WO2006080548A1

WO2006080548A1 - ｐ-i-n型円偏光変調発光半導体素子及びレーザ素子

Info

Publication number: WO2006080548A1
Application number: PCT/JP2006/301702
Authority: WO
Inventors: Kenichiro Tanaka; Hiroo Munekata; Tsuyoshi Kondo
Original assignee: Tokyo Institute Of Technology
Priority date: 2005-01-27
Filing date: 2006-01-26
Publication date: 2006-08-03
Also published as: JP2006210626A; JP4820980B2

Abstract

非磁性半導体層からなる量子井戸構造と、該構造の障壁層に近接、又は、隣接して、バンドギャップの小さい磁性半導体層を備え、外部印加電圧により、円偏光度（右回りと左回り）を高速で変調して、円偏光を出力できることを特徴とするｐ−ｉ−ｎ型円偏光変調発光半導体素子。

Description

p— i 一 n型円偏光変調発光半導体素子及びレーザ素子

技術分野

本発明は、外部印加電圧により、円偏光度（右回りと左回り）を高速で変調して、左回り円偏光と右回り円偏光を直接発光することができる円偏光発光半導体素明子、及び、該素子の構造を共振器構造に構成した円偏光発光レーザ素子に関するものである。書

背景技術

現在、光の偏光や位相を扱う光学技術の発展が目覚しい。円偏光を得る最も一般的な従来方法は、発光ダイオードやレーザ等の外部光源から出力する光を、直線偏光子と波長板（ λノ 4板）に通して、円偏光状態を形成する方法である。しかし、この方法においては、左回り円偏光状態と右回り円偏光状態を切り替えるために、波長板を機械的に回転させなければならない。

それ故、円偏光状態を切り替える変調周波数が、波長板の機械的な回転の周波数に律速されてしまい、円偏光状態の変調（切り替え ) を高速化するのには限界がある。また、この方法による円偏光状態の変調周波数は、数 k H z程度以下にどどまり、さらなる高速での変調は期待できない。

円偏光状態を高速に変調する他の従来方法は、光弾性変調器を用いる方法である。この方法においては、外部光源から出力する光を直線偏光子に通し、その後、光弾性変調器に入射する。光弾性変調器に交流電圧（通常、 5 0 k H z 程度）を印加すると、光弾性変調器を透過する光に、交流電圧に同期して、右回り円偏光と左回り円偏光が交互に現れる。

この方法では、出力光の円偏光度（左回り、右回り）の変調周波数を、上記従来方法に比べて高くできるが、右回り円偏光と左回り円偏光を交互に現れるようにしかできず、右回り円偏光又は左回り円偏光を、任意のタイミングで形成することは原理的に不可能である。

また、上記いずれの従来方法においても、上記問題点があることに加え、外部に複数の光学素子（直線偏光子 +波長版、又は、直線偏光子 +光弾性変調器）を必要とするので、装置 · 機器の小型化には限界がある。さらに、光学素子（機器）は高価であり、光損失が大きい上、独立した検出器、又は、光源、変調器等の光学機器を複数個隣接して配列することも困難である。

このような問題点を背景に、円偏光を直接発する光源として、磁性体と半導体とを組み合わせた円偏光半導体レーザが提案されている（特許第 2 7 0 8 0 8 5号公報、特表平 9 — 5 0 1 2 6 6号公報、及び，米国特許 5 8 7 4 7 4 9号明細書、参照）。

特許第 2 7 0 8 0 8 5号公報には、「活性領域を有する p n接合または p i n接合構造の半導体素子の上部又は下部又はその両方に磁性体電極を設け、. 該磁性体電極により活性領域にスピン偏極した電子又は正孔を注入するようにした光半導体素子」が開示されている。

上記素子を用いる光学装置では、磁性体電極上に、導体コイル（外部光学機器）を重ね合わせ、該導体コイルに電流パルスを流して磁性体電極の磁化の方向を切り替え、右回り円偏光と左回り円偏光を切り替えている。 - 特表平 9 — 5 0 1 2 6 6号公報及び米国特許 5 8 7 4 7 4 9号明細書には、同様に、「ヘテロ接合を形成する半導体層に、磁性体層を通してスピン偏極電子を注入して、スピン偏極キャリアを再結合させて円偏光を発信する光半導体装置」が開示されている。

この光半導体装置においては、外部磁場（外部機器）による磁性体の磁化反転によって円偏光を変調する。

しかし、上記いずれの円偏光発光半導体素子も、円偏光度の変調制御に外部磁場の変調を利用しているので、変調の高速化が困難である。

そこで、最近に至り、光半導体素子に直接電場を印加し円偏光状態を変調制御する試みが提案されている（Y. Ohno et al. , " Elect r ica 1 spin injection in a ferromagnetic semiconductor hetero structure" , Nature 402 (1999) 790. , 及び、 R. Fiederling et al. , " Injection and detection of a spin-polarized current in a light- emitting diode" , Nature 402 (1999) 787. , 参照）。

しかし、この提案においても、円偏光度（右回り、 &回り）を高速で変調制御するまでには至っていない。即ち、円偏光状態（左回り、右回り）を、外部電場により、直接、高速で変調制御する方法は提案されていない。発明の開示

本発明は、円偏光状態を、外部電場により、直接、高速で制御する方法が提案されていないことに鑑み、外部印加電圧により、円偏光度（右回りと左回り）を高速で変調して、円偏光を出力できる円偏光発光半導体素子、及び、該素子の構造を共振器構造に構成した円偏光発光レーザ素子を提供することを目的とする。

本発明者は、上記目的を達成するため鋭意研究した結果、強磁性半導体と非磁性半導体で構成した結合量子井戸構造において発現する、磁性イオンのスピンと半導体中のキャリアスピンとの交換相互作用を利用すると、外部印加電界を変調することにより、円偏光度を直接変調できることを見出した。

