JP4802614B2 - 微細回路検査方法、微細回路検査装置、微細回路検査プログラム - Google Patents
微細回路検査方法、微細回路検査装置、微細回路検査プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4802614B2 JP4802614B2 JP2005244910A JP2005244910A JP4802614B2 JP 4802614 B2 JP4802614 B2 JP 4802614B2 JP 2005244910 A JP2005244910 A JP 2005244910A JP 2005244910 A JP2005244910 A JP 2005244910A JP 4802614 B2 JP4802614 B2 JP 4802614B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- candidate point
- value
- differential
- defect candidate
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
2 微細回路
3 撮像部
4 欠陥候補点選定部
5 画素列設定部
6 微分方向値設定部
7 異物判定部
Claims (13)
- 微細回路パターンの外観を検査する微細回路検査方法であって、
検査対象となる微細回路を撮像する撮像ステップと、
前記撮像ステップで撮像された前記微細回路の画像の微分画像に検査領域を設定してラスター走査を行い、所定値以上の微分値を有する画素を欠陥候補点として選定する欠陥候補点選定ステップと、
前記欠陥候補点を基準にして前記検査領域の幅に対応した検査用画素列を設定する画素列設定ステップと、
前記欠陥候補点に対して、前記撮像ステップで撮像された前記微細回路の画像における濃淡の変化する方向を表す微分方向値を設定する微分方向値設定ステップと、
前記検査用画素列内に前記欠陥候補点の微分方向値と同一の微分方向値が存在しない場合は前記欠陥候補点を異物と判定する異物判定ステップと、
を含むことを特徴とする微細回路検査方法。 - 前記異物判定ステップでは、前記検査用画素列内に前記欠陥候補点の微分方向値と同一の微分方向値が存在し且つ前記検査領域内で連続して存在している場合は、前記検査用画素列内において前記欠陥候補点の濃淡の変化と反対方向の変化を表す微分方向値をもつ欠陥候補点を求め、これらの欠陥候補点を候補点ペアとして設定し、この候補点ペア内の領域における微分値が所定値以上であり、且つ前記検査領域内において前記候補点ペア内の領域の面積を合算して所定値以下になる場合に前記欠陥候補点を異物と判定することを特徴とする請求項1に記載の微細回路検査方法。
- 前記異物判定ステップでは、前記検査用画素列内で前記欠陥候補点の濃淡の変化と反対方向の変化を表す微分方向値をもつ欠陥候補点を求め、これらの欠陥候補点を候補点ペアとして設定し、この候補点ペア内の領域における微分値が所定値以下であり、且つ前記検査領域内において前記候補点ペア内の領域の面積を合算して所定値以上となる候補点ペアが、微分値が所定値以下の領域を挟んで連続して存在しない場合は前記欠陥候補点を異物と判定することを特徴とする請求項1に記載の微細回路検査方法。
- 前記異物判定ステップでは、前記検査用画素列内で前記欠陥候補点の濃淡の変化と反対方向の変化を表す微分方向値をもつ欠陥候補点を求め、これらの欠陥候補点を候補点ペアとして設定し、この候補点ペア内の領域における微分値が所定値以下であり、且つ前記検査領域内において前記候補点ペア内の領域の面積を合算して所定値以上となる候補点ペアが、微分値が所定値以下の領域を挟んで連続して存在する場合に、前記微分値が所定値以下となる領域の面積を合算して所定値以下となるときは前記欠陥候補点を異物と判定することを特徴とする請求項1に記載の微細回路検査方法。
- 前記異物判定ステップでは、前記検査用画素列内で前記欠陥候補点の濃淡の変化と反対方向の変化を表す微分方向値をもつ欠陥候補点を求め、これらの欠陥候補点を候補点ペアとして設定し、この候補点ペア内の領域における微分値が所定値以下であり、且つ前記検査領域内において前記候補点ペア内の領域の面積を合算して所定値以上となる候補点ペアが、微分値が所定値以下の領域を挟んで連続して存在する場合に、微分値が所定値以下となる領域の面積を合算して所定値以下となるときは、更に前記検査領域において微分方向値が同一の値となる欠陥候補点の画素数を算出し、この値が所定値以下となる場合は前記欠陥候補点を異物と判定することを特徴とする請求項1に記載の微細回路検査方法。
- 前記異物判定ステップでは、前記欠陥候補点の微分方向値と同一の値となる微分方向値が前記検査用画素列内に存在し、且つ、前記同一の値となる微分方向値が前記検査用領域内で連続して存在する場合には前記欠陥候補点を前記微細回路の凹凸と判定し、前記同一の値となる微分方向値が前記検査用領域内で連続して存在しない場合は前記欠陥候補点を異物と判定することを特徴とする請求項1に記載の微分回路検査方法。
- 微細回路パターンの外観を検査する微細回路検査装置であって、
検査対象となる微細回路を撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像された前記微細回路の画像の微分画像に検査領域を設定してラスター走査を行い、所定値以上の微分値を有する画素を欠陥候補点として選定する欠陥候補点選定部と、
前記欠陥候補点を基準にして前記検査領域の幅に対応した検査用画素列を設定する画素列選定部と、
