DE102019214936A1 - Verfahren zum Bestimmen einer Materialzusammensetzung eines Objekts mit einem Teilchenstrahlgerät, Computerprogrammprodukt und Teilchenstrahlgerät zur Durchführung des Verfahrens sowie System mit einem Teilchenstrahlgerät - Google Patents

Verfahren zum Bestimmen einer Materialzusammensetzung eines Objekts mit einem Teilchenstrahlgerät, Computerprogrammprodukt und Teilchenstrahlgerät zur Durchführung des Verfahrens sowie System mit einem Teilchenstrahlgerät Download PDF

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Arne Janssen
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen einer Materialzusammensetzung eines Objekts mit einem Teilchenstrahlgerät, ein Computerprogrammprodukt, ein Teilchenstrahlgerät sowie ein System zur Durchführung des Verfahrens. Bei dem Verfahren wird ein Teilchenstrahl erzeugt und auf das Objekt geführt. Ferner wird Wechselwirkungsstrahlung mit einem Strahlungsdetektor detektiert, die aufgrund einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt entsteht. Darüber hinaus umfasst das Verfahren ein Bestimmen von Energien der Wechselwirkungsstrahlung sowie ein Bestimmen des Zeitpunkts der Detektion der Wechselwirkungsstrahlung, Bestimmen mindestens eines Energieintervalls (EI1bis EI6) aus einem Energiebereich, Bestimmen mindestens eines Zeitintervalls (TI1bis TI6) einer Messdauer und Bestimmen der Materialzusammensetzung des Objekts unter Verwendung der Lichtquanten, die (a) in dem Zeitintervall (TI1bis TI6) detektiert wurden und die (b) eine Energie aufweisen, die in dem Energieintervall (EI1bis EI6) liegt.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen einer Materialzusammensetzung eines Objekts mit einem Teilchenstrahlgerät, ein Computerprogrammprodukt sowie und ein Teilchenstrahlgerät, mit denen dieses Verfahren durchführbar ist. Ferner betrifft die Erfindung ein System mit dem Teilchenstrahlgerät und mit einer Auswerteeinrichtung. Das Teilchenstrahlgerät ist beispielsweise als Elektronenstrahlgerät und/oder als lonenstrahlgerät ausgebildet.
  • Elektronenstrahlgeräte, insbesondere ein Rasterelektronenmikroskop (nachfolgend auch SEM genannt) und/oder ein Transmissionselektronenmikroskop (nachfolgend auch TEM genannt), werden zur Untersuchung von Objekten (Proben) verwendet, um Kenntnisse hinsichtlich der Eigenschaften und Verhalten unter bestimmten Bedingungen zu erhalten.
  • Bei einem SEM wird ein Elektronenstrahl (nachfolgend auch Primärelektronenstrahl genannt) mittels eines Strahlerzeugers erzeugt und durch ein Strahlführungssystem auf ein zu untersuchendes Objekt fokussiert. Mittels einer Ablenkeinrichtung wird der Primärelektronenstrahl rasterförmig über eine Oberfläche des zu untersuchenden Objekts geführt. Die Elektronen des Primärelektronenstrahls treten dabei in Wechselwirkung mit dem zu untersuchenden Objekt. Als Folge der Wechselwirkung entstehen Wechselwirkungsteilchen und/oder Wechselwirkungsstrahlung. Als Wechselwirkungsteilchen werden insbesondere Elektronen vom Objekt emittiert (sogenannte Sekundärelektronen) und Elektronen des Primärelektronenstrahls am Objekt zurückgestreut (sogenannte Rückstreuelektronen). Die Sekundärelektronen und Rückstreuelektronen werden mit einem Teilchendetektor detektiert und zur Bilderzeugung verwendet. Man erhält somit eine Abbildung des zu untersuchenden Objekts. Als Wechselwirkungsstrahlung entsteht insbesondere Röntgenstrahlung und/oder Kathodolumineszenzlicht. Die Wechselwirkungsstrahlung wird mit einem Strahlungsdetektor detektiert und insbesondere zur Analyse des Objekts verwendet.
  • Bei einem TEM wird ebenfalls ein Primärelektronenstrahl mittels eines Strahlerzeugers erzeugt und mittels eines Strahlführungssystems auf ein zu untersuchendes Objekt gerichtet. Der Primärelektronenstrahl durchstrahlt das zu untersuchende Objekt. Beim Durchtritt des Primärelektronenstrahls durch das zu untersuchende Objekt treten die Elektronen des Primärelektronenstrahls mit dem Material des zu untersuchenden Objekts in Wechselwirkung. Die durch das zu untersuchende Objekt hindurchtretenden Elektronen werden durch ein System bestehend aus einem Objektiv und einem Projektiv auf einen Leuchtschirm oder auf einen Detektor (beispielsweise eine Kamera) abgebildet. Die Abbildung kann dabei auch im Scan-Modus eines TEM erfolgen. Ein derartiges TEM wird in der Regel als STEM bezeichnet. Zusätzlich kann es vorgesehen sein, an dem zu untersuchenden Objekt zurückgestreute Elektronen und/oder von dem zu untersuchenden Objekt emittierte Sekundärelektronen mittels eines weiteren Detektors zu detektieren, um ein zu untersuchendes Objekt abzubilden. Darüber hinaus kann es vorgesehen sein, eine aufgrund einer Wechselwirkung des Primärelektronenstrahls mit dem Objekt entstehende Wechselwirkungsstrahlung mit einem Strahlungsdetektor zu detektieren.
  • Ferner ist es aus dem Stand der Technik bekannt, Kombinationsgeräte zur Untersuchung von Objekten zu verwenden, bei denen sowohl Elektronen als auch Ionen auf ein zu untersuchendes Objekt geführt werden können. Beispielsweise ist es bekannt, ein SEM zusätzlich mit einer lonenstrahlsäule auszustatten. Mittels eines in der lonenstrahlsäule angeordneten lonenstrahlerzeugers werden Ionen erzeugt, die zur Präparation eines Objekts (beispielsweise Abtragen von Material des Objekts oder Aufbringen von Material auf das Objekt) oder auch zur Bildgebung verwendet werden. Das SEM dient hierbei insbesondere zur Beobachtung der Präparation, aber auch zur weiteren Untersuchung des präparierten oder unpräparierten Objekts.
  • Wie oben bereits ausgeführt, entsteht bei der Wechselwirkung des Primärelektronenstrahls mit dem Objekt Wechselwirkungsstrahlung, insbesondere Röntgenstrahlung. Die Röntgenstrahlung wird mit dem oben genannten Strahlungsdetektor detektiert. Es ist bekannt, dass mittels der detektierten Röntgenstrahlung energiedispersive Röntgenspektroskopie (abgekürzt EDS oder EDX) an dem Objekt durchgeführt wird. Bei der EDS mit einem SEM werden dem Objekt Primärelektronen des Primärelektronenstrahls zugeführt, wobei die Primärelektronen eine gewisse Energie aufweisen. Beim Zuführen des Primärelektronenstrahls auf das Objekt werden Elektronen aus inneren Schalen von Atomen eines Elements, welches das Objekt aufweist, herausgeschlagen. Das Element ist ein Element des Periodensystems. Es wird Energie von den Primärelektronen auf die herausgeschlagenen Elektronen übertragen. Die in den inneren Schalen entstehenden Lücken werden durch Elektronen aus äußeren Schalen der Atome aufgefüllt, wobei jeweils eine äußere Schale jeweils eine innere Schale umgibt. Demnach kommt es zu einem Übergang eines Elektrons von der äußeren Schale eines einzelnen Atoms zu der inneren Schale eines einzelnen Atoms. Die Energiedifferenz zwischen der Energie des Elektrons der äußeren Schale und der Energie des Elektrons der inneren Schale wird in Form von Röntgenstrahlung abgegeben. Diese Röntgenstrahlung ist charakteristisch sowohl für den Übergang als auch für das Element. Somit ist es möglich, das Element des Periodensystems zu ermitteln, welches das Objekt aufweist.
  • Für ein Element des Periodensystems sind mehrere Übergänge von verschiedenen Schalen eines einzelnen Atoms des Elements möglich. Hierbei entsteht für jeden einzelnen Übergang jeweils eine charakteristische Röntgenstrahlung mit einer charakteristischen Energie. Anhand der unterschiedlichen und charakteristischen Röntgenstrahlung kann ein Element des Periodensystems identifiziert werden.
  • Bei der EDS wird im Grunde ein Energiespektrum der Röntgenstrahlung erstellt. Das Energiespektrum weist Energien von Lichtquanten der detektierten Röntgenstrahlung in einer vorgebbaren Messdauer auf. Im Grunde gibt das Energiespektrum die Anzahl der Lichtquanten in Abhängigkeit der jeweiligen Energie der Lichtquanten wieder, wobei ein Lichtquant Li der Lichtquanten eine Energie Ei aufweist, wobei i eine ganze Zahl ist für die gilt: 1 ≤ i ≤ n und wobei n die Anzahl der Lichtquanten ist.
  • Zusätzlich zu der charakteristischen Röntgenstrahlung entsteht bei Einfall des Primärelektronenstrahls auf das Objekt eine kontinuierliche Röntgenstrahlung aufgrund einer Wechselwirkung der Primärelektronen des Primärelektronenstrahls mit einem jeweiligen Kern der Atome des Objekts. Diese kontinuierliche Röntgenstrahlung wird auch Bremsstrahlung genannt. Im Energiespektrum umfasst ein Untergrund die Bremsstrahlung und ein Rauschen. Der Untergrund kann eine Analyse der Materialzusammensetzung des Objekts erschweren..
  • Mit der in dem Teilchenstrahlgerät durchgeführten EDS ist sowohl eine qualitative Analyse der Materialzusammensetzung des Objekts als auch eine quantitative Analyse der Materialzusammensetzung des Objekts möglich. Bei der qualitativen Analyse der Materialzusammensetzung werden die Elemente, aus denen das Objekt zusammengesetzt ist und/oder die an dem Objekt angeordnet sind, identifiziert. Bei der quantitativen Analyse der Materialzusammensetzung wird der Gewichtsanteil des Elements ermittelt. Hierzu wird insbesondere auf den Aufsatz „Energy Dispersive Spectroscopy on the SEM: A Primer‟ von Bob Hafner verwiesen, den die Anmelderin bei einer Internetrecherche ermittelt hat und dort am 9. September 2015 veröffentlicht wurde .
  • Es ist bekannt, dass die Zählrate der detektierten Lichtquanten bei der EDS in einem Teilchenstrahlgerät gering sein kann. Dies führt bei einer kurzen Messdauer zu einem Energiespektrum, das ein starkes Rauschen (also einen hohen Untergrund) aufweist. Dann ist das Verhältnis zwischen einem Peak im Energiespektrum, welcher eine charakteristische Röntgenstrahlung wiedergibt, zu dem Rauschen des Untergrunds im Energiespektrum schlecht, beispielsweise kleiner als 2:1. In diesem Fall ist es oft nur schwer möglich, eine gute qualitative und quantitative Analyse der Materialzusammensetzung des Objekts durchzuführen. Mit zunehmender Messdauer wird das Verhältnis zwischen einem Peak im Energiespektrum zu dem Rauschen des Untergrunds im Energiespektrum besser, so dass man zunächst davon ausgehen kann, dass sowohl eine gute qualitative Analyse als auch eine gute quantitative Analyse der Materialzusammensetzung des Objekts möglich ist.
  • Allerdings kommen bei zunehmender Messdauer im Teilchenstrahlgerät Effekte zum Tragen, welche die qualitative und quantitative Analyse der Materialzusammensetzung des Objekts beeinflussen. Beispielsweise ist es bekannt, dass aufgrund einer elektronenstrahlinduzierten Abscheidung von Kohlenstoff auf dem Objekt das Objekt mit Kohlenstoff kontaminiert wird. Ferner ist es bekannt, dass das Objekt an der Oberfläche und/oder auch in Schichten unter der Oberfläche des Objekts aufgrund von Diffusion von Material, aufgrund eines Ausgasens von Material und aufgrund von chemischen Reaktionen, insbesondere einer Oxidation, verändert und/oder beschädigt wird. Die vorgenannten Effekte vergrößern den Untergrund und/oder verfälschen das eigentliche mit der EDS gemessene Energiespektrum des Objekts. Darüber hinaus ist es bekannt, dass sich Aufladungen an der Oberfläche des Objekts bilden, die eine unerwünschte und unkontrollierte Ablenkung des Primärelektronenstrahls bewirken. Auch dies führt zu einer Verfälschung des eigentlichen mit der EDS gemessenen Energiespektrums.
  • Es sind Gegenmaßnahmen bekannt, die einzelne der oben genannten Effekte reduzieren, jedoch nicht alle Effekte vollständig ausgleichen können. Beispielsweise kann durch Zuführung von Sauerstoff zum Objekt während der Zuführung des Primärelektronstrahls zum Objekt eine Kontamination der Oberfläche des Objekts verringert werden. Auch kann beispielsweise durch Zuführung von Stickstoff eine Aufladung an der Oberfläche des Objekts reduziert werden. Eine gleichzeitige Zuführung von Sauerstoff und Stickstoff führt aber zu unkontrollierten Reaktionen am Objekt und weniger zu einer gleichzeitigen Reduktion der Kontamination und der Aufladung. Ferner hat sich gezeigt, dass diese Gegenmaßnahmen sehr oft nicht gleichzeitig mit einer Aufnahme eines Energiespektrums mit EDS durchgeführt werden können, da die Gegenmaßnahmen die Aufnahme des Energiespektrums oft beeinflussen.
  • Ferner ist es bekannt, das Objekt mit wellenlängendispersiver Röntgenspektroskopie (abgekürzt WDS oder auch WDX) zu analysieren. Bei der WDS wird eine Röntgenstrahlung für einzelne Wellenlängen durch Beugung an Kristallen in Bestandteile zerlegt und analysiert.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren, ein Computerprogrammprodukt, ein Teilchenstrahlgerät sowie ein System zur Durchführung des Verfahrens anzugeben, mit denen eine gute Bestimmung einer Materialzusammensetzung eines Objekts gewährleistet ist, wobei Effekte, die während einer Messdauer das Messergebnis beeinflussen können, weitestgehend reduziert werden.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mittels eines Verfahrens mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Ein weiteres erfindungsgemäßes Verfahren ist durch den Anspruch 2 gegeben. Ein Computerprogrammprodukt mit einem Programmcode, der in einen Prozessor geladen ist oder ladbar ist und der bei Ausführung ein Teilchenstrahlgerät und/oder eine Auswerteeinrichtung derart steuert, dass ein erfindungsgemäßes Verfahren durchgeführt wird, ist durch den Anspruch 19 gegeben. Ferner betrifft die Erfindung ein Teilchenstrahlgerät mit den Merkmalen des Anspruchs 20. Ein System gemäß der Erfindung ist durch die Merkmale des Anspruchs 24 gegeben. Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung, den beigefügten Ansprüchen und/oder den beigefügten Figuren.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren dient dem Bestimmen einer Materialzusammensetzung eines Objekts mit einem Teilchenstrahlgerät. Das Teilchenstrahlgerät dient der Analyse des Objekts. Zusätzlich dient das Teilchenstrahlgerät der Abbildung und/oder der Bearbeitung des Objekts. Insbesondere wird mit dem erfindungsgemäßen Verfahren eine qualitative Analyse und/oder eine quantitative Analyse der Materialzusammensetzung des Objekts bestimmt.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird ein Teilchenstrahl mit mindestens einem Teilchenstrahlerzeuger erzeugt. Der Teilchenstrahl weist geladene Teilchen auf. Beispielsweise sind die Teilchen Elektronen oder Ionen.
  • Der Teilchenstrahl wird auf das Objekt mit mindestens einer Objektivlinse geführt oder fokussiert. Aufgrund einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt entsteht Wechselwirkungsstrahlung. Beispielsweise ist die Wechselwirkungsstrahlung Röntgenstrahlung. Die Wechselwirkungsstrahlung wird mit mindestens einem Strahlungsdetektor detektiert. Der Strahlungsdetektor ist derart ausgelegt, dass er Lichtquanten der Wechselwirkungsstrahlung in einem vorgegebenen Energiebereich von einer ersten Energie EA1 (beispielsweise 3 eV) bis zu einer zweiten Energie EA2 (beispielsweise 30 keV) detektiert.
  • Ferner erfolgt bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ein Bestimmen einer jeden Energie eines jeden Lichtquants und eines jeden Zeitpunkts, an dem jedes Lichtquant von dem Strahlungsdetektor in einer vorgebbaren Messdauer detektiert wird. Die Messdauer ist ein Zeitraum von einer ersten Zeit T0 bis zu einer zweiten Zeit Tmax , wobei gilt: Tmax > T0.
  • Bei einer Ausführungsform wird ein Energiespektrum der Lichtquanten der Wechselwirkungsstrahlung bestimmt. Das Energiespektrum gibt die Anzahl der Lichtquanten in Abhängigkeit der jeweiligen Energie der Lichtquanten wieder, wobei ein Lichtquant Li der Lichtquanten eine Energie Ei aufweist, wobei i eine ganze Zahl ist für die gilt: 1 ≤ i ≤ n und wobei n die Anzahl der Lichtquanten ist. Mit anderen Worten weisen die Lichtquanten Energien Ei bis En auf. Beispielsweise weisen die Lichtquanten Energien E1 , E2 ,..., En-1, En auf.
  • Ferner umfasst das erfindungsgemäße Verfahren ein Bestimmen mindestens eines Energieintervalls, wobei das Energieintervall ein Teilbereich des Energiebereichs von der ersten Energie EA1 bis zu der zweiten Energie EA2 ist, wobei das Energieintervall von einer ersten Grenzenergie EG1 und von einer zweiten Grenzenergie EG2 begrenzt ist, wobei die erste Grenzenergie EG1 und die zweite Grenzenergie EG2 im Energieintervall enthalten sind.
  • Darüber hinaus umfasst das erfindungsgemäße Verfahren ein Bestimmen mindestens eines Zeitintervalls im Bereich von der ersten Zeit T0 bis zu der zweiten Zeit Tmax , wobei das Zeitintervall ein Zeitbereich von einer Zeit TB1 , bis zu einer Zeit TB2 , ist, wobei T0 ≤ TB1, ≤ Tmax, wobei T0 ≤ TB2 ≤ Tmax, und wobei jede der folgenden Bedingungen gilt: (i) TB1 < TB2, (ii) wenn TB1, = T0, dann ist TB2 < Tmax und (iii) wenn TB2 = Tmax, dann ist TB1, > T0.Wenn die untere Grenze des Zeitintervalls die erste Zeit To ist, dann ist es somit vorgesehen, dass die zweite Zeit Tmax nicht die obere Grenze des Zeitintervalls ist. Wenn die obere Grenze des Zeitintervalls die zweite Zeit Tmax ist, dann ist es somit vorgesehen, dass die erste Zeit T0 nicht die untere Grenze des Zeitintervalls ist.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ist es nun vorgesehen, dass die Materialzusammensetzung des Objekts unter Verwendung der Lichtquanten bestimmt wird, die (a) in dem bestimmten Zeitintervall detektiert wurden und die (b) eine Energie aufweisen, die in dem bestimmten Energieintervall liegt.
  • Ein weiteres erfindungsgemäßes Verfahren dient ebenfalls dem Bestimmen einer Materialzusammensetzung eines Objekts mit einem Teilchenstrahlgerät. Das Teilchenstrahlgerät dient der Analyse des Objekts. Zusätzlich dient das Teilchenstrahlgerät der Abbildung und/oder der Bearbeitung des Objekts. Insbesondere wird mit dem erfindungsgemäßen Verfahren eine qualitative Analyse und/oder eine quantitative Analyse der Materialzusammensetzung des Objekts bestimmt.
  • Bei dem weiteren erfindungsgemäßen Verfahren wird ein Teilchenstrahl mit mindestens einem Teilchenstrahlerzeuger erzeugt. Der Teilchenstrahl weist geladene Teilchen auf. Beispielsweise sind die Teilchen Elektronen oder Ionen.
  • Der Teilchenstrahl wird auf das Objekt mit mindestens einer Objektivlinse geführt oder fokussiert. Aufgrund einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt entsteht Wechselwirkungsstrahlung. Beispielsweise ist die Wechselwirkungsstrahlung Röntgenstrahlung. Die Wechselwirkungsstrahlung wird mit mindestens einem Strahlungsdetektor detektiert. Der Strahlungsdetektor ist derart ausgelegt, dass er Lichtquanten der Wechselwirkungsstrahlung in einem vorgegebenen Energiebereich von einer ersten Energie EA1 (beispielsweise 3 eV) bis zu einer zweiten Energie EA2 (beispielsweise 30 keV) detektiert.
  • Bei dem weiteren erfindungsgemäßen Verfahren erfolgt ein Bestimmen mehrerer Energieintervalle El1 bis Elm, wobei m eine ganze Zahl ist für die gilt: m > 1, wobei jedes Energieintervall Elk der mehreren Energieintervalle ein Teilbereich des Energiebereichs von der ersten Energie EA1 bis zu der zweiten Energie EA2 ist, wobei k eine ganze Zahl ist für die gilt 1 ≤ k ≤ m, wobei jedes Energieintervall Elk der mehreren Energieintervalle jeweils von einer ersten Grenzenergie EG1 des Energieintervalls Elk und von einer zweiten Grenzenergie EG2 des Energieintervalls Elk begrenzt ist, wobei die erste Grenzenergie EG1 und die zweite Grenzenergie EG2 im Energieintervall Elk der mehreren Energieintervalle enthalten sind.
  • Bei dem weiteren erfindungsgemäßen Verfahren ist es auch vorgesehen, dass mehrere Zeitintervalle bestimmt werden. Somit erfolgt ein Bestimmen von Zeitintervallen Tl1 bis Tlp im Bereich von der ersten Zeit To bis zu der zweiten Zeit Tmax , wobei p eine ganze Zahl ist für die gilt: p > 1, wobei jedes Zeitintervall Tlv ein Zeitbereich von einer Zeit TD1 und bis zu einer Zeit TD2, ist, wobei v eine ganze Zahl ist für die gilt: 1 ≤ v ≤ p, wobei T0 ≤ TD1 ≤ Tmax, wobei T0 ≤ TD2 ≤ Tmax, und wobei jede der folgenden Bedingungen gilt: (i) TD1 < TD2, (ii) wenn TD1 = T0, dann ist TD2 < Tmax und (iii) wenn TD2 = Tmax, dann ist TD1 > T0.Wenn die untere Grenze eines Zeitintervalls die erste Zeit T0 ist, dann ist es vorgesehen, dass die zweite Zeit Tmax nicht die obere Grenze dieses Zeitintervalls ist. Wenn die obere Grenze eines Zeitintervalls die zweite Zeit Tmax ist, dann ist es vorgesehen, dass die erste Zeit T0 nicht die untere Grenze dieses Zeitintervalls ist.
  • Bei dem weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es ebenfalls vorgesehen, dass mindestens eine Kombination eines Energieintervalls Elk der mehreren Energieintervalle El1, bis Elm mit mindestens einem Zeitintervall Tlv der mehreren Zeitintervalle Tl1 bis Tlp ausgewählt wird.
  • Es wird die Anzahl der Lichtquanten bestimmt, die in dem Zeitintervall Tlv der Kombination detektiert werden. Ferner erfolgt ein Bestimmen der jeweiligen Energie eines jeden Lichtquants dieser Anzahl der Lichtquanten, wobei die jeweilige Energie in dem Energieintervall Elk der Kombination liegt. Die Materialzusammensetzung des Objekts wird nun unter Verwendung der in dem Zeitintervall Tlv der Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren Energie in dem Energieintervall Elk der Kombination liegt, bestimmt.
  • Die erfindungsgemäßen Verfahren beruhen auf dem Gedanken, dass bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts nur Lichtquanten der Wechselwirkungsstrahlung berücksichtigt werden, die zwei Bedingungen erfüllen. Zum einen werden nur Lichtquanten bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts berücksichtigt, welche in dem ausgewählten Zeitintervall oder den ausgewählten Zeitintervallen detektiert werden. Es werden demnach nicht alle in der gesamten Messdauer detektierten Lichtquanten bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts berücksichtigt, sondern nur die Lichtquanten, die in einem Teil oder in Teilen der Messdauer detektiert werden. Zum anderen werden nur die Lichtquanten bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts berücksichtigt, welche eine Energie aufweisen, die in dem bestimmten Energieintervall oder in den bestimmten Energieintervallen liegt. Mit den erfindungsgemäßen Verfahren ist/sind EDS und/oder WDS durchführbar.