また、外部印加電界の変調を高速化することにより、円偏光度の変調を高速化できることも見出した。

本発明は、上記知見に基づいてなされたもので、その耍旨は以下のとおりである。

( 1 ) 非磁性半導体層からなる量子井戸構造と、該構造の障壁層に近接して、バンドギャップの小さい磁性半導体層を備えることを特徴とする P— i 一 n型円偏光変調発光半導体素子。

( 2 ) 前記磁性半導体層が、前記量子井戸構造の障壁層に隣接していることを特徴とする前記（ 1 ) に記載の p— i 一 n型円偏光変調発光半導体素子。

( 3 ) 前記磁性半導体層が、非磁性半導体の障壁層で挟まれ量子井戸層を形成していることを特徴とする前記（ 1 ) 又は（ 2 ) に記載の P— i 一 η型円偏光変調発光半導体素子。

( 4 ) 前記量子井戸構造と磁性半導体層を隔てる障壁層が厚く、非磁性半導体の量子井戸層におけるキャリアの波動関数と、磁性半導体層におけるキヤリァの波動関数が結合していないことを特徴とする前記（ 1 ) 〜（ 3 ) のいずれかに記載の p— i 一 n型円偏光変調発光半導体素子。

( 5 ) 前記量子井戸構造と磁性半導体層を隔てる障壁層が薄く、非磁性半導体の量子井戸層におけるキャリアの波動関数と、磁性半導体層におけるキャリアの波動関数が結合していることを特徴とする前記（ 1 ) 〜（ 3 ) のいずれかに記載の p— i — n型円偏光変調発光半導体素子。

( 6 ) 前記磁性半導体層が、強磁性半導体層であることを特徴とする前記（ 1 ) 〜（ 5 ) のいずれかに記載の p— i — n型円偏光変調発光半導体素子。

( 7 ) 前記非磁性半導体が、 III一 V族非磁性半導体又は II一 V I族非磁性半導体であることを特徴とする前記（ 1 ) 〜（ 6 ) のいずれかに記載の P— i 一 n型円偏光変調発光半導体素子。

( 8 ) 前記 111— V族非磁性半導体が、 Aい _x I n _x A s _y S b _y (A : A 1 、 G aのうちのいずれか 1種又は 2種）であることを特徴とする前記（ 7 ) に記載の p— i 一 n型円偏光変調発光半導体素子。

( 9 ) 前記 III一 VI族非磁性半導体が、 A B (A ： C d、 Z n 、 H gのうちのいずれか 1種又は 2種以上、 B : 〇、 S、 S e、 T eのうちのいずれか 1種又は 2種以上）であることを特徴とする前記（ 7 ) に記載の p— i — n型円偏光変調発光半導体素子。

( 1 0 ) 前記磁性半導体が、 III一 V族磁性半導体又は II— VI 族磁性半導体であることを特徴とする前記（ 1 ) 〜（ 9 ) のいずれかに記載の p— i — n型円偏光変調発光半導体素子。

( 1 1 ) 前記 III一 V族磁性半導体が、 A_{1 - x} B_x C ( A ： A 1

、 G a , I nのうちのいずれか 1種又は 2種以上、 B : S c、 T i 、 V、— C r、 M n、 F e、 C o、 N i のうちのいずれか 1種又は 2 種以上、 C : N、 P、 A s 、 S bのうちのいずれか 1種又は 2種以上）であることを特徴とする前記（ 1 0 ) に記載の p— i 一 n型円偏光変調発光半導体素子。

( 1 2 ) 前記 II一 VI族磁性半導体が、 A,— _s B_x C (A ： C d、 H gのうちのいずれか 1種又は 2種、 B : S c、 T i 、 V、 C r、 M n、 F e、 C o、 N i のうちのいずれか 1種又は 2種以上、 C : 〇、 S、 S e、 T eのうちのいずれか 1種又は 2種以上）であることを特徴とする前記（ 1 0 ) に記載の p— i 一 n型円偏光変調発光半導体素子。 ( 1 3 ) 非磁性半導体層からなる量子井戸構造と、該構造の障壁層に近接して，バンドギヤップの小さい磁性半導体層を備え、かつ、共振器構造を備えることを特徴とする p— i — n型円偏光変調発光レーザ素子。

( 1 4) 前記磁性半導体層が、前記量子井戸構造の障壁層に隣接していることを特徴とする前記（ 1 3 ) に記載の p一 i 一 n型円偏光変調発光レーザ素子。

( 1 5 ) 前記磁性半導体層が、非磁性半導体の障壁層で挟まれ量子井戸層を形成していることを特徴とする前記（ 1 3 ) 又は（ 1

4) に記載の p— i _ n型円偏光変調発光レーザ素子

( 1 6 ) 前記量子井戸構造と磁性半導体層を隔てる障壁層が厚く、非磁性半導体の量子井戸層におけるキャリアの波動関数と、磁性半導体層におけるキャリアの波動関数が結合していないことを特徴とする前記（ 1 3 ) （ 1 5 ) のいずれかに記載の P ― i 一 n型円偏光変調発光レーザ素子。

( 1 7 ) 前記量子井戸構造と磁性半導体層を隔てる壁層が薄く、非磁性半導体の量子井戸層におけるキヤリァの波動関数と、磁性半導体層におけるキャリアの波動関数が結合しているとを特徴とする前記（ 1 3 ) （ 1 5 ) のいずれかに記載の p ― i — n型円偏光変調発光レーザ素子。

( 1 8 ) 前記磁性半導体層が、強磁性半導体層であることを特徴とする前記（ 1 3 ) （ 1 7 ) のいずれかに記載の P ― i 一 η型円偏光変調発光レーザ素子。

