JP4801016B2 - Sheet sticking device and sticking method - Google Patents

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JP4801016B2 JP2007187727A JP2007187727A JP4801016B2 JP 4801016 B2 JP4801016 B2 JP 4801016B2 JP 2007187727 A JP2007187727 A JP 2007187727A JP 2007187727 A JP2007187727 A JP 2007187727A JP 4801016 B2 JP4801016 B2 JP 4801016B2
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Description

本発明はシート貼付装置及びシート貼付方法に係り、特に、半導体ウエハ等の被着体に貼付用シートを貼付することに適したシート貼付装置及び貼付方法に関する。   The present invention relates to a sheet sticking apparatus and a sheet sticking method, and more particularly to a sheet sticking apparatus and a sticking method suitable for sticking a sticking sheet to an adherend such as a semiconductor wafer.

従来より、半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という)には、表面保護用の接着シートや、チップを基板にダイボンドするためのダイボンディング用の接着シート、更には、ウエハに表面保護膜を形成するための接着シートを貼付することが行われている(以下これらの接着シートを併せて「接着性シート」という)。このような接着シートをウエハに貼付する場合には、帯状の接着シートをウエハ上に繰り出した状態でプレスローラを用いて貼付し、その後、接着シートをウエハの大きさに合うように切断してウエハ外周側の接着シート部分を不要シートとして回収する構成が採用されている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, on a semiconductor wafer (hereinafter simply referred to as “wafer”), a surface protective adhesive sheet, a die bonding adhesive sheet for die bonding a chip to a substrate, and a surface protective film are formed on the wafer. It is practiced to attach an adhesive sheet for this purpose (hereinafter, these adhesive sheets are collectively referred to as “adhesive sheet”). When affixing such an adhesive sheet to a wafer, the belt-like adhesive sheet is affixed to the wafer using a press roller, and then the adhesive sheet is cut to fit the size of the wafer. A configuration is adopted in which the adhesive sheet portion on the outer peripheral side of the wafer is collected as an unnecessary sheet (see, for example, Patent Document 1).

特開2003−115469号公報JP 2003-115469 A

特許文献1に記載されたシート貼付装置にあっては、ウエハに接着シートを貼付した後に、ウエハの大きさに合わせて接着シートを切断する構成であるため、ウエハよりも内側で接着シートを切断することができないものとなっている。特に、熱硬化型や感熱接着性の接着シートをウエハに貼付する場合、加熱によって溶融した接着シートがウエハ外周から流下してウエハを支持するテーブルに付着してしまい、テーブルからウエハを取り出すことができなくなる他、無理な取り出しをすればウエハを破損してしまう、という不都合がある。
このような不都合は、接着剤の溶融による流下分を見込んで、接着シートをウエハ外周よりも内側で切断すれば解消可能となるが、この場合には、ウエハやシート切断用のカッター刃を損傷させてしまう、という不都合を招来する。
In the sheet sticking apparatus described in Patent Document 1, since the adhesive sheet is cut according to the size of the wafer after sticking the adhesive sheet on the wafer, the adhesive sheet is cut inside the wafer. It is something that cannot be done. In particular, when a thermosetting or heat-sensitive adhesive sheet is affixed to a wafer, the adhesive sheet melted by heating flows down from the outer periphery of the wafer and adheres to the table that supports the wafer, and the wafer can be removed from the table. In addition to being unable to do so, there is a disadvantage that the wafer will be damaged if it is forcibly removed.
Such inconvenience can be solved by cutting the adhesive sheet inside the outer periphery of the wafer in anticipation of the flow-down due to melting of the adhesive, but in this case, the wafer or the cutter blade for cutting the sheet is damaged. It causes the inconvenience of letting you.

[発明の目的]
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウエハ等の被着体を損傷させることなく、当該被着体の被着面内に収まる大きさとなる貼付用シートを形成して貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
[Object of invention]
The present invention has been devised by paying attention to such inconveniences, and the object of the present invention is to fit within the adherend surface of the adherend without damaging the adherend such as a wafer. An object of the present invention is to provide a sheet sticking apparatus and a sticking method capable of forming and sticking a sticking sheet.

前記目的を達成するため、本発明は、接着性シートの一方の面に第1の剥離シートが仮着されるとともに、他方の面に第2の剥離シートが仮着された帯状の原反を支持する支持手段と、被着体を支持するテーブルと、前記原反を繰り出す繰出手段と、前記原反を繰り出す途中で前記第1の剥離シート側から第2の剥離シートまで達する切り込みを形成して当該切り込みで囲まれる接着性シート部分を貼付用シートとして形成する切込手段と、前記貼付用シートの外側に位置する外側接着性シート部分とこれに重なる第1の剥離シート部分とを外側不要シートとする一方、前記貼付用シートに重なる第1の剥離シート部分を内側不要シートとして回収する回収手段と、前記外側不要シートと内側不要シートとを連結用テープを介して連結する連結手段と、前記第2の剥離シート側から押圧力を付与して前記貼付用シートを前記被着体に貼付する貼付手段とを備えたシート貼付装置であって
前記切込手段は、前記被着体の被着面内に収まる大きさの貼付用シートを形成する、という構成を採っている。
In order to achieve the above object, the present invention provides a strip-shaped original fabric in which a first release sheet is temporarily attached to one surface of an adhesive sheet and a second release sheet is temporarily attached to the other surface. A supporting means for supporting, a table for supporting the adherend, a feeding means for feeding out the original fabric, and a notch reaching from the first release sheet side to the second release sheet in the middle of feeding the original fabric. In this case, there is no need for an incision means for forming an adhesive sheet portion surrounded by the incision as an adhesive sheet, an outer adhesive sheet portion located outside the adhesive sheet, and a first release sheet portion overlapping therewith. while the sheet, and the recovery means for recovering the first release sheet portion overlapping the sticking sheet as an inner unnecessary sheet, continuous linked via a connecting tape and said outer unnecessary sheet and the inner unnecessary sheet A sheet sticking device comprising means and, and a sticking means for the by applying a pressing force from the second release sheet side sticking the sticking sheet to the adherend,
The cutting means adopts a configuration in which a sticking sheet having a size that fits within the adherend surface of the adherend is formed.

