JP2006058046A - 超伝導x線分析装置及びx線分析方法 - Google Patents
超伝導x線分析装置及びx線分析方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006058046A JP2006058046A JP2004237869A JP2004237869A JP2006058046A JP 2006058046 A JP2006058046 A JP 2006058046A JP 2004237869 A JP2004237869 A JP 2004237869A JP 2004237869 A JP2004237869 A JP 2004237869A JP 2006058046 A JP2006058046 A JP 2006058046A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- superconducting
- ray
- energy
- analyzer
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】 波高分析装置から出力されるエネルギースペクトルを有限時間間隔で複数回測定し保存する記憶装置と、エネルギースペクトルの各ピーク位置をシフト補正して加算するシフト補正加算処理装置を設けることとした
【選択図】 図1
Description
Superconducting Tunnel Junction)がある(例えば、特許文献1、非特許文献1参照。)。
図8では各エネルギースペクトルが、エネルギー軸方向にシフトしていることがわかる。各エネルギースペクトルを加算することで、図9に示す測定例になり、エネルギースペクトルの各ピークの半値幅が大きくなることになり、結果として分解能が低下していたこのように、従来の超伝導X線分析装置は、超伝導X線検出器が持つ高いエネルギー分解能を十分に発揮できないでいた。
そこで、本発明は上記問題点を解決し、エネルギースペクトルの半値幅の増大を抑え、高いエネルギー分解能を有する超伝導X線分析装置を提供することを目的とする。
試料1から放射されたX線を検出する位置に超伝導X線検出器2を設置する。超伝導X線検出器2には超伝導X線検出器2を駆動するための検出器駆動回路3が接続されている。また、超伝導X線検出器2には超伝導X線検出器2から出力されるX線のエネルギーに応じた波高値のパルス信号を増幅し波形を整形する信号処理回路4が接続されている。
信号処理回路4には信号処理回路4から出力されるパルス信号の波高値をX線のエネルギーに応じて選別し、その個数をカウントする波高分析装置5が接続されている。本実施例では波高分析装置5として、マルチチャンネルアナライザを用いた。波高分析装置5から出力されるエネルギースペクトルは波高分析装置5に接続された記憶装置6に入力され、有限時間間隔で測定され、複数回のデータとして保存される。記憶装置6に保存されている複数のデータをシフト補正して加算するシフト加算処理装置7が記憶装置6に接続されている。シフト補正加算処理装置で処理されたエネルギースペクトルを画面に表示する表示装置8がシフト加算処理装置7に接続されている。
試料から放射されるX線を超伝導X線検出器で検出する。
次に、超伝導X線検出器から出力されたパルス信号を増幅し波形を整形する。この後に、整形後のパルス信号の波高値をX線のエネルギーに応じて選別し、その個数をカウントして、エネルギースペクトルのデータを生成する。さらに、生成されたエネルギースペクトルは有限時間間隔で設定した複数回分を繰り返し測定し保存する。本実施例では、一定時間間隔で保存したが、一定間隔でなくても良い。複数のエネルギースペクトルのデータ中の同一エネルギーのピークを合わせる形でピーク位置を補正し、その後加算をする。
計測時間中に超伝導X線検出器の動作点変動が生じ、エネルギースペクトルのa、b、cにおいて、同じX線エネルギー値に対応するエネルギースペクトルのピーク位置10、11、12がデータ毎にシフトする。そこで、シフト補正加算処理装置7において、同じX線エネルギー値のピーク位置が一致するように、エネルギースペクトルのエネルギー軸をそれぞれシフト補正し、その後加算を実行する。この場合の各シフト量は、同じX線エネルギー値に対応する各ピーク位置の平均値13を求め、その平均値に一致するように設定する。その結果を表示装置8に表示する。
図4の結果から明らかなように、本発明では従来技術に比べて、エネルギースペクトルの各ピークの半値幅が小さくなり、鋭いピークを持ったエネルギースペクトルとなり、高い分解能が得られている。また、従来技術では分離が困難であったピークについても個々のピークに分離することが可能となった。
尚、該超伝導X線検出器として、超伝導転移端センサ(TES)や超伝導トンネル接合素子(STJ)のどちらを用いて、実施例の記載に対応する超伝導X線分析装置及びX線分析方法を実施しても良い。
また、該記憶装置を複数備えて、波高分析装置からの出力されたエネルギースペクトルのデータを複数の記憶装置に分散して保存して、実施例1の記載に対応する超伝導X線分析装置及びX線分析方法を実施しても良い。
この超伝導X線分析装置を用いて、実施例1と同様のX線分析方法を行うことが可能である。
2 超伝導X線検出器
3 検出器駆動回路
4 信号処理回路
5 波高分析装置
6 記憶装置
7 シフト補正加算処理装置
8 表示装置
10、11、12 記憶装置に保存された各エネルギースペクトルのある同一エネルギーのピーク位置
13 記憶装置に保存された各エネルギースペクトルのある同一エネルギーのピーク位置の平均値
14 本発明の実施例1にて得られた図3のエネルギースペクトル
15 従来技術によって得られた図9のエネルギースペクトル
21 筐体
22 線源
23 試料ホルダ
24 フランジ
a、b、c 一定時間間隔にて複数回測定され記憶装置に保存された各エネルギースペクトル
Claims (5)