( 1 9) 前記非磁性半導体が、 III一 V族非磁性半導体又は II 一 VI族非磁性半導体であることを特徴とする前記（ 1 3 ) 〜け 8

) のいずれかに記載の p— i 一 n型円偏光変調発光レ一ザ素子。

前記 III一 V族非磁性半導体力 b_y (A : A 1 、 G aのうちのいずれか 1種又は 2種）であることを特徴とする前記（ 1 9 ) に記載の p— i 一 n型円偏光変調発光レ一ザ素子。

( 2 1 ) 前記 III一 VI族非磁性半導体が、 A B ( A ·· C d、 Z n、 H gのうちのいずれか 1種又は 2種以上、 B : 0、 S、 S e、 T eのうちのいずれか 1種又は 2種以上）であることを特徴とする前記（ 1 9 ) に記載の p— i 一 n型円偏光変調発光レーザ素子。

( 2 2 ) 前記磁性半導体が、 III— V族磁性半導体又は II一 VI 族磁性半導体であることを特徴とする前記（ 1 3. ). 〜（ 2 1 ) のいずれかに記載の p— i — n型円偏光変調発光レーザ素子。

( 2 3 ) 前記 III一 V族磁性半導体が、 A^ Bx C (A ： A 1

、 G a、 I IIのうちのいずれか 1種又は 2種以上、 B : S c、 T i 、 V、 C r、 M n、 F e、 C o、 N i のうちのいずれか 1種又は 2 種以上、 C : N、 P、 A s 、 S bのうちのいずれか 1種又は 2種以上）であることを特徴とする前記（ 2 2 ) に記載の p— i — n型円偏光変調発光レーザ素子。

( 2 4 ) 前記 II一 VI族磁性半導体が、 A_{l - X} B_x C (A ： C d、 H gめうちのいずれか 1種又は 2種、 B ： S c、 T i 、 V、 C r、 M n、 F e、 C o、 N i のうちのいずれか 1種又は 2種以上、 C : 〇、 S、 S e、 T eのうちのいずれか 1種又は 2種以上）であることを特徴とする前記（ 2 2 ) に記載の p— i 一 n型円偏光変調発光レーサ 5 子。

本発明の円偏光変調発光半導体素子及び円偏光変調発光レーザ素子において、円偏光度の変調周波数は、円偏光発光素子で約 1 0 0 MH z に達し、円偏光発光レーザ素子では約 1 0 GH z に達する。この変調周波数は、従来技術で可能な変調周波数（数 k H z〜数十 k H z ) に比べ著しく高い。また、従来技術では、円偏光状態を形成するのに少なくとも 2つの外部光学素子（直線偏光子 +波長板、又は、直線偏光子 +光弾性変調器）を必要とするが、本発明の上記素子では、そのような外部光学素子（機器）を必要とせずに、左右の偏光状態を形成することができるので、光学装置を小型化できるとともに、さらに、他の半導体と集積化することもできる図面の簡単な説明

図 1 は、本発明素子の素子構造と、そのエネルギー準位構造を示す図である。

図 2 は、図 1 ( d ) に示す素子構造を基礎とする本発明素子例を示す図である。（ a ) は素子構造を示し、 ( b ) 及び（ c ) は動作原理を示す。）は素子構造を示し、（ b ) 及び（ c ) は動作原理を示す。

図 3 ( a ) は、本発明のストライプ発光型レ一ザ素子（強磁性半導体が面内磁化している）の一例を示す図である。

図 3 ( b ) は、本発明のストライプ発光型レーザ素子（強磁性半導体が面内磁化している）の他の例を示す図である。

図 4 ( a ) は、本発明の面発光型レーザ素子（強磁性半導体が垂直磁化している）の一例を示す図である。

図 4 ( b ) は、本発明の面発光型レーザ素子（強磁性半導体が垂直磁化している）の他の例を示す図である。

図 4 ( c ) は、本発明の面発光型レーザ素子（強磁性半導体が垂直磁化している）の上面を示す図である。

図 5 ( a ) は、本発明の特電流 ' 電圧特性を示す図である。

図 5 ( b ) は、本発明の出力光強度の印加電圧依存性を示す図である。図 5 ( c ) は、本発明の円偏光度の印加 t圧依存性を示す図である。

図 6 は、円偏光度を検出する機器配列例を示す図である。

図 7 は、出力光の波形を示す図である。

図 8 は、出カレ一ザ光の波長を光スぺクトラムアナライザ一により測定した結果を示す図である。

図 9 は、レーザ出力の順電流依存性を示す図である。

図 1 0 は、本発明素子を用いた光学異性体の存在比率の測定装置の構成例を示す図である。

図 1 1 は、エリプソメトリ装置の構成例を示す図である。 ( & ) は、従来の構成例を示し、（ b ) は、本発明素子を用いた構成例を示す。発明を実施するための最良の形態

1 ) まず、円偏光変調発光半導体素子について説明する

( 1 ) 素子構造

図 1 ( a ) 〜（ d ) に、本発明の円偏光変調発光半導体素子及び円偏光変調発光レ一ザ素子（本発明素子）において特徴とする 4つの素子構造と、そのェネルギー準位構造を示す。

図 1 ( a ) 及び ( b ) に示す素子構造は、ノンドギヤップの大きい非磁性半導体で形成する障壁層 A、バンドギヤップの小さぃ非磁性半導体で形成する量子井戸層 B、バンドギヤップの大きい非磁性半導体で形成する障壁層 C、及び、バンドギャップの小さい磁性半導体で形成するバルク層 D 1 (エネルギーは量子化されていない）から構成されている。

また、図 1 ( c ) 及び（ d ) に示す素子構造は，バンドギャップの大きい非磁性半導体で形成する障壁.層 A、バンドギヤップの小さい非磁性半導体で形成する量子井戸層 B、バンドギャップの大きい非磁性半導体で形成する障壁層 C、バンドギャップの小さい磁性半導体で形成する量子井戸層 D 2 (エネルギーは量子化されている）、及び、バンドギャップの大きい非磁性半導体で形成する障壁層 E から構成されている。

