JP4806127B2 - 薄膜形成方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜形成方法に関し、特に被処理体に均一な膜厚の薄膜を形成する薄膜形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造工程においては、例えば熱処理によって、被処理体に薄膜を形成することが行われている。被処理体、例えば半導体ウエハ、にシリコン酸化膜を形成する工程では、例えば、図５に示すような熱処理装置５１を用いて、以下のようにシリコン酸化膜が形成される。
【０００３】
まず、熱処理装置５１の反応管５２内に、ウエハボート５３に収容された複数枚の半導体ウエハ５４をロード（搬入）する。このとき、半導体ウエハ５４の表面にはシリコン膜が予め形成されている。次に、排気ポート５５から反応管５２内のガスを排出し、反応管５２内を所定の圧力に減圧する。反応管５２内が所定の圧力に減圧されると、ヒータ５６により反応管５２を加熱して所定の温度に昇温し、ガス供給管５７から反応管５２内に熱処理用ガスとしての酸素ガスを供給する。そして、半導体ウエハ５４の表面に酸素ガスが供給され、半導体ウエハ５４上にシリコン酸化膜が形成される。
【０００４】
このようなシリコン酸化膜の形成では、ヒータ５６により反応管５２を所定の温度に昇温させる昇温工程で、半導体ウエハ５４の表面に所定厚のシリコン酸化膜（以下、初期酸化膜という）が形成されていないと、昇温工程中に半導体ウエハ５４の表面が荒れてしまい、形成されるシリコン酸化膜の膜質が悪くなるおそれがある。このため、シリコン酸化膜の形成では、昇温工程中に、ガス供給管５７から酸素ガスを含む所定量の処理ガスを反応管５２に供給し、半導体ウエハ５４に初期酸化膜を形成している。そして、その後、ガス供給管５７から処理ガスとほぼ同量の酸素ガスを反応管５２に供給して、半導体ウエハ５４にシリコン酸化膜を形成している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、昇温工程中では、加熱された半導体ウエハ５４の表面の温度は、半導体ウエハ５４の周囲にヒータ５６が配置されているため、その中央部が低く、エッジ部（周縁部）が高くなりやすい。初期酸化膜は温度が高い箇所での酸化レートが高くなるため、その中央部が薄く、エッジ部が厚くなりやすくなり、均一な膜厚に形成することが困難となる。そして、この初期酸化膜上に、熱処理工程でのシリコン酸化膜が形成されることから、その膜厚の差を相殺することはできず、半導体ウエハ５４に均一な膜厚のシリコン酸化膜を形成することは困難であった。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、被処理体に均一な膜厚の薄膜を形成することができる薄膜形成方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る薄膜形成方法は、
反応室内に被処理体を複数枚収容可能なバッチ式縦型熱処理装置を用いて被処理体に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
前記被処理体を前記反応室内に収容し、該反応室内を所定の圧力に減圧する減圧工程と、
前記被処理体を所定の温度に昇温する昇温工程と、
前記反応室内に熱処理用ガスを供給して、前記被処理体に薄膜を形成する熱処理工程とを備え、
前記昇温工程中に、前記被処理体の周縁部を冷却可能な流量で、前記反応室内に前記熱処理用ガスを含む処理ガスを供給するとともに、前記被処理体を回転させ、
前記昇温工程中に、前記反応室内に前記処理ガスを、少なくとも５リットル／ｍｉｎ供給する、ことを特徴とする。
【００１０】
本発明の第２の観点に係る薄膜形成方法は、
反応室内に被処理体を複数枚収容可能なバッチ式縦型熱処理装置を用いて被処理体に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
前記被処理体を前記反応室内に収容し、該反応室内を所定の圧力に減圧する減圧工程と、
前記被処理体を所定の温度に昇温する昇温工程と、
前記反応室内に熱処理用ガスを供給して、前記被処理体に薄膜を形成する熱処理工程とを備え、
前記昇温工程中に、前記被処理体の周縁部を冷却可能な流量で、前記反応室内に前記熱処理用ガスを含む処理ガスを供給するとともに、前記被処理体を回転させ、
前記処理ガスに、前記熱処理用ガスを、その分圧が少なくとも１０Ｐａとなるように含ませる、ことを特徴とする。
【００１２】
前記反応室は、例えば、前記被処理体を複数枚収容可能な被処理体収容部を備えている。そして、前記処理ガスを前記反応室に供給するとともに、前記被処理体が収容された前記被処理体収容部を回転させることにより、昇温工程で複数枚の被処理体が均一な温度に昇温されやすくなる。
【００１５】
前記熱処理用ガスとしては、例えば、酸素ガス、前記処理ガスとしては、例えば、酸素ガスと窒素ガスとの混合ガスを用いることができる。この場合、前記被処理体には酸化膜が形成される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態にかかる薄膜形成方法及び薄膜形成装置を、図１に示すバッチ式縦型熱処理装置を用いて、半導体ウエハ（被処理体）上にシリコン酸化膜を形成する場合を例に説明する。
【００２３】
図１に示すように、熱処理装置１は、長手方向が垂直方向に向けられた有天井の円筒状に形成された反応管２を備えている。反応管２は、耐熱材料、例えば石英により形成されている。
【００２４】
反応管２の下方には、筒状に形成されたステンレス鋼（ＳＵＳ）からなるマニホールド３が配置されている。マニホールド３は、反応管２の下端と気密となるように接続されている。
【００２５】
マニホールド３の下方には蓋体４が配置されている。蓋体４には回転軸５が挿通され、回転軸５がボートエレベータ６の昇降部７に接続されている。このため、ボートエレベータ６により蓋体４は上下動可能に構成されている。そして、ボートエレベータ６により蓋体４が上昇すると、マニホールド３の下方側が閉鎖される。
【００２６】
また、回転軸５上には回転テーブル８が配置され、回転テーブル８に、例えば石英からなるウエハボート９が載置されている。ウエハボート９には、被処理体、例えば半導体ウエハ１０が垂直方向に所定の間隔をおいて複数枚収容されている。このウエハボート９に収容された半導体ウエハ１０は、ウエハボート９が反応管２内に挿入されることにより反応管２の内部に配置される。また、回転軸５を介して回転テーブル８を回転させることにより、ウエハボート９（半導体ウエハ１０）が回転される。