  • Ferner ermöglichen es die erfindungsgemäßen Verfahren, zum einen das Zeitintervall oder die Zeitintervalle und zum anderen das Energieintervall oder die Energieintervalle zur Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts zu berücksichtigen, die eine hohe Genauigkeit des Energiespektrums gewährleisten und somit eine hohe Genauigkeit der Analyse des Objekts ermöglichen. Zeitintervalle und/oder Energieintervalle, in denen die oben genannten Effekte oder andere nachteilige Effekte sehr stark auftreten, werden beispielsweise nicht bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts berücksichtigt. Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht somit eine Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts, wobei Effekte, die während der Messdauer das Messergebnis nachteilig beeinflussen, weitestgehend reduziert werden.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Auswählen der Kombination des Energieintervalls Elk mit dem Zeitintervall Tlv durch mindestens einen der folgenden Schritte erfolgt:
    • - händisch durch einen Benutzer des Teilchenstrahlgeräts und/oder einer Auswerteeinrichtung, die vom Teilchenstrahlgerät getrennt ist. Im letztgenannten Fall erfolgt beispielsweise die Analyse in der Auswerteeinrichtung und nicht im Teilchenstrahlgerät;
    • - durch eine Steuereinheit des Teilchenstrahlgeräts und/oder durch die Auswerteeinrichtung. Beispielsweise erfolgt die Auswahl automatisch basierend auf einem vorgegebenen Algorithmus;
    • - durch Laden von Daten aus einer Datenbank in die Steuereinheit und/oder in die Auswerteeinrichtung, wobei die Daten Informationen über die Kombination des Energieintervalls Elk mit dem Zeitintervall Tlv enthält, und wobei die Kombination des Energieintervalls Elk mit dem Zeitintervall Tlv basierend auf den Daten ausgewählt werden. Beispielsweise ist in der Datenbank eine Selektionsmatrix hinterlegt, welche sämtliche Energieintervalle Elk und sämtliche Zeitintervalle Tlv aufweist. Die Selektionsmatrix weist Einträge dahingehend auf, ob eine bestimmte Kombination eines Energieintervalls Elk mit einem Zeitintervall Tlv bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts verwendet werden soll. Soll gemäß dem Eintrag der Selektionsmatrix eine bestimmte Kombination eines Energieintervalls Elk mit einem Zeitintervall Tlv verwendet werden, dann wird diese Kombination bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts verwendet;
    • - das Auswählen der Kombination des Energieintervalls Elk mit dem Zeitintervall Tlv erfolgt nur dann, wenn das Verhältnis zwischen einem Peak in einem Energiespektrum zu einem Rauschen eines Untergrunds im Energiespektrum mindestens 2:1, mindestens 3:1, mindestens 5:1, mindestens 10:1 oder mindestens 20:1 beträgt. Der Untergrund umfasst beispielsweise Bremsstrahlung und das Rauschen. Beispielsweise soll die minimale Größe des Peaks 3 mal die Standarabweichung des Rauschens des Untergrunds an der Peakposition im Energiespektrum aufweisen;
  • Bei einer noch weiteren Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Auswählen der Kombination hinsichtlich des Energieintervalls Elk durch mindestens einen der folgenden Schritte erfolgt:
    • - das Auswählen der Kombination hinsichtlich des Energieintervalls Elk umfasst (a) ein Detektieren von Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt entstehen, mit mindestens einem Teilchendetektor. Die Wechselwirkungsteilchen sind beispielsweise aus dem Objekt emittierte Sekundärteilchen, insbesondere Sekundärelektronen, und/oder von dem Objekt zurückgestreute Teilchen, beispielsweise Rückstreuelektronen. Ferner erfolgt (b) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer Signalstärke eines Signals des Teilchendetektors, das aufgrund der in dem Zeitintervall Tlv der Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des Energieintervalls Elk für die Kombination nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt der folgende Gedanke zugrunde. Die zeitliche Änderung der Signalstärke wird mit einer zunehmenden Messdauer abnehmen. Eine Auswahl des Energieintervalls Elk für die Kombination erfolgt, solange sich die Signalstärke in dem vorgebbaren Bereich befindet. Der vorgebbare Bereich ist ein Bereich, der für eine Bestimmung der Materialzusammensetzung ausreichend gut ist. Der vorgebbare Bereich wird beispielsweise experimentell bestimmt. Beispielsweise ist der vorgebbare Bereich ein Bereich von ± 20% ausgehend von einem Mittelwert der Signalstärke. Wenn die Signalstärke sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich befindet, wird das Energieintervall Elk für die Kombination nicht ausgewählt;
    • - das Auswählen der Kombination hinsichtlich des Energieintervalls Elk umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor, (b) ein Erzeugen einer Abbildung des Objekts unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung einen Kontrast aufweist, (c) Auswerten einer zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem Zeitintervall Tlv und (d) Auswählen des Energieintervalls Elk für die Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt folgender Gedanke zugrunde. Die zeitliche Änderung des Kontrasts wird mit einer zunehmenden Messdauer abnehmen. Eine Auswahl des Energieintervalls Elk für die Kombination erfolgt, solange sich die Änderung des Kontrasts in dem vorgebbaren Bereich befindet. Der vorgebbare Bereich ist ein Bereich, der für eine Bestimmung der Materialzusammensetzung ausreichend gut ist. Der vorgebbare Bereich wird beispielsweise experimentell bestimmt. Der vorgebbare Bereich ist beispielsweise ein Bereich von ± 20% ausgehend von einem Mittelwert des Kontrasts. Wenn der Kontrast sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich befindet, wird das Energieintervalle Elk für die Kombination nicht ausgewählt.
  • Bei einer Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Auswählen der Kombination hinsichtlich des Energieintervalls Elk ein Detektieren der Wechselwirkungsteilchen umfasst, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt entstehen. Die Wechselwirkungsteilchen sind beispielsweise die aus dem Objekt emittierten Sekundärteilchen, insbesondere die Sekundärelektronen, oder die von dem Objekt zurückgestreuten Teilchen, insbesondere die Rückstreuelektronen. Die Wechselwirkungsteilchen werden mit dem Teilchendetektor detektiert. Ferner ist es bei dieser Ausführungsform vorgesehen, dass ein Modell eines Aufwachsens einer Kontaminationsschicht auf dem Objekt unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen erzeugt wird. Das Energieintervall Elk erhält basierend auf diesem Modell und in Abhängigkeit des Zeitintervalls Tlv eine Gewichtung. Beispielsweise nimmt die Gewichtung bei größerer werdender Kontaminationsschicht ab. Die Gewichtung wird bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts verwendet. Beispielsweise erhält das Energieintervall Elk eine Gewichtung in Form eines Faktors GW. Dann wird bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts das Energieintervall Elk mit dem Faktor GW berücksichtigt. Hinsichtlich der Erstellung des Modells eines Aufwachsens einer Kontaminationsschicht wird auf die Veröffentlichung „The Secondary Electron Emission Yield for 24 Solid Elements Excited by Primary Electrons in the Range 250 - 5000 eV: A Theory/Experiment Comparison‟ von Walker et al. in Scanning Vol. 30, 365-380 (2008) verwiesen, deren Offenbarung in diese Anmeldung vollständig durch Rückbezug aufgenommen ist. Bei einer weiteren Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Energiespektrum basierend auf der Anzahl der Lichtquanten, die in dem Zeitintervall Tlv der Kombination detektiert werden und deren Energie in dem Energieintervall Elk der Kombination liegt, auf einer Anzeigeeinrichtung des Teilchenstrahlgeräts und/oder auf einer Anzeigeeinrichtung der Auswerteeinrichtung angezeigt wird.
  • Bei einer noch weiteren Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass mehrere Kombinationen von Energieintervallen mit dem Zeitintervall Tlv berücksichtigt werden. Bei dieser Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens wird eine erste Kombination eines ersten Energieintervalls der Energieintervalle EI1 , bis Elm mit dem Zeitintervall Tlv gewählt. Darüber hinaus wird eine zweite Kombination eines zweiten Energieintervalls der Energieintervalle El1, bis Elm mit dem Zeitintervall Tlv ausgewählt. Ferner wird die Anzahl der in dem Zeitintervall Tlv der ersten Kombination und der zweiten Kombination detektierten Lichtquanten bestimmt. Auch wird die jeweiligen Energie der Lichtquanten bestimmt, die zum einen in dem ausgewählten ersten Energieintervall oder in dem ausgewählten zweiten Energieintervall liegen und die zum anderen in dem Zeitintervall Tlv detektiert wurden. Es erfolgt dann eine Bestimmen der Materialzusammensetzung des Objekts unter Verwendung zum einen der in dem Zeitintervall Tlv der ersten Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren Energie in dem ersten Energieintervall der ersten Kombination liegt, und zum anderen der in dem Zeitintervall Tlv der zweiten Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren Energie in dem zweiten Energieintervall der zweiten Kombination liegt.
  • Bei einer Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Auswählen der ersten Kombination des ersten Energieintervalls mit dem Zeitintervall Tlv und der zweiten Kombination des zweiten Energieintervalls mit dem Zeitintervall Tlv durch mindestens einen der folgenden Schritte erfolgt:
    • - händisch durch den Benutzer des Teilchenstrahlgeräts und/oder der bereits oben genannten Auswerteeinrichtung;
    • - durch die Steuereinheit des Teilchenstrahlgeräts und/oder durch die bereits oben genannte Auswerteeinrichtung. Beispielsweise erfolgt die Auswahl automatisch basierend auf einem vorgegebenen Algorithmus;
    • - durch Laden von Daten aus der Datenbank in die Steuereinheit und/oder in die bereits oben genannte Auswerteeinrichtung, wobei die Daten Informationen zum einen über das erste Energieintervall und das Zeitintervall Tlv der ersten Kombination und zum anderen über das zweite Energieintervall und über das Zeitintervall Tlv der zweiten Kombination enthält, und wobei die erste Kombination und/oder die zweite Kombination basierend auf den Daten ausgewählt werden. Beispielsweise ist in der Datenbank wiederum eine Selektionsmatrix hinterlegt, welche das erste Energieintervall, das zweite Energieintervall und das Zeitintervall Tlv aufweist. Die Selektionsmatrix weist Einträge dahingehend auf, ob eine bestimmte Kombination, beispielsweise die erste Kombination des ersten Energieintervalls mit dem Zeitintervall Tlv oder die zweite Kombination des zweiten Energieintervalls mit dem Zeitintervall Tlv, bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts verwendet werden soll. Soll gemäß dem Eintrag der Selektionsmatrix eine bestimmte Kombination verwendet werden, dann wird diese Kombination bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts verwendet;
    • - das Auswählen der ersten Kombination des ersten Energieintervalls mit dem Zeitintervall Tlv und/oder der zweiten Kombination des zweiten Energieintervalls mit dem Zeitintervall Tlv erfolgt nur dann, wenn das Verhältnis zwischen einem Peak im Energiespektrum zu dem Rauschen des Untergrund im Energiespektrum mindestens 2;1, mindestens 3:1, mindestens 5:1, mindestens 10:1 oder mindestens 20:1 beträgt. Beispielsweise soll die minimale Größe des Peaks 3 mal die Standardabweichung des Rauschens des Untergrunds an der Peakposition im Energiespektrum sein.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls und/oder der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls durch mindestens einen der folgenden Schritte erfolgt:
    • - das Auswählen der erste Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls umfasst (a) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie in dem ersten Energieintervall liegt und die in dem Zeitintervall Tiv, detektiert werden, sowie (b) Auswählen des ersten Energieintervalls für die erste Kombination nur dann, wenn die mittlere Zählrate sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt der folgende Gedanke zugrunde. Die zeitliche Ändering der mittleren Zählrate wird mit einer zunehmenden Messdauer abnehmen. Eine Auswahl des ersten Energieintervalls für die Kombination erfolgt, solange sich die mittlere Zählrate in dem vorgebbaren Bereich befindet. Der vorgebbare Bereich ist ein Bereich, der für eine Bestimmung der Materialzusammensetzung ausreichend gut ist. Der vorgebbare Bereich wird beispielsweise experimentell bestimmt. Beispielsweise ist der vorgebbare Bereich ein Bereich von ± 20% ausgehend von der mittleren Zählrate. Wenn die mittlere Zählrate sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich befindet, wird das erste Energieintervall für die Kombination nicht ausgewählt;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls umfasst (a) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie in dem zweiten Energieintervall liegt und die in dem Zeitintervall Tlv der zweiten Kombination detektiert werden, sowie (b) Auswählen des zweiten Energieintervalls für die zweite Kombination nur dann, wenn die mittlere Zählrate der Lichtquanten sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt ebenfalls der oben genannte Gedanke zugrunde, auf den hier verwiesen wird. Beispielsweise ist der vorgebbare Bereich ein Bereich von ± 20% ausgehend von der mittleren Zählrate der Lichtquanten. Wenn die mittlere Zählrate der Lichtquanten sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich befindet, wird das zweite Energieintervall für die zweite Kombination nicht ausgewählt;
    • - das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt entstehen, mit dem Teilchendetektor. Die Wechselwirkungsteilchen sind beispielsweise die aus dem Objekt emittierten Sekundärteilchen, insbesondere die Sekundärelektronen, und/oder die von dem Objekt zurückgestreuten Teilchen, beispielsweise die Rückstreuelektronen. Ferner erfolgt (b) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung der Signalstärke des Signals des Teilchendetektors, das aufgrund der in dem Zeitintervall Tlv der ersten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des ersten Energieintervalls für die erste Kombination nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Auch diese Ausführungsform liegt der oben genannte Gedanke zugrunde, auf den verwiesen wird. Der vorgebbare Bereich ist beispielsweise ein Bereich von ±20% ausgehend von einem Mittelwert der Signalstärke;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt entstehen, mit dem Teilchendetektor. Die Wechselwirkungsteilchen sind beispielsweise die aus dem Objekt emittierten Sekundärteilchen, insbesondere die Sekundärelektronen, und/oder die von dem Objekt zurückgestreuten Teilchen, beispielsweise die Rückstreuelektronen. Ferner erfolgt (b) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung der Signalstärke des Signals des Teilchendetektors, das aufgrund der in dem Zeitintervall Tlv der zweiten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des zweiten Energieintervalls für die zweite Kombination nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Auch diese Ausführungsform liegt der oben genannte Gedanke zugrunde, auf den verwiesen wird. Der vorgebbare Bereich ist beispielsweise ein Bereich von ± 20% ausgehend von einem Mittelwert der Signalstärke;
    • - das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor, (b) das Erzeugen der Abbildung des Objekts unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung den Kontrast aufweist, (c) Auswerten einer zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem Zeitintervall Tlv und (d) Auswählen des ersten Energieintervalls für die erste Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt der bereits oben genannte Gedanke zugrunde, auf den verwiesen wird. Der vorgebbare Bereich wird beispielsweise experimentell bestimmt. Der vorgebbare Bereich ist beispielsweise ein Bereich von ± 20% ausgehend von einem Mittelwert des Kontrasts. Wenn der Kontrast sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich befindet, wird das erste Energieintervall für die erste Kombination nicht ausgewählt;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor, (b) das Erzeugen der Abbildung des Objekts unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung den Kontrast aufweist, (c) Auswerten einer zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem Zeitintervall Tlv der zweiten Kombination, sowie (d) Auswählen des zweiten Energieintervalls für die zweite Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt ebenfalls der vorgenannte Gedanke zugrunde. Der vorgebbare Bereich wird beispielsweise experimentell bestimmt. Der vorgebbare Bereich ist beispielsweise ein Bereich von ± 20% ausgehend von einem Mittelwert des Kontrasts. Wenn der Kontrast sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich befindet, wird das zweite Energieintervall für die zweite Kombination nicht ausgewählt;
    • - das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls und der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls erfolgt derart, dass das erste Energieintervall und das zweite Energieintervall einem einzelnen Element des Periodensystems zugeordnet sind. Wie oben erwähnt, sind für ein Element des Periodensystems mehrere Übergänge von verschiedenen Schalen des Atoms des Elements möglich. Hierbei entstehen für jeden einzelnen Übergang jeweils eine charakteristische Röntgenstrahlung mit einer charakteristischen Energie. Anhand der unterschiedlichen und charakteristischen Röntgenstrahlung kann ein Element des Periodensystem identifiziert werden. Dies wird bei dieser Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens derart berücksichtigt, dass beispielsweise eine erste charakteristische Röntgenstrahlung von dem ersten Energieintervall und eine zweite charakteristische Röntgenstrahlung von dem zweiten Energieintervall umfasst ist.
  • Bei einer Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls und/oder der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls ein Detektieren der Wechselwirkungsteilchen umfasst, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt entstehen. Die Wechselwirkungsteilchen sind beispielsweise die aus dem Objekt emittierten Sekundärteilchen, insbesondere die Sekundärelektronen, oder die von dem Objekt zurückgestreuten Teilchen, insbesondere die Rückstreuelektronen. Die Wechselwirkungsteilchen werden mit dem Teilchendetektor detektiert. Ferner ist es bei dieser Ausführungsform vorgesehen, ein Modell eines Aufwachsens einer Kontaminationsschicht auf dem Objekt unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen zu erzeugen. Das erste Energieintervall erhält basierend auf diesem Modell und in Abhängigkeit des Zeitintervalls Tlv eine erste Gewichtung. Ferner erhält das zweite Energieintervall basierend auf diesem Modell und in Abhängigkeit des Zeitintervalls Tlv eine zweite Gewichtung. Beispielsweise nimmt die erste Gewichtung oder die zweite Gewichtung bei größerer werdender Kontaminationsschicht ab. Die erste Gewichtung und die zweite Gewichtung werden bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts verwendet. Beispielsweise erhält das erste Energieintervall eine erste Gewichtung in Form eines ersten Faktors GW1. Ferner erhält das zweite Energieintervall eine zweite Gewichtung in Form eines zweiten Faktors GW2. Dann wird bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts das erste Energieintervall mit dem ersten Faktor GW1 und das zweite Energieintervall mit dem zweiten Faktor GW2 berücksichtigt. Hinsichtlich der Erstellung des Modells wird auf die bereits oben genannte Veröffentlichung verwiesen.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Energiespektrum basierend zum einen auf der Anzahl der Lichtquanten, die in dem Zeitintervall Tlv der ersten Kombination detektiert werden und deren Energie in dem ersten Energieintervall liegt, und zum anderen auf der Anzahl der Lichtquanten, die in dem Zeitintervall Tlv der zweiten Kombination detektiert werden und deren Energie in dem zweiten Energieintervall liegt, auf der Anzeigeeinrichtung des Teilchenstrahlgeräts und/oder auf der Anzeigeeinrichtung der Auswerteeinrichtung angezeigt wird.
  • Bei einer noch weiteren Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass bei dem weiteren erfindungsgemäßen Verfahren Kombinationen mehrerer Energieintervalle Elk mit jeweils einem Zeitintervall Tlv berücksichtigt werden. Mit anderen Worten ausgedrückt, werden bei dieser Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens eine erste Kombination eines ersten Energieintervalls der Energieintervalle El1, bis Elm mit einem ersten Zeitintervall der Zeitintervalle Tl1 bis Tlp und eine zweite Kombination eines zweiten Energieintervalls der Energieintervalle El1 bis Elm mit einem zweiten Zeitintervall der Zeitintervalle Tl1 bis Tlp ausgewählt. Ferner erfolgt zum einen ein Bestimmen der in dem ersten Zeitintervall der ersten Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren jeweilige Energie in dem ersten Energieintervall der ersten Kombination liegt. Zum anderen erfolgt ein Bestimmen der in dem zweiten Zeitintervall der zweiten Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren jeweilige Energie in dem zweiten Energieintervall der zweiten Kombination liegt. Es erfolgt das Bestimmen der Materialzusammensetzung des Objekts unter Verwendung zum einen der in dem ersten Zeitintervall der ersten Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren Energie in dem ersten Energieintervall liegt, und zum anderen der in dem zweiten Zeitintervall detektierten Lichtquanten, deren Energie in dem zweiten Energieintervall liegt.
  • Bei einer wiederum weiteren Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass die erste Kombination des ersten Energieintervalls mit dem ersten Zeitintervall sowie die zweite Kombination des zweiten Energieintervalls mit dem zweiten Zeitintervall durch mindestens einen der folgenden Schritte erfolgt:
    • - händisch durch den Benutzer des Teilchenstrahlgeräts und/oder der bereits oben genannten Auswerteeinrichtung;
    • - durch die Steuereinheit des Teilchenstrahlgeräts und/oder durch die bereits oben genannte Auswerteeinrichtung. Beispielsweise erfolgt die Auswahl automatisch basierend auf einem vorgegebenen Algorithmus;
    • - durch Laden von Daten aus der Datenbank in die Steuereinheit und/oder in die oben genannte Auswerteeinrichtung, wobei die Daten Informationen zum einen über das erste Energieintervall und das erste Zeitintervall der erste Kombination und zum anderen über das zweite Energieintervall und das zweite Zeitintervall der zweiten Kombination enthält, und wobei die erste Kombination und/oder die zweite Kombination basierend auf den Daten ausgewählt wird/werden. Beispielsweise ist in der Datenbank wiederum eine Selektionsmatrix hinterlegt, welche das erste Energieintervall, das zweite Energieintervall, das erste Zeitintervall und das zweite Zeitintervall aufweist. Die Selektionsmatrix weist Einträge dahingehend auf, ob eine bestimmte Kombination, beispielsweise die erste Kombination des ersten Energieintervalls mit dem ersten Zeitintervall oder die zweite Kombination des zweiten Energieintervalls mit dem zweiten Zeitintervall, bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts verwendet werden soll. Soll gemäß dem Eintrag der Selektionsmatrix eine bestimmte Kombination verwendet werden, dann wird diese Kombination bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts verwendet;
    • - das Auswählen der ersten Kombination und/oder der zweiten Kombination erfolgt nur dann, wenn das Verhältnis zwischen einem Peak im Energiespektrum zu einem Rauschen des Untergrunds im Energiespektrum mindestens 2:1, mindestens 3:1, mindestens 5:1, mindestens 10:1 oder mindestens 20:1 beträgt. Beispielsweise soll die minimale Größe des Peaks 3 mal die Standardabweichung des Rauschens des Untergrunds an der Peakposition im Energiespektrum sein.
  • Bei einer Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Auswählen der ersten Kombination des ersten Energieintervalls mit dem ersten Zeitintervall und/oder der zweiten Kombination des zweiten Energieintervalls mit dem zweiten Zeitintervall durch mindestens einen der folgenden Schritte erfolgt:
    • - das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls umfasst (a) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie in dem ersten Energieintervall liegt und die in dem ersten Zeitintervall der ersten Kombination detektiert werden, sowie (b) Auswählen des ersten Energieintervalls für die erste Kombination nur dann, wenn die mittlere Zählrate der Lichtquanten sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den verwiesen wird. Der vorgebbare Bereich wird beispielsweise experimentell bestimmt. Beispielsweise ist der vorgebbare Bereich ein Bereich von ± 20% ausgehend von der mittleren Zählrate der Lichtquanten. Wenn die mittlere Zählrate der Lichtquanten sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich befindet, wird das erste Energieintervall für die erste Kombination nicht ausgewählt;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination des zweiten Energieintervalls umfasst (a) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie in dem zweiten Energieintervall liegt und die in dem zweiten Zeitintervall der zweiten Kombination detektiert werden, und (b) Auswählen des zweiten Energieintervalls für die zweite Kombination nur dann, wenn die mittlere Zählrate der Lichtquanten sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt ebenfalls der oben genannte Gedanke zugrunde, auf den hier verwiesen wird. Beispielsweise ist der vorgebbare Bereich ein Bereich von ± 20% ausgehend von der mittleren Zählrate der Lichtquanten. Wenn die mittlere Zählrate der Lichtquanten sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich befindet, wird das zweite Energieintervall für die zweite Kombination nicht ausgewählt;
    • - das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt entstehen, mit dem Teilchendetektor. Die Wechselwirkungsteilchen sind beispielsweise die aus dem Objekt emittierten Sekundärteilchen, insbesondere die Sekundärelektronen, und/oder die von dem Objekt zurückgestreuten Teilchen, beispielsweise die Rückstreuelektronen. Ferner erfolgt (b) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer Signalstärke des Signals des Teilchendetektors, das aufgrund der in dem ersten Zeitintervall der ersten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des ersten Energieintervalls für die erste Kombination nur dann, wenn sich die Signalstärke in einem vorgebbaren Bereich befindet. Auch diese Ausführungsform liegt der oben genannte Gedanke zugrunde, auf den verwiesen wird. Der vorgebbare Bereich ist beispielsweise ein Bereich von ± 20% ausgehend von einem Mittelwert der Signalstärke der detektierten Wechselwirkungsteilchen;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt entstehen, mit dem Teilchendetektor. Die Wechselwirkungsteilchen sind beispielsweise die aus dem Objekt emittierten Sekundärteilchen, insbesondere die Sekundärelektronen, und/oder die von dem Objekt zurückgestreuten Teilchen, beispielsweise die Rückstreuelektronen. Ferner erfolgt (b) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer Signalstärke des Signals des Teilchendetektors, das aufgrund der in dem zweiten Zeitintervall der zweiten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des zweiten Energieintervalls für die zweite Kombination nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Auch diese Ausführungsform liegt der oben genannte Gedanke zugrunde, auf den verwiesen wird. Der vorgebbare Bereich ist beispielsweise ein Bereich von ± 20% ausgehend von einem Mittelwert der Signalstärke der detektierten Wechselwirkungsteilchen;
    • - das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor, (b) das Erzeugen der Abbildung des Objekts unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung den Kontrast aufweist, (c) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem ersten Zeitintervall der ersten Kombination, und (d) Auswählen des ersten Energieintervalls für die erste Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt ebenfalls der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den hier verwiesen wird. Der vorgebbare Bereich ist beispielsweise ein Bereich von ± 20% ausgehend von einem Mittelwert des Kontrasts. Wenn der Kontrast sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich befindet, wird das erste Energieintervall für die erste Kombination nicht ausgewählt;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor, (b) das Erzeugen der Abbildung des Objekts unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung den Kontrast aufweist, (c) das Auswerten einer zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem zweiten Zeitintervall der zweiten Kombination und (d) Auswählen des zweiten Energieintervalls für die zweite Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt ebenfalls der vorgenannte Gedanke zugrunde. Der vorgebbare Bereich wird beispielsweise experimentell bestimmt. Der vorgebbare Bereich ist beispielsweise ein Bereich von ± 20% ausgehend von einem Mittelwert des Kontrasts. Wenn der Kontrast sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich befindet, wird das zweite Energieintervall für die zweite Kombination nicht ausgewählt;
    • - das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls und der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls erfolgt derart, dass das erste Energieintervall und das zweite Energieintervall einem einzelnen Element des Periodensystem zugeordnet sind. Auf die bereits oben gemachten Anmerkungen wird verwiesen.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Auswählen der ersten Kombination des ersten Energieintervalls mit dem ersten Zeitintervall und/oder der zweiten Kombination des zweiten Energieintervalls mit dem zweiten Zeitintervall ein Detektieren der Wechselwirkungsteilchen umfasst, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt entstehen. Die Wechselwirkungsteilchen sind beispielsweise die aus dem Objekt emittierten Sekundärteilchen, insbesondere die Sekundärelektronen, oder die von dem Objekt zurückgestreuten Teilchen, insbesondere die Rückstreuelektronen. Die Wechselwirkungsteilchen werden mit dem Teilchendetektor detektiert. Ferner ist es auch bei dieser Ausführungsform vorgesehen, ein Modell eines Aufwachsens einer Kontaminationsschicht auf dem Objekt unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen zu erzeugen. Das erste Energieintervall erhält basierend auf diesem Modell und in Abhängigkeit des ersten Zeitintervalls eine erste Gewichtung. Ferner erhält das zweite Energieintervall basierend auf diesem Modell und in Abhängigkeit des zweiten Zeitintervalls eine zweite Gewichtung. Beispielsweise nimmt/nehmen die erste Gewichtung und/oder die zweite Gewichtung bei größerer werdender Kontaminationsschicht ab. Die erste Gewichtung und die zweite Gewichtung werden bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts verwendet. Beispielsweise erhält das erste Energieintervall eine erste Gewichtung in Form eines ersten Faktors GW1. Ferner erhält das zweite Energieintervall eine zweite Gewichtung in Form eines zweiten Faktors GW2. Dann wird bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts das erste Energieintervall mit dem ersten Faktor GW1 und das zweite Energieintervall mit dem zweiten Faktor GW2 berücksichtigt. Hinsichtlich der Erzeugung des Modells wird auf die oben genannte Veröffentlichung verwiesen.