なお、図 1 中、 F〜 Lは、エネルギー準位を示す。

上記 4つの素子構造においては、バンドギャップの大きい非磁性半導体で形成する障壁層 A、 C とバンドギャップの小さい非磁性半導体で形成する量子井戸層 Bから構成される量子井戸構造と、該構造に近接して、バンドギヤップの小さい磁性半導体で形成する磁性半導体層 D (バルク層 D 1又は量子井戸層 D 2 ) を有する点が共通する。この点が本発明素子の特徴である。

異なる点については、以下説明する。

図 1 ( a ) 及び（ b ) に示す素子構造において、磁性半導体層 D は、障壁層によって挟まれておらず、量子井戸層を形成しない。上記層 Dは、バルク層 D 1として機能する。

本発明素子では、磁性半導体の量子化準位が、アップスピンとダゥンズピンでエネルギー分裂を起こしていることを利用する力、上記のように、磁性半導体が量子化準位を形成していない場合には、価電子帯の底におけるエネルギーが、アップスピンとダウンスピンでエネルギーが異なる（図中、 H、 I 、参照）ことを利用する。

図 1 ( c ) 及び（ d ) に示す素子構造においては、磁性半導体層 Dは、障壁層 C及び Eによって挟まれて、量子井戸層 D 2を形成する。そして、量子井戸層 D 2内では、量子化準位（図中、 K、 L 、参照）が形成されている。即ち、磁性半導体は、量子井戸として機能する。

このように、磁性半導体が量子化準位を形成する場合は、量子化準位の分裂（図中、 K：、 L、参照）を利用する。

また、図 1 ( a ) 及び（ c ) に示す素子構造においては、非磁性半導体で形成する量子井戸層 Bと磁性半導体層 D (バルク層 D 1又. は量子井戸層 D2) とを隔てる障壁層 C (バンドギャップの大きい非磁性半導体からなる）、図 1 ( b ) 及び（ d ) に示す素子構造における障壁層 Cに比べて、厚く構成されている。

上記障壁層 Cの層厚が厚い場合には、非磁性半導体で形成する量子井戸層と磁性半導体層において波動関数の重なり又は結合がない。一方、上記障壁層 Cの層厚が薄い場合には、上記両層において波動関数は結合している。

( 2 ) 素子構造の動作原理

ここで、図 1 ( d ) に示す素子構造を例にとり、本発明素子の動作原理を説明する。図 2 ( a ) に、上記素子構造をとる本発明素子の一例（本発明素子例）を示し、図 2 ( b ) 及び（ c ) に、そのェネルギ一準位構造を示す。

本発明素子例は、基板（ n型） Qの上に、バッファ層（ η型） R を介し、図 1 ( d ) に示す素子構造を構成する A〜 E層が積層され、さらに、非磁性半導体（ P型）で形成する障壁層 Eの上に、コンタク卜層 Sが積層されている。そして、上記 A〜 E層には、ノッファ層（ n型） Rとコンタクト層 Sを介し、電圧 Vを印加できるように回路構成する。

P型強磁性半導体からなる量子井戸層 Dにおいては、磁性イオンのスピンと半導体中のキャリアスピンとの交換相互作用により、価電子帯が、上向きスピンと下向きスピン間にエネルギー分裂を起こしている（図中、 I 、 J 、参照）。

本発明素子例は、量子井戸層 Dを構成する強磁性半導体のキューリ温度以下で使用する。キューリ温度は、これまでの報告によれば、 1 5 O K程度及びそれ以下であるが、近年、さらに高いキューリ温度（例えば、室温以上）を持つ強磁性半導体が報告されている。本発明素子で使用する強磁性半導体は特定のものに限定されないので、本発明素子の動作は、必ずしも低温環境下だけに制限されないなお、強磁性半導体は、キューリ温度以下で自発磁化を有しているので、本発明素子の動作において、該素子に外部磁場を印加する必要はないが、より大きな円偏光度を得るために、動作時（又は動作前）に、外部磁場を適宜印加して着磁してもよい.。

図 2 に示す本発明素子例では、量子井戸層 Dは、量子井戸層 Bに比べ、層厚が薄くなつており、量子井戸層 Dにおける量子化準位（伝導帯 L、価電子帯 I 、 J ) は、量子井戸層 Bにおける量子化準位 (伝導帯 M、価電子帯）より高くなつている。

量子化準位が上記関係にある素子に、順方向電圧 Vを印加すると、 n型領域にある電子は、図 2 ( a ) 中、 A→Eの方向へ移動し、 P型領域にある正孔は、 E→Aの方向へ移動するが、電子は、中央の障壁層 Cによりブロックされるので、 i 型非磁性半導体で形成する量子井戸層 Bに蓄積され、一方、正孔は、 p型強磁性半導体で形成する量子井戸層 Dに蓄積される。

そして、上記素子に、量子井戸層 Bの量子化準位 Kと、量子井戸層 Dにおけるアップスピンをもつ正孔の量子化準位 I がー致するような電圧（ V = V a) を印加すると、アップスピンを持つ正孔のみが、共鳴トンネル現象により量子井戸層 Bに移動し、量子井戸層 B で再結合し、発光する（図 2 ( b ) 、参照）。

この時、光学選択則により、アップスピンを持つ電子とアツブスピンを持つ正孔のみが再結合し、左回り円偏光 ( σ _ ) の発光が観測される。さらに、量子井戸層 Bの量子化準位 Kと、量子井戸層 Dのダウンスピンを持つ正孔に対する量子化準位 Jがー致するような電圧（V = Vb) を印加すると、ダウンスピンを持つ正孔のみが共鳴卜ンネル現象により、量子井戸層 Bに注入され、再結合し、発光する（図 2 ( c ) , 参照）。