【００２７】
反応管２の周囲には、反応管２を取り囲むように、例えば抵抗発熱体からなる昇温用ヒータ１１が設けられている。そして、昇温用ヒータ１１を駆動することにより、反応管２内が所定の温度に設定される。ここで、昇温用ヒータ１１は半導体ウエハ１０の周囲に配置されることとなり、半導体ウエハ１０はその周縁部から昇温用ヒータ１１により加熱されることとなる。
【００２８】
マニホールド３の側面には、ガス導入管１２が挿通されている。ガス導入管１２は、反応管２内で上方に曲折りされ、反応管２の天井付近まで延伸されている。そして、ガス導入管１２の先端部１２ａが反応管２の下方に向くように屈曲形成されている。
【００２９】
また、ガス導入管１２には、第１ガス導入管１３と第２ガス導入管１４とが接続されている。そして、第１ガス導入管１３から、例えば、酸素ガス（Ｏ２）のような熱処理用ガスがガス導入管１２を介して反応管２内に導入される。また、第２ガス導入管１４から、例えば、窒素ガス（Ｎ２）のような希釈用ガスがガス導入管１２を介して反応管２内に導入される。なお、本実施の形態では、熱処理用ガスと希釈用ガスにより処理ガスが構成されている。
【００３０】
マニホールド３の側面には、排気口１５が設けられている。排気口１５は、ガス導入管１２と対向する位置に設けられ、反応管２内のガスを排気する。
【００３１】
排気口１５には、排気管１６が気密に接続されている。排気管１６には、その上流側から、バルブ１７と、真空ポンプ１８とが介設されている。バルブ１７は、排気管１６の開度を調整して、反応管２内及び排気管１６内の圧力を所定の圧力に制御する。真空ポンプ１８は、排気管１６を介して反応管２内のガスを排気して減圧状態とする。
【００３２】
回転軸５、ボートエレベータ６、昇温用ヒータ１１、第１ガス導入管１３、第２ガス導入管１４、バルブ１７、真空ポンプ１８には、制御部１９が接続されている。制御部１９は、マイクロプロセッサ、プロセスコントローラ等から構成され、熱処理装置１の各部の温度、圧力等を測定し、測定データに基づいて、上記各部に制御信号等を出力して、熱処理装置１の各部を制御する。
【００３３】
次に、以上のように構成された熱処理装置１を用い、半導体ウエハ１０にシリコン酸化膜を形成する薄膜形成方法について、図２に示すレシピ（タイムシーケンス）を参照して説明する。なお、以下の説明において、熱処理装置１を構成する各部の動作は、制御部１９によりコントロールされている。
【００３４】
まず、蓋体４が下げられた状態で、半導体ウエハ１０が収容されたウエハボート９を回転テーブル８（蓋体４）上に載置する。ここで、半導体ウエハ１０の表面にはシリコン膜が予め形成されている。また、反応管２内は、昇温用ヒータ１１により所定のローディング温度、例えば、３００℃に維持されている。
【００３５】
次に、ボートエレベータ６により蓋体４を上昇させ、ウエハボート９（半導体ウエハ１０）を反応管２内にロードする（ロード工程）。これにより、半導体ウエハ１０を反応管２内に収容するとともに、反応管２を密閉する。また、第１ガス導入管１３から所定量、例えば、０．２リットル／ｍｉｎの酸素ガスを、第２ガス導入管１４から所定量、例えば、１９．８リットル／ｍｉｎの窒素ガスをガス導入管１２に供給する。ガス導入管１２に供給された酸素ガス及び窒素ガスは、反応管２の天井付近まで延びた先端部１２ａから反応管２内に供給される。これにより、反応管２のガスを排気口１５、排気管１６を介して熱処理装置１外に排気する。
【００３６】
続いて、第１ガス導入管１３から所定量、例えば、０．１リットル／ｍｉｎの酸素ガスを、第２ガス導入管１４から所定量、例えば、９．９リットル／ｍｉｎの窒素ガスをガス導入管１２を介して反応管２内に供給し、反応管２内を安定化させる（安定化工程）。
【００３７】
次に、バルブ１７の開度を制御しつつ、真空ポンプ１８を駆動させて、反応管２を所定の圧力、例えば、２６．６Ｐａ〜６６５Ｐａ（０．２Ｔｏｒｒ〜５Ｔｏｒｒ）に減圧する。また、第１ガス導入管１３からの酸素ガスの供給を停止するとともに、第２ガス導入管１４から所定量、例えば、５リットル／ｍｉｎの窒素ガスをガス導入管１２を介して反応管２内に供給して反応管２内をパージする（第１パージ工程）。なお、反応管２内のパージを確実にするために、反応管２内のガスの排出及び窒素ガスの供給を複数回繰り返すことが好ましい。
【００３８】
反応管２内がパージされると、昇温用ヒータ１１により反応管２を所定の温度、例えば、８００℃に昇温する（昇温工程）。また、バルブ１７の開度を制御しつつ、真空ポンプ１８を駆動させて、反応管２を所定の圧力、例えば、１０１０Ｐａ（７．６Ｔｏｒｒ）に維持する。
【００３９】
さらに、回転軸５を回転させることにより回転テーブル８を回転させ、ウエハボート９内に収容された半導体ウエハ１０を回転させる。また、ガス導入管１２から熱処理用ガスを含む処理ガスを半導体ウエハ１０の周縁部を冷却可能な流量で反応管２内に供給して、半導体ウエハ１０に初期酸化膜を形成する。具体的には、反応管２内に、第１ガス導入管１３から所定量、例えば、０．０７リットル／ｍｉｎの酸素ガスを、第２ガス導入管１４から所定量、例えば、７リットル／ｍｉｎの窒素ガスを、ガス導入管１２を介して反応管２内に供給して、ウエハボート９に収容された半導体ウエハ１０に初期酸化膜を形成する。
【００４０】
ところで、昇温用ヒータ１１により反応管２を加熱することによりウエハボート９内に収容された半導体ウエハ１０が加熱されるが、昇温用ヒータ１１はウエハボート９を取り囲むように配置されているので、加熱された半導体ウエハ１０の表面の温度は、その中央部が低く、周縁部が高くなる。ここで、昇温工程中に、半導体ウエハ１０の周縁部を冷却可能な流量で処理ガスが供給されているので、半導体ウエハ１０の周縁部が冷却されて、半導体ウエハ１０の表面の温度が均一になる。このため、半導体ウエハ１０に均一な厚さの初期酸化膜が形成される。半導体ウエハ１０の周縁部を冷却可能な処理ガスの流量は、反応管２の温度、圧力等によって異なるが、５リットル／ｍｉｎ以上であることが好ましい。ただし、処理ガスの流量が増えすぎると反応管２内の圧力が１０１０Ｐａ（７．６Ｔｏｒｒ）に維持できなくなってしまうことから、反応管２内の圧力を維持可能な範囲の流量であることが必要である。
【００４１】