- 試料より放射されるX線を検出する超伝導X線検出器と、前記超伝導X線検出器を駆動する検出器駆動回路と、前記超伝導X線検出器から出力された信号を増幅し波形の整形処理を行う信号処理回路と、前記信号処理回路から出力されたパルス信号をエネルギー値に対応して選別する波高分析装置から構成される超伝導X線分析装置において、
前記波高分析装置から出力されたエネルギースペクトルを有限時間間隔で複数回測定し保存する記憶装置と、
保存された前記エネルギースペクトルの各ピーク位置をシフト補正して加算処理をするシフト補正加算処理装置を有することを特徴とする超伝導X線分析装置。 - 前記超伝導X線検出器が、超伝導転移端センサであることを特徴とする請求項1に記載の超伝導X線分析装置。
- 筐体と前記筐体に納められた電子線、イオン、X線のいずれかを放出する線源と試料ホルダをさらに備え、前記試料ホルダ上の試料に電子線、イオン、X線のいずれかを照射し、前記試料から発生するX線のエネルギーを分析することにより、前記試料の組成を同定することを特徴とする請求項1又は2記載の超伝導X線分析装置。
- 試料から放射されるX線を検出器駆動回路により駆動された前記超伝導X線検出器にて検出する工程と、前記超伝導X線検出器から発生した信号を信号処理回路にて増幅し、波形整形する工程と、前記信号処理回路から発生するパルス信号を波高分析装置にてX線のエネルギーに応じてエネルギースペクトルに選別する工程からなるX線分析方法において、
前記波高分析装置から出力されるエネルギースペクトルを複数回、有限時間間隔毎に測定して記憶装置に複数のデータとして保存する工程と、シフト補正加算処理装置にて前記複数のエネルギースペクトル中の同一エネルギーのピークを合わせる形でシフト補正し、加算処理する工程を有することを特徴とするX線分析方法。 - 前記超伝導X線検出器が、超伝導転移端センサであることを特徴とする請求項4に記載のX線分析方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004237869A JP2006058046A (ja) | 2004-08-18 | 2004-08-18 | 超伝導x線分析装置及びx線分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004237869A JP2006058046A (ja) | 2004-08-18 | 2004-08-18 | 超伝導x線分析装置及びx線分析方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006058046A true JP2006058046A (ja) | 2006-03-02 |
Family
ID=36105638
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004237869A Withdrawn JP2006058046A (ja) | 2004-08-18 | 2004-08-18 | 超伝導x線分析装置及びx線分析方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006058046A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008014775A (ja) * | 2006-07-05 | 2008-01-24 | Sii Nanotechnology Inc | 超伝導放射線分析装置 |
JP2010107261A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Shimadzu Corp | 蛍光x線分析装置 |
JP2012527608A (ja) * | 2009-05-19 | 2012-11-08 | クロメック リミテッド | 放射線検出 |
CN103969275A (zh) * | 2013-01-28 | 2014-08-06 | 东亚Dkk株式会社 | 能量色散型荧光x射线分析装置 |
CN103969274A (zh) * | 2013-01-28 | 2014-08-06 | 东亚Dkk株式会社 | 能量色散型荧光x射线分析装置 |
US10768318B2 (en) | 2018-10-17 | 2020-09-08 | Canon Medical Systems Corporation | Method and apparatus to determine energy correction arising from multi-channel detection in a gamma detector exhibiting non-linear energy measurement and/or cross-talk among channels |
JP2022023556A (ja) * | 2020-07-27 | 2022-02-08 | 日本電子株式会社 | 試料分析装置及び方法 |
-
2004
- 2004-08-18 JP JP2004237869A patent/JP2006058046A/ja not_active Withdrawn
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008014775A (ja) * | 2006-07-05 | 2008-01-24 | Sii Nanotechnology Inc | 超伝導放射線分析装置 |
JP2010107261A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Shimadzu Corp | 蛍光x線分析装置 |
JP2012527608A (ja) * | 2009-05-19 | 2012-11-08 | クロメック リミテッド | 放射線検出 |
