JP4819839B2 - 位置決め装置の製造方法 - Google Patents
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Description
これらによって、高速で、高精度に位置決めする位置決め装置を提供することができ、露光装置において、高い生産性とアライメント精度を実現できる。
また、熱膨張率が1.0e−6(1/℃)以下の低熱膨張材やSiCからなる場合では、中空構造にするために同時に一体焼結できず、2体以上の部品になる。このような場合であっても、熱膨張係数が合わない接着剤やガラス接合のようなものではなく、熱膨張率差を吸収するようにメタル接合を用いることによって従来のような接合部での剛性劣化がない。これによって、同一種材質で一体中空構造にすることができる。
すなわち、リブ構造は、中空天板2の上下の板に一体になっている。そして、中空天板の上下の板を囲むような外周の側板があって、このリブは側板と側板が接する隅部から離れた側板の腹部から始まり図形対象位置関係をもつ別の側板の腹部につながるように配置されればよい。
さらに、図5(a)の発展系として、図5(b)を示す。外側の四隅の三角部分を軽くすることによって図5(a)は固有振動数を向上させている。しかし、実際の構成では、ミラー3等の質量が乗る。このような場合には図5(b)のように側板と側板が接する接点からリブを出すように対角線にリブを入れるのではなく、ねじりに弱いところである腹Rwからリブを出すことが固有振動数向上に有効である。
また、無機質繊維複合材を用いた場合は、比剛性が高いので、より軽量でかつ高剛性を実現できる。
熱膨張率が1.0e−6(1/℃)以下の低熱膨張材を用いる場合、低熱膨張材の材質がコージライト系である場合、ヤング率が低く、天板として適用することができなかったが、本発明のリブ構造の中空天板にすることによって、低熱膨張材でも実現することが可能となった。
また、SiCのコンポジット材よりも高剛性を求めるためにヤング率が高い材質であるSiCを用いた場合であっても、同様の効果が得られることは言うまでもない。
この光学ミラー3の材質も、熱膨張率差による中空天板2の変形を避けるために、中空天板2と同じ材質である。同じ材質で一体構造になっているので、ミラー3がステージの移動時の加速で動くという問題は発生しない。また、剛性の高い中空天板2に保持されているために、ミラー3が変形する心配もないという利点がある。
H1:中空内部、H2:中空内部、H2a:導通穴、H2c:取り付け穴、H3:中空内部、LMX:X方向微動リニアモータ、LMX1:可動側、LMX2:固定側、LMY:Y方向微動リニアモータ、LMY1:可動側、LMY2:固定側、LMZ:Z方向微動リニアモータ、LMZ1:可動側、LMZ2:固定側、W:ウエハ。
Claims (2)
- 基板または原版を保持するためのチャックと、該チャックを保持するリブ構造の天板とを有し、N 2 雰囲気、He雰囲気、真空雰囲気のいずれかの環境で前記基板を移動させるための位置決め装置の製造方法において、
熱膨張率が1.0e−6(1/℃)以下の低熱膨張材、無機質繊維複合材、SiC、SiCとSiから形成されるSiCのコンポジット材のいずれかの材質からなるリブ構造の天板であって、該リブ構造の中空内部と外部とを連通する導通穴を有する天板を形成する工程と、
該導通穴を介して前記中空内部に粉体を充填する工程と、
該粉体が充填された状態で前記天板の表面をラップ加工する工程と、
を備えることを特徴とする製造方法。 - 前記充填工程において、前記天板の中空内部に前記天板の材質を充填した場合の重量と等しくなるように前記中空内部に前記粉体を充填することを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
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