さらに、昇温工程中に、回転軸５を回転させ、半導体ウエハ１０を回転しているので、ガス導入管１２の先端部１２ａから供給された処理ガスにより、半導体ウエハ１０の周縁部が均一に冷却される。このため、半導体ウエハ１０の表面の温度がさらに均一になり、半導体ウエハ１０にさらに均一な厚さの初期酸化膜が形成される。
【００４２】
また、昇温工程で形成する初期酸化膜はできるだけ薄いことが好ましいことから、処理ガス中に含まれる酸素ガスの流量は、酸化膜が形成される範囲で、できる限り少なくすることが好ましい。ただし、処理ガス中に含まれる酸素ガスの分圧が１０Ｐａより低くなると、昇温工程で形成される薄膜が所定の膜質を有しないおそれが生じることから、処理ガス中に含まれる酸素ガスの分圧は１０Ｐａ以上であることが好ましい。
【００４３】
反応管２の温度が８００℃に到達すると、第２ガス導入管１４からの窒素ガスの供給を停止するとともに、第１ガス導入管１３から、昇温工程での処理ガスの供給量（７．０７リットル／ｍｉｎ）の１／１０〜１／１００の所定量、例えば、０．５リットル／ｍｉｎの酸素ガスを、ガス導入管１２を介して反応管２内に供給し、半導体ウエハ１０にシリコン酸化膜を形成する（熱処理工程）。
【００４４】
ここで、第１ガス導入管１３からの酸素ガスを、昇温工程での処理ガスの流量の１／１０〜１／１００の範囲内の流量で反応管２内に供給しているので、ゆっくりと半導体ウエハ１０にシリコン酸化膜が形成される。このため、半導体ウエハ１０に均一な膜厚のシリコン酸化膜が形成される。また、半導体ウエハ１０の初期酸化膜の膜厚が均一な膜厚でない場合にも、その膜厚の差を相殺することができ、半導体ウエハ１０に均一な膜厚のシリコン酸化膜を形成することができる。ただし、第１ガス導入管１３からの酸素ガスの供給量は、熱処理工程において、半導体ウエハ１０にシリコン酸化膜が形成可能な流量であることが必要である。
【００４５】
半導体ウエハ１０に所定厚のシリコン酸化膜が形成されると、バルブ１７の開度を制御しつつ、真空ポンプ１８を駆動させて、反応管２を所定の圧力、例えば、２６．６Ｐａ〜６６５Ｐａ（０．２Ｔｏｒｒ〜５Ｔｏｒｒ）に減圧する。また、第１ガス導入管１３からの酸素ガスの供給を停止するとともに、第２ガス導入管１４から所定量、例えば、５リットル／ｍｉｎの窒素ガスをガス導入管１２を介して反応管２内に供給して反応管２内をパージする（第２パージ工程）。なお、反応管２内のパージを確実にするために、反応管２内のガスの排出及び窒素ガスの供給を複数回繰り返すことが好ましい。
【００４６】
反応管２内がパージされると、昇温用ヒータ１１を制御して反応管２を所定のアンローディング温度、例えば、３００℃に降温する（降温工程）。また、バルブ１７の開度を制御しつつ、真空ポンプ１８を駆動させて、反応管２を所定の圧力、例えば、６６５Ｐａ（５Ｔｏｒｒ）に維持する。
【００４７】
反応管２内が３００℃に降温されると、第２ガス導入管１４から所定量、例えば、１０リットル／ｍｉｎの窒素ガスをガス導入管１２を介して反応管２内に供給して反応管２を常圧に戻し、ウエハボート９（半導体ウエハ１０）を反応管２からアンロードする（アンロード工程）。
【００４８】
次に、本実施の形態の効果を確認するため、昇温工程での処理ガス（窒素ガス及び酸素ガス）の供給量、熱処理工程での酸素ガスの供給量を変え、半導体ウエハ１０にシリコン酸化膜を形成した。図３及び図４に、シリコン酸化膜の形成条件と、この形成条件でのシリコン酸化膜の膜厚の均一性とを示す。なお、熱処理工程での反応管２の温度は８００℃、圧力は１０１０Ｐａ（７．６Ｔｏｒｒ）であり、昇温工程では１００℃／ｍｉｎで昇温し、半導体ウエハ１０を回転させた。
【００４９】
図３及び図４に示すように、昇温工程での窒素ガスの供給量が５リットル／ｍｉｎ、酸素ガスの供給量が０．０５リットル／ｍｉｎの場合の、熱処理工程での酸素ガスの供給量が５リットル／ｍｉｎ（実施例１）、０．５リットル／ｍｉｎ（実施例２）と、昇温工程での窒素ガスの供給量が７リットル／ｍｉｎ、酸素ガスの供給量が０．０７リットル／ｍｉｎの場合、熱処理工程での酸素ガスの供給量が５リットル／ｍｉｎ（実施例３）、０．５リットル／ｍｉｎ（実施例４）について、半導体ウエハ１０にシリコン酸化膜を形成し、その膜厚を測定し、均一性を求めた。なお、昇温工程での酸素ガスの供給量は、処理ガス中の酸素ガスの分圧が１０Ｐａとなる量とした。
【００５０】
各実施例は、ウエハボート５の上部（ＴＯＰ）、中央部（ＣＴＲ）、下部（ＢＴＭ）の３枚について、それぞれ９カ所の膜厚を測定し、その均一性を求めた。図４（ａ）では各実施例での膜厚の均一性を３本の棒グラフで示しており、左側から上部、中央部、下部での半導体ウエハに形成されたシリコン酸化膜の膜厚の均一性を示している。また、参考のため、昇温工程での処理ガスの流量が５リットル／ｍｉｎ未満（４リットル／ｍｉｎ）の場合（比較例１）についても同様の測定を行い、この結果も図３及び図４に示す。
【００５１】
図４の実施例１、実施例３、比較例１に示すように、昇温工程での処理ガスの供給量を増加させることにより、半導体ウエハ１０に形成されたシリコン酸化膜の膜厚の均一性を向上できることが確認できた。特に、昇温工程での処理ガスの供給量が５リットル／ｍｉｎ以上になると、シリコン酸化膜の膜厚の均一性が大きく向上することが確認できた。これは、昇温工程での処理ガスの供給量を５リットル／ｍｉｎ以上に増加させることにより、昇温工程中に半導体ウエハ１０の周縁部が冷却されて、昇温工程で半導体ウエハ１０の表面の温度が均一になる。このため、半導体ウエハ１０に形成される初期酸化膜の膜厚が均一になる。この結果、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚を均一にすることができる。
【００５２】
また、図４の実施例１と実施例２、実施例３と実施例４に示すように、熱処理工程での酸素ガスの供給量を減少させることにより、半導体ウエハ１０に形成されたシリコン酸化膜の膜厚の均一性をさらに向上できることが確認できた。これは、半導体ウエハ１０にゆっくりとシリコン酸化膜が形成され、半導体ウエハ１０の初期酸化膜の微量な膜厚の差を相殺することができるためである。従って、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚をさらに均一にすることができる。
【００５３】
以上説明したように、本実施の形態によれば、昇温工程中に、処理ガスを半導体ウエハ１０の周縁部を冷却可能な流量で反応管２内に供給しているので、半導体ウエハ１０の周縁部が冷却され、半導体ウエハ１０の表面の温度が均一になる。このため、半導体ウエハ１０に均一な厚さの初期酸化膜が形成される。この結果、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚を均一にすることができる。