  • Bei einer noch weiteren Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, eine Schwankung einer ersten Zählrate der Lichtquanten zu bestimmen, die im ersten Zeitintervall detektiert werden. Ferner wird ein erster Zeitpunkt bestimmt, an dem die Schwankung dieser ersten Zählrate sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Darüber hinaus wird die erste Zählrate zu dem ersten Zeitpunkt bestimmt. Bei dieser Ausführungsform ist es ferner vorgesehen, eine Schwankung einer zweiten Zählrate der Lichtquanten zu bestimmen, die im zweiten Zeitintervall detektiert werden. Ferner wird ein zweiter Zeitpunkt bestimmt, an dem die Schwankung dieser zweiten Zählrate sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Darüber hinaus wird die zweite Zählrate zu dem zweiten Zeitpunkt bestimmt. Ferner erfolgt ein Bestimmen einer dritten Zählrate zu einem dritten Zeitpunkt im Bereich zwischen der ersten Zeit T0 und der zweiten Zeit Tmax , beispielsweise zur ersten Zeit T0 , basierend auf der ersten Zählrate zu dem ersten Zeitpunkt und auf der zweiten Zählrate zu dem zweiten Zeitpunkt. Die vorgenannten Verfahrensschritte erfolgen beispielsweise für das erste Energieintervall und/oder für das zweite Energieintervall. Diese Ausführungsform hat folgenden Hintergrund. Es kommt vor, dass vor dem Erreichen einer gewünschten Genauigkeit des Energiespektrums am Objekt bereits eine signifikante Änderung aufgetreten ist. Dann kann mit der vorgenannten Ausführungsform basierend auf den zu den unterschiedlichen Zeitpunkten ermittelten Zählraten eine Rück-Extrapolation auf einen beliebigen Zeitpunkt der Messung, beispielsweise den Startzeitpunkt der Messung (nämlich der ersten Zeit T0 ) und somit auf den Zustand des Objekts zum beliebigen Zeitpunkt erfolgen. Darüber hinaus ist es möglich, basierend auf den zu den unterschiedlichen Zeitpunkten ermittelten Zählraten eine Berechnung durchzuführen, um Aussagen dahingehend zu treffen, wie sich der Zustand des Objekts im Laufe der Zeit ändert. Insbesondere kann beispielsweise eine Aussage hinsichtlich einer Aufwachsrate einer Kontaminationsschicht getroffen werden.
  • Bei einer Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Energiespektrum basierend auf der in dem ersten Zeitintervall der ersten Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren Energie in dem ersten Energieintervall der ersten Kombination liegt, und basierend auf der in dem zweiten Zeitintervall der zweiten Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren Energie in dem zweiten Energieintervall der zweiten Kombination liegt, auf der Anzeigeeinrichtung des Teilchenstrahlgeräts und/oder der Anzeigeeinrichtung der Auswerteeinrichtung angezeigt wird.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass mehrere Kombinationen eines Energieintervalls Elk mit mehreren Zeitintervall Tlv berücksichtigt werden. Bei dieser Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens wird beispielsweise eine erste Kombination des Energieintervalls Elk der Energieintervalle El1, bis Elm mit einem ersten Zeitintervall der Zeitinvervalle Tl1 bis Tlp gewählt. Darüber hinaus wird eine zweite Kombination des Energieintervalls Elk der Energieintervalle El1, bis Elm mit einem zweiten Zeitintervall der Zeitinvervalle Tl1, bis Tlp ausgewählt. Ferner wird zum einen die Anzahl der in dem ersten Zeitintervall der ersten Kombination detektierten Lichtquanten, deren Energie in dem Energieintervall Elk liegt, und zum anderen die Anzahl der in dem zweiten Zeitintervall der zweiten Kombination detektierten Lichtquanten, deren Energie in dem Energieintervall Elk liegt, bestimmt. Es erfolgt dann eine Bestimmen der Materialzusammensetzung des Objekts unter Verwendung zum einen der in dem ersten Zeitintervall der ersten Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren Energie im Energieintervall Elk der ersten Kombination liegt, und zum anderen der in dem zweiten Zeitintervall der zweiten Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren Energie in dem Energieintervall Elk der zweiten Kombination liegt.
  • Bei einer Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Auswählen der ersten Kombination des Energieintervalls Elk mit dem ersten Zeitintervall und der zweiten Kombination des Energieintervalls Elk mit dem zweiten Zeitintervall durch mindestens einen der folgenden Schritte erfolgt:
    • - händisch durch den Benutzer des Teilchenstrahlgeräts und/oder der bereits oben genannten Auswerteeinrichtung;
    • - durch die Steuereinheit des Teilchenstrahlgeräts und/oder durch die oben genannte Auswerteeinrichtung. Beispielsweise erfolgt die Auswahl automatisch basierend auf einem vorgegebenen Algorithmus;
    • - durch Laden von Daten aus der Datenbank in die Steuereinheit und/oder in die Auswerteeinrichtung, wobei die Daten Informationen zum einen über das Energieintervall Elk und das erste Zeitintervall der ersten Kombination und zum anderen über das Energieintervall Elk und über das zweite Zeitintervall der zweiten Kombination enthält, und wobei die erste Kombination und/oder die zweite Kombination basierend auf den Daten ausgewählt werden. Beispielsweise ist in der Datenbank wiederum eine Selektionsmatrix hinterlegt, welche das Energieintervall Elk, das erste Zeitintervall und das zweite Zeitintervall aufweist. Die Selektionsmatrix weist Einträge dahingehend auf, ob eine bestimmte Kombination, beispielsweise die erste Kombination des Energieintervalls Elk mit dem ersten Zeitintervall oder die zweite Kombination des Energieintervalls Elk mit dem zweiten Zeitintervall, bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts verwendet werden soll. Soll gemäß dem Eintrag der Selektionsmatrix eine bestimmte Kombination verwendet werden, dann wird diese Kombination bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts verwendet;
    • - das Auswählen der ersten Kombination des Energieintervalls Elk mit dem ersten Zeitintervall und/oder der zweiten Kombination des Energieintervalls Elk mit dem zweiten Zeitintervall erfolgt nur dann, wenn das Verhältnis zwischen einem Peak im Energiespektrum zu einem Rauschen des Untergrunds im Energiespektrum mindestens 2:1, mindestens 3:1, mindestens 5:1, mindestens 10:1 oder mindestens 20:1 beträgt. Es wird auch auf die oben gemachten Ausführungen verwiesen, die auch hier gelten.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Auswählen der ersten Kombination des Energieintervalls Elk mit dem ersten Zeitintervall und/oder der zweiten Kombination des Energieintervalls Elk mit dem zweiten Zeitintervall durch mindestens einen der folgenden Schritte erfolgt:
    • - das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des Energieintervalls Elk umfasst (a) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie in dem Energieintervall Elk liegt und die in dem ersten Zeitintervall der ersten Kombination detektiert werden, sowie (b) Auswählen des Energieintervalls Elk für die erste Kombination nur dann, wenn die mittlere Zählrate sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den verwiesen wird. Der vorgebbare Bereich wird beispielsweise experimentell bestimmt. Beispielsweise ist der vorgebbare Bereich ein Bereich von ± 20% ausgehend von der mittleren Zählrate der Lichtquanten. Wenn die mittlere Zählrate der Lichtquanten sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich befindet, wird das Energieintervall Elk nicht ausgewählt;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination hinsichtlich des Energieintervalls Elk umfasst (a) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie in dem Energieintervall Elk liegt und die in dem zweiten Zeitintervall der zweiten Kombination detektiert werden, sowie (b) Auswählen des Energieintervalls Elk für die zweite Kombination nur dann, wenn die mittlere Zählrate der Lichtquanten sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt ebenfalls der oben genannte Gedanke zugrunde, auf den hier verwiesen wird. Beispielsweise ist der vorgebbare Bereich ein Bereich von ± 20% ausgehend von der mittleren Zählrate der Lichtquanten. Wenn die mittlere Zählrate der Lichtquanten sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich befindet, wird das Energieintervall Elk nicht ausgewählt;
    • - das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des Energieintervalls Elk umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt entstehen, mit dem Teilchendetektor. Die Wechselwirkungsteilchen sind beispielsweise die aus dem Objekt emittierten Sekundärteilchen, insbesondere die Sekundärelektronen, und/oder die von dem Objekt zurückgestreuten Teilchen, beispielsweise die Rückstreuelektronen. Ferner erfolgt (b) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer Signalstärke des Signals des Teilchendetektors, das aufgrund der in dem ersten Zeitintervall der ersten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des Energieintervalls Elk für die erste Kombination nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Auch diese Ausführungsform liegt der oben genannte Gedanke zugrunde, auf den verwiesen wird. Der vorgebbare Bereich ist beispielsweise ein Bereich von ± 20% ausgehend von einem Mittelwert der Signalstärke;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination hinsichtlich des Energieintervalls Elk umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt entstehen, mit dem Teilchendetektor. Die Wechselwirkungsteilchen sind beispielsweise die aus dem Objekt emittierten Sekundärteilchen, insbesondere die Sekundärelektronen, und/oder die von dem Objekt zurückgestreuten Teilchen, beispielsweise die Rückstreuelektronen. Ferner erfolgt (b) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer Signalstärke des Signals des Teilchendetektors, das aufgrund der in dem zweiten Zeitintervall der zweiten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des Energieintervalls Elk für die zweite Kombination nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Auch diese Ausführungsform liegt der oben genannte Gedanke zugrunde, auf den verwiesen wird. Der vorgebbare Bereich ist beispielsweise ein Bereich von ± 20% ausgehend von einem Mittelwert der Signalstärke;
    • - das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des Energieintervalls Elk umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor, (b) das Erzeugen der Abbildung des Objekts unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung den Kontrast aufweist, (c) Auswerten einer zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem ersten Zeitintervall, und (d) Auswählen des Energieintervalls Elk für die erste Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt ebenfalls der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den hier verwiesen wird. Der vorgebbare Bereich wird beispielsweise experimentell bestimmt. Der vorgebbare Bereich ist beispielsweise ein Bereich von ± 20% ausgehend von einem Mittelwert des Kontrasts. Wenn der Kontrast sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich befindet, wird das Energieintervall Elk für die erste Kombination nicht ausgewählt;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination hinsichtlich des Energieintervalls Elk umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor, (b) das Erzeugen der Abbildung des Objekts unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung den Kontrast aufweist, (c) Auswerten einer zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem zweiten Zeitintervall der zweiten Kombination, sowie (d) Auswählen des Energieintervalls Elk für die zweite Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt ebenfalls der vorgenannte Gedanke zugrunde. Der vorgebbare Bereich wird beispielsweise experimentell bestimmt. Der vorgebbare Bereich ist beispielsweise ein Bereich von ± 20% ausgehend von einem Mittelwert des Kontrasts. Wenn der Kontrast sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich befindet, wird das Energieintervall Elk für die zweite Kombination nicht ausgewählt;
  • Bei einer Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Auswählen der ersten Kombination des Energieintervalls Elk mit dem ersten Zeitintervall und/oder der zweiten Kombination des Energieintervalls Elk mit dem zweiten Zeitintervall ein Detektieren der Wechselwirkungsteilchen umfasst, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt entstehen. Die Wechselwirkungsteilchen sind beispielsweise die aus dem Objekt emittierten Sekundärteilchen, insbesondere die Sekundärelektronen, oder die von dem Objekt zurückgestreuten Teilchen, insbesondere die Rückstreuelektronen. Die Wechselwirkungsteilchen werden mit dem Teilchendetektor detektiert. Ferner ist es bei dieser Ausführungsform vorgesehen, ein Modell eines Aufwachsens einer Kontaminationsschicht auf dem Objekt unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen zu erzeugen. Das Energieintervall Elk erhält basierend auf diesem Modell und in Abhängigkeit des ersten Zeitintervalls eine erste Gewichtung. Ferner erhält das Energieintervall Elk basierend auf diesem Modell und in Abhängigkeit des zweiten Zeitintervalls eine zweite Gewichtung. Beispielsweise nimmt die erste Gewichtung oder die zweite Gewichtung bei größerer werdender Kontaminationsschicht ab. Die erste Gewichtung und die zweite Gewichtung werden bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts verwendet. Beispielsweise erhält das Energieintervall Elk in Abhängigkeit des ersten Zeitintervalls eine erste Gewichtung in Form eines ersten Faktors GW1. Ferner erhält das Energieintervall Elk in Abhängigkeit des zweiten Zeitintervalls eine zweite Gewichtung in Form eines zweiten Faktors GW2. Dann wird bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts das Energieintervall Elk mit dem ersten Faktor GW1 für das erste Zeitintervall und mit dem zweiten Faktor GW2 für das zweite Zeitintervall berücksichtigt. Hinsichtlich der Erzeugung des Models wird auf die oben gemachte Veröffentlichung verwiesen.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform des weiteren erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Energiespektrum basierend auf den Lichtquanten, die in dem ersten Zeitintervall der ersten Kombination detektiert werden und deren Energie in dem Energieintervall Elk der ersten Kombination liegt, und basierend auf den Lichtquanten, die in dem zweiten Zeitintervall detektiert werden und deren Energie in dem Energieintervall Elk der - zweiten Kombination liegt, auf der Anzeigeeinrichtung des Teilchenstrahlgeräts und/oder der Anzeigeeinrichtung der Auswerteeinrichtung angezeigt wird.
  • Sämtliche Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens gewährleisten, dass nur diejenige Kombination oder diejenigen Kombinationen von Zeitintervallen der bestimmten Zeitintervalle und von Energieintervallen der bestimmten Energieintervalle zur Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts berücksichtigt werden, die eine hohe Genauigkeit des Energiespektrums gewährleistet/gewährleisten und somit eine hohe Genauigkeit der Analyse des Objekts ermöglicht/ermöglichen. Zeitintervalle und/oder Energieintervalle, in denen die oben genannten Effekte oder andere nachteilige Effekte sehr stark auftreten, werden beispielsweise nicht bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts berücksichtigt. Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht somit eine Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts, wobei Effekte, die während der Messdauer das Messergebnis beeinflussen, weitestgehend reduziert werden.
  • Die Erfindung betrifft auch ein Computerprogrammprodukt mit einem Programmcode, der in einen Prozessor ladbar oder geladen ist und der bei Ausführung ein Teilchenstrahlgerät und/oder eine Auswerteeinrichtung derart steuert, dass ein Verfahren mit mindestens einem der oben genannten oder weiter unten genannten Merkmale oder mit einer Kombination mit mindestens zwei der oben oder weiter unten genannten Merkmale ausgeführt wird.
  • Die Erfindung betrifft ferner ein Teilchenstrahlgerät zur Analyse eines Objekts. Ferner ist das Teilchenstrahlgerät beispielsweise zur Abbildung und/oder Bearbeitung des Objekts vorgesehen. Das Teilchenstrahlgerät weist mindestens einen Strahlerzeuger zur Erzeugung eines Teilchenstrahls mit geladenen Teilchen auf. Beispielsweise sind die geladenen Teilchen Elektronen oder Ionen. Ferner ist das Teilchenstrahlgerät mit mindestens einer Objektivlinse zur Fokussierung des Teilchenstrahls auf das Objekt versehen. Darüber hinaus weist das Teilchenstrahlgerät beispielsweise mindestens eine Rastereinrichtung zum Rastern des Teilchenstrahls über das Objekt auf. Ferner ist das Teilchenstrahlgerät mit mindestens einem Strahlungsdetektor zur Detektion von Wechselwirkungsstrahlung versehen, die aus einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt resultiert. Das Teilchenstrahlgerät ist auch mit mindestens einer Anzeigeeinrichtung zum Anzeigen eines Ergebnisses der Analyse des Objekts versehen. Das Teilchenstrahlgerät weist mindestens einen Prozessor auf, in dem ein vorgenanntes Computerprogrammprodukt geladen ist.
  • Bei einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass das Teilchenstrahlgerät mindestens einen Teilchendetektor zur Detektion von Wechselwirkungsteilchen, die aus einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt resultieren, aufweist.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist es zusätzlich oder alternativ vorgesehen, dass der Strahlerzeuger als ein erster Strahlerzeuger ausgebildet ist, wobei der Teilchenstrahl als ein erster Teilchenstrahl mit ersten geladenen Teilchen ausgebildet ist und wobei die Objektivlinse als eine erste Objektivlinse zur Fokussierung des ersten Teilchenstrahls auf das Objekt ausgebildet ist. Ferner weist das Teilchenstrahlgerät mindestens einen zweiten Strahlerzeuger zur Erzeugung eines zweiten Teilchenstrahls mit zweiten geladenen Teilchen und mindestens eine zweite Objektivlinse zur Fokussierung des zweiten Teilchenstrahls auf das Objekt auf.
  • Bei einer noch weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Teilchenstrahlgeräts ist es vorgesehen, dass das Teilchenstrahlgerät ein Elektronenstrahlgerät und/oder ein lonenstrahlgerät ist.
  • Die Erfindung betrifft auch ein System mit einem Teilchenstrahlgerät, das mindestens eines der oben genannten oder weiter unten genannten Merkmale oder eine Kombination mit mindestens zwei der oben oder weiter unten genannten Merkmale aufweist, sowie mit einer Auswerteeinrichtung, die beispielsweise getrennt von dem Teilchenstrahlgerät angeordnet ist und zur Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens, wie oben beschrieben, verwendet wird.
  • Weitere praktische Ausführungsformen und Vorteile der Erfindung sind nachfolgend im Zusammenhang mit den Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:
    • 1 eine schematische Darstellung einer ersten Ausführungsform eines Teilchenstrahlgeräts;
    • 2 eine schematische Darstellung einer zweiten Ausführungsform eines Teilchenstrahlgeräts;
    • 3 eine schematische Darstellung einer dritten Ausführungsform eines Teilchenstrahlgeräts;
    • 3A eine schematische Darstellung einer Auswerteeinrichtung;
    • 4 eine schematische Darstellung eines Ablaufdiagramms einer Ausführungsform eines Verfahrens gemäß der Erfindung;
    • 5 eine schematische Darstellung eines mit EDS oder WDS aufgenommenen Energiespektrums eines Objekts;
    • 6 eine erste schematische Darstellung der Energie Ei von Lichtquanten in Abhängigkeit der Zeit mit einem Zeitintervall und mit einem Energieintervall;
    • 7 eine zweite schematische Darstellung der Energie Ei von Lichtquanten in Abhängigkeit der Zeit mit einem Zeitintervall und mit einem Energieintervall;
    • 8 eine dritte schematische Darstellung der Energie Ei von Lichtquanten in Abhängigkeit der Zeit mit einem Zeitintervall und mit einem Energieintervall;
    • 9 eine vierte schematische Darstellung der Energie Ei von Lichtquanten in Abhängigkeit der Zeit mit Zeitintervallen und mit Energieintervallen;
    • 10 eine schematische Darstellung der Signalstärke eines Signals eines Teilchendetektors oder der mittleren Zählrate von Lichtquanten in Abhängigkeit der Zeit;
    • 11 eine schematische Darstellung des zeitliche Verlaufs eines Kontrasts einer mit einem Teilchenstrahlgerät erzeugten Abbildung des Objekts in Abhängigkeit der Zeit;
    • 12 eine fünfte schematische Darstellung der Energie Ei von Lichtquanten in Abhängigkeit der Zeit mit Zeitintervallen und mit Energieintervallen;
    • 13 eine sechste schematische Darstellung der Energie Ei von Lichtquanten in Abhängigkeit der Zeit mit Zeitintervallen und mit Energieintervallen;
    • 14 eine siebte schematische Darstellung der Energie Ei von Lichtquanten in Abhängigkeit der Zeit mit Zeitintervallen und mit Energieintervallen;
    • 15 eine schematische Darstellung eines Ablaufdiagramms einer Ausführungsform des Verfahrens gemäß der Erfindung; sowie
    • 16 eine weitere schematische Darstellung der Anzahl der Lichtquanten in Abhängigkeit der Zeit mit Zeitintervallen.
  • Die Erfindung wird nun mittels Teilchenstrahlgeräten in Form eines SEM und in Form eines Kombinationsgeräts, das eine Elektronenstrahlsäule und eine lonenstrahlsäule aufweist, näher erläutert. Es wird ausdrücklich darauf hingewiesen, dass die Erfindung bei jedem Teilchenstrahlgerät, insbesondere bei jedem Elektronenstrahlgerät und/oder jedem lonenstrahlgerät eingesetzt werden kann.
  • 1 zeigt eine schematische Darstellung eines SEM 100. Das SEM 100 weist einen ersten Strahlerzeuger in Form einer Elektronenquelle 101 auf, welche als Kathode ausgebildet ist. Ferner ist das SEM 100 mit einer Extraktionselektrode 102 sowie mit einer Anode 103 versehen, die auf ein Ende eines Strahlführungsrohrs 104 des SEM 100 aufgesetzt ist. Beispielsweise ist die Elektronenquelle 101 als thermischer Feldemitter ausgebildet. Die Erfindung ist allerdings nicht auf eine derartige Elektronenquelle 101 eingeschränkt. Vielmehr ist jede Elektronenquelle verwendbar.
  • Elektronen, die aus der Elektronenquelle 101 austreten, bilden einen Primärelektronenstrahl. Die Elektronen werden aufgrund einer Potentialdifferenz zwischen der Elektronenquelle 101 und der Anode 103 auf Anodenpotential beschleunigt. Das Anodenpotential beträgt bei der hier dargestellten Ausführungsform 100 V bis 35 kV gegenüber einem Massepotential eines Gehäuses einer Probenkammer 120, beispielsweise 5 kV bis 15 kV, insbesondere 8 kV. Es könnte aber alternativ auch auf Massepotential liegen.
  • An dem Strahlführungsrohr 104 sind zwei Kondensorlinsen angeordnet, nämlich eine erste Kondensorlinse 105 und eine zweite Kondensorlinse 106. Dabei sind ausgehend von der Elektronenquelle 101 in Richtung einer ersten Objektivlinse 107 gesehen zunächst die erste Kondensorlinse 105 und dann die zweite Kondensorlinse 106 angeordnet. Es wird explizit darauf hingewiesen, dass weitere Ausführungsformen des SEM 100 nur eine einzelne Kondensorlinse aufweisen können. Zwischen der Anode 103 und der ersten Kondensorlinse 105 ist eine erste Blendeneinheit 108 angeordnet. Die erste Blendeneinheit 108 liegt zusammen mit der Anode 103 und dem Strahlführungsrohr 104 auf Hochspannungspotential, nämlich dem Potential der Anode 103 oder auf Masse. Die erste Blendeneinheit 108 weist zahlreiche erste Blendenöffnungen 108A auf, von denen eine in 1 dargestellt ist. Beispielsweise sind zwei erste Blendenöffnungen 108A vorhanden. Jede der zahlreichen ersten Blendenöffnungen 108A weist einen unterschiedlichen Öffnungsdurchmesser auf. Mittels eines Verstellmechanismus (nicht dargestellt) ist es möglich, eine gewünschte erste Blendenöffnung 108A auf eine optische Achse OA des SEM 100 einzustellen. Es wird explizit darauf hingewiesen, dass bei weiteren Ausführungsformen die erste Blendeneinheit 108 nur mit einer einzigen Blendenöffnung 108A versehen sein kann. Bei dieser Ausführungsform kann ein Verstellmechanismus nicht vorgesehen sein. Die erste Blendeneinheit 108 ist dann ortsfest ausgebildet. Zwischen der ersten Kondensorlinse 105 und der zweiten Kondensorlinse 106 ist eine ortsfeste zweite Blendeneinheit 109 angeordnet. Alternativ hierzu ist es vorgesehen, die zweite Blendeneinheit 109 beweglich auszubilden.
  • Die erste Objektivlinse 107 weist Polschuhe 110 auf, in denen eine Bohrung ausgebildet ist. Durch diese Bohrung ist das Strahlführungsrohr 104 geführt. In den Polschuhen 110 ist eine Spule 111 angeordnet.
  • In einem unteren Bereich des Strahlführungsrohrs 104 ist eine elektrostatische Verzögerungseinrichtung angeordnet. Diese weist eine einzelne Elektrode 112 und eine Rohrelektrode 113 auf. Die Rohrelektrode 113 ist an einem Ende des Strahlführungsrohrs 104 angeordnet, welches einem Objekt 125 zugewandt ist, das an einem beweglich ausgebildeten Objekthalter 114 angeordnet ist.
  • Die Rohrelektrode 113 liegt gemeinsam mit dem Strahlführungsrohr 104 auf dem Potential der Anode 103, während die einzelne Elektrode 112 sowie das Objekt 125 auf einem gegenüber dem Potential der Anode 103 niedrigeren Potential liegen. Im vorliegenden Fall ist dies das Massepotential des Gehäuses der Probenkammer 120. Auf diese Weise können die Elektronen des Primärelektronenstrahls auf eine gewünschte Energie abgebremst werden, die für die Untersuchung des Objekts 125 erforderlich ist.
  • Das SEM 100 weist ferner eine Rastereinrichtung 115 auf, durch die der Primärelektronenstrahl abgelenkt und über das Objekt 125 gerastert werden kann. Die Elektronen des Primärelektronenstrahls treten dabei in Wechselwirkung mit dem Objekt 125. Als Folge der Wechselwirkung entstehen Wechselwirkungsteilchen, welche detektiert werden. Als Wechselwirkungsteilchen werden insbesondere Elektronen aus der Oberfläche des Objekts 125 emittiert - sogenannte Sekundärelektronen - oder Elektronen des Primärelektronenstrahls zurückgestreut - sogenannte Rückstreuelektronen.
  • Das Objekt 125 und die einzelne Elektrode 112 können auch auf unterschiedlichen und von Masse verschiedenen Potentialen liegen. Hierdurch ist es möglich, den Ort der Verzögerung des Primärelektronenstrahls in Bezug auf das Objekt 125 einzustellen. Wird beispielsweise die Verzögerung recht nahe am Objekt 125 durchgeführt, werden Abbildungsfehler kleiner.