本発明において、前記被着体の外周に沿って前記第2の剥離シートを切断する切断手段を更に含み、当該切断手段は、前記被着体の被着面からはみ出す大きさとなるように前記第2の剥離シートを切断するように構成されている。   The present invention further includes a cutting means for cutting the second release sheet along the outer periphery of the adherend, and the cutting means has a size that protrudes from the adherend surface of the adherend. It is comprised so that the peeling sheet of 2 may be cut | disconnected.

また、本発明において、前記貼付用シートは、感熱接着性の接着シートであり、前記テーブルは加熱手段を備える、という構成を採用することができる。   Moreover, in this invention, the said sticking sheet is a heat-sensitive-adhesive adhesive sheet, and the structure that the said table is provided with a heating means is employable.

更に、前記被着体の位置と前記貼付用シートの位置とを検出し、被着体の所定位置に前記貼付用シートが貼付されるように位置合わせを行うアライメント手段を更に含むように構成するとよい。   Furthermore, it is configured to further include an alignment unit that detects the position of the adherend and the position of the sticking sheet and performs alignment so that the sticking sheet is stuck to a predetermined position of the adherend. Good.

また、本発明は、接着性シートの一方の面に第1の剥離シートが仮着されるとともに、他方の面に第2の剥離シートが仮着された帯状の原反を繰り出す工程と、当該原反を繰り出す途中で前記第1の剥離シート側から第2の剥離シートまで達する切り込みを形成して当該切り込みで囲まれる接着性シート部分を貼付用シートとして形成する工程と、前記貼付用シートの外側に位置する外側接着性シート部分とこれに重なる第1の剥離シート部分とを外側不要シートとする一方、前記貼付用シートに重なる第1の剥離シート部分を内側不要シートとし、連結用テープにより外側不要シートと内側不要シートとを連結して回収する程と、前記第2の剥離シート側から押圧力を付与して前記貼付用シートを所定の被着体に貼付する工程とを含むシート貼付方法であって
前記貼付用シートを形成するときに、前記被着体の被着面内に収まる大きさとなるように前記接着性シートに切り込みを形成する、という方法を採っている。
In addition, the present invention includes a step of feeding a belt-shaped raw material in which the first release sheet is temporarily attached to one surface of the adhesive sheet and the second release sheet is temporarily attached to the other surface; A step of forming an incision reaching the second release sheet from the first release sheet side in the course of unwinding the original fabric, and forming an adhesive sheet portion surrounded by the cut as an adhesive sheet; and The outer adhesive sheet portion positioned on the outer side and the first release sheet portion that overlaps the outer adhesive sheet portion are used as outer unnecessary sheets, while the first release sheet portion that overlaps the sticking sheet is used as an inner unnecessary sheet, and the connecting tape including a higher Engineering recovering connects the outer unnecessary sheet and the inner unnecessary sheet, and a step of sticking the sticking sheet by applying a pressing force from the second release sheet side to a predetermined adherend Shi A door sticking method,
When the sticking sheet is formed, a method is adopted in which a cut is formed in the adhesive sheet so as to have a size that fits within the adherend surface of the adherend.

前記シート貼付方法において、前記被着体の外周に沿って前記第2の剥離シートを切断する工程を更に含み、前記第2の剥離シートは、前記被着体の被着面からはみ出す大きさとなるように切断される、という構成を採っている。   The sheet sticking method further includes a step of cutting the second release sheet along the outer periphery of the adherend, and the second release sheet has a size that protrudes from the adherend surface of the adherend. It is configured to be cut like this.