【００５４】
本実施の形態によれば、昇温工程中に半導体ウエハ１０を回転しているので、半導体ウエハ１０の周縁部が均一に冷却される。このため、半導体ウエハ１０の表面の温度がさらに均一になり、半導体ウエハ１０にさらに均一な厚さの初期酸化膜が形成される。この結果、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚をさらに均一にすることができる。
【００５５】
本実施の形態によれば、熱処理工程中に酸素ガスを、昇温工程中の処理ガスの流量の１／１０〜１／１００の範囲内の流量で反応管２内に供給しているので、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚をさらに均一にすることができる。
【００５６】
なお、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形、応用が可能である。以下、本発明に適用可能な上記の実施の形態の変形態様について、説明する。
【００５７】
上記実施の形態では、処理ガスに窒素ガスと酸素ガスを用いた場合を例に説明したが、本発明はこのようなドライ酸化プロセスに限定されるものではなく、例えば、処理ガスに水蒸気を用いたウエット酸化プロセス適用することも可能である。この場合にも、昇温工程中に半導体ウエハ１０の周縁部を冷却可能な流量で反応管２内に水蒸気を供給することにより、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚を均一にすることができる。また、熱処理工程中に、昇温工程中の供給量の１／１０〜１／１００の範囲内の水蒸気を供給することにより、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚を均一にすることができる。
【００５８】
上記実施の形態では、昇温工程中に半導体ウエハ１０を回転させた場合を例に説明したが、昇温工程中に半導体ウエハ１０を回転させなくてもよい。この場合にも、半導体ウエハ１０の周縁部を冷却することができ、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚を均一にすることができる。
【００５９】
上記実施の形態では、昇温工程中に処理ガスを半導体ウエハ１０の周縁部を冷却可能な流量で反応管２内に供給し、さらに、熱処理工程中に、昇温工程中の処理ガスの流量の１／１０〜１／１００の範囲内の流量の熱処理用ガスを供給した場合を例に説明したが、昇温工程中に処理ガスを半導体ウエハ１０の周縁部を冷却可能な流量で反応管２内に供給していればよく、熱処理工程中の熱処理用ガスの流量が昇温工程中の処理ガスの流量の１／１０〜１／１００の範囲内でなくてもよい。また、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚の均一性の許容値が大きい場合には、熱処理工程中に、昇温工程中の処理ガスの流量の１／１０〜１／１００の範囲内の流量の熱処理用ガスを供給していればよく、昇温工程中の処理ガスの流量が半導体ウエハ１０の周縁部を冷却可能な流量でなくともよい。
【００６０】
上記実施の形態では、ガス導入管１２が反応管２の天井付近まで延伸されている場合を例に説明したが、ガス導入管１２の長さは任意であり、本実施例より長くても短くてもよい。また、ガス導入管１２は多孔式（分散式）のノズルであってもよい。さらに、ガス導入管１２の数は一つに限らず、例えば、窒素ガスを導入するガス導入管と、酸素ガスを導入するガス導入管とを設けるように、複数であってもよい。また、ガス導入管１２に加熱器を配設し、予め所定の温度に加熱されたガスを反応管２内に供給してもよい。
【００６１】
上記実施の形態では、反応管２が単管構造に形成されている場合を例に説明したが、例えば、反応管２は内管と外管とからなる二重管構造に形成されていてもよい。
【００６２】
上記実施の形態では、半導体ウエハ１０にシリコン酸化膜を形成する場合を例に説明したが、昇温処理により被処理体に薄膜を形成させるものであればよく、被処理体に形成される薄膜は酸化膜に限定されるものではない。また、被処理体は半導体ウエハ１０に限らず、例えばガラス基板であってもよい。
【００６３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、被処理体に均一な膜厚の薄膜を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の熱処理装置の概略図である。
【図２】本発明の実施の形態のシリコン酸化膜の形成手順を説明するためのレシピを示した図である。
【図３】本発明の実施の形態のシリコン酸化膜の形成条件及び膜厚の均一性を示した表である。
【図４】（ａ）はシリコン酸化膜の膜厚の均一性を示したグラフであり、（ｂ）はその形成条件を示した表である。
【図５】従来の熱処理装置の概略図である。
【符号の説明】
１ 熱処理装置
２ 反応管
３ マニホールド
４ 蓋体
５ 回転軸
８ 回転テーブル
９ ウエハボート
１０ 半導体ウエハ
１１ 昇温用ヒータ
１２ ガス導入管
１３ 第１ガス導入管
１４ 第２ガス導入管
１６ 排気管
１７ バルブ
１８ 真空ポンプ
１９ 制御部
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜形成方法に関し、特に被処理体に均一な膜厚の薄膜を形成する薄膜形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造工程においては、例えば熱処理によって、被処理体に薄膜を形成することが行われている。被処理体、例えば半導体ウエハ、にシリコン酸化膜を形成する工程では、例えば、図５に示すような熱処理装置５１を用いて、以下のようにシリコン酸化膜が形成される。
【０００３】
まず、熱処理装置５１の反応管５２内に、ウエハボート５３に収容された複数枚の半導体ウエハ５４をロード（搬入）する。このとき、半導体ウエハ５４の表面にはシリコン膜が予め形成されている。次に、排気ポート５５から反応管５２内のガスを排出し、反応管５２内を所定の圧力に減圧する。反応管５２内が所定の圧力に減圧されると、ヒータ５６により反応管５２を加熱して所定の温度に昇温し、ガス供給管５７から反応管５２内に熱処理用ガスとしての酸素ガスを供給する。そして、半導体ウエハ５４の表面に酸素ガスが供給され、半導体ウエハ５４上にシリコン酸化膜が形成される。