この時、光学選択則により、ダウンスピンを持つ電子とダウンスピンを持つ正孔のみが再結合し、右回り円偏光（ σ +) の発光が観測される。

以上の原理により、電圧 V aと V bの間で印加電圧を、所定の周波数で変調することにより、右回り円偏光（ σ +) と左回り円偏光 ( σ -) を、上記周波数に従って変調できる。この点が、本発明素子における特徴的動作である。

( 3 ) ここで、本発明素子で用いる半導体の材料について説明する。

ρ型又は η型の非磁性半導体は、 III一 V族非磁性半導体又は II 一 VI族非磁性半導体が好ましい。特に、 III— V族非磁性半導体としては、 Αい x l r^A s n S by (A : A 1 、 G aのうちのいずれか 1種又は 2種）が好ましく、また、 III— VI族非磁性半導体としては： A B (A : C d、 Z n、 H gのうちのいずれか 1種又は 2種以上、 B : 0、 S、 S e、 T eのうちのいずれか 1種又は 2種以上 ). が好ましい。

P型磁性半導体としては、 III— V族磁性半導体が好ましい。特に、 III— V族磁性半導体としては、 A_{I - X} B_X C (A ： A 1 , G a 、 I nのうちのいずれか 1種又は 2種以上、 B : S c、 T し V、 C r、 M n、 F e、 C o、 N i のうちのいずれか 1種又は 2種以上、 C : N、 P、 A s 、 S bのうちのいずれか 1種又は 2種以上）が好ましい。また、 i 型磁性半導体は、 III一 V族磁性半導体又は II一 VI族磁性半導体が好ましい。

特に、 III— V族磁性半導体としては、 A^ Bx C (A : A 1 、 G a、 I nのうちのいずれか 1種又は 2種以上、 B : S c、 T i 、 V、 C r、 M n、 F e、 C o、 N i のうちのいずれか 1種又は 2種以上、 C : N、 P、 A s 、 S bのうちのいずれか 1種又は 2種以上 ) が好ましい。

また、 II一 VI族磁性半導体としては、 A_{1 - x} B_x C ( A ： C d、 H gのうちのいずれか 1種又は 2種、 B : S c、 T .i 、 V、 C r、 M n、 F e、 C o、 N i のうちのいずれか 1種又は 2種以上、 C : 〇、 S、 S e、 T eのうちのいずれか 1種又は 2種以上）が好ましい

2 ) 次に、円偏光変調発光レーザ素子について説明する。

円偏光変調発光レーザ素子の素子構造は、円偏光変調発光半導体素子の素子構造と基本的に同じであり、該構造を共振器構造にすることで、レーザ発光を実現することができる。

レーザ発光は、面発光型及びストライプ発光型のどちらも可能であるが、より大きな円偏光度を持つレーザを発光するためには、素子構造を、強磁性半導体が面内磁化を有している場合（例えば、（ G a、 n ) A s ) はストライプ発光型の素子構造（図 3 ( a ) 、 ( b ) 、参照）とし、強磁性半導体が垂直磁化を有している場合（例えば、（G a、 M n ) A s ： N) は、面発光型の素子構造（図 4 ( a ) 〜（ c ) 、参照）とするのが好ましい。実施例

次に、本発明の実施例について説明するが、実施例の条件は、本発明の実施可能性及び効果を確認するために採用した一条件例であり、本発明は、この一条件例に限定されるものではない。

本発明は、本発明の要旨を逸脱せず、本発明の目的を達成する限りにおいて、種々の条件を採用し得るものである。

また、応用例を幾つか示したが、本発明素子の応用は、これら応用例に限定されるものではない本発明は、その特徴（素子構造及び動作原理）を利用する限りにおいて、種々の応用が可能なものでめ。

(実施例 1 ) 円偏光変調発光半導体素子の作製

A. 成膜

分子線エピタキシー法（MB E法）を用い、 S i ドープ n型 G a

A sの上に、下記の手順に従つて成膜を行った。

1 . 基板温度 6 0 0でで、バッファ層として、厚さ 2 の S n ド一プ n— G a A s 層（キヤリァ濃度 5 X 1 0^{1 8} c m³) を成膜

2. 基板温度 6 0 0 °Cで、厚さ 5 0 n mの S n ドープ η _ Α 1₀.

₃ G a Q.₇A s 「

層（キャリア濃度 X 1 0 ^{| 8}/ c m³) を成膜（障壁層）。

3. 基板温度 6 0 0 °Cで、厚さ 4 n mのノンドープ G a A s層を成膜（量子井戸層）。

4. 基板温度 6 0 0でで、厚さ 5 n mのノンドープ A 1 G a

.₇ A s 層を成膜（障壁層）。

5. 基板温度 2 1 0 °Cで、厚さ 5 n mの強磁性半導体（ p型）の

(G a、 n ) A s層（M n濃度 4 % 、キャリア濃度 5 X 1 0¹⁹ノ c m³) を成膜（量子井戸層）。

6. 基板温度 2 1 0 tで、厚さ 2 0 n mの B e ド一プ P— A 1 G a A s層（キャリア濃度 5 X 1 0 ^{1 8}ノ c m³) を成膜（障壁層）。

7. 基板温度 2 1 0 °Cで、厚さ 1 0 O n mの B e ドープ p— G a A s層（キャリア濃度 5 X 1 0¹⁹ノ c m³) を成膜（コンタクト層 ) 。

B . 加工

M B E法で作製した上記素子構造を、（ 1 1 0 ) 面をへき開面としてへき開した。素子長（L ) は 3 0 0 w m、幅（W) は 2 0 0 mである。上部に、 p電極として T i ( 5 n m) ノ A u ( 5 0 n m ) を蒸着した。蒸着後、 n— G a A s基板の裏面を I Cホルダの銅電極上に、 I nでマウントした。さらに、 p電極を、金線で I Cホルダの端子に接続した。

