偏光変調発光レーザ素子。
- 前記II−VI族磁性半導体が、A1-xBxC(A:Cd、Hgのうちのいずれか1種又は2種、B:Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Niのうちのいずれか1種又は2種以上、C:O、S、Se、Teのうちのいずれか1種又は2種以上)であることを特徴とする請求項16に記載のp−i−n型円偏光変調発光レーザ素子。
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