JP4801999B2 - 測定データ管理方法、測定データ構造、スペクトル再生方法及び表面分析装置 - Google Patents
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Description
11 電子銃
12 電子線
13 収束レンズ
14 偏向コイル
15 対物レンズ
16 試料
17 試料ステージ
18 X線
19 EDS検出器
21 波高分析器
22 データ処理回路
23 CPU
24 ハードディスク
Claims (9)
- 表面分析装置によって得られた測定データを管理する管理方法において、
試料を励起して発生した2次線を検出する検出工程と、
前記検出工程によって検出された2次線のエネルギーを分析する分析工程と、
前記分析工程で分析されたエネルギーについて、エネルギーのデータであることを示すタグとエネルギーのデータを含むエネルギーデータブロックを生成し、かつ測定経過時間のデータであることを示すタグと経過時間を含む経過時間データブロックを生成するデータ処理工程と、
前記データ処理工程によって生成されたエネルギーデータブロックと経過時間データブロックとを記憶媒体に記録する制御工程と
を備えることを特徴とする測定データ管理方法。 - 前記データ処理工程は、さらに有効経過時間のデータであることを示すタグと有効時間とを含む有効経過時間データブロックを生成することを特徴とする請求項1記載の測定データ管理方法。
- 前記データ処理工程は、2次線の入力ごとにエネルギーデータブロックを生成し、かつ経過時間データブロックを生成することを特徴とする請求項1記載の測定データ管理方法。
- 前記制御工程は、隣接する前記経過時間データブロック間には2次線に基いて可変個数の前記エネルギーデータブロックを配置することを特徴とする請求項1記載の測定データ管理方法。
- 表面分析装置によって得られた測定データのデータ構造において、
試料を励起して発生した2次線を検出し、検出された2次線のエネルギーを分析し、このエネルギーについて、エネルギーのデータであることを示すタグとエネルギーを含むエネルギーデータブロックを生成し、かつ測定経過時間のデータであることを示すタグと経過時間を含む経過時間データブロックを生成し、生成されたエネルギーデータブロックと経過時間データブロックとの関係を、隣接する前記経過時間データブロック間に2次線に基いて前記エネルギーブロックを可変個数配置してなる
ことを特徴とするデータ構造。 - 表面分析装置によって2次線を測定して得られた測定データからスペクトルを再生するスペクトル再生方法において、
試料を励起して2次線を検出する工程と、
前記検出工程によって検出された2次線のエネルギーを分析する分析工程と、
前記分析工程で分析されたエネルギーについて、エネルギーのデータであることを示すタグとエネルギーを含むエネルギーデータブロックを生成し、かつ測定経過時間のデータであることを示すタグと経過時間を含む経過時間データブロックを生成するデータ処理工程と、
前記データ処理工程によって生成されたエネルギーデータブロックと経過時間データブロックとを記憶媒体に記録する制御工程と、
前記制御工程によって記憶媒体に記録された前記経過時間データブロックにしたがって前記エネルギーデータブロックを再生し表示する再生工程と
を備えることを特徴とするスペクトル再生方法。 - 前記データ処理工程は2次線の入力ごとにエネルギーデータブロックを生成し、かつ経過時間データブロックを生成することを特徴とする請求項6記載のスペクトル再生方法。
- 前記制御工程は、隣接する前記経過時間データブロック間には2次線に基いて可変個数の前記エネルギーブロックを配置することを特徴とする請求項6記載のスペクトル再生方法。
- 試料の表面を分析する表面分析装置であって、
試料に照射する粒子線を発生する線源と、
前記線源から供給された粒子線で試料を励起して発生した2次線を検出する検出手段と、
前記検出手段によって検出された2次線のエネルギーを分析する分析手段と、
前記分析手段で分析されたエネルギーについて、エネルギーのデータであることを示すタグとエネルギーのデータを含むエネルギーデータブロックを生成し、かつ測定経過時間のデータであることを示すタグと経過時間を含む経過時間データブロックを生成するデータ処理手段と、
前記データ処理手段によって生成されたエネルギーデータブロックと経過時間データブロックとを記憶媒体に記録する制御手段と
を含むことを特徴とする表面分析装置。
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