本発明によれば、原反の繰り出し途中で接着性シートに切り込みを設けて被着体の被着面内に収まる大きさの貼付用シートを形成する構成としたから、例えば、貼付用シートを熱硬化型とした場合において、接着剤が被着体の外周からテーブル上に流下してしまうような不都合を確実に解消することができ、その後の被着体の取り出し際して当該被着体を破損してしまうような不都合も回避可能となる。
また、第2の剥離シートを、被着体の被着面からはみ出す大きさとなる状態で切断する構成としたから、接着性シートが第2の剥離シートに保護されるので、被着体に接着性シートが貼付されたまま、しばらくの間保管することができる。また、貼付用シート上に残る第2の剥離シートを剥離するときに、そのはみ出した部分を把持して剥離が行えるので作業を容易に行うことができるうえ、接着テープを貼付して剥離する場合においても、はみ出した部分にのみ剥離用の接着テープを押圧したり、溶着したりして接着できるので、押圧手段や溶着手段によって被着体に損傷を与えることがなくなる。
更に、アライメント手段によって、被着体と貼付用シートとを位置決めできるので、貼付用シートがずれて被着体からはみ出して貼付されるようなことがなくなり、テーブルに貼付用シートが付着することを確実に防止することができる。
According to the present invention, the adhesive sheet is cut in the course of feeding the original fabric to form a sticking sheet having a size that fits within the adherend surface of the adherend. In the case of the thermosetting type, it is possible to surely eliminate the inconvenience that the adhesive flows down from the outer periphery of the adherend onto the table, and when the adherend is subsequently taken out, the adherend It is also possible to avoid inconveniences such as damage.
Moreover, since it was set as the structure which cut | disconnects a 2nd peeling sheet in the state which becomes the magnitude | size which protrudes from the to-be-adhered surface of an adherend, since an adhesive sheet is protected by the 2nd release sheet, it adheres to an adherend It can be stored for a while with the adhesive sheet attached. Also, when peeling off the second release sheet remaining on the sticking sheet, it is possible to perform the work easily by gripping the protruding portion, and when attaching and peeling the adhesive tape In this case, the adhesive tape for peeling can be pressed or welded only to the protruding portion, so that the adherend is not damaged by the pressing means or the welding means.
Furthermore, since the adherend and the sticking sheet can be positioned by the alignment means, the sticking sheet is not shifted and sticks out of the adherend, and the sticking sheet adheres to the table. It can be surely prevented.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1には、本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図が示され、図2には、被着体に貼付する貼付用シートを製造する工程を示す要部拡大斜視図が示されている。これらの図において、シート貼付装置10は、接着性シートSの一方の面に第1の剥離シートAが仮着されるとともに、他方の面に第2の剥離シートBが仮着された帯状の原反Rを支持する支持手段11と、被着体としてのウエハWを支持するテーブル12と、前記原反Rを繰り出す繰出手段13と、原反Rを繰り出す途中で前記第1の剥離シートA側から第2の剥離シートBまで達する切り込みCを形成して当該切り込みCで囲まれる接着性シート部分を貼付用シートS1として形成する切込手段15と、前記貼付用シートS1の外側に位置する外側接着性シート部分S2とこれに重なる外側剥離シート部分A1とを外側不要シートDとする一方、前記貼付用シートS1に重なる内側剥離シート部分A2を内側不要シートEとして回収する回収手段16と、前記外側不要シートDと内側不要シートEとを連結用接着テープTを介して連結する連結手段17と、前記第2の剥離シートB側から押圧力を付与して前記貼付用シートS1をウエハWに貼付する貼付手段18と、ウエハWの外周に沿って前記第2の剥離シートBを切断する切断手段19と、前記第2の剥離シートBを巻き取る巻取手段20とを含む。
なお、本実施形態における接着性シートSは、特に、ウエハの裏面に接着され、ダイシング後のチップをリードフレームにボンディングする際に利用される感熱接着性の接着シートにより構成されている。
FIG. 1 shows a schematic front view of a sheet sticking apparatus according to the present embodiment, and FIG. 2 shows an enlarged perspective view of a main part showing a process for manufacturing a sticking sheet to be attached to an adherend. Yes. In these drawings, the sheet sticking apparatus 10 is a belt-like shape in which the first release sheet A is temporarily attached to one surface of the adhesive sheet S and the second release sheet B is temporarily attached to the other surface. A support means 11 for supporting the original fabric R, a table 12 for supporting a wafer W as an adherend, a delivery means 13 for delivering the original fabric R, and the first release sheet A in the course of delivering the original fabric R A notch means 15 for forming an incision C reaching the second release sheet B from the side and forming an adhesive sheet portion surrounded by the incision C as an adhesive sheet S1, and located outside the adhesive sheet S1 The outer adhesive sheet portion S2 and the outer release sheet portion A1 that overlaps the outer adhesive sheet portion S2 serve as the outer unnecessary sheet D, while the inner release sheet portion A2 that overlaps the sticking sheet S1 is collected as the inner unnecessary sheet E. Collecting means 16, connecting means 17 for connecting the outer unnecessary sheet D and the inner unnecessary sheet E via a connecting adhesive tape T, and applying the pressing force from the second release sheet B side for the application. An attaching means 18 for attaching the sheet S1 to the wafer W, a cutting means 19 for cutting the second release sheet B along the outer periphery of the wafer W, and a winding means 20 for winding the second release sheet B including.
The adhesive sheet S in this embodiment is composed of a heat-sensitive adhesive sheet that is bonded to the back surface of the wafer and used when bonding the diced chip to the lead frame.

前記支持手段11はロール状に巻回された帯状の原反Rを支持するローラ22により構成され、ローラ22から繰り出される原反Rは、図1中下方に位置するガイドローラ23を介して切込手段15に向かう略水平向きで案内されるようになっている。   The support means 11 is composed of a roller 22 that supports a belt-shaped raw fabric R wound in a roll shape, and the raw fabric R fed out from the roller 22 is cut through a guide roller 23 located in the lower part of FIG. It is guided in a substantially horizontal direction toward the insertion means 15.

前記テーブル12は、上面側がウエハWの吸着面として図示しない吸着孔を備えているとともに、内部に加熱手段としてのコイルヒータ24を内蔵し、また、ウエハWの吸着面の外側には、当該ウエハWよりも大径となる円形の溝12Aが設けられている。本実施形態では、ウエハWの回路面には図示しない保護シートが貼付され、この保護シートを介してテーブル12に吸着支持されて裏面を被着面として上面側に表出する状態で支持される。
テーブル12は、モータMと、第1の直動モータM1と、第2の直動モータM2によって支持され、モータMは、ウエハWをその面内で回転可能とし、第1の直動モータM1は、第2の直動モータM2及びテーブル12を図1中左右方向に移動可能とする一方、第2の直動モータM2は、テーブル12を図1中紙面直交方向に移動可能とする。
また、テーブル12の上方には、モータM及び、第1、第2の直動モータM1、M2と相互に作用するカメラ27が配置されており、これらモータMと、第1、第2の直動モータM1、M2と、カメラ27とでアライメント手段25が構成される。なお、カメラ27は、テーブル12の上方でウエハWと貼付用シートS1の位置を検出する検出位置と、この検出位置に対して、テーブル12の外側に外れた退避位置との間で移動可能に支持されている。
The table 12 is provided with a suction hole (not shown) on the upper surface side as a suction surface of the wafer W, and a coil heater 24 as a heating unit is built in the table 12, and the wafer W is placed outside the suction surface of the wafer W. A circular groove 12A having a diameter larger than W is provided. In the present embodiment, a protective sheet (not shown) is attached to the circuit surface of the wafer W, and is sucked and supported by the table 12 via the protective sheet, and is supported in a state where the back surface is exposed to the upper surface side. .
The table 12 is supported by a motor M, a first linear motor M1, and a second linear motor M2. The motor M allows the wafer W to rotate in the plane thereof, and the first linear motor M1. 1 allows the second linear motion motor M2 and the table 12 to move in the left-right direction in FIG. 1, while the second linear motion motor M2 enables the table 12 to move in the direction perpendicular to the paper surface in FIG.
Further, a camera 27 that interacts with the motor M and the first and second linear motion motors M1 and M2 is disposed above the table 12, and these motor M and the first and second linear motors are arranged. The moving means M1 and M2 and the camera 27 constitute an alignment means 25. The camera 27 is movable between a detection position for detecting the positions of the wafer W and the sticking sheet S1 above the table 12 and a retreat position outside the table 12 with respect to the detection position. It is supported.