前記欠陥候補点に対して、前記撮像部により撮像された前記微細回路の画像における濃淡の変化する方向を表す微分方向値を設定する微分方向値設定部と、
前記検査用画素列内に前記欠陥候補点の微分方向値と同一の微分方向値が存在しない場合は前記欠陥候補点を異物と判定する異物判定部と、
を備えることを特徴とする微細回路検査装置。 - 前記異物判定部は、前記検査用画素列内に前記欠陥候補点の微分方向値と同一の微分方向値が存在し且つ前記検査領域内で連続して存在している場合は、前記検査用画素列内において前記欠陥候補点の濃淡の変化と反対方向の変化を表す微分方向値をもつ欠陥候補点を求め、これらの欠陥候補点を候補点ペアとして設定し、この候補点ペア内の領域における微分値が所定値以上であり、且つ前記検査領域内において前記候補点ペア内の領域の面積を合算して所定値以下になる場合に前記欠陥候補点を異物と判定することを特徴とする請求項7に記載の微細回路検査装置。
- 前記異物判定装置は、前記検査用画素列内で前記欠陥候補点の濃淡の変化と反対方向の変化を表す微分方向値をもつ欠陥候補点を求め、これらの欠陥候補点を候補点ペアとして設定し、この候補点ペア内の領域における微分値が所定値以下であり、且つ前記検査領域内において前記候補点ペア内の領域の面積を合算して所定値以上となる候補点ペアが、微分値が所定値以下の領域を挟んで連続して存在しない場合は前記欠陥候補点を異物と判定することを特徴とする請求項7に記載の微細回路検査装置。
- 前記異物判定部は、前記検査用画素列内で前記欠陥候補点の濃淡の変化と反対方向の変化を表す微分方向値をもつ欠陥候補点を求め、これらの欠陥候補点を候補点ペアとして設定し、この候補点ペア内の領域における微分値が所定値以下であり、且つ前記検査領域内において前記候補点ペア内の領域の面積を合算して所定値以上となる候補点ペアが、微分値が所定値以下の領域を挟んで連続して存在する場合に、前記微分値が所定値以下となる領域の面積を合算して所定値以下となるときは前記欠陥候補点を異物と判定することを特徴とする請求項7に記載の微細回路検査装置。
- 前記異物判定部は、前記検査用画素列内で前記欠陥候補点の濃淡の変化と反対方向の変化を表す微分方向値をもつ欠陥候補点を求め、これらの欠陥候補点を候補点ペアとして設定し、この候補点ペア内の領域における微分値が所定値以下であり、且つ前記検査領域内において前記候補点ペア内の領域の面積を合算して所定値以上となる候補点ペアが、微分値が所定値以下の領域を挟んで連続して存在する場合に、前記微分値が所定値以下となる領域の面積を合算して所定値以下となるときは、更に前記検査領域において微分方向値が同一の値となる欠陥候補点の画素数を算出し、この値が所定値以下となる場合は前記欠陥候補点を異物と判定することを特徴とする請求項7に記載の微細回路検査装置。
- 前記異物判定装置は、前記欠陥候補点の微分方向値と同一の値となる微分方向値が前記検査用画素列内に存在し、且つ、前記同一の値となる微分方向値が前記検査用領域内で連続して存在する場合には前記欠陥候補点を前記微細回路の凹凸と判定し、前記同一の値となる微分方向値が前記検査用領域内で連続して存在しない場合は前記欠陥候補点を異物と判定することを特徴とする請求項7に記載の微分回路検査装置。
- 微細回路パターンの外観を検査する微細回路検査装置に、
検査対象となる微細回路を撮像する撮像ステップと、
前記撮像ステップで撮像された前記微細回路の画像の微分画像に検査領域を設定してラスター走査を行い、所定値以上の微分値を有する画素を欠陥候補点として選定する欠陥候補点選定ステップと、
前記欠陥候補点を基準にして前記検査領域の幅に対応した検査用画素列を設定する画素列設定ステップと、
前記欠陥候補点に対して、前記撮像ステップで撮像された前記微細回路の画像における濃淡の変化する方向を表す微分方向値を設定する微分方向値設定ステップと、
前記検査用画素列内に前記欠陥候補点の微分方向値と同一の微分方向値が存在しない場合は前記欠陥候補点を異物と判定する異物判定ステップと、
を含む処理を実行させることを特徴とする微細回路検査プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005244910A JP4802614B2 (ja) | 2005-08-25 | 2005-08-25 | 微細回路検査方法、微細回路検査装置、微細回路検査プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005244910A JP4802614B2 (ja) | 2005-08-25 | 2005-08-25 | 微細回路検査方法、微細回路検査装置、微細回路検査プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007057441A JP2007057441A (ja) | 2007-03-08 |
JP4802614B2 true JP4802614B2 (ja) | 2011-10-26 |
Family
ID=37921061
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005244910A Active JP4802614B2 (ja) | 2005-08-25 | 2005-08-25 | 微細回路検査方法、微細回路検査装置、微細回路検査プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4802614B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5033076B2 (ja) * | 2008-07-28 | 2012-09-26 | パナソニック株式会社 | 外観検査方法およびその装置 |