  • Zur Detektion der Sekundärelektronen und/oder der Rückstreuelektronen ist eine Detektoranordnung im Strahlführungsrohr 104 angeordnet, die einen ersten Detektor 116 und einen zweiten Detektor 117 aufweist. Der erste Detektor 116 ist dabei entlang der optischen Achse OA quellenseitig angeordnet, während der zweite Detektor 117 objektseitig entlang der optischen Achse OA im Strahlführungsrohr 104 angeordnet ist. Der erste Detektor 116 und der zweite Detektor 117 sind in Richtung der optischen Achse OA des SEM 100 versetzt zueinander angeordnet. Sowohl der erste Detektor 116 als auch der zweite Detektor 117 weisen jeweils eine Durchgangsöffnung auf, durch welche der Primärelektronenstrahl treten kann. Der erste Detektor 116 und der zweite Detektor 117 liegen annähernd auf dem Potential der Anode 103 und des Strahlführungsrohrs 104. Die optische Achse OA des SEM 100 verläuft durch die jeweiligen Durchgangsöffnungen.
  • Der zweite Detektor 117 dient hauptsächlich der Detektion von Sekundärelektronen. Die Sekundärelektronen weisen beim Austritt aus dem Objekt 125 zunächst eine geringe kinetische Energie und beliebige Bewegungsrichtungen auf. Durch das von der Rohrelektrode 113 ausgehende starke Absaugfeld werden die Sekundärelektronen in Richtung der ersten Objektivlinse 107 beschleunigt. Die Sekundärelektronen treten annähernd parallel in die erste Objektivlinse 107 ein. Der Bündeldurchmesser des Strahls der Sekundärelektronen bleibt auch in der ersten Objektivlinse 107 klein. Die erste Objektivlinse 107 wirkt nun stark auf die Sekundärelektronen und erzeugt einen vergleichsweise kurzen Fokus der Sekundärelektronen mit ausreichend steilen Winkeln zur optischen Achse OA, so dass die Sekundärelektronen nach dem Fokus weit auseinander laufen und den zweiten Detektor 117 auf seiner aktiven Fläche treffen. An dem Objekt 125 zurückgestreute Elektronen - also Rückstreuelektronen, die im Vergleich zu den Sekundärelektronen eine relativ hohe kinetische Energie beim Austritt aus dem Objekt 125 aufweisen - werden dagegen vom zweiten Detektor 117 nur zu einem geringen Anteil erfasst. Die hohe kinetische Energie und die Winkel der Rückstreuelektronen zur optischen Achse OA bei Austritt aus dem Objekt 125 führen dazu, dass eine Strahltaille, also ein Strahlbereich mit minimalem Durchmesser, der Rückstreuelektronen in der Nähe des zweiten Detektors 117 liegt. Ein großer Teil der Rückstreuelektronen tritt durch die Durchgangsöffnung des zweiten Detektors 117 hindurch. Der erste Detektor 116 dient daher im Wesentlichen zur Erfassung der Rückstreuelektronen.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform des SEM 100 kann der erste Detektor 116 zusätzlich mit einem Gegenfeldgitter 116A ausgebildet sein. Das Gegenfeldgitter 116A ist an der zum Objekt 125 gerichteten Seite des ersten Detektors 116 angeordnet. Das Gegenfeldgitter 116A weist ein hinsichtlich des Potentials des Strahlführungsrohrs 104 negatives Potential derart auf, dass nur Rückstreuelektronen mit einer hohen Energie durch das Gegenfeldgitter 116A zu dem ersten Detektor 116 gelangen. Zusätzlich oder alternativ weist der zweite Detektor 117 ein weiteres Gegenfeldgitter auf, das analog zum vorgenannten Gegenfeldgitter 116A des ersten Detektors 116 ausgebildet ist und eine analoge Funktion aufweist.
  • Ferner weist das SEM 100 in der Probenkammer 120 einen Kammerdetektor 119 auf, beispielsweise einen Everhart-Thornley-Detektor oder einen Ionendetektor, welcher eine mit Metall beschichtete Detektionsfläche aufweist, welche Licht abschirmt.
  • Die mit dem ersten Detektor 116, dem zweiten Detektor 117 und dem Kammerdetektor 119 erzeugten Detektionssignale werden verwendet, um ein Bild oder Bilder der Oberfläche des Objekts 125 zu erzeugen.
  • Es wird explizit darauf hingewiesen, dass die Blendenöffnungen der ersten Blendeneinheit 108 und der zweiten Blendeneinheit 109 sowie die Durchgangsöffnungen des ersten Detektors 116 und des zweiten Detektors 117 übertrieben dargestellt sind. Die Durchgangsöffnungen des ersten Detektors 116 und des zweiten Detektors 117 haben eine Ausdehnung senkrecht zur optischen Achse OA im Bereich von 0,5 mm bis 5 mm. Beispielsweise sind sie kreisförmig ausgebildet und weisen einen Durchmesser im Bereich von 1 mm bis 3 mm senkrecht zur optischen Achse OA auf.
  • Die zweite Blendeneinheit 109 ist bei der hier dargestellten Ausführungsform als Lochblende ausgestaltet und ist mit einer zweiten Blendenöffnung 118 für den Durchtritt des Primärelektronenstrahls versehen, welche eine Ausdehnung im Bereich vom 5 µm bis 500 µm aufweist, beispielsweise 35 µm. Alternativ hierzu ist es bei einer weiteren Ausführungsform vorgesehen, dass die zweite Blendeneinheit 109 mit mehreren Blendenöffnungen versehen ist, die mechanisch zum Primärelektronenstrahl verschoben werden können oder die unter Verwendung von elektrischen und/oder magnetischen Ablenkelementen vom Primärelektronenstrahl erreicht werden können. Die zweite Blendeneinheit 109 ist als eine Druckstufenblende ausgebildet. Diese trennt einen ersten Bereich, in welchem die Elektronenquelle 101 angeordnet ist und in welchem ein Ultrahochvakuum herrscht (10-7 hPa bis 10-12 hPa), von einem zweiten Bereich, der ein Hochvakuum aufweist (10-3 hPa bis 10-7 hPa). Der zweite Bereich ist der Zwischendruckbereich des Strahlführungsrohrs 104, welcher zur Probenkammer 120 hinführt.
  • Die Probenkammer 120 steht unter Vakuum. Zur Erzeugung des Vakuums ist an der Probenkammer 120 eine Pumpe (nicht dargestellt) angeordnet. Bei der in 1 dargestellten Ausführungsform wird die Probenkammer 120 in einem ersten Druckbereich oder in einem zweiten Druckbereich betrieben. Der erste Druckbereich umfasst nur Drücke kleiner oder gleich 10-3 hPa, und der zweite Druckbereich umfasst nur Drücke größer als 10-3 hPa. Um diese Druckbereiche zu gewährleisten, ist die Probenkammer 120 vakuumtechnisch verschlossen.
  • Der Objekthalter 114 ist an einem Objektträger in Form eines Probentisches 122 angeordnet. Der Probentisch 122 ist in drei zueinander senkrecht angeordnete Richtungen beweglich ausgebildet, nämlich in eine x-Richtung (erste Tischachse), in eine y-Richtung (zweite Tischachse) und in eine z-Richtung (dritte Tischachse).
  • Darüber hinaus kann der Probentisch 122 um zwei zueinander senkrecht angeordnete Rotationsachsen (Tischrotationsachsen) gedreht werden. Die Erfindung ist nicht auf den vorbeschriebenen Probentisch 122 eingeschränkt. Vielmehr kann der Probentisch 122 weitere Translationsachsen und Rotationsachsen aufweisen, entlang derer oder um welche sich der Probentisch 122 bewegen kann
  • Das SEM 100 weist ferner einen dritten Detektor 121 auf, welcher in der Probenkammer 120 angeordnet ist. Genauer gesagt, ist der dritte Detektor 121 von der Elektronenquelle 101 aus gesehen entlang der optischen Achse OA hinter dem Probentisch 122 angeordnet. Der Probentisch 122 und somit der Objekthalter 114 können derart gedreht werden, dass das am Objekthalter 114 angeordnete Objekt 125 vom Primärelektronenstrahl durchstrahlt werden kann. Beim Durchtritt des Primärelektronenstrahls durch das zu untersuchende Objekt 125 treten die Elektronen des Primärelektronenstrahls mit dem Material des zu untersuchenden Objekts 125 in Wechselwirkung. Die durch das zu untersuchende Objekt 125 hindurchtretenden Elektronen werden durch den dritten Detektor 121 detektiert.
  • An der Probenkammer 120 ist ein Strahlungsdetektor 500 angeordnet, mit dem Wechselwirkungsstrahlung, beispielsweise Röntgenstrahlung und/oder Kathodolumineszenzlicht, detektiert wird. Der Strahlungsdetektor 500, der erste Detektor 116, der zweite Detektor 117 und der Kammerdetektor 119 sind mit einer Steuereinheit 123 verbunden, welche einen Monitor 124 aufweist. Auch der dritte Detektor 121 ist mit der Steuereinheit 123 verbunden. Dies ist aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht dargestellt. Die Steuereinheit 123 verarbeitet Detektionssignale, welche von dem ersten Detektor 116, dem zweiten Detektor 117, dem Kammerdetektor 119, dem dritten Detektor 121 und/oder dem Strahlungsdetektor 500 erzeugt werden und zeigt diese in Form von Bildern auf dem Monitor 124 an.
  • Die Steuereinheit 123 weist ferner eine Datenbank 126 auf, in der Daten gespeichert werden und aus der Daten ausgelesen werden.
  • Das SEM 100 weist eine Gaszuführungseinrichtung 1000 auf, welche der Zuführung eines Gases, beispielsweise eine gasförmige Vorläufersubstanz, an eine bestimmte Position auf der Oberfläche des Objekts 125 dient. Die Gaszuführungseinrichtung 1000 weist ein Gasreservoir 1001 auf. Beispielsweise wird eine Metall aufweisende gasförmige Vorläufersubstanz verwendet, um ein Metall auf der Oberfläche des Objekts 125 abzuscheiden. Die Abscheidungen sind aber nicht Metalle beschränkt. Vielmehr können beliebige Substanzen auf der Oberfläche des Objekts 125 abgeschieden werden, beispielsweise Halbleiter, Nichtleiter oder andere Verbindungen. Ferner ist es auch vorgesehen, ein Gas bei Wechselwirkung mit dem Teilchenstrahl zur Abtragung von Material des Objekts 125 zu verwenden.
  • Die Gaszuführungseinrichtung 1000 ist mit einer Zuleitung 1002 versehen. Die Zuleitung 1002 weist in Richtung des Objekts 125 eine nadelförmige Einrichtung in Form einer Kanüle 1003 auf, welche in die Nähe der Oberfläche des Objekts 125 beispielsweise in einem Abstand von 10 µm bis 1 mm zur Oberfläche des Objekts 125 bringbar ist. Die Kanüle 1003 weist eine Zuführungsöffnung auf, deren Durchmesser beispielsweise im Bereich von 10 µm bis 1000 µm, insbesondere im Bereich von 400 µm bis 600 µm liegt. Die Zuleitung 1002 weist ein Ventil 1004 auf, um den Durchfluss des Gases in die Zuleitung 1002 zu regeln. Mit anderen Worten ausgedrückt, wird beim Öffnen des Ventils 1004 Gas von dem Gasreservoir 1001 in die Zuleitung 1002 eingebracht und über die Kanüle 1003 zur Oberfläche des Objekts 125 geleitet. Beim Schließen des Ventils 1004 wird der Zufluss des Gases auf die Oberfläche des Objekts 125 gestoppt.
  • Die Gaszuführungseinrichtung 1000 ist ferner mit einer Verstelleinheit 1005 versehen, welche eine Verstellung der Position der Kanüle 1003 in alle 3 Raumrichtungen- nämlich eine x-Richtung, eine y-Richtung und eine z-Richtung - sowie eine Verstellung der Orientierung der Kanüle 1003 durch eine Drehung und/oder eine Kippung ermöglicht. Die Gaszuführungseinrichtung 1000 und somit auch die Verstelleinheit 1005 sind mit der Steuereinheit 123 des SEM 100 verbunden.
  • Das Gasreservoir 1001 ist bei weiteren Ausführungsformen nicht direkt an der Gaszuführungseinrichtung 1000 angeordnet. Vielmehr ist es bei diesen weiteren Ausführungsformen vorgesehen, dass das Gasreservoir 1001 beispielsweise an einer Wand eines Raums angeordnet ist, in dem sich das SEM 100 befindet.
  • Die Gaszuführungseinrichtung 1000 weist eine Heizeinrichtung 1007 sowie eine Temperaturmesseinheit 1006 auf. Als Temperaturmesseinheit 1006 wird beispielsweise ein Infrarot-Messgerät oder ein Halbleiter-Temperatursensor verwendet. Die Erfindung ist aber auf die Verwendung derartiger Temperaturmesseinheiten nicht eingeschränkt. Vielmehr kann als Temperaturmesseinheit jegliche geeignete Temperaturmesseinheit verwendet werden, welche für die Erfindung geeignet ist. Insbesondere kann es vorgesehen sein, dass die Temperaturmesseinheit nicht an der Gaszuführungseinrichtung 1000 selbst angeordnet ist, sondern beispielsweise beabstandet zur Gaszuführungseinrichtung 1000 angeordnet ist.
  • Die Steuereinheit 123 weist einen Prozessor auf oder ist selbst als Prozessor ausgebildet. In dem Prozessor ist ein Programmcode geladen, der das SEM 100 derart steuert, dass ein Verfahren gemäß der Erfindung ausgeführt wird. Dies wird weiter unten noch erläutert.
  • 2 zeigt ein Teilchenstrahlgerät in Form eines Kombinationsgeräts 200. Das Kombinationsgerät 200 weist zwei Teilchenstrahlsäulen auf. Zum einen ist das Kombinationsgerät 200 mit dem SEM 100 versehen, wie es in der 1 bereits dargestellt ist, allerdings ohne die Probenkammer 120. Vielmehr ist das SEM 100 an einer Probenkammer 201 angeordnet. Die Probenkammer 201 steht unter Vakuum. Zur Erzeugung des Vakuums ist an der Probenkammer 201 eine Pumpe (nicht dargestellt) angeordnet. Bei der in 2 dargestellten Ausführungsform wird die Probenkammer 201 in einem ersten Druckbereich oder in einem zweiten Druckbereich betrieben. Der erste Druckbereich umfasst nur Drücke kleiner oder gleich 10-3 hPa, und der zweite Druckbereich umfasst nur Drücke größer als 10-3 hPa. Um diese Druckbereiche zu gewährleisten, ist die Probenkammer 201 vakuumtechnisch verschlossen.
  • In der Probenkammer 201 ist der Kammerdetektor 119 angeordnet, der beispielsweise als ein Everhart-Thornley-Detektor oder ein Ionendetektor ausgebildet ist und der eine mit Metall beschichtete Detektionsfläche aufweist, welche Licht abschirmt. Ferner ist in der Probenkammer 201 der dritte Detektor 121 angeordnet.
  • Das SEM 100 dient der Erzeugung eines ersten Teilchenstrahls, nämlich des bereits weiter oben beschriebenen Primärelektronenstrahls und weist die bereits oben genannte optische Achse auf, die in der 2 mit dem Bezugszeichen 709 versehen ist und nachfolgend auch erste Strahlachse genannt wird. Zum anderen ist das Kombinationsgerät 200 mit einem lonenstrahlgerät 300 versehen, das ebenfalls an der Probenkammer 201 angeordnet ist. Das lonenstrahlgerät 300 weist ebenfalls eine optische Achse auf, die in der 2 mit dem Bezugszeichen 710 versehen ist und nachfolgend auch zweite Strahlachse genannt wird.
  • Das SEM 100 ist hinsichtlich der Probenkammer 201 vertikal angeordnet. Hingegen ist das lonenstrahlgerät 300 um einen Winkel von ca. 0° bis 90° geneigt zum SEM 100 angeordnet. In der 2 ist beispielsweise eine Anordnung von ca. 50° dargestellt. Das lonenstrahlgerät 300 weist einen zweiten Strahlerzeuger in Form eines lonenstrahlerzeugers 301 auf. Mit dem lonenstrahlerzeuger 301 werden Ionen erzeugt, die einen zweiten Teilchenstrahl in Form eines lonenstrahls bilden. Die Ionen werden mittels einer Extraktionselektrode 302, die auf einem vorgebbaren Potential liegt, beschleunigt. Der zweite Teilchenstrahl gelangt dann durch eine Ionenoptik des lonenstrahlgeräts 300, wobei die Ionenoptik eine Kondensorlinse 303 und eine zweite Objektivlinse 304 aufweist. Die zweite Objektivlinse 304 erzeugt schließlich eine Ionensonde, die auf das an einem Objekthalter 114 angeordnete Objekt 125 fokussiert wird. Der Objekthalter 114 ist an einem Probentisch 122 angeordnet.
  • Oberhalb der zweiten Objektivlinse 304 (also in Richtung des lonenstrahlerzeugers 301) sind eine einstellbare oder auswählbare Blende 306, eine erste Elektrodenanordnung 307 und eine zweite Elektrodenanordnung 308 angeordnet, wobei die erste Elektrodenanordnung 307 und die zweite Elektrodenanordnung 308 als Rasterelektroden ausgebildet sind. Mittels der ersten Elektrodenanordnung 307 und der zweiten Elektrodenanordnung 308 wird der zweite Teilchenstrahl über die Oberfläche des Objekts 125 gerastert, wobei die erste Elektrodenanordnung 307 in eine erste Richtung und die zweite Elektrodenanordnung 308 in eine zweite Richtung wirken, die der ersten Richtung entgegengesetzt ist. Damit erfolgt das Rastern zum Beispiel in eine x-Richtung. Das Rastern in einer dazu senkrechten y-Richtung erfolgt durch weitere, um 90° verdrehte Elektroden (nicht dargestellt) an der ersten Elektrodenanordnung 307 und an der zweiten Elektrodenanordnung 308.
  • Wie oben erläutert, ist der Objekthalter 114 an dem Probentisch 122 angeordnet. Auch bei der in 2 gezeigten Ausführungsform ist der Probentisch 122 in drei zueinander senkrecht angeordnete Richtungen beweglich ausgebildet, nämlich in eine x-Richtung (erste Tischachse), in eine y-Richtung (zweite Tischachse) und in eine z-Richtung (dritte Tischachse). Darüber hinaus kann der Probentisch 122 um zwei zueinander senkrecht angeordnete Rotationsachsen (Tischrotationsachsen) gedreht werden.
  • Die in der 2 dargestellten Abstände zwischen den einzelnen Einheiten des Kombinationsgeräts 200 sind übertrieben dargestellt, um die einzelnen Einheiten des Kombinationsgeräts 200 besser darzustellen.
  • An der Probenkammer 201 ist ein Strahlungsdetektor 500 angeordnet, mit dem Wechselwirkungsstrahlung, beispielsweise Röntgenstrahlung und/oder Kathodolumineszenzlicht, detektiert wird. Der Strahlungsdetektor 500 ist mit einer Steuereinheit 123 verbunden, welche einen Monitor 124 aufweist. Die Steuereinheit 123 verarbeitet Detektionssignale, welche von dem ersten Detektor 116, dem zweiten Detektor 117 (in 2 nicht dargestellt), dem Kammerdetektor 119, dem dritten Detektor 121 und/oder dem Strahlungsdetektor 500 erzeugt werden und zeigt diese in Form von Bildern auf dem Monitor 124 an.
  • Die Steuereinheit 123 weist ferner eine Datenbank 126 auf, in der Daten gespeichert werden und aus der Daten ausgelesen werden.
  • Das Kombinationsgerät 200 weist ein Bauteil in Form einer Gaszuführungseinrichtung 1000 auf, welche der Zuführung eines Gases, beispielsweise eine gasförmige Vorläufersubstanz, an eine bestimmte Position auf der Oberfläche des Objekts 125 dient. Die Gaszuführungseinrichtung 1000 weist ein Gasreservoir 1001 auf. Beispielsweise wird eine Metall aufweisende gasförmige Vorläufersubstanz verwendet, um ein Metall auf der Oberfläche des Objekts 125 abzuscheiden. Die Abscheidungen sind aber nicht auf Metalle beschränkt. Vielmehr können beliebige Substanzen auf der Oberfläche des Objekts 125 abgeschieden werden, beispielsweise Halbleiter, Nichtleiter oder andere Verbindungen. Ferner ist es auch vorgesehen, ein Gas bei Wechselwirkung mit dem Teilchenstrahl zur Abtragung von Material des Objekts 125 zu verwenden.
  • Die Gaszuführungseinrichtung 1000 ist mit einer Zuleitung 1002 versehen. Die Zuleitung 1002 weist in Richtung des Objekts 125 eine nadelförmige Einrichtung in Form einer Kanüle 1003 auf, welche in die Nähe der Oberfläche des Objekts 125 beispielsweise in einem Abstand von 10 µm bis 1 mm zur Oberfläche des Objekts 125 bringbar ist. Die Kanüle 1003 weist eine Zuführungsöffnung auf, deren Durchmesser beispielsweise im Bereich von 10 µm bis 1000 µm, insbesondere im Bereich von 400 µm bis 600 µm liegt. Die Zuleitung 1002 weist ein Ventil 1004 auf, um den Durchfluss von Gas in die Zuleitung 1002 zu regeln. Mit anderen Worten ausgedrückt, wird beim Öffnen des Ventils 1004 Gas von dem Gasreservoir 1001 in die Zuleitung 1002 eingebracht und über die Kanüle 1003 zur Oberfläche des Objekts 125 geleitet. Beim Schließen des Ventils 1004 wird der Zufluss des Gases auf die Oberfläche des Objekts 125 gestoppt.
  • Die Gaszuführungseinrichtung 1000 ist ferner mit einer Verstelleinheit 1005 versehen, welche eine Verstellung der Position der Kanüle 1003 in alle drei Raumrichtungen- nämlich eine x-Richtung, eine y-Richtung und eine z-Richtung - sowie eine Verstellung der Orientierung der Kanüle 1003 durch eine Drehung und/oder eine Kippung ermöglicht. Die Gaszuführungseinrichtung 1000 und somit auch die Verstelleinheit 1005 sind mit der Steuereinheit 123 des Kombinationsgeräts 200 verbunden.
  • Das Gasreservoir 1001 ist bei weiteren Ausführungsformen nicht direkt an der Gaszuführungseinrichtung 1000 angeordnet. Vielmehr ist es bei diesen weiteren Ausführungsformen vorgesehen, dass das Gasreservoir 1001 beispielsweise an einer Wand eines Raums angeordnet ist, in dem sich das Kombinationsgerät 200 befindet.
  • Die Gaszuführungseinrichtung 1000 weist eine Heizeinrichtung 1007 sowie Temperaturmesseinheit 1006 auf. Als Temperaturmesseinheit 1006 wird beispielsweise ein Infrarot-Messgerät oder ein Halbleiter-Temperatursensor verwendet. Die Erfindung ist aber auf die Verwendung derartiger Temperaturmesseinheiten nicht eingeschränkt. Vielmehr kann als Temperaturmesseinheit jegliche geeignete Temperaturmesseinheit verwendet werden, welche für die Erfindung geeignet ist. Insbesondere kann es vorgesehen sein, dass die Temperaturmesseinheit nicht an der Gaszuführungseinrichtung 1000 selbst angeordnet ist, sondern beispielsweise beabstandet zur Gaszuführungseinrichtung 1000 angeordnet ist.
  • Die Steuereinheit 123 weist einen Prozessor auf oder ist selbst als Prozessor ausgebildet. In dem Prozessor ist ein Programmcode geladen, der das Kombinationsgerät 200 derart steuert, dass ein Verfahren gemäß der Erfindung ausgeführt wird. Dies wird weiter unten noch erläutert.
  • 3 ist eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform eines Teilchenstrahlgeräts nach der Erfindung. Diese Ausführungsform des Teilchenstrahlgeräts ist mit dem Bezugszeichen 400 versehen und umfasst einen Spiegelkorrektor zum Korrigieren beispielsweise von chromatischer und/oder sphärischer Aberration. Das Teilchenstrahlgerät 400 umfasst eine Teilchenstrahlsäule 401, die als Elektronenstrahlsäule ausgebildet ist und im Wesentlichen einer Elektronenstrahlsäule eines korrigierten SEM entspricht. Das Teilchenstrahlgerät 400 ist aber nicht auf ein SEM mit einem Spiegelkorrektor eingeschränkt. Vielmehr kann das Teilchenstrahlgerät jegliche Art von Korrektoreinheiten umfassen.
  • Die Teilchenstrahlsäule 401 umfasst einen Teilchenstrahlerzeuger in Form einer Elektronenquelle 402 (Kathode), eine Extraktionselektrode 403 und eine Anode 404. Beispielsweise ist die Elektronenquelle 402 als ein thermischer Feldemitter ausgebildet. Elektronen, die aus der Elektronenquelle 402 austreten, werden zu der Anode 404 aufgrund einer Potentialdifferenz zwischen der Elektronenquelle 402 und der Anode 404 beschleunigt. Demnach wird ein Teilchenstrahl in Form eines Elektronenstrahls entlang einer ersten optischen Achse OA1 gebildet.
  • Der Teilchenstrahl wird entlang eines Strahlwegs geführt, welcher der ersten optischen Achse OA1 entspricht, nachdem der Teilchenstrahl aus der Elektronenquelle 402 ausgetreten ist. Zur Führung des Teilchenstrahls werden eine erste elektrostatische Linse 405, eine zweite elektrostatische Linse 406 und eine dritte elektrostatische Linse 407 verwendet.
  • Ferner wird der Teilchenstrahl entlang des Strahlwegs unter Verwendung einer Strahlführungseinrichtung eingestellt. Die Strahlführungseinrichtung dieser Ausführungsform umfasst eine Quelleneinstelleinheit mit zwei magnetischen Ablenkeinheiten 408, die entlang der ersten optischen Achse OA1 angeordnet sind. Darüber hinaus umfasst das Teilchenstrahlgerät 400 elektrostatische Strahlablenkeinheiten. Eine erste elektrostatische Strahlablenkeinheit 409, die bei einer weiteren Ausführungsform auch als Quadrupol ausgebildet ist, ist zwischen der zweiten elektrostatischen Linse 406 und der dritten elektrostatischen Linse 407 angeordnet. Die erste elektrostatische Strahlablenkeinheit 409 ist ebenfalls hinter den magnetischen Ablenkeinheiten 408 angeordnet. Eine erste Multipoleinheit 409A in Form einer ersten magnetischen Ablenkeinheit ist an einer Seite der ersten elektrostatischen Strahlablenkeinheit 409 angeordnet. Darüber hinaus ist eine zweite Multipoleinheit 409B in Form einer zweiten magnetischen Ablenkeinheit an der anderen Seite der ersten elektrostatischen Strahlablenkeinheit 409 angeordnet. Die erste elektrostatische Strahlablenkeinheit 409, die erste Multipoleinheit 409A und die zweite Multipoleinheit 409B werden zur Einstellung des Teilchenstrahls hinsichtlich der Achse der dritten elektrostatischen Linse 407 und des Eingangsfensters einer Strahlablenkeinrichtung 410 eingestellt. Die erste elektrostatische Strahlablenkeinheit 409, die erste Multipoleinheit 409A und die zweite Multipoleinheit 409B können wie ein Wienfilter zusammenwirken. Am Eingang der Strahlablenkeinrichtung 410 ist ein weiteres magnetisches Ablenkelement 432 angeordnet.