前記繰出手段13は、フレームFに支持された駆動ローラ30と、当該駆動ローラ30を回転させるモータM3と、駆動ローラ30との間に第2の剥離シートBを挟み込むピンチローラ31とにより構成されている。フレームFは、前記テーブル12の側方に位置するリニアモータM4のスライダM4Aを介して図1中左右方向に移動可能となっている。   The feeding means 13 includes a driving roller 30 supported by the frame F, a motor M3 that rotates the driving roller 30, and a pinch roller 31 that sandwiches the second release sheet B between the driving roller 30. ing. The frame F is movable in the left-right direction in FIG. 1 via a slider M4A of a linear motor M4 located on the side of the table 12.

前記切込手段15は、第1の剥離シートA側に配置されたダイカットローラ35と、第2の剥離シートB側に配置され、図示しない機構によりダイカットローラ35と同期回転するアンビルローラ36と、ダイカットローラ35を回転させるモータM5とからなる。ダイカットローラ35は、ローラ本体35Aと、当該ローラ本体35Aの外周面に設けられた切断刃35Bとからなる。この切断刃35Bは、平面に展開したときに、ウエハWの被着面の直径よりも小径の略円形となるように形成されており、従って、切込手段15を通過した後の原反Rには、略円形の切り込みC(図2参照)が形成されることとなる。なお、ローラ本体35Aには、図1に示されるように、切断刃不存在領域35Cが形成されて原反Rの素通しが行えるようになっており、当該切断刃不存在領域35Cがアンビルローラ36側に位置したときに、原反Rの繰出速度を変化させて貼付用シートS1の形成間隔を任意に設定することができる。また、切断刃35Bは、ウエハに形成されたVノッチやオリエンテーションフラットに対応した形状とすることもできる。   The cutting means 15 includes a die cut roller 35 disposed on the first release sheet A side, an anvil roller 36 disposed on the second release sheet B side, and rotated in synchronization with the die cut roller 35 by a mechanism (not shown), The motor M5 that rotates the die cut roller 35 is included. The die cut roller 35 includes a roller body 35A and a cutting blade 35B provided on the outer peripheral surface of the roller body 35A. The cutting blade 35B is formed so as to have a substantially circular shape having a diameter smaller than the diameter of the adherend surface of the wafer W when deployed on a flat surface. Therefore, the original fabric R after passing through the cutting means 15 is formed. A substantially circular cut C (see FIG. 2) is formed. As shown in FIG. 1, the roller main body 35 </ b> A is formed with a cutting blade absence region 35 </ b> C so that the raw fabric R can be passed through. When positioned on the side, the forming interval of the sticking sheet S1 can be arbitrarily set by changing the feeding speed of the original fabric R. Moreover, the cutting blade 35B can also be made into the shape corresponding to V notch and orientation flat formed in the wafer.

前記回収手段16は、剥離用ブロック37と、この剥離用ブロック37の下方に配置されたモータM6によって回転する回収用駆動ローラ38と、当該回収用駆動ローラ38との間に前記外側不要シートDと内側不要シートEとを挟み込むピンチローラ39と、これら外側不要シートD及び内側不要シートEを巻き取って回収する回収ローラ40と、当該回収ローラ40を回転させるモータM7とからなる。剥離用ブロック37は、外側不要シートD及び内側不要シートEを第2の剥離シートB及び貼付用シートS1から剥離するためのものであり、本実施形態では、略水平方向に対して下方に剥離できるガイド面を備えて構成されているが、特に限定されるものではなく、ローラや板状のブレード材で構成してもよい。   The collection means 16 includes the separation block 37, the collection drive roller 38 that is rotated by a motor M6 disposed below the separation block 37, and the collection drive roller 38. And the inner unnecessary sheet E, a pinch roller 39, a collecting roller 40 for winding and collecting the outer unnecessary sheet D and the inner unnecessary sheet E, and a motor M7 for rotating the collecting roller 40. The peeling block 37 is for peeling the outer unnecessary sheet D and the inner unnecessary sheet E from the second peeling sheet B and the sticking sheet S1. In this embodiment, the peeling block 37 is peeled downward in the substantially horizontal direction. Although it is configured with a guide surface that can be formed, it is not particularly limited and may be configured with a roller or a plate-like blade material.