【０００４】
このようなシリコン酸化膜の形成では、ヒータ５６により反応管５２を所定の温度に昇温させる昇温工程で、半導体ウエハ５４の表面に所定厚のシリコン酸化膜（以下、初期酸化膜という）が形成されていないと、昇温工程中に半導体ウエハ５４の表面が荒れてしまい、形成されるシリコン酸化膜の膜質が悪くなるおそれがある。このため、シリコン酸化膜の形成では、昇温工程中に、ガス供給管５７から酸素ガスを含む所定量の処理ガスを反応管５２に供給し、半導体ウエハ５４に初期酸化膜を形成している。そして、その後、ガス供給管５７から処理ガスとほぼ同量の酸素ガスを反応管５２に供給して、半導体ウエハ５４にシリコン酸化膜を形成している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、昇温工程中では、加熱された半導体ウエハ５４の表面の温度は、半導体ウエハ５４の周囲にヒータ５６が配置されているため、その中央部が低く、エッジ部（周縁部）が高くなりやすい。初期酸化膜は温度が高い箇所での酸化レートが高くなるため、その中央部が薄く、エッジ部が厚くなりやすくなり、均一な膜厚に形成することが困難となる。そして、この初期酸化膜上に、熱処理工程でのシリコン酸化膜が形成されることから、その膜厚の差を相殺することはできず、半導体ウエハ５４に均一な膜厚のシリコン酸化膜を形成することは困難であった。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、被処理体に均一な膜厚の薄膜を形成することができる薄膜形成方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る薄膜形成方法は、
反応室内に被処理体を複数枚収容可能なバッチ式縦型熱処理装置を用いて被処理体に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
前記被処理体を前記反応室内に収容し、該反応室内を所定の圧力に減圧する減圧工程と、
前記被処理体を所定の温度に昇温する昇温工程と、
前記反応室内に熱処理用ガスを供給して、前記被処理体に薄膜を形成する熱処理工程とを備え、
前記昇温工程中に、前記被処理体の周縁部を冷却可能な流量で、前記反応室内に前記熱処理用ガスを含む処理ガスを供給するとともに、前記被処理体を回転させ、
前記昇温工程中に、前記反応室内に前記処理ガスを、少なくとも５リットル／ｍｉｎ供給する、ことを特徴とする。
【００１０】
本発明の第２の観点に係る薄膜形成方法は、
反応室内に被処理体を複数枚収容可能なバッチ式縦型熱処理装置を用いて被処理体に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
前記被処理体を前記反応室内に収容し、該反応室内を所定の圧力に減圧する減圧工程と、
前記被処理体を所定の温度に昇温する昇温工程と、
前記反応室内に熱処理用ガスを供給して、前記被処理体に薄膜を形成する熱処理工程とを備え、
前記昇温工程中に、前記被処理体の周縁部を冷却可能な流量で、前記反応室内に前記熱処理用ガスを含む処理ガスを供給するとともに、前記被処理体を回転させ、
前記処理ガスに、前記熱処理用ガスを、その分圧が少なくとも１０Ｐａとなるように含ませる、ことを特徴とする。
【００１２】
前記反応室は、例えば、前記被処理体を複数枚収容可能な被処理体収容部を備えている。そして、前記処理ガスを前記反応室に供給するとともに、前記被処理体が収容された前記被処理体収容部を回転させることにより、昇温工程で複数枚の被処理体が均一な温度に昇温されやすくなる。
【００１５】
前記熱処理用ガスとしては、例えば、酸素ガス、前記処理ガスとしては、例えば、酸素ガスと窒素ガスとの混合ガスを用いることができる。この場合、前記被処理体には酸化膜が形成される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態にかかる薄膜形成方法及び薄膜形成装置を、図１に示すバッチ式縦型熱処理装置を用いて、半導体ウエハ（被処理体）上にシリコン酸化膜を形成する場合を例に説明する。
【００２３】
図１に示すように、熱処理装置１は、長手方向が垂直方向に向けられた有天井の円筒状に形成された反応管２を備えている。反応管２は、耐熱材料、例えば石英により形成されている。
【００２４】
反応管２の下方には、筒状に形成されたステンレス鋼（ＳＵＳ）からなるマニホールド３が配置されている。マニホールド３は、反応管２の下端と気密となるように接続されている。
【００２５】
マニホールド３の下方には蓋体４が配置されている。蓋体４には回転軸５が挿通され、回転軸５がボートエレベータ６の昇降部７に接続されている。このため、ボートエレベータ６により蓋体４は上下動可能に構成されている。そして、ボートエレベータ６により蓋体４が上昇すると、マニホールド３の下方側が閉鎖される。
【００２６】
また、回転軸５上には回転テーブル８が配置され、回転テーブル８に、例えば石英からなるウエハボート９が載置されている。ウエハボート９には、被処理体、例えば半導体ウエハ１０が垂直方向に所定の間隔をおいて複数枚収容されている。このウエハボート９に収容された半導体ウエハ１０は、ウエハボート９が反応管２内に挿入されることにより反応管２の内部に配置される。また、回転軸５を介して回転テーブル８を回転させることにより、ウエハボート９（半導体ウエハ１０）が回転される。
【００２７】
反応管２の周囲には、反応管２を取り囲むように、例えば抵抗発熱体からなる昇温用ヒータ１１が設けられている。そして、昇温用ヒータ１１を駆動することにより、反応管２内が所定の温度に設定される。ここで、昇温用ヒータ１１は半導体ウエハ１０の周囲に配置されることとなり、半導体ウエハ１０はその周縁部から昇温用ヒータ１１により加熱されることとなる。
【００２８】
マニホールド３の側面には、ガス導入管１２が挿通されている。ガス導入管１２は、反応管２内で上方に曲折りされ、反応管２の天井付近まで延伸されている。そして、ガス導入管１２の先端部１２ａが反応管２の下方に向くように屈曲形成されている。
【００２９】
また、ガス導入管１２には、第１ガス導入管１３と第２ガス導入管１４とが接続されている。そして、第１ガス導入管１３から、例えば、酸素ガス（Ｏ２）のような熱処理用ガスがガス導入管１２を介して反応管２内に導入される。また、第２ガス導入管１４から、例えば、窒素ガス（Ｎ２）のような希釈用ガスがガス導入管１２を介して反応管２内に導入される。なお、本実施の形態では、熱処理用ガスと希釈用ガスにより処理ガスが構成されている。