  • Die Strahlablenkeinrichtung 410 wird als Teilchenstrahlablenker verwendet, welcher den Teilchenstrahl in einer bestimmten Weise ablenkt. Die Strahlablenkeinrichtung 410 umfasst mehrere magnetische Sektoren, nämlich einen ersten magnetischen Sektor 411A, einen zweiten magnetischen Sektor 411B, einen dritten magnetischen Sektor 411C, einen vierten magnetischen Sektor 411D, einen fünften magnetischen Sektor 411E, einen sechsten magnetischen Sektor 411F und einen siebten magnetischen Sektor 411G. Der Teilchenstrahl tritt in die Strahlablenkeinrichtung 410 entlang der ersten optischen Achse OA1 ein und wird durch die Strahlablenkeinrichtung 410 in die Richtung einer zweiten optischen Achse OA2 abgelenkt. Die Strahlablenkung erfolgt mittels des ersten magnetischen Sektors 411A, mittels des zweiten magnetischen Sektors 411B und mittels des dritten magnetischen Sektors 411C um einen Winkel von 30° bis 120°. Die zweite optische Achse OA2 ist in demselben Winkel zu der ersten optischen Achse OA1 ausgerichtet. Die Strahlablenkeinrichtung 410 lenkt auch den Teilchenstrahl ab, welcher entlang der zweiten optischen Achse OA2 geführt ist, und zwar in die Richtung einer dritten optischen Achse OA3. Die Strahlablenkung wird durch den dritten magnetischen Sektor 411C, den vierten magnetischen Sektor 411D und den fünften magnetischen Sektor 411E bereitgestellt. Bei der Ausführungsform in 3 wird die Ablenkung zu der zweiten optischen Achse OA2 und zu der dritten optischen Achse OA3 durch Ablenkung des Teilchenstrahls in einem Winkel von 90° bereitgestellt. Somit verläuft die dritte optische Achse OA3 koaxial zu der ersten optischen Achse OA1. Es wird aber darauf hingewiesen, dass das Teilchenstrahlgerät 400 nach der hier beschriebenen Erfindung nicht auf Ablenkwinkel von 90° eingeschränkt ist. Vielmehr kann jeder geeignete Ablenkwinkel durch die Strahlablenkeinrichtung 410 gewählt werden, beispielsweise 70° oder 110°, sodass die erste optische Achse OA1 nicht koaxial zu der dritten optischen Achse OA3 verläuft. Hinsichtlich weiterer Details der Strahlablenkeinrichtung 410 wird Bezug auf die WO 2002/067286 A2 genommen.
  • Nachdem der Teilchenstrahl durch den ersten magnetischen Sektor 411A, den zweiten magnetischen Sektor 411B und den dritten magnetischen Sektor 411C abgelenkt wurde, wird der Teilchenstrahl entlang der zweiten optischen Achse OA2 geführt. Der Teilchenstrahl wird zu einem elektrostatischen Spiegel 414 geführt und verläuft auf seinem Weg zu dem elektrostatischen Spiegel 414 entlang einer vierten elektrostatischen Linse 415, einer dritten Multipoleinheit 416A in Form einer magnetischen Ablenkeinheit, einer zweiten elektrostatischen Strahlablenkeinheit 416, einer dritten elektrostatischen Strahlablenkeinheit 417 und einer vierten Multipoleinheit 416B in Form einer magnetischen Ablenkeinheit. Der elektrostatische Spiegel 414 umfasst eine erste Spiegelelektrode 413A, eine zweite Spiegelelektrode 413B und eine dritte Spiegelelektrode 413C. Elektronen des Teilchenstrahls, die an dem elektrostatischen Spiegel 414 zurückreflektiert werden, verlaufen wieder entlang der zweiten optischen Achse OA2 und treten wieder in die Strahlablenkeinrichtung 410 ein. Sie werden dann durch den dritten magnetischen Sektor 411C, den vierten magnetischen Sektor 411D und den fünften magnetischen Sektor \411E zu der dritten optischen Achse OA3 abgelenkt.
  • Die Elektronen des Teilchenstrahls treten aus der Strahlablenkeinrichtung 410 aus und werden entlang der dritten optischen Achse OA3 zu einem Objekt 425 geführt, das untersucht werden soll und in einem Objekthalter 114 angeordnet ist. Auf dem Weg zum Objekt 425 wird der Teilchenstrahl zu einer fünften elektrostatischen Linse 418, einem Strahlführungsrohr 420, einer fünften Multipoleinheit 418A, einer sechsten Multipoleinheit 418B und einer Objektivlinse 421 geführt. Die fünfte elektrostatische Linse 418 ist eine elektrostatische Immersionslinse. Der Teilchenstrahl wird durch die fünfte elektrostatische Linse 418 auf ein elektrisches Potential des Strahlführungsrohrs 420 abgebremst oder beschleunigt.
  • Der Teilchenstrahl wird durch die Objektivlinse 421 in eine Fokusebene fokussiert, in welcher das Objekt 425 angeordnet ist. Der Objekthalter 114 ist an einem beweglichen Probentisch 424 angeordnet. Der bewegliche Probentisch 424 ist in einer Probenkammer 426 des Teilchenstrahlgeräts 400 angeordnet. Der Probentisch 424 ist in drei zueinander senkrecht angeordnete Richtungen beweglich ausgebildet, nämlich in eine x-Richtung (erste Tischachse), in eine y-Richtung (zweite Tischachse) und in eine z-Richtung (dritte Tischachse). Darüber hinaus kann der Probentisch 424 um zwei zueinander senkrecht angeordnete Rotationsachsen (Tischrotationsachsen) gedreht werden.
  • Die Probenkammer 426 steht unter Vakuum. Zur Erzeugung des Vakuums ist an der Probenkammer 426 eine Pumpe (nicht dargestellt) angeordnet. Bei der in 3 dargestellten Ausführungsform wird die Probenkammer 426 in einem ersten Druckbereich oder in einem zweiten Druckbereich betrieben. Der erste Druckbereich umfasst nur Drücke kleiner oder gleich 10-3 hPa, und der zweite Druckbereich umfasst nur Drücke größer als 10-3 hPa. Um diese Druckbereiche zu gewährleisten, ist die Probenkammer 426 vakuumtechnisch verschlossen.
  • Die Objektivlinse 421 kann als eine Kombination einer magnetischen Linse 422 und einer sechsten elektrostatischen Linse 423 ausgebildet sein. Das Ende des Strahlführungsrohrs 420 kann ferner eine Elektrode einer elektrostatischen Linse sein. Teilchen des Teilchenstrahlgeräts werden - nachdem sie aus dem Strahlführungsrohr 420 austreten - auf ein Potential des Objekts 425 abgebremst. Die Objektivlinse 421 ist nicht auf eine Kombination der magnetischen Linse 422 und der sechsten elektrostatischen Linse 423 eingeschränkt. Vielmehr kann die Objektivlinse 421 jegliche geeignete Form annehmen. Beispielsweise kann die Objektivlinse 421 auch als rein magnetische Linse oder als rein elektrostatische Linse ausgebildet sein.
  • Der Teilchenstrahl, der auf das Objekt 425 fokussiert wird, wechselwirkt mit dem Objekt 425. Es werden Wechselwirkungsteilchen erzeugt. Insbesondere werden Sekundärelektronen aus dem Objekt 425 emittiert oder Rückstreuelektronen werden an dem Objekt 425 zurückgestreut. Die Sekundärelektronen oder die Rückstreuelektronen werden wieder beschleunigt und in das Strahlführungsrohr 420 entlang der dritten optischen Achse OA3 geführt. Insbesondere verlaufen die Bahnen der Sekundärelektronen und der Rückstreuelektronen auf dem Weg des Strahlverlaufs des Teilchenstrahls in entgegengesetzter Richtung zum Teilchenstrahl.
  • Das Teilchenstrahlgerät 400 umfasst einen ersten Analysedetektor 419, welcher entlang des Strahlwegs zwischen der Strahlablenkeinrichtung 410 und der Objektivlinse 421 angeordnet ist. Sekundärelektronen, welche in Richtungen verlaufen, die hinsichtlich der dritten optischen Achse OA3 in einem großen Winkel ausgerichtet sind, werden durch den ersten Analysedetektor 419 detektiert. Rückstreuelektronen und Sekundärelektronen, welche hinsichtlich der dritten optischen Achse OA3 am Ort des ersten Analysedetektors 419 einen kleinen Achsenabstand haben - d.h. Rückstreuelektronen und Sekundärelektronen, welche am Ort des ersten Analysedetektors 419 einen kleinen Abstand von der dritten optischen Achse OA3 aufweisen - treten in die Strahlablenkeinrichtung 410 ein und werden durch den fünften magnetischen Sektor 411E, den sechsten magnetischen Sektor 411F und den siebten magnetischen Sektor 411G entlang eines Detektionsstrahlwegs 427 zu einem zweiten Analysedetektor 428 abgelenkt. Der Ablenkwinkel beträgt beispielsweise 90° oder 110°.
  • Der erste Analysedetektor 419 erzeugt Detektionssignale, die weitgehend durch emittierte Sekundärelektronen erzeugt werden. Die Detektionssignale, die durch den ersten Analysedetektor 419 erzeugt werden, werden zu einer Steuereinheit 123 geführt und werden verwendet, um Informationen über die Eigenschaften des Wechselwirkungsbereichs des fokussierten Teilchenstrahls mit dem Objekt 425 zu erhalten. Insbesondere wird der fokussierte Teilchenstrahl über das Objekt 425 unter Verwendung einer Rastereinrichtung 429 gerastert. Durch die Detektionssignale, die durch den ersten Analysedetektor 419 erzeugt werden, kann dann ein Bild des gerasterten Bereichs des Objekts 425 erzeugt und auf einer Darstellungseinheit angezeigt werden. Die Darstellungseinheit ist beispielsweise ein Monitor 124, der an der Steuereinheit 123 angeordnet ist.
  • Auch der zweite Analysedetektor 428 ist mit der Steuereinheit 123 verbunden. Detektionssignale des zweiten Analysedetektors 428 werden zur Steuereinheit 123 geführt und verwendet, um ein Bild des gerasterten Bereichs des Objekts 425 zu erzeugen und auf einer Darstellungseinheit anzuzeigen. Die Darstellungseinheit ist beispielsweise der Monitor 124, der an der Steuereinheit 123 angeordnet ist.
  • An der Probenkammer 426 ist ein Strahlungsdetektor 500 angeordnet, mit dem Wechselwirkungsstrahlung, beispielsweise Röntgenstrahlung und/oder Kathodolumineszenzlicht, detektiert wird. Der Strahlungsdetektor 500 ist mit der Steuereinheit 123 verbunden, welche den Monitor 124 aufweist. Die Steuereinheit 123 verarbeitet Detektionssignale des Strahlungsdetektors 500 und zeigt diese in Form von Bildern auf dem Monitor 124 an.
  • Die Steuereinheit 123 weist ferner eine Datenbank 126 auf, in der Daten gespeichert werden und aus der Daten ausgelesen werden.
  • Das Teilchenstrahlgerät 400 weist ein Bauteil in Form einer Gaszuführungseinrichtung 1000 auf, welche der Zuführung eines Gases, beispielsweise eine gasförmige Vorläufersubstanz, an eine bestimmte Position auf der Oberfläche des Objekts 125 dient. Die Gaszuführungseinrichtung 1000 weist ein Gasreservoir 1001 auf. Beispielsweise wird eine Metall aufweisende gasförmige Vorläufersubstanz verwendet, um ein Metall auf der Oberfläche des Objekts 125 abzuscheiden. Die Abscheidungen sind aber nicht auf Metalle beschränkt. Vielmehr können beliebige Substanzen auf der Oberfläche des Objekts 125 abgeschieden werden, beispielsweise Halbleiter, Nichtleiter oder andere Verbindungen. Ferner ist es auch vorgesehen, ein Gas bei Wechselwirkung mit dem Teilchenstrahl zur Abtragung von Material des Objekts 125 zu verwenden.
  • Die Gaszuführungseinrichtung 1000 ist mit einer Zuleitung 1002 versehen. Die Zuleitung 1002 weist in Richtung des Objekts 125 eine nadelförmige Einrichtung in Form einer Kanüle 1003 auf, welche in die Nähe der Oberfläche des Objekts 125 beispielsweise in einem Abstand von 10 µm bis 1 mm zur Oberfläche des Objekts 125 bringbar ist. Die Kanüle 1003 weist eine Zuführungsöffnung auf, deren Durchmesser beispielsweise im Bereich von 10 µm bis 1000 µm, insbesondere im Bereich von 400 µm bis 600 µm liegt. Die Zuleitung 1002 weist ein Ventil 1004 auf, um den Durchfluss von Gas in die Zuleitung 1002 zu regeln. Mit anderen Worten ausgedrückt, wird beim Öffnen des Ventils 1004 Gas von dem Gasreservoir 1001 in die Zuleitung 1002 eingebracht und über die Kanüle 1003 zur Oberfläche des Objekts 125 geleitet. Beim Schließen des Ventils 1004 wird der Zufluss des Gases auf die Oberfläche des Objekts 125 gestoppt.
  • Die Gaszuführungseinrichtung 1000 ist ferner mit einer Verstelleinheit 1005 versehen, welche eine Verstellung der Position der Kanüle 1003 in alle drei Raumrichtungen- nämlich eine x-Richtung, eine y-Richtung und eine z-Richtung - sowie eine Verstellung der Orientierung der Kanüle 1003 durch eine Drehung und/oder eine Kippung ermöglicht. Die Gaszuführungseinrichtung 1000 und somit auch die Verstelleinheit 1005 sind mit der Steuereinheit 123 des Teilchenstrahlgeräts 400 verbunden.
  • Das Gasreservoir 1001 ist bei weiteren Ausführungsformen nicht direkt an der Gaszuführungseinrichtung 1000 angeordnet. Vielmehr ist es bei diesen weiteren Ausführungsformen vorgesehen, dass das Gasreservoir 1001 beispielsweise an einer Wand eines Raums angeordnet ist, in dem sich das Teilchenstrahlgerät befindet.
  • Die Gaszuführungseinrichtung 1000 weist eine Heizeinrichtung 1007 sowie eine Temperaturmesseinheit 1006 auf. Als Temperaturmesseinheit 1006 wird beispielsweise ein Infrarot-Messgerät oder ein Halbleiter-Temperatursensor verwendet. Die Erfindung ist aber auf die Verwendung derartiger Temperaturmesseinheiten nicht eingeschränkt. Vielmehr kann als Temperaturmesseinheit jegliche geeignete Temperaturmesseinheit verwendet werden, welche für die Erfindung geeignet ist. Insbesondere kann es vorgesehen sein, dass die Temperaturmesseinheit nicht an der Gaszuführungseinrichtung 1000 selbst angeordnet ist, sondern beispielsweise beabstandet zur Gaszuführungseinrichtung 1000 angeordnet ist.
  • Die Steuereinheit 123 weist einen Prozessor auf oder ist selbst als Prozessor ausgebildet. In dem Prozessor ist ein Programmcode geladen, der das Teilchenstrahlgerät 400 derart steuert, dass ein Verfahren gemäß der Erfindung ausgeführt wird. Dies wird weiter unten noch erläutert.
  • 3A zeigt eine Auswerteeinrichtung 800, die eine Anzeigeeinrichtung 801 und einen Prozessor 802 aufweist. In dem Prozessor 802 kann ein Programmcode geladen werden oder ist ein Programmcode geladen, der die Auswerteeinrichtung 800 derart steuert, dass ein Verfahren gemäß der Erfindung ausgeführt wird. Dies wird weiter unten noch erläutert.
  • Nachfolgend wird das erfindungsgemäße Verfahren beispielhaft anhand des SEM 100 näher erläutert. Hinsichtlich des Kombinationsgeräts 200 und des Teilchenstrahlgeräts 400 gilt Entsprechendes.
  • 4 zeigt eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens. In einem Verfahrensschritt S1 wird ein Teilchenstrahl in Form eines Primärelektronenstrahls mit der Elektronenquelle 101 erzeugt. Ferner wird in einem Verfahrensschritt S2 der Teilchenstrahl mittels der ersten Objektivlinse 107 auf das Objekt 125 geführt.
  • Aufgrund einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt 125 entsteht Wechselwirkungsstrahlung. Beispielsweise ist die Wechselwirkungsstrahlung Röntgenstrahlung. Die Wechselwirkungsstrahlung wird im Verfahrensschritt S3 mit dem Strahlungsdetektor 500 detektiert. Der Strahlungsdetektor 500 ist derart ausgelegt, dass er Lichtquanten der Wechselwirkungsstrahlung in einem vorgegebenen Energiebereich von einer ersten Energie EA1 (beispielsweise 3eV) bis zu einer zweiten Energie EA2 (beispielsweise 30 keV) detektiert.
  • Im Verfahrensschritt S4 wird jede Energie eines detektierten Lichtquants der Wechselwirkungsstrahlung und jeder Zeitpunkt der Detektion des Lichtquants in einer vorgebbaren Messdauer bestimmt. Beispielsweise wird ein Energiespektrum der Wechselwirkungsstrahlung bestimmt. Das Energiespektrum weist Energien von Lichtquanten der detektierten Wechselwirkungsstrahlung in der vorgebbaren Messdauer auf. Die Messdauer ist ein Zeitraum von einer ersten Zeit T0 bis zu einer zweiten Zeit Tmax , wobei gilt: Tmax > T0. Wenn ein Energiespektrum bestimmt wird, dann gibt dieses die Anzahl der Lichtquanten in Abhängigkeit der jeweiligen Energie der Lichtquanten wieder, wobei ein Lichtquant Li der Lichtquanten eine Energie Ei aufweist, wobei i eine ganze Zahl ist für die gilt: 1 ≤ i ≤ n und wobei n die Anzahl der Lichtquanten ist. Mit anderen Worten weisen die Lichtquanten Energien E1 bis En auf. Beispielsweise weisen die Lichtquanten Energien E1 , E2 ,..., En-1, En auf. 5 zeigt eine exemplarische Darstellung des Energiespektrums. Dargestellt ist die Zahl der detektierten Lichtquanten pro Sekunde in Abhängigkeit der Energie der Lichtquanten.
  • Im Verfahrensschritt S5 wird mindestens ein Energieintervall bestimmt, wobei das Energieintervall ein Teilbereich des Energiebereichs von der ersten Energie EA1 bis zu der zweiten Energie EA2 ist. Beispielsweise wird ein einzelnes Energieinter- vall EI bestimmt, wobei das einzelne Energieintervall von einer ersten Grenzenergie EG1 und von einer zweiten Grenzenergie EG2 begrenzt ist, wobei die erste Grenzenergie EG1 und die zweite Grenzenergie EG2 im einzelnen Energieintervall enthalten sind.
  • Beispielsweise ist es bei dem erfindungsgemäßen Verfahren vorgesehen, dass mehrere Energieintervalle bestimmt werden. Mit anderen Worten ausgedrückt, erfolgt ein Bestimmen von Energieintervallen EI1 bis EIm, wobei m eine ganze Zahl ist für die gilt: m > 1. Beispielsweise werden Energieintervalle EI1 , EI2 , ..., EIm-1, Em bestimmt. Jedes Energieintervall Elk der mehreren Energieintervalle ist ein Teilbereich des Energiebereichs von der ersten Energie EA1 bis zu der zweiten Energie EA2, wobei k eine ganze Zahl ist für die gilt 1 ≤ k ≤ m. Jedes Energieintervall Elk der mehreren Energieintervalle ist von einer ersten Grenzenergie EG1 des Energieintervalls Elk und von einer zweiten Grenzenergie EG2 des Energieintervalls Elk begrenzt, wobei die erste Grenzenergie EG1 und die zweite Grenzenergie EG2 im Energieintervall Elk der mehreren Energieintervalle enthalten sind.
  • Im Verfahrensschritt S6 wird mindestens ein Zeitintervall bestimmt. Mit anderen Worten ausgedrückt, wird innerhalb der Messdauer, in der die Lichtquanten detektiert werden, mindestens ein Zeitintervall bestimmt. Mit anderen Worten ausgedrückt, erfolgt ein Bestimmen mindestens eines Zeitintervalls innerhalb der Messdauer, wobei die Messdauer bei einer ersten Zeit T0 startet und bei einer zweiten Zeit Tmax endet. Beispielsweise wird einzelnes Zeitintervall TI bestimmt. Das Zeitintervall TI liegt im Bereich von der ersten Zeit T0 bis zu der zweiten Zeit Tmax , wobei das Zeitintervall TI ein Zeitbereich zwischen einer Zeit TB1 und einer Zeit TB2 , ist, wobei T0 ≤ TB1 ≤ Tmax, wobei T0 ≤ TB2 ≤ Tmax, und wobei jede der folgenden Bedingungen gilt: (i) TB1 < TB2, (ii) wenn TB1 = T0, dann ist TB2 < Tmax und (iii) wenn TB2 = Tmax, dann ist TB1 > T0. Wenn die untere Grenze des Zeitintervalls TI die erste Zeit T0 ist, dann ist es somit vorgesehen, dass die zweite Zeit Tmax nicht die obere Grenze des Zeitintervalls TI ist. Wenn die obere Grenze des Zeitintervalls TI die zweite Zeit Tmax ist, dann ist es somit vorgesehen, dass die erste Zeit T0 nicht die untere Grenze des Zeitintervalls TI ist.
  • Beispielsweise ist es vorgesehen, dass mehrere Zeitintervalle bestimmt werden. Somit erfolgt ein Bestimmen von Zeitintervallen TI1 bis TIp im Bereich von der ersten Zeit T0 bis zu der zweiten Zeit Tmax , wobei p eine ganze Zahl ist für die gilt: p > 1, wobei jedes Zeitintervall TIv ein Zeitbereich von einer Zeit TD1 bis zu einer Zeit TD2, ist, wobei v eine ganze Zahl ist für die gilt: 1 ≤ v ≤ p, wobei T0 ≤ TD1 ≤ Tmax, wobei T0 ≤ TD2 ≤ Tmax, und wobei jede der folgenden Bedingungen gilt: (i) TD1 < TD2, (ii) wenn TD1 = T0, dann ist TD2 < Tmax und (iii) wenn TD2 = Tmax, dann ist TD1 > T0. Wenn die untere Grenze eines Zeitintervalls die erste Zeit T0 ist, dann ist es vorgesehen, dass die zweite Zeit Tmax nicht die obere Grenze dieses Zeitintervalls ist. Wenn die obere Grenze eines Zeitintervalls die zweite Zeit Tmax ist, dann ist es vorgesehen, dass die erste Zeit T0 nicht die untere Grenze dieses Zeitintervalls ist.
  • 6 zeigt eine erste Darstellung der Energie Ei der Lichtquanten in Abhängigkeit der Zeit. Die Messdauer startet bei der ersten Zeit T0 und endet bei der zweiten Zeit Tmax . Bei der Ausführungsform der 6 wurde ein einzelnes Zeitintervall TI und ein einzelnes Energieintervall EI bestimmt. Für das Zeitintervall TI gilt T0 < TB1 < TB2 < Tmax .
  • 7 zeigt eine zweite Darstellung der Energie Ei der Lichtquanten in Abhängigkeit der Zeit. Die Messdauer startet bei der ersten Zeit T0 und endet bei der zweiten Zeit Tmax . Bei der Ausführungsform der 7 wurde ein einzelnes Zeitintervall TI und ein einzelnes Energieintervall EI bestimmt. Für das Zeitintervall TI gilt T0 = TB1 < TB2 < Tmax.
  • 8 zeigt eine dritte Darstellung der Energie Ei der Lichtquanten in Abhängigkeit der Zeit. Die Messdauer startet bei der ersten Zeit T0 und endet bei der zweiten Zeit Tmax . Bei der Ausführungsform der 8 wurde ein einzelnes Zeitintervall TI und ein einzelnes Energieintervall EI bestimmt. Für das Zeitintervall TI gilt T0 < TB1 < TB2 = Tmax.
  • 9 zeigt eine vierte Darstellung der Energie Ei der Lichtquanten in Abhängigkeit der Zeit. Die Messdauer startet bei der ersten Zeit T0 und endet bei der zweiten Zeit Tmax . Bei der Ausführungsform der 9 wurden mehrere Zeitintervalle und mehrere Energieintervalle bestimmt. Genauer gesagt, wurde ein erstes Zeitintervall TI1 , ein zweites Zeitintervall TI2 , ein drittes Zeitintervall TI3 ein viertes Zeitintervall TI4 , ein fünftes Zeitintervall TI5 und ein sechstes Zeitintervall TI6 bestimmt. Das erste Zeitintervall TI1 ist der Zeitbereich zwischen der ersten Zeit T0 und der Zeit T1 . Das zweite Zeitintervall TI2 ist der Zeitbereich zwischen der Zeit T1 und der Zeit T2 . Das dritte Zeitintervall TI3 ist der Zeitbereich zwischen der Zeit T2 und der Zeit T3 . Das vierte Zeitintervall TI4 ist der Zeitbereich zwischen der Zeit T3 und der Zeit T4 . Das fünfte Zeitintervall TI5 ist der Zeitbereich zwischen der Zeit T4 und der Zeit T5 . Das sechste Zeitintervall TI6 ist der Zeitbereich zwischen der Zeit T5 und der zweiten Zeit Tmax . Ferner wurde ein erstes Energieintervall EI1 , ein zweites Energieintervall EI2 , ein drittes Energieintervall EI3 , ein viertes Energieintervall EI4 , ein fünftes Energieintervall EI5 und ein sechstes Energieintervall EI6 bestimmt. Das erste Energieintervall EI1 ist der Energiebereich zwischen der Energie E0 und der Energie E1 . Das zweite Energieintervall EI2 ist der Energiebereich zwischen der Energie E1 und der Energie E2 . Das dritte Energieintervall EI3 ist der Energiebereich zwischen der Energie E2 und der Energie E3 . Das vierte Energieintervall EI4 ist der Energiebereich zwischen der Energie E3 und der Energie E4 . Das fünfte Energieintervall EI5 ist der Energiebereich zwischen der Energie E4 und der Energie E5 . Das sechste Energieintervall EI6 ist der Energiebereich zwischen der Energie E5 und der Energie E6 .