前記連結手段17は、枚葉タイプの連結用テープTを図示しないテープ供給装置から受け取り、前記切り込みC部分を横切るように連結用テープTを貼付する押圧手段41を含む。この押圧手段41は、上面側に図示しない吸着孔が形成された吸着グリッド43を備え、当該吸着グリッド43は、シリンダ44を介して上下方向に進退可能に設けられている。なお、ここでは図示省略しているが、第2の剥離シートBの図1中上面側には、吸着グリッド43による押圧力の受け面となる受け台が設けられる。   The connecting means 17 includes a pressing means 41 that receives a single-wafer type connecting tape T from a tape supply device (not shown) and affixes the connecting tape T so as to cross the notch C portion. The pressing means 41 includes a suction grid 43 in which suction holes (not shown) are formed on the upper surface side, and the suction grid 43 is provided so as to be able to advance and retract in the vertical direction via a cylinder 44. Although not shown here, a cradle serving as a receiving surface for the pressing force by the suction grid 43 is provided on the upper surface side of the second release sheet B in FIG.

前記貼付手段18は、フレームF1に支持されたプレスローラ48により構成され、フレームF1は、前記リニアモータM4のスライダM4Bを介して図1中左右方向に移動可能となっている。また、プレスローラ48は、図示しない駆動手段によって上下方向に移動可能な状態でフレームF1に支持され、これにより、ウエハWや貼付用シートS1の厚み等に応じて最適な押圧力を付与するようになっている。   The sticking means 18 is constituted by a press roller 48 supported by a frame F1, and the frame F1 is movable in the left-right direction in FIG. 1 via a slider M4B of the linear motor M4. The press roller 48 is supported by the frame F1 so as to be movable in the vertical direction by a driving means (not shown), thereby applying an optimal pressing force according to the thickness of the wafer W or the sticking sheet S1. It has become.

前記切断手段19は、前記テーブル12の上方に設けられ、モータM8によって回転する回転アーム50と、この回転アーム50の先端に取り付けられたカッター刃51とを含む。この切断手段19は、図1に示される位置を退避位置とする一方、カッター刃51が第2の剥離シートBを切断するときに、カッター刃51の刃先がテーブル12の溝12Aに入り込む切断位置まで下降可能に設けられている。なお、前記切断手段19に替えて、本出願人による特開2004−62004号に記載の多関節ロボットを用いてもよい。   The cutting means 19 includes a rotary arm 50 provided above the table 12 and rotated by a motor M8, and a cutter blade 51 attached to the tip of the rotary arm 50. The cutting means 19 uses the position shown in FIG. 1 as the retracted position, while the cutting edge of the cutter blade 51 enters the groove 12A of the table 12 when the cutter blade 51 cuts the second release sheet B. It is provided so that it can be lowered. Instead of the cutting means 19, an articulated robot described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-62004 by the present applicant may be used.

前記巻取手段20は、一端が前記フレームFに回転可能に支持されたアーム52と、当該アーム52の他端に回転可能に支持された巻取ローラ53と、この巻取ローラ53を前記駆動ローラ30の外周面に接するように付勢する図示しないばねとを含み、駆動ローラ30に追従して巻取ローラ53が回転し、第2の剥離シートBを巻き取るようになっている。   The winding means 20 includes an arm 52 having one end rotatably supported by the frame F, a winding roller 53 rotatably supported by the other end of the arm 52, and driving the winding roller 53. And a spring (not shown) that urges the roller 30 so as to be in contact with the outer peripheral surface of the roller 30, the winding roller 53 rotates following the driving roller 30, and the second release sheet B is wound up.

次に、本実施形態におけるシート貼付方法について図3ないし図6をも参照しながら説明する。   Next, the sheet sticking method in this embodiment is demonstrated, also referring FIG. 3 thru | or FIG.

先ず、図1に示されるように、ロール状の原反Rを所定長さ引き出して、ダイカットローラ35とアンビルローラ36との間に通紙する。そして、第1の剥離シートA及び接着性シートSを剥離用ブロック37のコーナー位置で第2の剥離シートBから剥離して回収用駆動ローラ38とピンチローラ39との間に通紙した後、そのリード端を回収ローラ40に固定する。この一方、第2の剥離シートBは、駆動ローラ30とピンチローラ31との間を通紙してそのリード端を巻取ローラ53に固定し、これにより初期設定を完了する。なお、この初期設定段階では、アンビルローラ36及び、ピンチローラ39、31は、図示しない駆動手段によってダイカットローラ35及び、各駆動ローラ38、30から離間する方向に退避し、所定のクリアランスを確保するようになっている。   First, as shown in FIG. 1, a roll-shaped raw fabric R is pulled out by a predetermined length and passed between a die-cut roller 35 and an anvil roller 36. After the first release sheet A and the adhesive sheet S are peeled from the second release sheet B at the corner position of the release block 37 and passed between the recovery drive roller 38 and the pinch roller 39, The lead end is fixed to the collection roller 40. On the other hand, the second release sheet B passes between the drive roller 30 and the pinch roller 31 and fixes its lead end to the take-up roller 53, thereby completing the initial setting. In this initial setting stage, the anvil roller 36 and the pinch rollers 39 and 31 are retracted in a direction away from the die cut roller 35 and the drive rollers 38 and 30 by a driving means (not shown) to ensure a predetermined clearance. It is like that.

次に、図示しない操作パネルにより、自動貼付モードが選択されると、モータM3、MM5、M6、M7が同期回転して原反Rに切り込みCを形成し、図1に示されるように、貼付用シートS1を1枚形成する初期繰出動作が行われ、所定の位置で停止して待機状態となる。   Next, when the automatic sticking mode is selected by an operation panel (not shown), the motors M3, MM5, M6, and M7 rotate synchronously to form a cut C in the original fabric R, and as shown in FIG. An initial feeding operation for forming one sheet S1 is performed, stops at a predetermined position, and enters a standby state.