【００３０】
マニホールド３の側面には、排気口１５が設けられている。排気口１５は、ガス導入管１２と対向する位置に設けられ、反応管２内のガスを排気する。
【００３１】
排気口１５には、排気管１６が気密に接続されている。排気管１６には、その上流側から、バルブ１７と、真空ポンプ１８とが介設されている。バルブ１７は、排気管１６の開度を調整して、反応管２内及び排気管１６内の圧力を所定の圧力に制御する。真空ポンプ１８は、排気管１６を介して反応管２内のガスを排気して減圧状態とする。
【００３２】
回転軸５、ボートエレベータ６、昇温用ヒータ１１、第１ガス導入管１３、第２ガス導入管１４、バルブ１７、真空ポンプ１８には、制御部１９が接続されている。制御部１９は、マイクロプロセッサ、プロセスコントローラ等から構成され、熱処理装置１の各部の温度、圧力等を測定し、測定データに基づいて、上記各部に制御信号等を出力して、熱処理装置１の各部を制御する。
【００３３】
次に、以上のように構成された熱処理装置１を用い、半導体ウエハ１０にシリコン酸化膜を形成する薄膜形成方法について、図２に示すレシピ（タイムシーケンス）を参照して説明する。なお、以下の説明において、熱処理装置１を構成する各部の動作は、制御部１９によりコントロールされている。
【００３４】
まず、蓋体４が下げられた状態で、半導体ウエハ１０が収容されたウエハボート９を回転テーブル８（蓋体４）上に載置する。ここで、半導体ウエハ１０の表面にはシリコン膜が予め形成されている。また、反応管２内は、昇温用ヒータ１１により所定のローディング温度、例えば、３００℃に維持されている。
【００３５】
次に、ボートエレベータ６により蓋体４を上昇させ、ウエハボート９（半導体ウエハ１０）を反応管２内にロードする（ロード工程）。これにより、半導体ウエハ１０を反応管２内に収容するとともに、反応管２を密閉する。また、第１ガス導入管１３から所定量、例えば、０．２リットル／ｍｉｎの酸素ガスを、第２ガス導入管１４から所定量、例えば、１９．８リットル／ｍｉｎの窒素ガスをガス導入管１２に供給する。ガス導入管１２に供給された酸素ガス及び窒素ガスは、反応管２の天井付近まで延びた先端部１２ａから反応管２内に供給される。これにより、反応管２のガスを排気口１５、排気管１６を介して熱処理装置１外に排気する。
【００３６】
続いて、第１ガス導入管１３から所定量、例えば、０．１リットル／ｍｉｎの酸素ガスを、第２ガス導入管１４から所定量、例えば、９．９リットル／ｍｉｎの窒素ガスをガス導入管１２を介して反応管２内に供給し、反応管２内を安定化させる（安定化工程）。
【００３７】
次に、バルブ１７の開度を制御しつつ、真空ポンプ１８を駆動させて、反応管２を所定の圧力、例えば、２６．６Ｐａ〜６６５Ｐａ（０．２Ｔｏｒｒ〜５Ｔｏｒｒ）に減圧する。また、第１ガス導入管１３からの酸素ガスの供給を停止するとともに、第２ガス導入管１４から所定量、例えば、５リットル／ｍｉｎの窒素ガスをガス導入管１２を介して反応管２内に供給して反応管２内をパージする（第１パージ工程）。なお、反応管２内のパージを確実にするために、反応管２内のガスの排出及び窒素ガスの供給を複数回繰り返すことが好ましい。
【００３８】
反応管２内がパージされると、昇温用ヒータ１１により反応管２を所定の温度、例えば、８００℃に昇温する（昇温工程）。また、バルブ１７の開度を制御しつつ、真空ポンプ１８を駆動させて、反応管２を所定の圧力、例えば、１０１０Ｐａ（７．６Ｔｏｒｒ）に維持する。
【００３９】
さらに、回転軸５を回転させることにより回転テーブル８を回転させ、ウエハボート９内に収容された半導体ウエハ１０を回転させる。また、ガス導入管１２から熱処理用ガスを含む処理ガスを半導体ウエハ１０の周縁部を冷却可能な流量で反応管２内に供給して、半導体ウエハ１０に初期酸化膜を形成する。具体的には、反応管２内に、第１ガス導入管１３から所定量、例えば、０．０７リットル／ｍｉｎの酸素ガスを、第２ガス導入管１４から所定量、例えば、７リットル／ｍｉｎの窒素ガスを、ガス導入管１２を介して反応管２内に供給して、ウエハボート９に収容された半導体ウエハ１０に初期酸化膜を形成する。
【００４０】
ところで、昇温用ヒータ１１により反応管２を加熱することによりウエハボート９内に収容された半導体ウエハ１０が加熱されるが、昇温用ヒータ１１はウエハボート９を取り囲むように配置されているので、加熱された半導体ウエハ１０の表面の温度は、その中央部が低く、周縁部が高くなる。ここで、昇温工程中に、半導体ウエハ１０の周縁部を冷却可能な流量で処理ガスが供給されているので、半導体ウエハ１０の周縁部が冷却されて、半導体ウエハ１０の表面の温度が均一になる。このため、半導体ウエハ１０に均一な厚さの初期酸化膜が形成される。半導体ウエハ１０の周縁部を冷却可能な処理ガスの流量は、反応管２の温度、圧力等によって異なるが、５リットル／ｍｉｎ以上であることが好ましい。ただし、処理ガスの流量が増えすぎると反応管２内の圧力が１０１０Ｐａ（７．６Ｔｏｒｒ）に維持できなくなってしまうことから、反応管２内の圧力を維持可能な範囲の流量であることが必要である。
【００４１】
さらに、昇温工程中に、回転軸５を回転させ、半導体ウエハ１０を回転しているので、ガス導入管１２の先端部１２ａから供給された処理ガスにより、半導体ウエハ１０の周縁部が均一に冷却される。このため、半導体ウエハ１０の表面の温度がさらに均一になり、半導体ウエハ１０にさらに均一な厚さの初期酸化膜が形成される。
【００４２】
また、昇温工程で形成する初期酸化膜はできるだけ薄いことが好ましいことから、処理ガス中に含まれる酸素ガスの流量は、酸化膜が形成される範囲で、できる限り少なくすることが好ましい。ただし、処理ガス中に含まれる酸素ガスの分圧が１０Ｐａより低くなると、昇温工程で形成される薄膜が所定の膜質を有しないおそれが生じることから、処理ガス中に含まれる酸素ガスの分圧は１０Ｐａ以上であることが好ましい。
【００４３】
反応管２の温度が８００℃に到達すると、第２ガス導入管１４からの窒素ガスの供給を停止するとともに、第１ガス導入管１３から、昇温工程での処理ガスの供給量（７．０７リットル／ｍｉｎ）の１／１０〜１／１００の所定量、例えば、０．５リットル／ｍｉｎの酸素ガスを、ガス導入管１２を介して反応管２内に供給し、半導体ウエハ１０にシリコン酸化膜を形成する（熱処理工程）。