  • Im Verfahrensschritt S7 gemäß der Ausführungsform nach der 4 erfolgt ein Auswählen mindestens einer Kombination eines Energieintervalls mit einem Zeitintervall. Dies wird weiter unten eingehend erläutert. Der Verfahrensschritt S7 kann während der Bestimmung der Energien der Lichtquanten der Wechselwirkungsstrahlung und des Zeitpunkts der Detektion der Lichtquanten, beispielsweise während Aufnahme des Energiespektrums, oder erst nach Abschluss der vorgenannten Bestimmung, beispielsweise nach Aufnahme des Energiespektrums durchgeführt werden.
  • Bei einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt die Auswahl einer einzelnen Kombination eines einzelnen Energieintervalls, beispielsweise des zweiten Energieintervalls EI2 , mit einem einzelnen Zeitintervall, beispielsweise mit dem vierten Zeitintervall TI4 . Die Kombination des zweiten Energieintervalls EI2 mit dem vierten Zeitintervall TI4 ist in 9 schematisch durch eine Schraffierung dargestellt. Die Auswahl der Kombination des einzelnen Energieintervalls mit dem einzelnen Zeitintervall erfolgt beispielsweise durch mindestens einen der folgenden Schritte:
    • - händisch durch einen Benutzer des SEM 100 und/oder der Auswerteeinrichtung 800. Die Auswahl der Kombination des einzelnen Energieintervalls, beispielsweise des zweiten Energieintervalls EI2 , mit dem einzelnen Zeitintervall, beispielsweise mit dem vierten Zeitintervall TI4 , kann dabei beispielsweise frei und willkürlich durch den Benutzer des SEM 100 und/oder der Auswerteeinrichtung 800 erfolgen;
    • - durch die Steuereinheit 123 des SEM 100 und/oder die Auswerteeinrichtung 800. Beispielsweise erfolgt die Auswahl der Kombination des einzelnen Energieintervalls, beispielsweise des zweiten Energieintervalls EI2 , mit dem einzelnen Zeitintervall, beispielsweise mit dem vierten Zeitintervall TI4 , automatisch. Beispielsweise kann die Auswahl frei und willkürlich durch die Steuereinheit 123 des SEM 100 und/oder durch die Auswerteinrichtung 800 oder basierend auf einem vorgegebenen Algorithmus erfolgen;
    • - durch Laden von Daten aus der Datenbank 126 in die Steuereinheit 123 und/oder in die Auswerteeinrichtung 800, wobei die Daten Informationen über die Kombination des einzelnen Energieintervalls, beispielsweise des zweiten Energieintervalls EI2 , mit dem einzelnen Zeitintervall, beispielsweise dem vierten Zeitintervall TI4 , enthält und wobei das einzelne Energieintervall und/oder das einzelne Zeitintervall basierend auf den Daten ausgewählt wird/werden. Beispielsweise ist in der Datenbank eine Selektionsmatrix hinterlegt, welche sämtliche Energieintervalle EIk und sämtliche Zeitintervalle TIv aufweist. Die Selektionsmatrix weist Einträge dahingehend auf, ob eine bestimmte Kombination eines Energieintervalls Elk mit einem Zeitintervall TIv bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts verwendet werden soll. Soll gemäß dem Eintrag der Selektionsmatrix eine bestimmte Kombination eines Energieintervalls Elk mit einem Zeitintervall TIv verwendet werden (beispielsweise die Kombination des vorgenannten zweiten Energieintervalls EI2 mit dem vierten Zeitintervall TI4 ), dann wird diese Kombination bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts verwendet;
    • - das Auswählen der Kombination des einzelnen Energieintervalls Elk, beispielsweise des zweiten Energieintervalls EI2 , mit dem einzelnen Zeitintervall TIv, beispielsweise dem vierten Zeitintervall TI4 , erfolgt nur dann, wenn das Verhältnis zwischen einem Peak im Energiespektrum, beispielsweise der Peak 501 gemäß der 5, zu einem Rauschen des Untergrunds im Energiespektrum, beispielsweise einem Untergrund 502 gemäß der 5, mindestens 2:1, mindestens 3:1, mindestens 5:1, mindestens 10:1 oder mindestens 20:1 beträgt. Auf die weiter oben gemachten Ausführungen wird verwiesen, die auch hier gelten.
  • Das Auswählen des einzelnen Energieintervalls Elk, beispielsweise des zweiten Energieintervalls EI2 , kann beispielsweise auch durch mindestens einen der folgenden Schritte erfolgen:
    • - das Auswählen der Kombination hinsichtlich des einzelnen Energieintervalls Elk umfasst (a) ein Detektieren der Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt 125 entstehen, mit dem Teilchendetektor, beispielsweise mit dem ersten Detektor 116 und/oder mit dem zweiten Detektor 117. Die Wechselwirkungsteilchen sind beispielsweise die aus dem Objekt 125 emittierten Sekundärteilchen, insbesondere die Sekundärelektronen, und/oder die von dem Objekt 125 zurückgestreuten Teilchen, beispielsweise die Rückstreuelektronen. Ferner erfolgt (b) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer Signalstärke eines Signals des Teilchendetektors, das aufgrund der im einzelnen Zeitintervall TIv detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des Energieintervalls EIk nur dann, wenn sich die Signalstärke in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt folgender Gedanke zugrunde. Die zeitliche Änderung der Signalstärke wird mit einer zunehmenden Messdauer abnehmen (vgl. 10). Eine Auswahl des Energieintervalls EIk erfolgt, solange sich die Änderung der Signalstärke in dem vorgebbaren Bereich 503 befindet. Der vorgebbare Bereich 503 ist ein Bereich, der für eine Bestimmung der Materialzusammensetzung ausreichend gut ist. Der vorgebbare Bereich 503 wird beispielsweise experimentell bestimmt. Der vorgebbare Bereich 503 ist beispielsweise ein Bereich von ± 20% ausgehend von einem Mittelwert der Signalstärke. Wenn die Signalstärke sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich 503 befindet, wird das Energieintervall EIk für die Kombination nicht ausgewählt;
    • - das Auswählen der Kombination hinsichtlich des einzelnen Energieintervalls Elk umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor, beispielsweise mit dem ersten Detektor 116 und/oder mit zweiten Detektor 117, (b) ein Erzeugen einer Abbildung des Objekts 125 unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung einen Kontrast aufweist, (c) Auswerten einer zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem einzelnen Zeitintervall TIv und (d) Auswählen des Energieintervalls EIk nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt folgender Gedanke zugrunde. Die zeitliche Änderung des Kontrasts wird mit einer zunehmenden Messdauer abnehmen (vgl. 11). Eine Auswahl des Energieintervalls EIk erfolgt, solange sich die Änderung des Kontrasts in dem vorgebbaren Bereich 503 befindet. Der vorgebbare Bereich 503 ist ein Bereich, der für eine Bestimmung der Materialzusammensetzung ausreichend gut ist. Der vorgebbare Bereich 503 wird beispielsweise experimentell bestimmt. Der vorgebbare Bereich 503 ist beispielsweise ein Bereich von ± 20% ausgehend von einem Mittelwert des Kontrasts. Wenn der Kontrast sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich 503 befindet, wird das Energieintervall EIk für die Kombination nicht ausgewählt.
  • Das Auswählen der Kombination hinsichtlich des einzelnen Energieintervalls EIk kann beispielsweise auch wie folgt erfolgen. Die Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt 125 entstehen, werden mit dem Teilchendetektor, beispielsweise dem ersten Detektor 116 und/oder dem zweiten Detektor 117, detektiert. Ferner wird ein Modell eines Aufwachsens einer Kontaminationsschicht auf dem Objekt 125 unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen erzeugt. Das einzelne Energieintervall Elk (beispielsweise das zweite Energieintervall EI2 ) erhält basierend auf diesem Modell und in Abhängigkeit des einzelnen Zeitintervalls TIv (beispielsweise das vierte Zeitintervall TI4 ) eine Gewichtung. Beispielsweise nimmt die Gewichtung bei größerer werdender Kontaminationsschicht ab. Die Gewichtung wird bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts 125 verwendet. Beispielsweise erhält das einzelne Energieintervall EIk eine Gewichtung in Form eines Faktors GW. Dann wird bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts 125 das Energieintervall EIk mit dem Faktor GW berücksichtigt.
  • Im Verfahrensschritt S8 gemäß der 4 wird nun die quantitative und/oder die qualitative Materialzusammensetzung des Objekts 125 unter Verwendung der Lichtquanten bestimmt wird, die in dem einzelnen Zeitintervall TIv der Kombination, beispielsweise dem vierten Zeitintervall TI4 , detektiert wurden und deren Energie in dem einzelnen Energieintervall Elk der Kombination, beispielsweise dem zweiten Energieintervall EI2 , liegt. Somit sind insbesondere EDS und/oder WDS durchführbar.
  • Bei einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt die Auswahl von Kombinationen eines einzelnen Energieintervalls Elk, beispielsweise des fünften Energieintervalls EI5 , mit mehreren Zeitintervalle TIv, beispielsweise mit dem ersten Zeitintervall TI1 , mit dem zweiten Zeitintervall TI2 und mit dem vierten Zeitintervall TI4 . In 12 sind drei Kombinationen schematisch durch eine Schraffierung dargestellt, nämlich eine erste Kombination des fünften Energieintervalls EI5 mit dem ersten Zeitintervall TI1 , eine zweite Kombination des fünften Energieintervalls EI5 mit dem zweiten Zeitintervall TI2 und eine dritte Kombination des fünften Energieintervalls EI5 mit dem vierten Zeitintervall TI4 .
  • Die Auswahl der Kombinationen des einzelnen Energieintervalls Elk mit den mehreren Zeitintervallen TIv erfolgt beispielsweise durch mindestens einen der folgenden Schritte:
    • - händisch durch den Benutzer des SEM 100 und/oder der Auswerteeinrichtung 800. Die Auswahl der Kombinationen des einzelnen Energieintervalls Elk, mit den mehreren Zeitintervallen TIv kann dabei frei und willkürlich durch den Benutzer des SEM 100 und/oder der Auswerteeinrichtung 800 erfolgen;
    • - durch die Steuereinheit 123 des SEM 100 und/oder durch die Auswerteeinrichtung 800. Beispielsweise erfolgt die Auswahl der Kombinationen des einzelnen Energieintervalls Elk mit den mehreren Zeitintervallen TIv automatisch. Beispielsweise kann die Auswahl frei und willkürlich durch die Steuereinheit 123 des SEM 100 und/oder durch die Auswerteeinrichtung 800 oder basierend auf einem vorgegebenen Algorithmus erfolgen;
    • - durch Laden von Daten aus der Datenbank 126 in die Steuereinheit 123 und/oder in die Auswerteeinrichtung 800, wobei die Daten Informationen über die Kombinationen des einzelnen Energieintervalls Elk mit den mehreren Zeitintervallen TIv enthält und wobei die Kombinationen basierend auf den Daten ausgewählt werden. Beispielsweise ist in der Datenbank 126 wiederum eine Selektionsmatrix hinterlegt, welche sämtliche Energieintervalle Elk und sämtliche Zeitintervalle TIv aufweist. Die Selektionsmatrix weist Einträge dahingehend auf, ob eine bestimmte Kombination eines Energieintervalls Elk mit einem Zeitintervall TIv bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts 125 verwendet werden soll. Soll gemäß dem Eintrag der Selektionsmatrix eine bestimmte Kombination oder bestimmte mehrere Kombinationen eines Energieintervalls EIk mit jeweils einem anderen Zeitintervall TIv verwendet werden (beispielsweise die erste Kombination des fünften Energieintervalls EI5 mit dem ersten Zeitintervall TI1 , die zweite Kombination des fünften Energieintervalls EI5 mit dem zweiten Zeitintervall TI2 und die dritte Kombination des fünften Energieintervalls EI5 mit dem vierten Zeitintervall TI4 ), dann wird diese Kombination oder werden diese Kombinationen bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts 125 verwendet;
    • - das Auswählen der Kombinationen des einzelnen Energieintervalls Elk mit den mehreren Zeitintervallen TIv erfolgt nur dann, wenn das Verhältnis zwischen einem Peak im Energiespektrum, beispielsweise dem Peak 501 gemäß der 5, zu einem Rauschen des Untergrunds im Energiespektrum, beispielsweise dem Untergrund 502 gemäß der 5, mindestens 2:1, mindestens 3:1, mindestens 5:1, mindestens 10:1 oder mindestens 20:1 beträgt. Auf die oben gemachten Ausführungen wird verwiesen, die auch hier gelten.
  • Das Auswählen des einzelnen Energieintervalls Elk (beispielsweise des fünften Energieintervalls EI5 ) für die mehreren Kombinationen mit den mehreren Zeitintervallen TIv (beispielsweise mit dem ersten Zeitintervall TI1 , dem zweiten Zeitintervall TI2 und dem vierten Zeitintervall TI4 ) kann beispielsweise auch durch weitere Schritte erfolgen, die nachfolgend beispielhaft anhand der ersten Kombination des fünften Energieintervalls EI5 mit dem ersten Zeitintervall TI1 und anhand der zweiten Kombination des fünften Energieintervalls EI5 mit dem zweiten Zeitintervall TI2 erläutert werden:
    • - das Auswählen der ersten Kombination umfasst (a) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie in dem fünften Energieintervall EI5 liegt und in dem ersten Zeitintervall TI1 der ersten Kombination detektiert werden, und (b) Auswählen des fünften Energieintervalls EI5 für die erste Kombination nur dann, wenn die mittlere Zählrate sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt der folgende Gedanke zugrunde. Die zeitliche Änderung der mittleren Zählrate wird mit einer zunehmenden Messdauer abnehmen (vgl. 10). Eine Auswahl des Energieintervalls EI5 für die Kombination erfolgt, solange sich die mittlere Zählrate in dem vorgebbaren Bereich 503 befindet. Der vorgebbare Bereich 503 ist ein Bereich, der für eine Bestimmung der Materialzusammensetzung ausreichend gut ist. Der vorgebbare Bereich 503 wird beispielsweise experimentell bestimmt. Beispielsweise ist der vorgebbare Bereich 503 ein Bereich von ± 20% ausgehend von einem Mittelwert der mittleren Zählrate. Wenn die mittlere Zählrate sich nicht mehr in dem vorgebbaren Bereich 503 befindet, wird das fünfte Energieintervall EI5 nicht ausgewählt;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination umfasst (a) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie in dem fünften Energieintervall EI5 liegt und in dem zweiten Zeitintervall TI2 der zweiten Kombination detektiert werden, und (b) Auswählen des fünften Energieintervalls EI5 für die zweite Kombination nur dann, wenn die mittlere Zählrate sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den hier verwiesen wird.
    • - das Auswählen der ersten Kombination umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt 125 entstehen, mit einem Teilchendetektor, beispielsweise mit dem ersten Detektor 116 und/oder mit dem zweiten Detektor 117. Ferner erfolgt (b) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer Signalstärke eines Signals des Teilchendetektors, das aufgrund der in dem ersten Zeitintervall TI1 der ersten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des fünften Energieintervalls EI5 für die erste Kombination nur dann, wenn sich die Signalstärke in einem vorgebbaren Bereich befindet. Auch dieser Ausführungsform liegt der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den verwiesen wird;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt 125 entstehen, mit dem Teilchendetektor, beispielsweise mit dem ersten Detektor 116 und/oder mit dem zweiten Detektor 117. Ferner erfolgt (b) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer Signalstärke des Signals des Teilchendetektors, das aufgrund der in dem zweiten Zeitintervall TI2 der zweiten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des fünften Energieintervalls EI5 für die zweiten Kombination nur dann, wenn sich die Signalstärke in einem vorgebbaren Bereich befindet. Auch dieser Ausführungsform liegt der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den verwiesen wird;
    • - das Auswählen der ersten Kombination umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor, beispielsweise mit dem ersten Detektor 116 und/oder mit zweiten Detektor 117, (b) das Erzeugen der Abbildung des Objekts 125 unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung den Kontrast aufweist, (c) Auswerten einer zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem ersten Zeitintervall TI1 der ersten Kombination und (d) Auswählen des fünften Energieintervalls EI5 für die erste Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt ebenfalls der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den hier verwiesen wird;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor, beispielsweise mit dem ersten Detektor 116 und/oder mit zweiten Detektor 117, (b) das Erzeugen der Abbildung des Objekts 125 unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung den Kontrast aufweist, (c) Auswerten einer zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem zweiten Zeitintervall TI2 der zweiten Kombination und (d) Auswählen des fünften Energieintervalls EI5 für die zweite Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt ebenfalls der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den hier verwiesen wird.
  • Das Auswählen der ersten Kombination, der zweiten Kombination und/oder der dritten Kombination kann beispielsweise auch wie folgt erfolgen. Die Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt 125 entstehen, werden mit dem Teilchendetektor, beispielsweise dem ersten Detektor 116 und/oder dem zweiten Detektor 117 detektiert. Ferner wird ein Modell eines Aufwachsens einer Kontaminationsschicht auf dem Objekt 125 unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen erzeugt. Das Energieintervall Elk erhält basierend auf diesem Modell und in Abhängigkeit der Zeitintervalle TIv eine Gewichtung. Beispielsweise nimmt die Gewichtung bei größerer werdender Kontaminationsschicht ab. Beispielsweise erhält das fünfte Energieintervall EI5 der ersten Kombination in Abhängigkeit des ersten Zeitintervalls TI1 eine erste Gewichtung in Form eines ersten Faktors GW1. Ferner erhält das fünfte Energieintervall EI5 der zweiten Kombination in Abhängigkeit des zweiten Zeitintervalls TI2 eine zweite Gewichtung in Form eines zweiten Faktors GW2. Darüber hinaus erhält das fünfte Energieintervall EI5 der dritten Kombination in Abhängigkeit des vierten Zeitintervalls TI4 eine dritte Gewichtung in Form eines dritten Faktors GW3. Dann wird bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts 125 das fünfte Energieintervall EI5 mit seiner Gewichtung in Abhängigkeit der Zeitintervalle TI1 , TI2 und TI3 bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts 125 berücksichtigt.
  • Im Verfahrensschritt S8 gemäß der 4 wird nun die quantitative und/oder die qualitative Materialzusammensetzung des Objekts 125 unter Verwendung der Lichtquanten bestimmt wird, die in den mehreren Zeitintervallen TIv (beispielsweise im ersten Zeitintervall T11, im zweiten Zeitintervall TI2 und im vierten Zeitintervall TI4 ) detektiert wurden und die eine Energie aufweisen, die in dem Energieintervall Elk (beispielsweise dem fünften Energieintervall EI5 ) liegt. Somit ist EDS und/oder WDS durchführbar.
  • Bei einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt die Auswahl von Kombinationen mehrerer Energieintervalls EIk mit einem einzelnen Zeitintervall TIv. In 13 sind zwei Kombinationen schematisch durch eine Schraffierung dargestellt, nämlich eine erste Kombination des dritten Energieintervalls EI3 mit dem dritten Zeitintervall TI3 und eine zweite Kombination des vierten Energieintervalls EI4 mit dem dritten Zeitintervall TI3 .
  • Die Auswahl der Kombinationen der mehreren Energieintervalle Elk mit dem einzelnen Zeitintervall TIv erfolgt beispielsweise durch mindestens einen der folgenden Schritte, die bespielhaft anhand der ersten Kombination des dritten Energieintervalls EI3 mit dem dritten Zeitintervall TI3 und anhand der zweiten Kombination des vierten Energieintervalls EI4 mit dem dritten Zeitintervall TI3 erläutert werden:
    • - händisch durch einen Benutzer des SEM 100 und/oder der Auswerteeinrichtung 800. Die Auswahl der ersten Kombination und/oder der zweiten Kombination kann beispielsweise frei und willkürlich durch den Benutzer des SEM 100 und/oder der Auswerteeinrichtung 800 erfolgen;
    • - durch die Steuereinheit 123 des SEM 100 und/oder durch die Auswerteeinrichtung 800. Insbesondere erfolgt die Auswahl der ersten Kombination und/oder der zweiten Kombination automatisch. Beispielsweise kann die Auswahl frei und willkürlich durch die Steuereinheit 123 des SEM 100 und/oder durch die Auswerteeinrichtung 800 oder basierend auf einem vorgegebenen Algorithmus erfolgen;
    • - durch Laden von Daten aus der Datenbank 126 in die Steuereinheit 123 und/oder in die Auswerteeinrichtung 800, wobei die Daten Informationen zum einen über das dritte Energieintervall EI3 und das dritte Zeitintervall TI3 der ersten Kombination und zum anderen über das vierte Energieintervall EI4 und das dritte Zeitintervall TI3 der zweiten Kombination enthält, und wobei die erste Kombination und/oder zweite Kombination basierend auf den Daten ausgewählt werden. Beispielsweise ist in der Datenbank 126 eine Selektionsmatrix hinterlegt, welche sämtliche Energieintervalle EIk und sämtliche Zeitintervalle TIv aufweist. Die Selektionsmatrix weist Einträge dahingehend auf, ob eine bestimmte Kombination eines Energieintervalls EIk und eines Zeitintervalls TIv bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts verwendet werden soll. Soll gemäß dem Eintrag der Selektionsmatrix eine bestimmte Kombination eines Energieintervalls EIk und eines Zeitintervalls Tlv verwendet werden (beispielsweise die oben genannte erste Kombination und die oben genannte zweite Kombination), dann wird diese Kombination bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts 125 verwendet;
    • - das Auswählen der ersten Kombination und/oder der zweiten Kombination erfolgt nur dann, wenn das Verhältnis zwischen einem Peak im Energiespektrum, beispielsweise der Peak 501 gemäß der 5, zu einem Rauschen des Untergrunds im Energiespektrum, beispielsweise der Untergrund 502 gemäß der 5, mindestens 2:1, mindestens 3:1, mindestens 5:1, mindestens 10:1 oder mindestens 20:1 beträgt. Auf die oben gemachten Ausführungen wird verwiesen, die auch hier gelten.
  • Die Auswahl der Kombinationen der mehreren Energieintervalle Elk mit dem einzelnen Zeitintervall TIv erfolgt beispielsweise auch durch mindestens einen der folgenden Schritte, die bespielhaft anhand der ersten Kombination des dritten Energieintervalls EI3 mit dem dritten Zeitintervall TI3 und anhand der zweiten Kombination des vierten Energieintervalls EI4 mit dem dritten Zeitintervall TI3 erläutert werden:
    • - das Auswählen der ersten Kombination umfasst (a) ein Auswerten der zeitlichen Änderung der mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie in dem dritten Energieintervall EI3 liegt und die in dem dritten Zeitintervall TI3 der ersten Kombination detektiert werden, und (b) Auswählen des dritten Energieintervalls EI3 für die erste Kombination nur dann, wenn die mittlere Zählrate sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den hier verwiesen wird;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination umfasst (a) ein Auswerten der zeitlichen Änderung der mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie in dem vierten Energieintervall EI4 liegt und die in dem dritten Zeitintervall TI3 der zweiten Kombination detektiert werden, und (b) Auswählen des vierten Energieintervalls EI4 für die zweite Kombination nur dann, wenn die mittlere Zählrate sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den hier verwiesen wird;
    • - das Auswählen der ersten Kombination umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt 125 entstehen, mit dem Teilchendetektor, beispielsweise mit dem ersten Detektor 116 und/oder mit dem zweiten Detektor 117. Ferner erfolgt (b) das Auswerten der zeitlichen Änderung der Signalstärke des Signals des Teilchendetektors, das aufgrund der in dem dritten Zeitintervall TI3 der ersten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des dritten Energieintervalls EI3 für die erste Kombination nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Auch dieser Ausführungsform liegt der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den verwiesen wird;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt 125 entstehen, mit dem Teilchendetektor, beispielsweise mit dem ersten Detektor 116 und/oder mit dem zweiten Detektor 117. Ferner erfolgt (b) das Auswerten der zeitlichen Änderung der Signalstärke des Signals des Teilchendetektors, das aufgrund der in dem dritten Zeitintervall TI3 der zweiten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des vierten Energieintervalls EI4 für die zweite Kombination nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Auch dieser Ausführungsform liegt der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den verwiesen wird;
    • - das Auswählen der ersten Kombination umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor, beispielsweise mit dem ersten Detektor 116 und/oder mit zweiten Detektor 117, (b) das Erzeugen der Abbildung des Objekts 125 unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung einen Kontrast aufweist, (c) Auswerten der zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem dritten Zeitintervall TI3 der ersten Kombination und (d) Auswählen des dritten Energieintervalls EI3 für die erste Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt ebenfalls der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den hier verwiesen wird;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor, beispielsweise mit dem ersten Detektor 116 und/oder mit zweiten Detektor 117, (b) das Erzeugen der Abbildung des Objekts 125 unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung den Kontrast aufweist, (c) Auswerten der zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem dritten Zeitintervall TI3 der zweiten Kombination und (d) Auswählen des vierten Energieintervalls EI4 für die zweite Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt ebenfalls der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den hier verwiesen wird;
    • - das Auswählen der ersten Kombination und der zweiten Kombination erfolgt derart, dass das dritte Energieintervall EI3 und das vierte Energieintervall EI4 einem einzelnen Element des Periodensystem zugeordnet sind. Hierzu wir auch auf weiter oben verwiesen.