なお、前記切り込みCにより接着性シートSは、貼付用シートS1と外側接着性シート部分S2とに区分され、また、第1の剥離シートAは、内側剥離シート部分A2と、外側剥離シート部分A1とに区分される(図6(A)、(B)参照)。原反Rが切込手段15を通過した後において、連結用接着テープTが図示しない供給手段から吸着グリッド43に一枚ずつ供給され、原反繰出方向先端側における切り込みCを横切るように貼付される(図2参照)。なお、連結用接着テープTの貼付は、切り込みCが所定位置に達したことを図示しないセンサが検出することによりタイミング調整される。連結手段17を通過した原反Rは、外側不要シートD及び内側不要シートEが前記剥離用ブロック37で剥離され、第2の剥離シートB上(下面側)には、円形の貼付用シートS1のみが残される(図6(C)参照)。   The adhesive sheet S is divided into an adhesive sheet S1 and an outer adhesive sheet portion S2 by the cut C, and the first release sheet A includes an inner release sheet portion A2 and an outer release sheet portion A1. (See FIGS. 6A and 6B). After the original fabric R passes through the notch means 15, the connecting adhesive tape T is supplied to the suction grid 43 one by one from a supply means (not shown), and is pasted so as to cross the notch C at the leading end in the original feed direction. (See FIG. 2). The application of the connecting adhesive tape T is adjusted in timing when a sensor (not shown) detects that the cut C has reached a predetermined position. In the raw fabric R that has passed through the connecting means 17, the outer unnecessary sheet D and the inner unnecessary sheet E are peeled off by the peeling block 37, and a circular sticking sheet S1 is formed on the second peeling sheet B (on the lower surface side). Only remains (see FIG. 6C).

そして、図示しない搬送手段を介してウエハWがテーブル12上に配置されると、アライメント手段25によってウエハWが所定の位置と向きになるように位置合わせが行われる。この位置合せ動作が完了すると、繰出手段13を支持するフレームFがモータM3がロックされた状態で、リニアモータM4を介して図1に示される初期位置に対して右側に移動する(図3参照)。なお、この繰出手段13の移動に同期して、モータM5、M6、M7も駆動され、次の貼付用シートS1が形成される。そして、ウエハW上の所定の位置に貼付用シートS1が位置したことをカメラ27が検出すると、貼付手段18がリニアモータM4を介して図1に示される初期位置から右側に移動し(図4参照)、コイルヒータ24の熱によって貼付用シートS1がウエハWの上面(被着面)に貼付されることとなる(図6(D)参照)。この際、貼付用シートS1は、ウエハWの被着面内に収まる大きさとされているため、当該貼付用シートS1がウエハWからはみ出して貼付されることはない。   When the wafer W is placed on the table 12 via a transfer means (not shown), alignment is performed by the alignment means 25 so that the wafer W is oriented to a predetermined position. When this alignment operation is completed, the frame F supporting the feeding means 13 moves to the right side with respect to the initial position shown in FIG. 1 via the linear motor M4 with the motor M3 locked (see FIG. 3). ). In synchronism with the movement of the feeding means 13, the motors M5, M6 and M7 are also driven to form the next sticking sheet S1. When the camera 27 detects that the sticking sheet S1 is located at a predetermined position on the wafer W, the sticking means 18 moves to the right side from the initial position shown in FIG. 1 via the linear motor M4 (FIG. 4). (Refer to FIG. 6) The application sheet S1 is attached to the upper surface (attachment surface) of the wafer W by the heat of the coil heater 24 (see FIG. 6D). At this time, since the sticking sheet S1 is sized to fit within the adherend surface of the wafer W, the sticking sheet S1 does not stick out of the wafer W.

このようにして貼付用シートS1の貼付が完了すると、切断手段19は、図5に示されるように、カッター刃51の先端(下端)が第2の剥離シートBを突き通してテーブル12の溝12A内に受容される位置まで下降する。そして、アーム50がモータM8を介して平面内で回転し、第2の剥離シートBがウエハWの外周に沿って切断される。この際、第2の剥離シートBは、ウエハWの被着面からはみ出す大きさとなるように切断される(図6(E)参照)。   When the sticking of the sticking sheet S1 is completed in this way, the cutting means 19 has a groove in the table 12 as the tip (lower end) of the cutter blade 51 penetrates the second release sheet B as shown in FIG. Lower to a position received within 12A. Then, the arm 50 rotates in a plane via the motor M8, and the second release sheet B is cut along the outer periphery of the wafer W. At this time, the second release sheet B is cut so as to have a size that protrudes from the adherend surface of the wafer W (see FIG. 6E).

次いで、前記繰出手段13及び貼付手段18が、図1に示される初期位置に戻りつつ、駆動ローラ30の回転によって巻取ローラ53が追従回転し、第2の剥離シートBが巻き取られることとなる。   Next, while the feeding means 13 and the sticking means 18 return to the initial positions shown in FIG. 1, the winding roller 53 rotates following the rotation of the driving roller 30, and the second release sheet B is wound up. Become.

そして、以後は前記初期繰出動作を除く同様の動作を繰り返すことで、ウエハW毎に貼付用シートS1を順次貼付することができる。   Thereafter, the same operation excluding the initial feeding operation is repeated, so that the sticking sheets S1 can be sequentially attached to each wafer W.