【００４４】
ここで、第１ガス導入管１３からの酸素ガスを、昇温工程での処理ガスの流量の１／１０〜１／１００の範囲内の流量で反応管２内に供給しているので、ゆっくりと半導体ウエハ１０にシリコン酸化膜が形成される。このため、半導体ウエハ１０に均一な膜厚のシリコン酸化膜が形成される。また、半導体ウエハ１０の初期酸化膜の膜厚が均一な膜厚でない場合にも、その膜厚の差を相殺することができ、半導体ウエハ１０に均一な膜厚のシリコン酸化膜を形成することができる。ただし、第１ガス導入管１３からの酸素ガスの供給量は、熱処理工程において、半導体ウエハ１０にシリコン酸化膜が形成可能な流量であることが必要である。
【００４５】
半導体ウエハ１０に所定厚のシリコン酸化膜が形成されると、バルブ１７の開度を制御しつつ、真空ポンプ１８を駆動させて、反応管２を所定の圧力、例えば、２６．６Ｐａ〜６６５Ｐａ（０．２Ｔｏｒｒ〜５Ｔｏｒｒ）に減圧する。また、第１ガス導入管１３からの酸素ガスの供給を停止するとともに、第２ガス導入管１４から所定量、例えば、５リットル／ｍｉｎの窒素ガスをガス導入管１２を介して反応管２内に供給して反応管２内をパージする（第２パージ工程）。なお、反応管２内のパージを確実にするために、反応管２内のガスの排出及び窒素ガスの供給を複数回繰り返すことが好ましい。
【００４６】
反応管２内がパージされると、昇温用ヒータ１１を制御して反応管２を所定のアンローディング温度、例えば、３００℃に降温する（降温工程）。また、バルブ１７の開度を制御しつつ、真空ポンプ１８を駆動させて、反応管２を所定の圧力、例えば、６６５Ｐａ（５Ｔｏｒｒ）に維持する。
【００４７】
反応管２内が３００℃に降温されると、第２ガス導入管１４から所定量、例えば、１０リットル／ｍｉｎの窒素ガスをガス導入管１２を介して反応管２内に供給して反応管２を常圧に戻し、ウエハボート９（半導体ウエハ１０）を反応管２からアンロードする（アンロード工程）。
【００４８】
次に、本実施の形態の効果を確認するため、昇温工程での処理ガス（窒素ガス及び酸素ガス）の供給量、熱処理工程での酸素ガスの供給量を変え、半導体ウエハ１０にシリコン酸化膜を形成した。図３及び図４に、シリコン酸化膜の形成条件と、この形成条件でのシリコン酸化膜の膜厚の均一性とを示す。なお、熱処理工程での反応管２の温度は８００℃、圧力は１０１０Ｐａ（７．６Ｔｏｒｒ）であり、昇温工程では１００℃／ｍｉｎで昇温し、半導体ウエハ１０を回転させた。
【００４９】
図３及び図４に示すように、昇温工程での窒素ガスの供給量が５リットル／ｍｉｎ、酸素ガスの供給量が０．０５リットル／ｍｉｎの場合の、熱処理工程での酸素ガスの供給量が５リットル／ｍｉｎ（実施例１）、０．５リットル／ｍｉｎ（実施例２）と、昇温工程での窒素ガスの供給量が７リットル／ｍｉｎ、酸素ガスの供給量が０．０７リットル／ｍｉｎの場合、熱処理工程での酸素ガスの供給量が５リットル／ｍｉｎ（実施例３）、０．５リットル／ｍｉｎ（実施例４）について、半導体ウエハ１０にシリコン酸化膜を形成し、その膜厚を測定し、均一性を求めた。なお、昇温工程での酸素ガスの供給量は、処理ガス中の酸素ガスの分圧が１０Ｐａとなる量とした。
【００５０】
各実施例は、ウエハボート５の上部（ＴＯＰ）、中央部（ＣＴＲ）、下部（ＢＴＭ）の３枚について、それぞれ９カ所の膜厚を測定し、その均一性を求めた。図４（ａ）では各実施例での膜厚の均一性を３本の棒グラフで示しており、左側から上部、中央部、下部での半導体ウエハに形成されたシリコン酸化膜の膜厚の均一性を示している。また、参考のため、昇温工程での処理ガスの流量が５リットル／ｍｉｎ未満（４リットル／ｍｉｎ）の場合（比較例１）についても同様の測定を行い、この結果も図３及び図４に示す。
【００５１】
図４の実施例１、実施例３、比較例１に示すように、昇温工程での処理ガスの供給量を増加させることにより、半導体ウエハ１０に形成されたシリコン酸化膜の膜厚の均一性を向上できることが確認できた。特に、昇温工程での処理ガスの供給量が５リットル／ｍｉｎ以上になると、シリコン酸化膜の膜厚の均一性が大きく向上することが確認できた。これは、昇温工程での処理ガスの供給量を５リットル／ｍｉｎ以上に増加させることにより、昇温工程中に半導体ウエハ１０の周縁部が冷却されて、昇温工程で半導体ウエハ１０の表面の温度が均一になる。このため、半導体ウエハ１０に形成される初期酸化膜の膜厚が均一になる。この結果、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚を均一にすることができる。
【００５２】
また、図４の実施例１と実施例２、実施例３と実施例４に示すように、熱処理工程での酸素ガスの供給量を減少させることにより、半導体ウエハ１０に形成されたシリコン酸化膜の膜厚の均一性をさらに向上できることが確認できた。これは、半導体ウエハ１０にゆっくりとシリコン酸化膜が形成され、半導体ウエハ１０の初期酸化膜の微量な膜厚の差を相殺することができるためである。従って、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚をさらに均一にすることができる。
【００５３】
以上説明したように、本実施の形態によれば、昇温工程中に、処理ガスを半導体ウエハ１０の周縁部を冷却可能な流量で反応管２内に供給しているので、半導体ウエハ１０の周縁部が冷却され、半導体ウエハ１０の表面の温度が均一になる。このため、半導体ウエハ１０に均一な厚さの初期酸化膜が形成される。この結果、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚を均一にすることができる。
【００５４】
本実施の形態によれば、昇温工程中に半導体ウエハ１０を回転しているので、半導体ウエハ１０の周縁部が均一に冷却される。このため、半導体ウエハ１０の表面の温度がさらに均一になり、半導体ウエハ１０にさらに均一な厚さの初期酸化膜が形成される。この結果、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚をさらに均一にすることができる。
【００５５】
本実施の形態によれば、熱処理工程中に酸素ガスを、昇温工程中の処理ガスの流量の１／１０〜１／１００の範囲内の流量で反応管２内に供給しているので、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚をさらに均一にすることができる。
【００５６】