JP5033077B2 (ja) * | 2008-07-28 | 2012-09-26 | パナソニック株式会社 | 成形品の外観検査方法およびその装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06103275B2 (ja) * | 1989-09-14 | 1994-12-14 | 松下電工株式会社 | 外観検査による欠陥抽出方法 |
JPH0720060A (ja) * | 1993-07-05 | 1995-01-24 | Nikon Corp | パターン欠陥および異物検査装置 |
JP4293653B2 (ja) * | 1998-10-23 | 2009-07-08 | パナソニック電工株式会社 | 外観検査方法 |
JP3890844B2 (ja) * | 2000-01-26 | 2007-03-07 | 松下電工株式会社 | 外観検査方法 |
-
2005
- 2005-08-25 JP JP2005244910A patent/JP4802614B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007057441A (ja) | 2007-03-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101192053B1 (ko) | 반도체 기판 이상들을 검출하기 위한 장치 및 방법 | |
JPH0678895B2 (ja) | 欠陥判別方法 | |
JP2010520622A (ja) | ウェーハ上に形成されたアレイ領域のための検査領域のエッジを正確に識別する方法、及び、ウェーハ上に形成されたアレイ領域に検知された欠陥をビニングする方法 | |
JP4517826B2 (ja) | 液面検出方法 | |
JP2018096908A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
CN114897847A (zh) | 图像处理方法及装置、计算机可读存储介质、电子设备 | |
JP2007147407A (ja) | 外観検査方法 | |
JP4230880B2 (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP5088165B2 (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
KR101677070B1 (ko) | 형태학적 영상 처리와 레이블링을 이용한 얼룩 결함 자동 검출 시스템 및 방법 | |
KR20160087197A (ko) | 결함 검출 장치 및 그 방법 | |
JP2006090921A (ja) | 外観検査装置、閾値決定方法、外観検査方法、およびコンピュータを外観検査装置として機能させるためのプログラム | |
JP4802614B2 (ja) | 微細回路検査方法、微細回路検査装置、微細回路検査プログラム | |
JP2011008482A (ja) | 欠陥検出方法、欠陥検出装置、および欠陥検出プログラム | |
JP3620470B2 (ja) | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 | |
JP2009097928A (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
JP6628185B2 (ja) | 透明体の検査方法 | |
JP5239275B2 (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JP2007285868A (ja) | 輝度勾配検出方法、欠陥検出方法、輝度勾配検出装置および欠陥検出装置 | |
JP2019002888A (ja) | 電極抽出装置、電極抽出方法および電極抽出プログラム | |
JP5346304B2 (ja) | 外観検査装置、外観検査システムおよび外観検査方法 | |
JP4821647B2 (ja) | 電子部品の端子位置検出方法 | |
JP3753234B2 (ja) | 欠陥検出方法 | |
TW202026942A (zh) | 影像檢測方法 | |
CN117495846B (zh) | 图像检测方法、装置、电子设备及存储介质 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080513 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101101 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101124 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110712 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110725 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4802614 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140819 Year of fee payment: 3 |