  • Das Auswählen der ersten Kombination des dritten Energieintervalls EI3 mit dem dritten Zeitintervall TI3 und/oder der zweiten Kombination des vierten Energieintervalls EI4 mit dem dritten Zeitintervall TI3 kann beispielsweise auch wie folgt erfolgen. Die Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt 125 entstehen, werden mit dem Teilchendetektor, beispielsweise dem ersten Detektor 116 und/oder dem zweiten Detektor 117 detektiert. Ferner wird ein Modell eines Aufwachsens einer Kontaminationsschicht auf dem Objekt 125 unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen erzeugt. Das dritte Energieintervall EI3 und das vierte Energieintervall EI4 erhalten basierend auf diesem Modell und in Abhängigkeit des dritten Zeitintervalls TI3 eine Gewichtung. Beispielsweise erhält das dritte Energieintervall EI3 eine Gewichtung in Form eines ersten Faktors GW1. Ferner erhält das vierte Energieintervall EI4 eine Gewichtung in Form eines zweiten Faktors GW2. Beispielsweise nimmt die Gewichtung bei größerer werdender Kontaminationsschicht ab. Dann wird das dritte Energieintervall EI3 mit dem ersten Faktor GW1 und das vierte Energieintervall EI4 mit dem zweiten Faktor GW2 bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts 125 berücksichtigt. Hinsichtlich der Erstellung des Modells wird auf die oben genannten Veröffentlichung verwiesen.
  • Im Verfahrensschritt S8 gemäß der 4 wird nun die quantitative und/oder die qualitative Materialzusammensetzung des Objekts 125 unter Verwendung der Lichtquanten bestimmt wird, die in dem dritten Zeitintervall TI3 detektiert wurden und deren Energie in dem dritten Energieintervall EI3 oder dem vierten Energieintervall EI4 liegt. Somit ist/sind EDS und/oder WDS durchführbar.
  • Bei einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt die Auswahl von Kombinationen mehrerer Energieintervalle Elk mit mehreren Zeitintervallen TIv. In 14 sind vier Kombinationen schematisch durch eine Schraffierung dargestellt, nämlich eine erste Kombination des vierten Energieintervalls EI4\ mit dem zweiten Zeitintervall TI2 , eine zweite Kombination des dritten Energieintervall EI3 mit dem dritten Zeitintervall TI3 , eine dritte Kombination des fünften Energieintervalls EI5 mit dem vierten Zeitintervall TI4 sowie eine vierte Kombination des zweiten Energieintervalls EI2 mit dem fünften Zeitintervall TI5 .
  • Die Auswahl der Kombinationen der mehreren Energieintervalle Elk mit den mehreren Zeitintervallen TIv erfolgt beispielsweise durch mindestens einen der folgenden Schritte, die bespielhaft anhand der ersten Kombination des vierten Energieintervalls EI4 mit dem zweiten Zeitintervall TI2 und anhand der zweiten Kombination des dritten Energieintervalls EI3 mit dem dritten Zeitintervall TI3 erläutert werden:
    • - händisch durch den Benutzer des SEM 100 und/oder der Auswerteeinrichtung 800. Die Auswahl der ersten Kombination und/oder der zweiten Kombination kann beispielsweise frei und willkürlich durch den Benutzer des SEM 100 und/oder der Auswerteeinrichtung 800 erfolgen;
    • - durch die Steuereinheit 123 des SEM 100 und/oder durch die Auswerteeinrichtung 800. Beispielsweise erfolgt die Auswahl der ersten Kombination und/oder der zweiten Kombination frei und willkürlich durch die Steuereinheit 123 des SEM 100 und/oder die Auswerteeinrichtung 800 oder basierend auf einem vorgegebenen Algorithmus;
    • - durch Laden von Daten aus der Datenbank 126 in die Steuereinheit 123 und/oder in die Auswerteeinrichtung 800, wobei die Daten Informationen zum einen über das vierte Energieintervall EI4 und das zweite Zeitintervall TI2 der ersten Kombination und zum anderen über das dritte Energieintervall EI3 und das dritte Zeitintervall TI3 der zweiten Kombination enthält, und wobei die erste Kombination und/oder die zweite Kombination basierend auf den Daten ausgewählt werden. Beispielsweise ist in der Datenbank 126 wiederum eine Selektionsmatrix hinterlegt, welche sämtliche Energieintervalle EIk und sämtliche Zeitintervalle TIv aufweist. Die Selektionsmatrix weist Einträge dahingehend auf, ob eine bestimmte Kombination eines Energieintervalls EIk mit einem Zeitintervall TIv (beispielsweise die erste Kombination des vierten Energieintervalls EI4 mit dem zweiten Zeitintervall TI2 und die zweite Kombination des dritten Energieintervalls EI3 mit dem dritten Zeitintervall TI3 ) bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts 125 verwendet werden soll. Soll gemäß dem Eintrag der Selektionsmatrix die erste Kombination und/oder die zweite Kombination verwendet werden, werden die erste Kombination und/oder die zweite Kombination bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts 125 verwendet;
    • - das Auswählen der ersten Kombination und/oder der zweiten Kombination erfolgt nur dann, wenn das Verhältnis zwischen einem Peak im Energiespektrum, beispielsweise der Peak 501 gemäß der 5, zu einem Rauschen des Untergrunds im Energiespektrum, beispielsweise der Untergrund 502 gemäß der 5, mindestens 2:1, mindestens 3:1, mindestens 5:1, mindestens 10:1 oder mindestens 20:1 beträgt. Es wird auf die oben gemachten Ausführungen verwiesen, die auch hier gelten.
  • Die Auswahl der Kombinationen der mehreren Energieintervalle Elk mit den mehreren Zeitintervallen TIv erfolgt beispielsweise auch durch mindestens einen der folgenden Schritte, die bespielhaft anhand der ersten Kombination des vierten Energieintervalls EI4 mit dem zweiten Zeitintervall TI2 und anhand der zweiten Kombination des dritten Energieintervalls EI3 mit dem dritten Zeitintervall TI3 erläutert werden:
    • - das Auswählen der ersten Kombination umfasst (a) ein Auswerten der zeitlichen Änderung der mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie im vierten Energieintervall EI4 liegt und die in dem zweiten Zeitintervall TI2 der ersten Kombination detektiert wurden, und (b) Auswählen des vierten Energieintervalls EI4 für die erste Kombination nur dann, wenn die mittlere Zählrate der Lichtquanten sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den hier verwiesen wird;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination umfasst (a) ein Auswerten der zeitlichen Änderung der mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie im dritten Energieintervall EI3 liegt und die in dem dritten Zeitintervall TI3 der zweiten Kombination detektiert wurden, und (b) Auswählen des dritten Energieintervalls EI3 für die zweite Kombination nur dann, wenn die mittlere Zählrate der Lichtquanten sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den hier verwiesen wird;
    • - das Auswählen der ersten Kombination umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt 125 entstehen, mit dem Teilchendetektor, beispielsweise mit dem ersten Detektor 116 und/oder mit dem zweiten Detektor 117. Ferner erfolgt (b) ein Auswerten der zeitlichen Änderung der Signalstärke des Signals des Teilchendetektors, das aufgrund der in dem zweiten Zeitintervall TI2 der ersten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des vierten Energieintervalls EI4 nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Auch dieser Ausführungsform liegt der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den verwiesen wird;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt 125 entstehen, mit dem Teilchendetektor, beispielsweise mit dem ersten Detektor 116 und/oder mit dem zweiten Detektor 117. Ferner erfolgt (b) ein Auswerten der zeitlichen Änderung der Signalstärke des Signals des Teilchendetektors, das aufgrund der in dem dritten Zeitintervall TI3 der zweiten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des dritten Energieintervalls EI3 nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Auch dieser Ausführungsform liegt der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den verwiesen wird;
    • - das Auswählen der ersten Kombination umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor, beispielsweise mit dem ersten Detektor 116 und/oder mit zweiten Detektor 117, (b) das Erzeugen der Abbildung des Objekts 125 unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung den Kontrast aufweist, (c) Auswerten der zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem zweiten Zeitintervall TI2 der ersten Kombination, und (d) Auswählen des vierten Energieintervalls EI4 für die erste Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt ebenfalls der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den hier verwiesen wird;
    • - das Auswählen der zweiten Kombination umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor, beispielsweise mit dem ersten Detektor 116 und/oder mit zweiten Detektor 117, (b) das Erzeugen der Abbildung des Objekts 125 unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung den Kontrast aufweist, (c) Auswerten der zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem dritten Zeitintervall TI3 der zweiten Kombination, und (d) Auswählen des dritten Energieintervalls EI3 für die zweite Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Dieser Ausführungsform liegt ebenfalls der bereits oben erläuterte Gedanke zugrunde, auf den hier verwiesen wird;
    • - das Auswählen der ersten Kombination und der zweiten Kombination erfolgt derart, dass das dritte Energieintervall EI3 und das vierte Energieintervall EI4 einem einzelnen Element des Periodensystem zugeordnet sind. Hierzu wir auch auf weiter oben verwiesen.
  • Das Auswählen der ersten Kombination des vierten Energieintervalls EI4 mit dem zweiten Zeitintervall TI2 und der zweiten Kombination des dritten Energieintervalls EI3 mit dem dritten Zeitintervall TI3 kann beispielsweise auch wie folgt erfolgen. Die Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund der Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt 125 entstehen, werden mit dem Teilchendetektor, beispielsweise mit dem ersten Detektor 116 und/oder mit dem zweiten Detektor 117 detektiert. Ferner wird ein Modell eines Aufwachsens einer Kontaminationsschicht auf dem Objekt 125 unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen erzeugt. Das vierte Energieintervall EI4 erhält basierend auf diesem Modell und in Abhängigkeit des zweiten Zeitintervalls TI2 eine erste Gewichtung. Ferner erhält das dritte Energieintervall EI3 basierend auf diesem Modell und in Abhängigkeit des dritten Zeitintervalls TI3 eine zweite Gewichtung. Beispielsweise nimmt die Gewichtung bei größerer werdender Kontaminationsschicht ab. Insbesondere erhält das vierte Energieintervall EI4 eine Gewichtung in Form eines ersten Faktors GW1. Darüber hinaus erhält das dritte Energieintervall EI3 eine Gewichtung in Form eines zweiten Faktors GW2. Dann wird bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts 125 das vierte Energieintervall EI4 mit dem ersten Faktor GW1 und das dritte Energieintervall EI3 mit dem zweiten Faktor GW2 berücksichtigt. Hinsichtlich der Erstellung des Modells wird auf die oben genannte Veröffentlichung verwiesen.
  • Im Verfahrensschritt S8 gemäß der 4 wird nun die quantitative und/oder die qualitative Materialzusammensetzung des Objekts 125 unter Verwendung der Lichtquanten bestimmt wird, die (a) in dem zweiten Zeitintervall TI2 detektiert wurden und deren Energie in dem vierten Energieintervall EI4 liegt und die (b) in dem dritten Zeitintervall TI3 detektiert wurden und die eine Energie aufweisen, die in dem dritten Energieintervall EI3 liegt. Somit ist/sind EDS und/oder WDS durchführbar.
  • Bei allen vorbeschriebenen Ausführungsformen ist es beispielsweise zusätzlich vorgesehen, das Energiespektrum basierend auf den durch die Kombination oder durch die Kombinationen berücksichtigten Lichtquanten auf dem Monitor 124 des SEM 100 und/oder der Anzeigeeinrichtung 801 der Auswerteeinrichtung 800 anzuzeigen. Dies kann beispielsweise im Verfahrensschritt S8 gemäß der 4 erfolgen.
  • 15 zeigt eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens, welches für jedes Energieintervall EIk der gewählten Kombination oder gewählten Kombinationen durchgeführt werden kann. In einem Verfahrensschritt S1A wird eine Schwankung einer ersten Zählrate der Lichtquanten bestimmt, die in einem bestimmten Zeitintervall, beispielsweise ein erstes Zeitintervall TI1 , detektiert werden und deren Energie in dem Energieintervall EIk liegt. Dies ist in 16 wiedergeben. 16 zeigt eine schematische Darstellung der Anzahl der detektierten Lichtquanten pro Sekunde hinsichtlich der Messdauer t. Im Verfahrensschritt S2A wird ein erster Zeitpunkt ZP1 bestimmt, an dem die Schwankung dieser ersten Zählrate sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Beispielsweise liegt der vorgebbare Bereich ±10% um eine mittlere Zählrate.. Darüber hinaus wird die erste Zählrate ZR1 zu dem ersten Zeitpunkt ZP1 bestimmt. Im Verfahrensschritt S3A wird geprüft, ob die Verfahrensschritte S1A und S2A nochmals durchlaufen werden sollen. Wenn die Verfahrensschritte S1A und S2A nochmals durchlaufen werden, dann wird die Schwankung einer zweiten Zählrate der Lichtquanten bestimmt, die in einem weiteren bestimmten Zeitintervall, beispielsweise ein zweites Zeitintervall TI2 , detektiert werden und deren Energie in dem Energieintervall Elk liegt. Ferner wird ein zweiter Zeitpunkt ZP2 bestimmt, an dem die Schwankung dieser zweiten Zählrate sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Darüber hinaus wird die zweite Zählrate ZR2 zu dem zweiten Zeitpunkt ZP2 bestimmt. Im Verfahrensschritt S3A wird erneut geprüft, ob die Verfahrensschritte S1A und S2A nochmals durchlaufen werden sollen. Wenn die Verfahrensschritte S1A und S2A nochmals durchlaufen werden, dann wird die Schwankung einer dritten Zählrate der Lichtquanten bestimmt, die in einem weiteren bestimmten Zeitintervall, beispielsweise ein drittes Zeitintervall TI3 detektiert werden und deren Energie in dem Energieintervall Elk liegt. Ferner wird ein dritter Zeitpunkt ZP3 bestimmt, an dem die Schwankung dieser dritten Zählrate sich in einem vorgebbaren Bereich befindet. Darüber hinaus wird die dritte Zählrate ZR3 zu dem dritten Zeitpunkt ZP3 bestimmt.
  • Wenn die Verfahrensschritte S1A und S2A nicht nochmals durchlaufen werden, dann erfolgt im Verfahrensschritt S4A ein Bestimmen einer Zählrate zu einer beliebigen Zeit, beispielsweise eine Zählrate ZR0 zur ersten Zeit T0, basierend auf der ersten Zählrate ZR1 zu dem ersten Zeitpunkt ZP1, auf der zweiten Zählrate ZR2 zu dem zweiten Zeitpunkt ZP2 sowie auf der dritten Zählrate ZR3 zu dem dritten Zeitpunkt ZP3. Das Bestimmen der Zählrate ZR0 zur ersten Zeit T0 erfolgt beispielsweise durch Interpolation und/oder Extrapolation. Die Erfindung ist auf kein spezielles Interpolationsverfahren und/oder Extrapolationsverfahren eingeschränkt. Vielmehr ist für die Erfindung jedes Interpolationsverfahren und/oder Extrapolationsverfahren verwendbar, welches für die Erfindung geeignet ist. Diese Ausführungsform hat folgenden Hintergrund. Es kommt vor, dass vor dem Erreichen einer gewünschten Genauigkeit des Energiespektrums am Objekt 125 bereits eine signifikante Änderung aufgetreten ist. Dann kann mit der vorgenannten Ausführungsform basierend auf den zu den unterschiedlichen Zeitpunkten ZP1 bis ZP3 ermittelten Zählraten ZR1 bis ZR3 eine Rück-Extrapolation auf einen beliebigen Zeitpunkt der Messdauer, beispielsweise den Startzeitpunkt der Messung (nämlich der ersten Zeit T0 ), und somit beispielsweise auf den ursprünglichen Zustand des Objekts 125 erfolgen. Darüber hinaus ist es möglich, basierend auf den zu den unterschiedlichen Zeitpunkten ZP1 bis ZP3 ermittelten Zählraten ZR1 bis ZR3 eine Berechnung durchzuführen, um Aussagen dahingehend zu treffen, wie sich der Zustand des Objekts 125 im Laufe der Zeit ändert. Insbesondere kann beispielsweise eine Aussage hinsichtlich einer Aufwachsrate einer Kontaminationsschicht getroffen werden.
  • Die in der vorliegenden Beschreibung, in den Zeichnungen sowie in den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebigen Kombinationen für die Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausführungsformen wesentlich sein. Die Erfindung ist nicht auf die beschriebenen Ausführungsformen beschränkt. Sie kann im Rahmen der Ansprüche und unter Berücksichtigung der Kenntnisse des zuständigen Fachmanns variiert werden.
  • Bezugszeichenliste
    • 100
    SEM
    101
    Elektronenquelle
    102
    Extraktionselektrode
    103
    Anode
    104
    Strahlführungsrohr
    105
    erste Kondensorlinse
    106
    zweite Kondensorlinse
    107
    erste Objektivlinse
    108
    erste Blendeneinheit
    108A
    erste Blendenöffnung
    109
    zweite Blendeneinheit
    110
    Polschuhe
    111
    Spule
    112
    einzelne Elektrode
    113
    Rohrelektrode
    114
    Objekthalter
    115
    Rastereinrichtung
    116
    erster Detektor
    116A
    Gegenfeldgitter
    117
    zweiter Detektor
    118
    zweite Blendenöffnung
    119
    Kammerdetektor
    120
    Probenkammer
    121
    dritter Detektor
    122
    Probentisch
    123
    Steuereinheit mit Prozessor
    124
    Monitor
    125
    Objekt
    126
    Datenbank
    200
    Kombinationsgerät
    201
    Probenkammer
    300
    lonenstrahlgerät
    301
    lonenstrahlerzeuger
    302
    Extraktionselektrode im lonenstrahlgerät
    303
    Kondensorlinse
    304
    zweite Objektivlinse
    306
    einstellbare oder auswählbare Blende
    307
    erste Elektrodenanordnung
    308
    zweite Elektrodenanordnung
    400
    Teilchenstrahlgerät mit Korrektoreinheit
    401
    Teilchenstrahlsäule
    402
    Elektronenquelle
    403
    Extraktionselektrode
    404
    Anode
    405
    erste elektrostatische Linse
    406
    zweite elektrostatische Linse
    407
    dritte elektrostatische Linse
    408
    magnetische Ablenkeinheit
    409
    erste elektrostatische Strahlablenkeinheit
    409A
    erste Multipoleinheit
    409B
    zweite Multipoleinheit
    410
    Strahlablenkeinrichtung
    411A
    erster magnetischer Sektor
    411B
    zweiter magnetischer Sektor
    411C
    dritter magnetischer Sektor
    411D
    vierter magnetischer Sektor
    411E
    fünfter magnetischer Sektor
    411F
    sechster magnetischer Sektor
    411G
    siebter magnetischer Sektor
    413A
    erste Spiegelelektrode
    413B
    zweite Spiegelelektrode
    413C
    dritte Spiegelelektrode
    414
    elektrostatischer Spiegel
    415
    vierte elektrostatische Linse
    416
    zweite elektrostatische Strahlablenkeinheit
    416A
    dritte Multipoleinheit
    416B
    vierte Multipoleinheit
    417
    dritte elektrostatische Strahlablenkeinheit
    418
    fünfte elektrostatische Linse
    418A
    fünfte Multipoleinheit
    418B
    sechste Multipoleinheit
    419
    erster Analysedetektor
    420
    Strahlführungsrohr
    421
    Objektivlinse
    422
    magnetische Linse
    423
    sechste elektrostatische Linse
    424
    Probentisch
    425
    Objekt
    426
    Probenkammer
    427
    Detektionsstrahlweg
    428
    zweiter Analysedetektor
    429
    Rastereinrichtung
    432
    weiteres magnetisches Ablenkelement
    500
    Strahlungsdetektor
    501
    Peak
    502
    Untergrund
    503
    vorgebbarer Bereich
    709
    erste Strahlachse
    710
    zweite Strahlachse
    800
    Auswerteeinrichtung
    801
    Anzeigeeinrichtung
    802
    Prozessor der Auswerteeinrichtung
    1000
    Gaszuführungseinrichtung
    1001
    Gasreservoir
    1002
    Zuleitung
    1003
    Kanüle
    1004
    Ventil
    1005
    Verstelleinheit (Antriebseinheit)
    1006
    Temperaturmesseinheit
    1007
    Heizeinrichtung
    E
    Energie
    E0
    Energie
    E1
    Energie
    E2
    Energie
    E3
    Energie
    E4
    Energie
    E5
    Energie
    E6
    Energie
    EI
    einzelnes Energieintervall
    EI1
    erstes Energieintervall
    EI2
    zweites Energieintervall
    EI3
    drittes Energieintervall
    EI4
    viertes Energieintervall
    EI5
    fünftes Energieintervall
    EI6
    sechstes Energieintervall
    EG1
    erste Grenzenergie
    EG2
    zweite Grenzenergie
    t
    Zeit (Messdauer)
    T0
    erste Zeit der Messdauer
    Tmax
    zweite Zeit der Messdauer
    TB1
    Zeit
    TB2
    Zeit
    T1
    Zeit
    T2
    Zeit
    T3
    Zeit
    T4
    Zeit
    T5
    Zeit
    T6
    Zeit
    TI
    einzelnes Zeitintervall
    TI1
    erstes Zeitintervall
    TI2
    zweites Zeitintervall
    TI3
    drittes Zeitintervall
    TI4
    viertes Zeitintervall
    TI5
    fünftes Zeitintervall
    TI6
    sechstes Zeitintervall
    OA
    optische Achse
    OA1
    erste optische Achse
    OA2
    zweite optische Achse
    OA3
    dritte optische Achse
    S1 bis S8
    Verfahrensschritte
    S1A bis S4A
    Verfahrensschritte
    ZP1
    erster Zeitpunkt
    ZP2
    zweiter Zeitpunkt
    ZP3
    dritter Zeitpunkt
    ZR0
    Zählrate zur ersten Zeit T0
    ZR1
    erste Zählrate
    ZR2
    zweite Zählrate
    ZR3
    dritte Zählrate
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • WO 2002/067286 A2 [0108]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • „Energy Dispersive Spectroscopy on the SEM: A Primer‟ von Bob Hafner verwiesen, den die Anmelderin bei einer Internetrecherche ermittelt hat und dort am 9. September 2015 [0010]
    • „The Secondary Electron Emission Yield for 24 Solid Elements Excited by Primary Electrons in the Range 250 - 5000 eV: A Theory/Experiment Comparison‟ von Walker et al. in Scanning Vol. 30, 365-380 (2008) [0036]

Claims (24)

  1. Verfahren zum Bestimmen einer Materialzusammensetzung eines Objekts (125, 425) mit einem Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400), wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: - Erzeugen eines Teilchenstrahls, der geladene Teilchen aufweist, mit mindestens einem Teilchenstrahlerzeuger (101, 301, 402); - Zuführen des Teilchenstrahls auf das Objekt (125, 425) mit mindestens einer Objektivlinse (107, 304, 421); - Detektieren von Wechselwirkungsstrahlung, die aufgrund einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (125, 425) entsteht, mit mindestens einem Strahlungsdetektor (500), wobei der Strahlungsdetektor (500) ausgelegt ist, Lichtquanten der Wechselwirkungsstrahlung in einem vorgegebenen Energiebereich von einer ersten Energie EA1 bis zu einer zweiten Energie EA2 zu detektieren; - Bestimmen einer jeden Energie eines jeden Lichtquants und eines jeden Zeitpunkts, an dem jedes Lichtquant von dem Strahlungsdetektor (500) in einer vorgebbaren Messdauer von einer ersten Zeit T0 bis zu einer zweiten Zeit Tmax detektiert wurde , wobei gilt: Tmax > T0; - Bestimmen mindestens eines Energieintervalls (EI, EI1 bis EI6, wobei das Energieintervall (EI, EI1 bis EI6) ein Teilbereich des Energiebereichs von der ersten Energie EA1 bis zu der zweiten Energie EA2 ist, wobei das Energieintervall von einer ersten Grenzenergie EG1 und von einer zweiten Grenzenergie EG2 begrenzt ist, wobei die erste Grenzenergie EG1 und die zweite Grenzenergie EG2 im Energieintervall enthalten sind; - Bestimmen mindestens eines Zeitintervalls (TI, TI1 bis TI6) im Bereich von der ersten Zeit T0 bis zu der zweiten Zeit Tmax, wobei das Zeitintervall (TI, TI1 bis TI6) ein Zeitbereich zwischen einer Zeit TB1 und einer Zeit TB2, ist, wobei T0 ≤ TB1 ≤ Tmax, wobei T0 ≤ TB2 ≤ Tmax, und wobei jede der folgenden Bedingungen gilt: (i) TB1 < TB2, (ii) wenn TB1 = T0, dann ist TB2 < Tmax und (iii) wenn TB2 = Tmax, dann ist TB1 > T0; sowie - Bestimmen der Materialzusammensetzung des Objekts (125, 425) unter Verwendung der Lichtquanten, die (a) in dem Zeitintervall (TI, TI1 bis TI6) detektiert wurden und die (b) eine Energie aufweisen, die in dem Energieintervall (EI, EI1 bis EI6) liegt.