従って、このような実施形態によれば、ウエハWの被着面内に収まる大きさの貼付用シートS1を形成し、ウエハWの被着面内に収まるように貼付する構成としたから、例えば、貼付用シートを感熱接着性の接着シートとしたときの、接着剤がウエハ外周に流れ出てテーブル12の上面に接着してしまうような不都合は生じない。
また、第2の剥離シートBがウエハWの被着面からはみ出す大きさになるように切断する構成としたから、当該はみ出し部分を利用して容易に剥離作業を行うことが可能となる。
Therefore, according to such an embodiment, since the sticking sheet S1 having a size that fits within the adherend surface of the wafer W is formed and stuck so as to fit within the adherend surface of the wafer W, for example, When the sticking sheet is a heat-sensitive adhesive sheet, there is no inconvenience that the adhesive flows out to the outer periphery of the wafer and adheres to the upper surface of the table 12.
In addition, since the second release sheet B is cut so as to have a size that protrudes from the adherend surface of the wafer W, it is possible to easily perform the release operation using the protruding portion.

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
As described above, the best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this.
In other words, the present invention has been illustrated and described mainly with respect to specific embodiments, but without departing from the scope of the technical idea and object of the present invention, the shape, position, or With respect to the arrangement and the like, those skilled in the art can make various changes as necessary.

例えば、前記実施形態では、感熱性の接着シートを接着性シートSとして用いた場合を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、感圧性の接着シートや、紫外線硬化型接着シート等を用いることもできる。   For example, in the above-described embodiment, the case where a heat-sensitive adhesive sheet is used as the adhesive sheet S has been described. However, the present invention is not limited to this, and a pressure-sensitive adhesive sheet or an ultraviolet curable adhesive sheet is used. Etc. can also be used.

また、貼付用シートS1の平面形状は円形に限定されるものではなく、被着体の平面形状に応じて種々の形状が採用可能であり、これに応じた閉ループをなすダイカットローラ35とすればよい。更に、切込手段15のダイカットローラ35に替え、平面内に切断刃が形成されたプレス型を用いてもよい。   Further, the planar shape of the sticking sheet S1 is not limited to a circular shape, and various shapes can be adopted according to the planar shape of the adherend, and if the die cut roller 35 forms a closed loop according to this, the die cutting roller 35 can be used. Good. Furthermore, it may replace with the die-cut roller 35 of the cutting means 15, and may use the press type | mold with which the cutting blade was formed in the plane.

更に、本発明における被着体は半導体ウエハWに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。   Furthermore, the adherend in the present invention is not limited to the semiconductor wafer W, and other plate-like members such as a glass plate, a steel plate, or a resin plate can be used. The semiconductor wafer is a silicon wafer. Or a compound wafer.

また、前記実施形態では、切断手段19による第1の剥離シートAの切断は、円形のウエハWの平面形状に合わせて円周切りを行うように図示、説明したが、上述のような多関節ロボットを用いて被着体形状に関係なく、一部が被着体の被着面からはみ出す大きさとなるように切断するようにしてもよい。   In the above embodiment, the cutting of the first release sheet A by the cutting means 19 is illustrated and described so as to cut the circumference in accordance with the planar shape of the circular wafer W. You may make it cut | disconnect so that it may become a magnitude | size which protrudes from the adherend surface of a to-be-adhered body using a robot irrespective of a to-be-adhered body shape.

更に、接着性シートとして、基材の両面に接着剤層を有する原反を対象とすることもできる。   Furthermore, as an adhesive sheet, an original fabric having an adhesive layer on both surfaces of a substrate can be used.

また、第2の剥離シートBの切断工程を行わず、そのまま巻取ローラ53に巻き取るようにしてもよい。この場合、貼付用シートS1が貼付されたウエハWは保管されず、貼付直後に次工程に搬送される。   Alternatively, the second release sheet B may be wound around the winding roller 53 without performing the cutting process of the second release sheet B. In this case, the wafer W to which the sticking sheet S1 is stuck is not stored and is transferred to the next process immediately after sticking.

本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。The schematic front view of the sheet sticking apparatus which concerns on this embodiment. 被着体に貼付する貼付用シートを製造する工程を示す要部拡大斜視図。The principal part expansion perspective view which shows the process of manufacturing the sheet | seat for sticking stuck to a to-be-adhered body. 貼付用シートをウエハ上に繰り出した状態を示すシート貼付装置の概略正面図。The schematic front view of the sheet sticking apparatus which shows the state which extended the sheet | seat for sticking on the wafer. 貼付用シートをウエハに貼付した状態を示すシート貼付装置の概略正面図。The schematic front view of the sheet sticking apparatus which shows the state which stuck the sheet | seat for sticking on the wafer. 第2の剥離シートをウエハ外周に沿って切断する状態を示す概略正面図。The schematic front view which shows the state which cut | disconnects a 2nd peeling sheet along a wafer outer periphery. (A)〜(E)は、原反から貼付用シートを形成してウエハに貼付するまでの工程を段階的に表した説明図。(A)-(E) is explanatory drawing which represented the process until it forms the sheet | seat for sticking from a raw fabric, and affixes it on a wafer in steps.

符号の説明Explanation of symbols

10 シート貼付装置
11 支持手段
12 テーブル
13 繰出手段
15 切込手段
16 回収手段
18 貼付手段
19 切断手段
24 コイルヒータ(加熱手段)
27 カメラ(アライメント手段)
25 アライメント手段
A 第1の剥離シート
A1 外側剥離シート部分
A2 内側剥離シート部分
B 第2の剥離シート
C 切り込み
D 外側不要シート
E 内側不要シート
R 原反
S 接着性シート
S1 貼付用シート
S2 外側接着性シート部分
W ウエハ(被着体)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Sheet sticking apparatus 11 Support means 12 Table 13 Feeding means 15 Cutting means 16 Collecting means 18 Sticking means 19 Cutting means 24 Coil heater (heating means)
27 Camera (alignment means)
25 Alignment Means A First Release Sheet A1 Outer Release Sheet Part A2 Inner Release Sheet Part B Second Release Sheet C Notch D Outer Unnecessary Sheet E Inner Unnecessary Sheet R Original Fabric S Adhesive Sheet S1 Adhesive Sheet S2 Outer Adhesiveness Sheet part W Wafer (Substrate)