C . 円偏光出力の検出

( C -1) 上記素子の強磁性半導体（G a、 M n ) A s のキューリ温度は 1 0 0 Kであるので、該素子を液体窒素温度（ 7 7 K ) に冷却した。強磁性半導体は、キューリ温度以下で自発磁化を有している（容易化軸は面内）ので、素子に外部磁場を印加する必要はないが、より大きな円偏光度を得るために、動作時（又は動作前）に、磁場印加用の永久磁石を置いて、 0. 55T e s 1 a程度の磁場を印加して着磁してもよい。

図 5 ( a ) に、電流，電圧特性を、また、図 5 ( b ) に、出力光強度の印加電圧依存性を示す。印加電圧 V a = 0. 7 V、及び、 V b = 0. 7 1 Vのそれぞれにおいて、極値が現れていることが解る。出力光の波長を、光スペクトラムアナライザーを用いて測定した結果、該波長は 7 7 0 n mであった。

( C -2) 次に、出力光の円偏光度の測定を行った。図 6 に、円偏光高速変調発光半導体素子からの出力光の円偏光度を検出するために構成した機器配列を示す。

出力光を、光学遅延軸を水平面に対し 4 5 ° 傾けた光弾性変調器に通した後（ λ 4遅延）、水平面に対し偏光角 0に設定したダラ 6301702 ンレーザプリズム（直線偏光子）を通し、直線偏光とした後の光強度をホトダイオードで受光した。

光弾性変調器は、印加電圧を調整して、偏光角 0の直線偏光が入射したときに、右回り · 左回りの円偏光が 5 0 k H z の周波数で交互に生じるように調整した。

ホトダイオードから生じた光電流は、電流 · 電圧増幅器（増幅率 1 0⁶ V A ) により電圧信号に変換 · 増幅した後、デジ夕ルストレ一ジオシロスコープ（入力インピーダンス 1 0 0 Μ Ω) に入力した。

図 7 に、得られた出力光の波形を示す。円偏光度 Pは、 I ₊、 I - を、それぞれ右回り円偏光、左回り円偏光の強度として、下記の式によって定義される。

P = ( I ₊ - I .) / ( I ₊ + I _)

図 5 ( c ) に、円偏光度の印加電圧依存性を示す。円偏光度 Pは、最大で 2 0 %である。本素子を用いて、電流値を一定にし、電圧を V a と V bの間で変調することにより、左回り円偏光と右回り円偏光の間で変調を行った。本素子において、円偏光度の最大変調周波数は、約 1 0 0 MH zであった。

(実施例 2 ) 円偏光変調発光レーザ素子の作製

A. 成膜

分子線エピタキシー法（ M B E法）を用い、 S i ドープ n型 G a A s の上に、下記の手順に従って成膜を行った。

1. 基板温度 6 0 0 °Cで，ノッファ層として厚さ 2 mの S n ドープ n — G a A s 層（キャリア濃度 S X l O ^Z c m³) を成膜。

2. 基板温度 6 0 O :で、厚さ 5 0 n mの S n ドープ n— A l ₀. ₃ G a。 ₇ A s層（キャリア濃度 5 X 1 0¹⁸ノ c m³) を成膜。

3. 基板温度 6 0 0でで、厚さ 5 n mのノンドープ G a A s層を 06301702 成膜。

4. 基板温度 6 0 0でで、 .厚さ 5 n mのノンド一プ A 1₀.₃ G a ₀ .₇ A s を成膜。

5. 基板温度 2 1 0 °Cで、厚さ 5 n mの強磁性半導体（ p型）の (G a、 M n ) A s 層（キャリア濃度 5 X 1 0^{1 9}ノ c m ³ ) を成膜

6. 基板温度 2 1 0 で、厚さ 2 0 n mの B e ド一プ p— A l ₀. ₃ G ao.₇A s 層（キャリア濃度 S X l O Z c m³) を成膜。

7. 基板温度 2 1 0 °Cで、厚さ l O O n mの B e ドープ P— G a A s (キャリア濃度 1 X 1 0 / c m³) を成膜。 .

B . 加工

M B E法で作製した上記素子構造の上部を、ホトリソグラフィで加工し、 A l _Q.₃ G a_fl.₇A s をストライプ状に残した。ストライプ幅（ S ) は 1 0 mとした（図 3 ( b ) 、参照）。その後、同じくホトリソグラフィを用いて、 A l o. 3 G a o. 7 A s 上に、 p電極として、 T i ( 5 n m) / A u ( 2 0 n m) を蒸着した。

次いで、素子構造を、 G a A s の（ 1 1 0 ) へき開面に沿ってへき開じた。素子長（L) は 3 0 0 ΠΙ、幅（W) は 2 0 0 mである。へき開面での反射率を上げるため、へき開面に、 ^ と！^ F₂を交互に積層した誘電体多層膜を蒸着した。本素子における発信波長 7 7 0 n mでの誘電体多層膜の反射率は約 9 8 %である。

P電極を、金線で I Cホルダの端子に接続した。また、上記素子構造の裏面を、 I Cホルダの銅電極（ n電極）上に、 I nでマウン卜し、さらに、 n電極を、金線で. I Cソケットの端子に接続した。

C . 円偏光出力の検出

図 8 に、出力レーザ光の波長を光スぺク卜ラムアナライザ一により測定した結果を示す。順方向印加電圧 0.. 7 0 Vの時、及び、 0 1702

. 7 1 Vの時に、レーザ発振が起きた。

図 9 に、印加電圧 0 . 7 0 及び 0 . 7 I Vの時のレーザ出力の順電流依存性を示す。印加電流を一定にして印加電圧を変調することにより、左回り · 右回りの両円偏光度を変調することができた。最大変調周波数は約 1 0 G H z であった。