  2. Verfahren zum Bestimmen einer Materialzusammensetzung eines Objekts (125, 425) mit einem Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400), wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: - Erzeugen eines Teilchenstrahls, der geladene Teilchen aufweist, mit mindestens einem Teilchenstrahlerzeuger (101, 301, 402); - Zuführen des Teilchenstrahls auf das Objekt (125, 425) mit mindestens einer Objektivlinse (107, 304, 421); - Detektieren von Wechselwirkungsstrahlung, die aufgrund einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (125, 425) entsteht, mit mindestens einem Strahlungsdetektor (500), wobei der Strahlungsdetektor (500) ausgelegt ist, Lichtquanten der Wechselwirkungsstrahlung in einem vorgegebenen Energiebereich von einer ersten Energie EA1 bis zu einer zweiten Energie EA2 detektieren; - Bestimmen mehrerer Energieintervalle EI1 bis EIm, (EI1 bis EI6) wobei m eine ganze Zahl ist für die gilt: m > 1, wobei jedes Energieintervall Elk (EI1 bis EI6) der mehreren Energieintervalle (EI1 bis EI6) ein Teilbereich des Energiebereichs von der ersten Energie EA1 bis zu der zweiten Energie EA2 ist, wobei k eine ganze Zahl ist für die gilt 1 ≤ k ≤ m, wobei jedes Energieintervall Elk (EI1 bis EI6) der mehreren Energieintervalle (EI1 bis EI6) jeweils von einer ersten Grenzenergie EG1 des Energieintervalls EIk und von einer zweiten Grenzenergie EG2 des Energieintervalls Elk begrenzt ist, wobei die erste Grenzenergie EG1 und die zweite Grenzenergie EG2 im Energieintervall EIk (EI1 bis EI6) der mehreren Energieintervalle (EI1 bis EI6) enthalten sind; - Bestimmen von mehreren Zeitintervallen TI1 bis TIp im Bereich von der ersten Zeit T0 bis zu der zweiten Zeit Tmax, wobei p eine ganze Zahl ist für die gilt: p > 1, wobei jedes Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) ein Zeitbereich von einer Zeit TD1 bis zu einer Zeit TD2, ist, wobei v eine ganze Zahl ist für die gilt: 1 ≤ v ≤ p, wobei T0 ≤ TD1 ≤ Tmax, wobei T0 ≤ TD2 ≤ Tmax, und wobei jede der folgenden Bedingungen gilt: (i) TD1 < TD2, (ii) wenn TD1 = T0, dann ist TD2 < Tmax und (iii) wenn TD2 = Tmax, dann ist TD1 > T0; - Auswählen mindestens einer Kombination mindestens eines Energieintervalls Elk (EI1 bis EI6) der mehreren Energieintervalle (EI1 bis EI6) mit mindestens einem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) der Zeitintervalle TI1 bis TIp; - Bestimmen der Anzahl der in dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) der Kombination detektierten Lichtquanten und Bestimmen der jeweiligen Energie dieser Anzahl der Lichtquanten, die in dem Energieintervall EIk (EI1 bis EI6) der Kombination liegt; und - Bestimmen der Materialzusammensetzung des Objekts (125, 425) unter Verwendung der in dem Zeitintervall TIv (TI, bis TI6) der Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren Energie in dem Energieintervall EIk (EI1 bis EI6) der Kombination liegt.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei das Auswählen der Kombination des Energieintervalls EIk (EI1 bis EI6) mit dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) durch mindestens einen der folgenden Schritte erfolgt: (i) händisch durch einen Benutzer des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) und/oder einer Auswerteeinrichtung (800), die vom Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400) getrennt ist; (ii) durch eine Steuereinheit (123) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) und/oder durch die Auswerteeinrichtung (800); (iii) durch Laden von Daten aus einer Datenbank (126) in die Steuereinheit (123) und/oder in die Auswerteeinrichtung (800), wobei die Daten Informationen über die Kombination des Energieintervalls EIk (EI1 bis EI6) mit dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) enthält und wobei die Kombination des Energieintervalls EIk (EI1 bis EI6) mit dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) basierend auf den Daten ausgewählt wird; (iv) das Auswählen der Kombination des Energieintervalls Elk (EI1 bis EI6) mit dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) erfolgt nur dann, wenn das Verhältnis zwischen einem Peak (501) in einem Energiespektrum zu einem Rauschen eines Untergrunds (502) im Energiespektrum mindestens 2:1, mindestens 3:1, mindestens 5:1, mindestens 10:1 oder mindestens 20:1 beträgt; (v) das Auswählen der Kombination hinsichtlich des Energieintervalls EIk (EI1 bis EI6) umfasst (a) ein Detektieren von Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (125, 425) entstehen, mit mindestens einem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428), (b) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer Signalstärke des Signals des Teilchendetektors (116, 117, 119, 121, 419, 428), das aufgrund der in dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des Energieintervalls Elk (EI1 bis EI6) für die Kombination nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet; (vi) das Auswählen der Kombination hinsichtlich des Energieintervalls EIk (EI1 bis EI6) umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428), (b) ein Erzeugen einer Abbildung des Objekts (125, 425) unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung einen Kontrast aufweist, (c) Auswerten einer zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) und (d) Auswählen des Energieintervalls Elk (EI1 bis EI6) für die Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet.
  4. Verfahren nach Anspruch 2, wobei das Auswählen der Kombination hinsichtlich des Energieintervalls EIk (EI1 bis EI6) ein Detektieren von Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (125, 425) entstehen, mit einem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428) sowie ein Erzeugen eines Modells eines Aufwachsens einer Kontaminationsschicht auf dem Objekt (125, 425) unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen umfasst, wobei das Energieintervall EIk (EI1 bis EI6) basierend auf dem Modell in Abhängigkeit des Zeitintervalls TIv (TI1 bis TI6) eine Gewichtung erhält und die Gewichtung bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts (125, 425) verwendet wird.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei ein Energiespektrum basierend auf den Lichtquanten, die in dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) der Kombination detektiert werden und deren Energie in dem Energieintervall Elk (EI1 bis EI6) der Kombination liegt, auf einer Anzeigeeinrichtung (124) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) und/oder einer Anzeigeeinrichtung (801) der Auswerteeinrichtung (800) angezeigt wird.
  6. Verfahren nach Anspruch 2, wobei - das Auswählen der mindestens einen Kombination ein Auswählen einer ersten Kombination eines ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) der Energieintervalle EI1 bis EIm mit dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) und einer zweiten Kombination eines zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) der Energieintervalle EI1 bis EIm mit dem Zeitinvervall TIv (TI1 bis TI6) umfasst; - das Bestimmen der Anzahl der Lichtquanten ein Bestimmen der Anzahl der in dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) der ersten Kombination und der zweiten Kombination detektierten Lichtquanten umfasst und das Bestimmen der jeweiligen Energie der Lichtquanten ein Bestimmen der jeweiligen Energie der in dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) der ersten Kombination und der zweiten Kombination detektierten Lichtquanten umfasst, die in dem ersten Energieintervall (EI1 bis EI6) der ersten Kombination oder in dem zweiten Energieintervall (EI1 bis EI6) der zweiten Kombination liegen; und wobei - das Bestimmen der Materialzusammensetzung des Objekts (125, 425) ein Bestimmen der Materialzusammensetzung des Objekts (125, 425) unter Verwendung zum einen der in dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) der ersten Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren Energie in dem ersten Energieintervall (EI1 bis EI6) der ersten Kombination liegt, und zum anderen der in dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren Energie in dem zweiten Energieintervall (EI1 bis EI6) der zweiten Kombination liegt, umfasst.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, wobei das Auswählen der ersten Kombination und der zweiten Kombination durch mindestens einen der folgenden Schritte erfolgt: (i) händisch durch einen Benutzer des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) und/oder einer Auswerteeinrichtung (800), die vom Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400) getrennt ist; (ii) durch eine Steuereinheit (123) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) und/oder durch die Auswerteeinrichtung (800); (iii) durch Laden von Daten aus einer Datenbank (126) in die Steuereinheit (123) und/oder in die Auswerteeinrichtung (800), wobei die Daten Informationen zum einen über das erste Energieintervall (EI1 bis EI6) und das Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) der ersten Kombination und zum anderen über das zweite Energieintervall (EI1 bis EI6) und über das Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination enthält, und wobei die erste Kombination und/oder die zweite Kombination basierend auf den Daten ausgewählt werden; (iv) das Auswählen der ersten Kombination und/oder der zweiten Kombination erfolgt nur dann, wenn das Verhältnis zwischen einem Peak (501) in einem Energiespektrum zu einem Rauschen eines Untergrunds (502) im Energiespektrum mindestens 2:1, mindestens 3:1, mindestens 5:1, mindestens 10:1 oder mindestens 20:1 beträgt: (v) das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) umfasst (a) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie in dem ersten Energieintervall (EI1 bis EI6) liegt und die in dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) der ersten Kombination detektiert werden, und (b) Auswählen des ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) für die erste Kombination nur dann, wenn sich die mittlere Zählrate in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet; (vi) das Auswählen der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls (EI1 EI1 bis EI6) umfasst (a) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie in dem zweiten Energieintervall (EI1 bis EI6) liegt und die in dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination detektiert werden, und (b) Auswählen des zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) für die zweite Kombination nur dann, wenn sich die mittlere Zählrate in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet; (vii) das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) umfasst (a) ein Detektieren von Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (125, 425) entstehen, mit mindestens einem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428), (b) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer Signalstärke eines Signals des Teilchendetektors (116, 117, 119, 121, 419, 428), das aufgrund der in dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) der ersten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) für die erste Kombination nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet; (viii) das Auswählen der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) umfasst (a) das Detektieren von Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428), (b) das Auswerten der zeitlichen Änderung der Signalstärke des Signals des Teilchendetektors (116, 117, 119, 121, 419, 428), das aufgrund der in dem Zeitintervall Tlv (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) für die zweite Kombination nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet; (ix) das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428), (b) das Erzeugen einer Abbildung des Objekts (125, 425) unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung einen Kontrast aufweist, (c) ein Auswerten der zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) der ersten Kombination und (d) Auswählen des ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) für die erste Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrast sich in einem vorgebbaren Bereich (502) befindet; (x) das Auswählen der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428), (b) das Erzeugen der Abbildung des Objekts (125, 425) unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung den Kontrast aufweist, (c) das Auswerten der zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination und (d) Auswählen des zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) für die zweite Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet; (xi) das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) und der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) erfolgt derart, dass das erste Energieintervall (EI1 bis EI6) und das zweite Energieintervall (EI1 bis EI6) einem einzelnen Element des Periodensystem zugeordnet sind.
  8. Verfahren nach Anspruch 6, wobei das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) und/oder der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) ein Detektieren von Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (125, 425) entstehen, mit einem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428) sowie ein Erzeugen eines Modells eines Aufwachsens einer Kontaminationsschicht auf dem Objekt (125, 425) unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen umfasst, wobei das erste Energieintervall (EI1 bis EI6) in Abhängigkeit des Zeitintervalls TIv (TI1 bis TI6) und/oder das zweite Energieintervall (EI1 bis EI6) in Abhängigkeit des Zeitintervalls TIv (TI1 bis TI6) basierend auf dem Modell eine Gewichtung erhält/erhalten und die Gewichtung bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts (125, 425) verwendet wird.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, wobei ein Energiespektrum basierend zum einen auf der in dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) der ersten Kombination detektierten Lichtquanten, deren Energie in dem ersten Energieintervall (EI1 bis EI6) der ersten Kombination liegt, und zum anderen auf der in dem Zeitintervall TIv (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination detektierten Lichtquanten, deren Energie in dem zweiten Energieintervall (EI1 bis EI6) der zweiten Kombination liegt, auf einer Anzeigeeinrichtung (124) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) und/oder einer Anzeigeeinrichtung (801) der Auswerteeinrichtung (800) angezeigt wird.
  10. Verfahren nach Anspruch 2, wobei - das Auswählen der mindestens einen Kombination ein Auswählen einer ersten Kombination eines ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) der Energieintervalle EI1 bis EIm mit einem ersten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der Zeitintervalle TI1 bis TIp und einer zweiten Kombination eines zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) der Energieintervalle EI1 bis EIm mit einem zweiten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der Zeitintervalle TI1 bis TIp umfasst; - das Bestimmen der Anzahl der Lichtquanten folgende Schritte umfasst: (i) ein Bestimmen der in dem ersten Zeitintervall (TI1 bis TI6) detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren jeweilige Energie in dem ersten Energieintervall (EI1 bis EI6) liegt, und (ii) Bestimmen der in dem ausgewählten zweiten Zeitintervall (TI1 bis TI6) detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren jeweilige Energie in dem zweiten Energieintervall (EI1 bis EI6) liegt; und wobei - das Bestimmen der Materialzusammensetzung des Objekts (125, 425) ein Bestimmen der Materialzusammensetzung des Objekts (125, 425) unter Verwendung zum einen der in dem ersten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der ersten Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren Energie in dem ersten Energieintervall (EI1 bis EI6) liegt, und zum anderen der in dem zweiten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren Energie in dem zweiten Energieintervall (EI1 bis EI6) liegt, umfasst.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, wobei das Auswählen der ersten Kombination und der zweiten Kombination durch mindestens einen der folgenden Schritte erfolgt: (i) händisch durch einen Benutzer des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) und/oder einer Auswerteeinrichtung (800), die vom Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400) getrennt ist; (ii) durch eine Steuereinheit (123) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) und/oder durch die Auswerteeinrichtung (800); (iii) durch Laden von Daten aus einer Datenbank (126) in die Steuereinheit (123) und/oder in die Auswerteeinrichtung (800), wobei die Daten Informationen zum einen über das erste Energieintervall (EI1 bis EI6) und das erste Zeitintervall (TI1 bis TI6) der ersten Kombination und zum anderen über das zweite Energieintervall (EI1 bis EI6) und das zweite Zeitintervall (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination enthält, und wobei die erste Kombination und/oder die zweite Kombination basierend auf den Daten ausgewählt werden; (iv) das Auswählen der ersten Kombination und/oder der zweiten Kombination erfolgt nur dann, wenn das Verhältnis zwischen einem Peak (501) in einem Energiespektrum zu einem Rauschen eines Untergrunds (502) im Energiespektrum mindestens 2:1, mindestens 3:1, mindestens 5:1, mindestens 10:1 oder mindestens 20:1 beträgt: (v) das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) umfasst (a) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie in dem ersten Energieintervall (EI1 bis EI6) liegt und die in dem ersten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der ersten Kombination detektiert werden, und (b) Auswählen des ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) für die erste Kombination nur dann, wenn sich die mittlere Zählrate in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet; (vi) das Auswählen der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) umfasst (a) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie in dem zweiten Energieintervall (EI1 bis EI6) liegt und die in dem zweiten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination detektiert werden, und (b) Auswählen des zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) für die zweite Kombination nur dann, wenn sich die mittlere Zählrate in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet; (vii) das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) umfasst (a) ein Detektieren von Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (125, 425) entstehen, mit mindestens einem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428), (b) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer Signalstärke eines Signals des Teilchendetektors (116, 117, 119, 121, 419, 428), das aufgrund der in dem ersten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der ersten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) für die erste Kombination nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich (504) befindet; (viii) das Auswählen der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) umfasst (a) das Detektieren von Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428), (b) das Auswerten der zeitlichen Änderung einer Signalstärke eines Signals des Teilchendetektors (116, 117, 119, 121, 419, 428), das aufgrund der in dem zweiten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) für die zweite Kombination nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet; (ix) das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428), (b) ein Erzeugen einer Abbildung des Objekts (125, 425) unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung einen Kontrast aufweist, (c) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem ersten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der ersten Kombination und (d) Auswählen des ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) für die erste Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet; (x) das Auswählen der zweiten Kombination des zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428), (b) das Erzeugen der Abbildung des Objekts (125, 425) unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung den Kontrast aufweist, (c) das Auswerten der zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem zweiten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination, und (d) Auswählen des zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) für die zweite Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet; (xi) das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) und der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) erfolgt derart, dass das erste Energieintervall (EI1 bis EI6) und das zweite Energieintervall (EI1 bis EI6) einem einzelnen Element des Periodensystem zugeordnet sind.
  12. Verfahren nach Anspruch 10, wobei das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des ersten Energieintervalls (EI1 bis EI6) und/oder der zweiten Kombination hinsichtlich des zweiten Energieintervalls (EI1 bis EI6) ein Detektieren von Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (125, 425) entstehen, mit einem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428) sowie ein Erzeugen eines Modells eines Aufwachsens einer Kontaminationsschicht auf dem Objekt (125, 425) unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen umfasst, wobei das erste Energieintervall (EI1 bis EI6) in Abhängigkeit des ersten Zeitintervalls (TI1 bis TI6) und/oder das zweite Energieintervall (EI1 bis EI6) in Abhängigkeit des zweiten Zeitintervalls (TI1 bis TI6) basierend auf dem Modell jeweils eine Gewichtung erhält und die jeweilige Gewichtung bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts (125, 425) verwendet wird.
  13. Verfahren nach Anspruch 10, mit den folgenden Schritten: - Bestimmen einer Schwankung einer ersten Zählrate (ZR1 bis ZR3) der Lichtquanten, die im ersten Zeitintervall (TI1 bis TI3) detektiert werden; - Bestimmen eines ersten Zeitpunkts (ZP1 bis ZP3), an dem die Schwankung dieser ersten Zählrate (ZR1 bis ZR3) sich in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet, und Bestimmen dieser ersten Zählrate (ZR1 bis ZR3) zu dem ersten Zeitpunkt (ZP1 bis ZP3); - Bestimmen einer Schwankung einer zweiten Zählrate (ZR1 bis ZR3) der Lichtquanten, die im zweiten Zeitintervall (TI1 bis TI3) detektiert werden; - Bestimmen eines zweiten Zeitpunkts (ZP1 bis ZP3), an dem die Schwankung dieser zweiten Zählrate (ZR1 bis ZR3) sich in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet, und Bestimmen dieser zweiten Zählrate (ZR1 bis ZR3) zu dem zweiten Zeitpunkt (ZP1 bis ZP3); sowie - Bestimmen einer dritten Zählrate (ZR0) zu einem dritten Zeitpunkt im Bereich von der ersten Zeit T0 bis zur zweiten Zeit Tmax basierend auf der ersten Zählrate (ZR1 bis ZR3) zu dem ersten Zeitpunkt (ZP1 bis ZP3) und auf der zweiten Zählrate (ZR1 bis ZR3) zu dem zweiten Zeitpunkt (ZP1 bis ZP3).
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 13, wobei ein Energiespektrum basierend zum einen auf der in dem ersten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der ersten Kombination detektierten Lichtquanten, deren Energie in dem ersten Energieintervall (EI1 bis EI6) der ersten Kombination liegt, und zum anderen auf der in dem zweiten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination detektierten Lichtquanten, deren Energie in dem zweiten Energieintervall (EI1 bis EI6) der zweiten Kombination liegt, auf einer Anzeigeeinrichtung (124) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) und/oder einer Anzeigeeinrichtung (801) der Auswerteeinrichtung (800) angezeigt wird.
  15. Verfahren nach Anspruch 2, wobei - das Auswählen der mindestens einen Kombination ein Auswählen einer ersten Kombination des Energieintervalls EIk (EI1 bis EI6) mit einem ersten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der Zeitintervalle TI1 bis Tlp und einer zweiten Kombination des Energieintervalls Elk (EI1 bis EI6) mit einem zweiten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der Zeitintervalle TI1 bis Tlp umfasst; - das Bestimmen der Anzahl der Lichtquanten ein Bestimmen zum einen der Anzahl der in dem ersten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der ersten Kombination detektierten Lichtquanten, deren Energie in dem Energieintervall EIk (EI1 bis EI6) liegt, und zum anderen der Anzahl der in dem zweiten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination detektierten Lichtquanten, deren Energie in dem Energieintervall EIk (EI1 bis EI6) liegt, umfasst; und wobei - das Bestimmen der Materialzusammensetzung des Objekts (125, 425) ein Bestimmen der Materialzusammensetzung des Objekts (125, 425) unter Verwendung zum einen der in dem ersten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der ersten Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren Energie im Energieintervall Elk (EI1 bis EI6) der ersten Kombination liegt, und zum anderen der in dem zweiten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination detektierten Anzahl der Lichtquanten, deren Energie in dem Energieintervall EIk (EI1 bis EI6) der zweiten Kombination liegt, umfasst.
  16. Verfahren nach Anspruch 15, wobei das Auswählen der ersten Kombination und der zweiten Kombination durch mindestens einen der folgenden Schritte erfolgt: (i) händisch durch einen Benutzer des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) und/oder einer Auswerteeinrichtung (800), die vom Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400) getrennt ist; (ii) durch eine Steuereinheit (123) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) und/oder durch die Auswerteeinrichtung (800); (iii) durch Laden von Daten aus einer Datenbank (126) in die Steuereinheit (123) und/oder in die Auswerteeinrichtung (800), wobei die Daten Informationen zum einen über das Energieintervall EIk (EI1 bis EI6) und über das erste Zeitintervall (TI1 bis TI6) der ersten Kombination und zum anderen über das Energieintervall Elk (EI1 bis EI6) und über das zweite Zeitintervall (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination enthält, und wobei die erste Kombination und/oder die zweite Kombination basierend auf den Daten ausgewählt werden; (iv) das Auswählen der ersten Kombination und/oder der zweiten Kombination erfolgt nur dann, wenn das Verhältnis zwischen einem Peak (501) in einem Energiespektrum zu einem Rauschen eines Untergrunds (502) im Energiespektrum mindestens 2:1, mindestens 3:1, mindestens 5:1, mindestens 10:1 oder mindestens 20:1 beträgt: (v) das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des Energieintervalls EIk (EI1 bis EI6) umfasst (a) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie in dem Energieintervall EIk (EI1 bis EI6) liegt und die in dem ersten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der ersten Kombination detektiert werden, und (b) Auswählen des Energieintervalls Elk (EI1 bis EI6) für die erste Kombination nur dann, wenn sich die mittlere Zählrate in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet; (vi) das Auswählen der zweiten Kombination hinsichtlich des Energieintervalls Elk (EI1 bis EI6) umfasst (a) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer mittleren Zählrate der Lichtquanten, deren Energie in dem Energieintervall Elk (EI1 bis EI6) liegt und die in dem zweiten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination detektiert werden, und (b) Auswählen des Energieintervalls Elk (EI1 bis EI6) für die zweite Kombination nur dann, wenn sich die mittlere Zählrate in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet; (vii) das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des Energieintervalls EIk(EI1 bis EI6) umfasst (a) ein Detektieren von Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (125, 425) entstehen, mit mindestens einem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428), (b) ein Auswerten einer zeitlichen Änderung einer Signalstärke eines Signals des Teilchendetektors (116, 117, 119, 121, 419, 428), das aufgrund der in dem ersten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der ersten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des Energieintervalls EIk (EI1 bis EI6) für die erste Kombination nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet; (viii) das Auswählen der zweiten Kombination hinsichtlich des Energieintervalls EIk (EI1 bis EI6) umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428), (b) das Auswerten der zeitlichen Änderung einer Signalstärke eines Signals des Teilchendetektors (116, 117, 119, 121, 419, 428), das aufgrund der im zweiten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination detektierten Wechselwirkungsteilchen entsteht, und (c) Auswählen des Energieintervalls EIk (EI1 bis EI6) für die zweite Kombination nur dann, wenn die Signalstärke sich in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet; (ix) das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des Energieintervalls EIk (EI1 bis EI6) umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428), (b) das Erzeugen einer Abbildung des Objekts (125, 425) unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung einen Kontrast aufweist, (c) ein Auswerten der zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem ersten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der ersten Kombination und (d) Auswählen des Energieintervalls EIk (EI1 bis EI6) für die erste Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet; (x) das Auswählen der zweiten Kombination hinsichtlich des Energieintervalls EIk (EI1 bis EI6) umfasst (a) das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen mit dem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121,419, 428), (b) das Erzeugen der Abbildung des Objekts (125, 425) unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen, wobei die Abbildung den Kontrast aufweist, (c) das Auswerten der zeitlichen Änderung des Kontrasts in dem zweiten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination und (d) Auswählen des Energieintervalls Elk (EI1 bis EI6) für die zweite Kombination nur dann, wenn die zeitliche Änderung des Kontrasts sich in einem vorgebbaren Bereich (503) befindet.
  17. Verfahren nach Anspruch 15, wobei das Auswählen der ersten Kombination hinsichtlich des Energieintervalls EIk (EI1 bis EI6) und/oder der zweiten Kombination hinsichtlich des Energieintervalls Elk (EI1 bis EI6) ein Detektieren von Wechselwirkungsteilchen, die aufgrund einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (125, 425) entstehen, mit einem Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428) sowie ein Erzeugen eines Modells eines Aufwachsens einer Kontaminationsschicht auf dem Objekt (125, 425) unter Verwendung der detektierten Wechselwirkungsteilchen umfasst, wobei das Energieintervall EIk (EI1 bis EI6) in Abhängigkeit des ersten Zeitintervalls (TI1 bis TI6) und/oder das Energieintervall Elk (EI1 bis EI6) in Abhängigkeit des zweiten Zeitintervalls (TI1 bis TI6) basierend auf dem Modell eine Gewichtung erhält/erhalten und die Gewichtung bei der Bestimmung der Materialzusammensetzung des Objekts (125, 425) verwendet wird.
  18. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 17, wobei ein Energiespektrum basierend zum einen auf den im ersten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der ersten Kombination detektierten Lichtquanten, deren Energie in dem Energieintervall Elk (EI1 bis EI6) der ersten Kombination liegt, und zum anderen auf den im zweiten Zeitintervall (TI1 bis TI6) der zweiten Kombination detektierten Lichtquanten, deren Energie in dem Energieintervall Elk (EI1 bis EI6) der zweiten Kombination liegt, auf einer Anzeigeeinrichtung (124) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) und/oder einer Anzeigeeinrichtung (801) der Auswerteeinrichtung (800) angezeigt wird.
  19. Computerprogrammprodukt mit einem Programmcode, der in einen Prozessor (123) ladbar ist und der bei Ausführung ein Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400) und/oder eine Auswerteeinrichtung (800) derart steuert, dass ein Verfahren nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche ausgeführt wird.
  20. Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400) zur Analyse eines Objekts (125, 425), mit - mindestens einem Strahlerzeuger (101, 301, 402) zur Erzeugung eines Teilchenstrahls mit geladenen Teilchen; - mindestens einer Objektivlinse (107, 304, 421) zur Fokussierung des Teilchenstrahls auf das Objekt (125, 425); - mindestens einem Strahlungsdetektor (500) zur Detektion von Wechselwirkungsstrahlung, die aus einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (125, 425) resultiert, - mindestens einer Anzeigeeinrichtung (124) zum Anzeigen eines Ergebnisses der Analyse des Objekts (125, 425), und mit - mindestens einer Steuereinheit (123) mit einem Prozessor, in dem ein Computerprogrammprodukt nach Anspruch 19 geladen ist.
  21. Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400) nach Anspruch 20, wobei das Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400) mindestens einen Teilchendetektor (116, 117, 119, 121, 419, 428) zur Detektion von Wechselwirkungsteilchen, die aus einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (125, 425) resultieren, aufweist.
  22. Teilchenstrahlgerät (200) nach Anspruch 20 oder 21, wobei der Strahlerzeuger (101) als ein erster Strahlerzeuger und der Teilchenstrahl als ein erster Teilchenstrahl mit ersten geladenen Teilchen ausgebildet ist, wobei die Objektivlinse (107) als eine erste Objektivlinse zur Fokussierung des ersten Teilchenstrahls auf das Objekt (125) ausgebildet ist, und wobei das Teilchenstrahlgerät (200) ferner aufweist: - mindestens einen zweiten Strahlerzeuger (301) zur Erzeugung eines zweiten Teilchenstrahls mit zweiten geladenen Teilchen; und - mindestens eine zweite Objektivlinse (304) zur Fokussierung des zweiten Teilchenstrahls auf das Objekt (125).
  23. Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400) nach einem der Ansprüche 20 bis 22, wobei das Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400) ein Elektronenstrahlgerät und/oder ein lonenstrahlgerät ist.
  24. System mit einem Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400) nach einem der Ansprüche 20 bis 22 und mit einer Auswerteeinrichtung (800) zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 18, wobei die Auswerteeinrichtung (800) vom Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400) getrennt ist.
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