Claims (6)

接着性シートの一方の面に第1の剥離シートが仮着されるとともに、他方の面に第2の剥離シートが仮着された帯状の原反を支持する支持手段と、被着体を支持するテーブルと、前記原反を繰り出す繰出手段と、前記原反を繰り出す途中で前記第1の剥離シート側から第2の剥離シートまで達する切り込みを形成して当該切り込みで囲まれる接着性シート部分を貼付用シートとして形成する切込手段と、前記貼付用シートの外側に位置する外側接着性シート部分とこれに重なる第1の剥離シート部分とを外側不要シートとする一方、前記貼付用シートに重なる第1の剥離シート部分を内側不要シートとして回収する回収手段と、前記外側不要シートと内側不要シートとを連結用テープを介して連結する連結手段と、前記第2の剥離シート側から押圧力を付与して前記貼付用シートを前記被着体に貼付する貼付手段とを備えたシート貼付装置であって
前記切込手段は、前記被着体の被着面内に収まる大きさの貼付用シートを形成することを特徴とするシート貼付装置。
The first release sheet is temporarily attached to one surface of the adhesive sheet, and the support means for supporting the belt-like original fabric in which the second release sheet is temporarily attached to the other surface, and the adherend are supported. And an adhesive sheet portion surrounded by the cut and forming a notch reaching the second release sheet from the first release sheet side in the course of feeding the original fabric. An incision means formed as an adhesive sheet, an outer adhesive sheet portion located outside the adhesive sheet, and a first release sheet portion overlapping therewith are used as outer unnecessary sheets, while overlapping the adhesive sheet. and recovery means for recovering the first release sheet portion as an inner unnecessary sheet, and connecting means for connecting through a connecting tape and said outer unnecessary sheet and the inner unnecessary sheet, or the second release sheet side Wherein the sticking sheet pressing force by applying a sheet sticking apparatus and a sticking means for sticking to the adherend,
The sheet cutting apparatus according to claim 1, wherein the cutting means forms a sticking sheet having a size that fits within the adherend surface of the adherend.
前記被着体の外周に沿って前記第2の剥離シートを切断する切断手段を更に含み、当該切断手段は、前記被着体の被着面からはみ出す大きさとなるように前記第2の剥離シートを切断することを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。   The apparatus further includes cutting means for cutting the second release sheet along the outer periphery of the adherend, and the cutting means has a size that protrudes from the adherend surface of the adherend. The sheet sticking device according to claim 1, wherein the sheet sticking device is cut. 前記貼付用シートは、感熱接着性の接着シートであり、前記テーブルは加熱手段を備えていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。   3. The sheet sticking apparatus according to claim 1, wherein the sticking sheet is a heat-sensitive adhesive sheet, and the table includes a heating unit. 前記被着体の位置と前記貼付用シートの位置とを検出し、被着体の所定位置に前記貼付用シートが貼付されるように位置合わせを行うアライメント手段を更に含むことを特徴とする請求項1、2又は3記載のシート貼付装置。   The apparatus further comprises an alignment unit that detects a position of the adherend and a position of the sticking sheet and aligns the sticking sheet so that the sticking sheet is stuck to a predetermined position of the adherend. Item 4. The sheet sticking device according to 1, 2 or 3. 接着性シートの一方の面に第1の剥離シートが仮着されるとともに、他方の面に第2の剥離シートが仮着された帯状の原反を繰り出す工程と、当該原反を繰り出す途中で前記第1の剥離シート側から第2の剥離シートまで達する切り込みを形成して当該切り込みで囲まれる接着性シート部分を貼付用シートとして形成する工程と、前記貼付用シートの外側に位置する外側接着性シート部分とこれに重なる第1の剥離シート部分とを外側不要シートとする一方、前記貼付用シートに重なる第1の剥離シート部分を内側不要シートとし、連結用テープにより外側不要シートと内側不要シートとを連結して回収する程と、前記第2の剥離シート側から押圧力を付与して前記貼付用シートを所定の被着体に貼付する工程とを含むシート貼付方法であって
前記貼付用シートを形成するときに、前記被着体の被着面内に収まる大きさとなるように前記接着性シートに切り込みを形成することを特徴とするシート貼付方法。
While the first release sheet is temporarily attached to one surface of the adhesive sheet and the belt-like original fabric in which the second release sheet is temporarily attached to the other surface, and in the course of delivering the original fabric Forming an incision reaching the second release sheet from the first release sheet side and forming an adhesive sheet portion surrounded by the cut as an adhesive sheet; and an outer adhesive located outside the adhesive sheet The first release sheet portion that overlaps the adhesive sheet and the first release sheet portion that overlaps the adhesive sheet portion as the outer unnecessary sheet, and the first unnecessary release sheet portion that overlaps the adhesive sheet as the inner unnecessary sheet, and the outer unnecessary sheet and the inner side by the connecting tape sheet sticking method der containing a more Engineering recovering connects the unnecessary sheet, and a step of sticking the sticking sheet by applying a pressing force from the second release sheet side to a predetermined adherend Te,
A method for sticking a sheet, wherein when the sheet for sticking is formed, a cut is formed in the adhesive sheet so as to have a size that fits within an adherend surface of the adherend.
前記被着体の外周に沿って前記第2の剥離シートを切断する工程を更に含み、前記第2の剥離シートは、前記被着体の被着面からはみ出す大きさとなるように切断されることを特徴とする請求項5記載のシート貼付方法。   The method further includes a step of cutting the second release sheet along the outer periphery of the adherend, and the second release sheet is cut to a size that protrudes from the adherend surface of the adherend. The sheet sticking method according to claim 5.
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