US8890082B2 (en) | 2009-05-19 | 2014-11-18 | Kromek Limited | Radiation detection |
CN103969275A (zh) * | 2013-01-28 | 2014-08-06 | 东亚Dkk株式会社 | 能量色散型荧光x射线分析装置 |
CN103969274A (zh) * | 2013-01-28 | 2014-08-06 | 东亚Dkk株式会社 | 能量色散型荧光x射线分析装置 |
CN103969275B (zh) * | 2013-01-28 | 2018-02-16 | 东亚Dkk株式会社 | 能量色散型荧光x射线分析装置 |
US10768318B2 (en) | 2018-10-17 | 2020-09-08 | Canon Medical Systems Corporation | Method and apparatus to determine energy correction arising from multi-channel detection in a gamma detector exhibiting non-linear energy measurement and/or cross-talk among channels |
JP2022023556A (ja) * | 2020-07-27 | 2022-02-08 | 日本電子株式会社 | 試料分析装置及び方法 |
JP7191901B2 (ja) | 2020-07-27 | 2022-12-19 | 日本電子株式会社 | 試料分析装置及び方法 |
US11668662B2 (en) | 2020-07-27 | 2023-06-06 | Jeol Ltd. | Sample analysis apparatus and method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20170285186A1 (en) | X-ray detector, imaging apparatus and calibration method | |
JP2009264926A (ja) | 波長分散型x線分光器 | |
US20140236523A1 (en) | X-ray data processing apparatus, x-ray data processing method, and x-ray data processing program | |
EP2459069B1 (en) | X-ray examination device and method | |
Kavčič et al. | Hard x-ray absorption spectroscopy for pulsed sources | |
JP2006058046A (ja) | 超伝導x線分析装置及びx線分析方法 | |
US8395126B2 (en) | X-ray imaging apparatus, X-ray imaging method, and computer storage medium | |
JP2015501928A (ja) | 検出器装置及び検出方法 | |
US20170371047A1 (en) | Sensitivity correction coefficient calculating system and x-ray analyzer | |
JP5026006B2 (ja) | 超伝導放射線分析装置 | |
US11467106B2 (en) | X-ray analyzer | |
JP6010547B2 (ja) | X線分析装置 | |
EP3611543B1 (en) | X-ray analyzer and method for correcting counting rate | |
US9678227B2 (en) | Radiation analyzing apparatus | |
JP2005114528A (ja) | 蛍光寿命測定装置 | |
US8674289B2 (en) | Isotopic abundance in atom trap trace analysis | |
US9921320B2 (en) | Radiation detecting apparatus, input-output calibration method, and computer program product | |
US20160231436A1 (en) | Radiation analyzing apparatus | |
JP5117966B2 (ja) | 試料分析装置 | |
JP4801999B2 (ja) | 測定データ管理方法、測定データ構造、スペクトル再生方法及び表面分析装置 | |
JP2013231640A (ja) | 加速器によるパルスビーム陽電子寿命計測方法および装置 | |
JP5943874B2 (ja) | 放射能測定装置 | |
JP2688349B2 (ja) | X線マイクロアナライザ等におけるスペクトル表示装置 | |
JP2010243459A (ja) | 蛍光測定装置 | |
JP3790643B2 (ja) | エネルギー分散形x線検出器を備えた表面分析装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070302 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071119 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090619 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090630 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20090827 |