以上、（実施例 1 ) 及び（実施例 2 ) で説明したように、本発明素子は、円偏光変調光半導体素子として、実際に機能するものである。したがって、本発明素子の応用例として種々考えられるが、典型的な応用例を、以下に説明する。

(応用例 1 ) 光学異性体の存在比率の測定装置

本発明素子を用いて ·、図 1 0 に示すような上記測定装置を構成でさる。

光学異性体は、旋光度以外の物理的性質、化学的性質が同じであるため、光学異性体の存在比率を測定するためには、右回り · 左回りの円偏光に対する吸収率の差を検出する必要がある。この時、上記吸収率の差を高感度で測定するためには、出力光の円偏光度を高速変調し、光学異性体を透過した光強度の変調成分を検出する方法が最も有用である（位相検波法）。

本発明素子は、出力光の偏光度を、外部印加電圧の変調により高速で変調できるので、位相検波法に従う測定装置に応用できる。

図 1 0 に、 L一グルタミン酸水溶液の光学異性体の存在比率を測定す.る測定装置の一構成を示す。

左回り円偏光と右回り円偏光を、被測定試料の L 一グルタミン酸水溶液に照射する。 L一グルタミン酸は、光学的異性体で、左回り円偏光を選択的に強く吸収する。

被測定試料を通過した円徧光をホ卜ダイオードに入力し、出力電流を電流ノ電圧変換増幅器で増幅し、デジタルオシロスコープに入力する。

被測定試料の L 一グル夕ミン酸水溶液は、 1 0 0 m d egの円二色性を示すことカ^ 別の測定で解かっているので、パーソナルコンピユー夕（図示なし）で、被測定試料の円二色性を計算して一致性を確認する。一計算例で、約 1 0 0 d egの円二色性を得た。このように、本発明素子を用いることにより、光学異性の円二色性を高精度で測定できる。

(応用例 2 ) エリプソメ卜リ装置

本発明素子を、エリプソメトリ装置に応用するとができる（図' 1 1 、参照）。エリプソメ卜リ装置では、光源からの光を直線偏光子により直線偏光して、試料に、斜めに入射し、その反射光の楕円率を測定するが、この方法では、少なくとも、三つの外部光学素子 (機器）を必要とする（図 1 1 ( a ) 、参照）ので、装置全体の小型化には限界がある。

しかし、本発明素子を用いると、図 1 1 ( b ) に示すように、必要な光学素子（機器）は、直線偏光子一つであるので、装置全体を大幅に小型化できる。

(応用例 3 ) 高速光通信用光源

既存の光通信網では、光強度の強弱を信号の 0 、 1 に対応させて通信を行う。通信の多重化を実現するため、偏光の自由度を用いることが考えられるが、従来技術では、右回り · 左回りの円偏光度を、外部の光学素子（機器）で制御しなければならず、光源の小型化、さらに、高速化も困難である。

本発明素子は、外部電圧を高速で変調することにより、右回り円偏光、左回り円偏光を高速で変調できるので、本発明素子を光源として用いることにより、既存の光通信網において、多重化高速通信を達成できる。 (応用例 4 ) ナノ構造磁気メモリの磁区構造の観察左回り円偏光と右回り円偏光では、試料表面の垂直磁化の方向に対応して反射率が異なるので、磁気ランダムアクセスメモリ（M R A M ) などの表面の磁区構造を直接観察するための小型光源として用いることができる。産業上の利用可能性

本発明によれば、外部印加電圧により、右回り · 左回りの円偏光度を、高速で制御することがきる。即ち、外部印加電圧の周波数を変調して、出力光の偏光度を高速で変調制御することができる。

また、本発明は、外部の光学素子（機器）を必要としないので、光学装置を小型化できるとともに、さらに、半導体と集積化することもできる。

したがって、本発明は、光学技術だけでなく、生産技術、情報通信技術、スぺクトロスコピー、ナノテクノロジー.、量子操作技術を基盤とする先端技術産業における利用可能性が極めて大きいものである。

Claims

請求の範囲

1 . 非磁性半導体層からなる量子井戸構造と、該構造の障壁層に近接して、バンドギャップの小さい磁性半導体層を備えることを特徴とする P— i - n型円偏光変調発光半導体素子。

2 . 前記磁性半導体層が、前記量子井戸構造の障壁層に隣接していることを特徴とする請求の範囲 1 に記載の P— i 一 η型円偏光変調発光半導体素子。

3 . 前記磁性半導体層が、非磁性半導体の障壁層で挟まれ量子井戸層を形成していることを特徴とする till求の範囲 1 又は 2 に記載の p — i — n型円偏光変調発光半導体素子

4 . 前記量子井戸構造と磁性半導体層を隔てる障壁層が厚く、非磁性半導体の量子井戸層におけるキヤ U ァの波動関数と、磁性半導体層におけるキャリアの波動関数が結 α していないことを特徴とする請求の範囲 1〜 3のいずれか 1項に記載の P— i 一 η型円偏光変調発光半導体素子。

5 . 前記量子井戸構造と磁性半導体層を隔てる障壁層が薄く、非磁性半—導体の量子井戸層におけるキャ υ ァの波動関数と、磁性半導体層におけるキャリアの波動関数が結 U しているとを特徴とする請求の範囲 1 〜 3 のいずれか 1項に記載の P— i 一 η型円偏光変調発光半導体素子。

6 . 前記磁性半導体層が、強磁性半導体層であることを特徴とする請求の範囲 1 〜 5のいずれか 1 項に記載の P - ί 一 rv型円偏光変調発光半導体素子。