なお、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形、応用が可能である。以下、本発明に適用可能な上記の実施の形態の変形態様について、説明する。
【００５７】
上記実施の形態では、処理ガスに窒素ガスと酸素ガスを用いた場合を例に説明したが、本発明はこのようなドライ酸化プロセスに限定されるものではなく、例えば、処理ガスに水蒸気を用いたウエット酸化プロセス適用することも可能である。この場合にも、昇温工程中に半導体ウエハ１０の周縁部を冷却可能な流量で反応管２内に水蒸気を供給することにより、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚を均一にすることができる。また、熱処理工程中に、昇温工程中の供給量の１／１０〜１／１００の範囲内の水蒸気を供給することにより、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚を均一にすることができる。
【００５８】
上記実施の形態では、昇温工程中に半導体ウエハ１０を回転させた場合を例に説明したが、昇温工程中に半導体ウエハ１０を回転させなくてもよい。この場合にも、半導体ウエハ１０の周縁部を冷却することができ、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚を均一にすることができる。
【００５９】
上記実施の形態では、昇温工程中に処理ガスを半導体ウエハ１０の周縁部を冷却可能な流量で反応管２内に供給し、さらに、熱処理工程中に、昇温工程中の処理ガスの流量の１／１０〜１／１００の範囲内の流量の熱処理用ガスを供給した場合を例に説明したが、昇温工程中に処理ガスを半導体ウエハ１０の周縁部を冷却可能な流量で反応管２内に供給していればよく、熱処理工程中の熱処理用ガスの流量が昇温工程中の処理ガスの流量の１／１０〜１／１００の範囲内でなくてもよい。また、半導体ウエハ１０に形成されるシリコン酸化膜の膜厚の均一性の許容値が大きい場合には、熱処理工程中に、昇温工程中の処理ガスの流量の１／１０〜１／１００の範囲内の流量の熱処理用ガスを供給していればよく、昇温工程中の処理ガスの流量が半導体ウエハ１０の周縁部を冷却可能な流量でなくともよい。
【００６０】
上記実施の形態では、ガス導入管１２が反応管２の天井付近まで延伸されている場合を例に説明したが、ガス導入管１２の長さは任意であり、本実施例より長くても短くてもよい。また、ガス導入管１２は多孔式（分散式）のノズルであってもよい。さらに、ガス導入管１２の数は一つに限らず、例えば、窒素ガスを導入するガス導入管と、酸素ガスを導入するガス導入管とを設けるように、複数であってもよい。また、ガス導入管１２に加熱器を配設し、予め所定の温度に加熱されたガスを反応管２内に供給してもよい。
【００６１】
上記実施の形態では、反応管２が単管構造に形成されている場合を例に説明したが、例えば、反応管２は内管と外管とからなる二重管構造に形成されていてもよい。
【００６２】
上記実施の形態では、半導体ウエハ１０にシリコン酸化膜を形成する場合を例に説明したが、昇温処理により被処理体に薄膜を形成させるものであればよく、被処理体に形成される薄膜は酸化膜に限定されるものではない。また、被処理体は半導体ウエハ１０に限らず、例えばガラス基板であってもよい。
【００６３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、被処理体に均一な膜厚の薄膜を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の熱処理装置の概略図である。
【図２】本発明の実施の形態のシリコン酸化膜の形成手順を説明するためのレシピを示した図である。
【図３】本発明の実施の形態のシリコン酸化膜の形成条件及び膜厚の均一性を示した表である。
【図４】（ａ）はシリコン酸化膜の膜厚の均一性を示したグラフであり、（ｂ）はその形成条件を示した表である。
【図５】従来の熱処理装置の概略図である。
【符号の説明】
１ 熱処理装置
２ 反応管
３ マニホールド
４ 蓋体
５ 回転軸
８ 回転テーブル
９ ウエハボート
１０ 半導体ウエハ
１１ 昇温用ヒータ
１２ ガス導入管
１３ 第１ガス導入管
１４ 第２ガス導入管
１６ 排気管
１７ バルブ
１８ 真空ポンプ
１９ 制御部
Claims (4)
- 反応室内に被処理体を複数枚収容可能なバッチ式縦型熱処理装置を用いて被処理体に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
前記被処理体を前記反応室内に収容し、該反応室内を所定の圧力に減圧する減圧工程と、
前記被処理体を所定の温度に昇温する昇温工程と、
前記反応室内に熱処理用ガスを供給して、前記被処理体に薄膜を形成する熱処理工程とを備え、
前記昇温工程中に、前記被処理体の周縁部を冷却可能な流量で、前記反応室内に前記熱処理用ガスを含む処理ガスを供給するとともに、前記被処理体を回転させ、
前記昇温工程中に、前記反応室内に前記処理ガスを、少なくとも５リットル／ｍｉｎ供給する、ことを特徴とする薄膜形成方法。 - 反応室内に被処理体を複数枚収容可能なバッチ式縦型熱処理装置を用いて被処理体に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
前記被処理体を前記反応室内に収容し、該反応室内を所定の圧力に減圧する減圧工程と、
前記被処理体を所定の温度に昇温する昇温工程と、
前記反応室内に熱処理用ガスを供給して、前記被処理体に薄膜を形成する熱処理工程とを備え、
前記昇温工程中に、前記被処理体の周縁部を冷却可能な流量で、前記反応室内に前記熱処理用ガスを含む処理ガスを供給するとともに、前記被処理体を回転させ、
前記処理ガスに、前記熱処理用ガスを、その分圧が少なくとも１０Ｐａとなるように含ませる、ことを特徴とする薄膜形成方法。 - 前記反応室は前記被処理体を複数枚収容可能な被処理体収容部を備え、
前記処理ガスを前記反応室に供給するとともに、前記被処理体が収容された前記被処理体収容部を回転させる、ことを特徴とする請求項１または２に記載の薄膜形成方法。 - 前記熱処理用ガスに酸素ガス、前記処理ガスに酸素ガスと窒素ガスとの混合ガスを用い、前記被処理体に酸化膜を形成する、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の薄膜形成方法。
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