7 . 前記非磁性半導体が、 I I I一 V族非磁性半導体又は I I一 V I族非磁性半導体であることを特徴とする請求の範囲 1 〜 6 のいずれか 1 項に記載の P— i 一 n型円偏光変調発光半導体素子。

8. 前記 III一 V族非磁性半導体が、 A,— _x I n _x A s ,__y S b_y ( A : A 1 、 G aのうちのいずれか 1種又は 2種）であることを特徴とする請求の範囲 7に記載の p— i 一 n型円偏光変調発光半導体素子。

9. 前記 III一 VI族非磁性半導体が、 A B (A : C d、 Z n、 H gのうちのいずれか 1種又は 2種以上、 B : 0、 S、 S e、 T eのうちのいずれか 1種又は 2種以上）であることを特徴とする請求の範囲 7に記載の p— i 一 n型円偏光変調発光半導体素子。

1 0. 前記磁性半導体が、 III一 V族磁性半導体.又は II— VI族磁性半導体であることを特徴とする請求の範囲 1〜 9のいずれか 1項に記載の P— i 一 n型円偏光変調発光半導体素子。

1 1. 前記 III— V族磁性半導体が、 A^_x B_x C (A ： A 1 、 G a、 I nのうちのいずれか 1種又は 2種以上、 B : S c、 T i 、 V 、 C r、 M n、 F e、 C o、 N i のうちのいずれか 1種又は 2種以上、 C : N、 P、 A s 、 S bのうちのいずれか 1種又は 2種以上）であることを特徴とする請求の範囲 1 0に記載の p— i _ n型円偏光変調発光半導体素子。

1 2. 前記 II— VI族磁性半導体が、 A,__x B_x C (A ： C d、 H g のうちのいずれか 1種又は 2種、 B : S c、 T i 、 V、 C r、 n 、 F e、 C o、 N i のうちのいずれか 1種又は 2種以上、 C : 0、 S、 S e、 T eのうちのいずれか 1種又ば 2種以上）であることを特徴とする請求の範囲 1 0 に記載の p— i 一 n型円偏光変調発光半導体素子。

1 3. 非磁性半導体層からなる量子井戸構造と、該構造の障壁層に近接して、バンドギャップの小さい磁性半導体層を備え、かつ、共振器構造を備えることを特徴とする P— i 一 n型円偏光変調発光レーザ素子。

1 4. 前記磁性半導体層が、前記量子井戸構造の障壁層に隣接していることを特徴とする請求の範囲 1 3 に記載の p— 1 — n型円偏光変調発光レーザ素子。

1 5. 前記磁性半導体層が、非磁性半導体の障壁層で挟まれ量子井戸層を形成していることを特徴とする請求の範囲 1 3又は 1 4に記載の P— i 一 n型円偏光変調発光レーザ素子。

1 6. 前記量子井戸構造と磁性半導体層を隔てる障壁層が厚く、非磁性半導体の量子井戸層におけるキャリアの波動関数と、磁性半導体層におけるキャリアの波動関数が結合していないことを特徴とする請求の範囲 1 3〜 1 5のいずれか 1項に記載の p— i 一 n型円偏光変調発光レーザ素子。

1 7. 前記量子井戸構造と磁性半導体層を隔てる障壁層が薄く、非磁性半導体の量子井戸層におけるキャリアの波動関数と、磁性半導体層におけるキャリアの波動関数が結合していることを特徴とする請求の範囲 1 3〜 1 5のいずれか 1項に記載の p— i — n型円偏光変調発光レーザ素子。

1 8. 前記磁性半導体層が、強磁性半導体層であることを特徴とする請求の範囲 1 3〜 1 7のいずれか 1項に記載の p— i _ n型円偏光変調発光レーザ素子。

1 9. 前記非磁性半導体が、 III一 V族非磁性半導体又は II— VI 族非磁性半導体であることを特徴とする請求の範囲 1 3〜 1 8のいずれか 1項に記載の p— 1 一 n型円偏光変調発光レーザ素子。

2 0. 前記 III— V族非磁性半導体が、 A,__x I n_x A s い _y S b_y (A ： A 1 、 G aのうちのいずれか 1種又は 2種）であることを特徴とする請求の範囲 1 9に記載の p— i 一 n型円偏光変調発光レーザ素子。

2 1 . 前記 ΠΓ— VI族非磁性半導体が、 A B ( A ： C d、 Z n、 H gのうちのいずれか 1種又は 2種以上、 B : 0、 S、 S e、 T e のうちのいずれか 1種又は 2種以上）であることを特徴とする請求の範囲 1 9に記載の p— i _ n型円偏光変調発光レーザ素子。

2 2. 前記磁性半導体が、 III一 V族磁性半導体又は Π— VI族磁性半導体であることを特徴とする請求の範囲 1 3〜 2 1 のいずれか 1項に記載の P— i 一 n型円偏光変調発光レーザ素子。

2 3. 前記 111 _ V族磁性半導体が、 A ,— _x B _x C ( A ： A 1 、 G a、 I nのうちのいずれか 1種又は 2種以上、 B ： S c、 T i 、 V 、 C r、 M n、 F e、 C o、 N i のうちのいずれか 1種又は 2種以上、 C : N、 P、 A s 、 S bのうちのいずれか 1種又は 2種以上）であることを特徴とする請求の範囲 2 2に記載の p— i _ n型円偏光変調発光レーザ素子。

2 4. 前記 II一 VI族磁性半導体が、 Aい _x B_x C (A ： C d、 H g のうちのいずれか 1種又は 2種、 B : S c；、 T i 、 V、 C r、 M n 、 F e、 C o、 N i のうちのいずれか 1種又は 2種以上、 C : 0、 S、 S e、 T eのうちのいずれか 1種又は 2種以上）であることを特徴とする請求の範囲 2 2に記載の p— i 一 n型円偏光変調発光レ一ザ素子。