JP4799533B2 - 半導体加速度センサ - Google Patents
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Description
なお、図1に示すセンサチップの断面は、図3に示すA−A断面線に沿った断面で示してある。
2はケースであり、セラミック材料等で形成された底板3を有する有底の枠状部材であって、矩形の底板3の周囲を囲う枠状に形成された側壁4には、その開口側の上面4aから、底板3側に形成された内部端子5に達するスルーホールに埋込まれた導電プラグ6が形成されており、底板3と側壁4とで囲まれた内側の空間がセンサチップ10や制御チップ20を収納するチップ収納空間として機能する。
上記のセンサチップ10は、互いに直交するX軸、Y軸、Z軸からなる3軸の加速度成分をピエゾ抵抗素子11で形成されたブリッジ回路12(図4参照)の平衡状態の変化を利用して出力するセンサである。
図3において、13はセンサチップ10の固定部であり、センサチップ10の周縁部を形成するシリコン(Si)からなる略正方形の有底の枠状部材であって、その内側には十字状に配置された薄いシリコンからなる可撓部14に釣り下げられた重錘部15が揺動可能に収容されている。
16はコアであり、重錘部15の錘支持部15aの上面の中央部に接着等により取付けられた磁性材料からなる矩形の薄板であって、その周囲にはアルミニウム(Al)等の導電材料で形成されたメタル配線からなる1巻以上(本実施例では、2.5巻)の第2のコイル17が形成され、その両端部はそれぞれ可撓部14上に形成された接続配線18に接続している。
本実施例の第2のコイル17は、発生させる磁界に応じて、錘支持部15aの上面の一部または全部に形成される。
19はストッパであり、固定部13の内側の4つの隅部に、それぞれの隅を頂点とする直角3角形状に形成されており、図1に示すように、その下面は重錘部15の錘部15bの上面と、所定の隙間C(本実施例では、2〜5μm)を介して対向しており、センサチップ10に印加された過大な加速度により、重錘部15が上方に移動したときに、1ないし4の錘部15bが衝突させて、可撓部14に過大な変形が生じることを防止する。
図4において、23は制御チップ20の制御部であり、制御チップ20内の各部を制御して凝着解除処理等を実行する。
25は時計部であり、水晶発振器等を有する周波数発生器等を備えており、発生した周波数を基に時間を計数して制御部23へ出力する機能を有している。
26は増幅器であり、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向のそれぞれの加速度検出用に形成されたブリッジ回路12が内部接続され、これらの信号出力を増幅する機能を有しており、DAコンバータ27、ADコンバータ28を介して制御部23に接続している。
更に、制御部23は、本実施例の半導体加速度センサ1を搭載した上位装置として図示しない機器の主制御部と通信可能に接続されている。
上記の制御チップ20の記憶部24には、センサチップ10からのX軸、Y軸、Z軸用のブリッジ回路12の信号出力を検出して、そのいずれかの信号出力が、正負の接近判定値の範囲外となったときに、信号出力が範囲外となっている維持時間を計測し、計測した維持時間が異常判定時間以上となった場合に、重錘部15とストッパ19との凝着を判定して、第1および第2のコイル8、17に、互いを反発させる方向に磁界を形成する電流を供給する機能を有する凝着解除処理プログラムが予め格納されており、制御部23が実行する凝着解除処理プログラムのステップにより本実施例の半導体加速度センサ1のハードウェアとしての各機能手段が形成される。
本実施例では、接近判定値として、重錘部15の上面とストッパの下面とが当接したときの最大信号出力の70〜90%の範囲の加速度の正負の信号出力(本実施例では約±80%に相当する±2.5G)が設定され、異常判定時間として1秒、不解除判定時間として1秒が設定されている。
制御チップ20へ電源が投入されると、制御チップ20の記憶部24に格納されている凝着解除処理プログラムが自動的に起動される。
S1、凝着解除処理プログラムが起動すると、制御部23は、記憶部24に格納されている接近判定値を読出し、センサチップ10からの信号出力を検出しながら、検出した信号出力と、正負の接近判定値とを比較し、信号出力が正負いずれかの接近判定値を超える接近判定値の範囲外(正の接近判定値以上、負の接近判定値以下の領域をいう。)となるのを待って待機し、信号出力が接近判定値の範囲外となったときにステップS2へ移行する。
S2、信号出力が正負いずれかの接近判定値を超えたことを認識した制御部23は、記憶部24に格納されている異常判定時間を読出すと共に、時計部25により、信号出力が接近判定値の範囲外となったときからの維持時間Tの計測を開始してステップS3へ移行する。
この様子を、図6に示す時間経過に伴う信号出力の変化のグラフを用いて説明すると、運転の開始後に、最初に正の接近判定値を超えた場合の維持時間T1と、次に負の接近判定値を超えた場合の維持時間T2とは、ともに異常判定時間未満であるので、正常運転と判定され、維持時間T2を計測した後に、再び正の接近判定値を超えた場合の維持時間Tは異常判定時間以上であるので、凝着が生じたと判定される。
S4、凝着が生じたことを判定した制御部23は、電流発生回路32により、蓋7の周囲に形成された第1のコイル8および重錘部15の錘支持部15aの上面のコア16の周りに形成された第2のコイル17へ、互いを反発させる方向に磁界を形成するための電流、例えば、図2に示す第1のコイル8には、上面から見て時計方向に、第2のコイル17には、上面から見て反時計方向に流れるように電流を供給する。
この場合に、制御チップ20の凝着解除処理に用いない演算回路等は、その作動を停止させるようにするとよい。このようにすれば、第1および第2のコイル8、17による磁界により発生する電磁誘導による電流の影響を抑制することが可能になる。
S6、凝着の解除不能を判定した制御部23は、第1および第2のコイル8、17への電流の供給を停止すると共に、凝着発生の旨を記した凝着発生通知を図示しない上位装置の主制御部へ送信して、凝着解除処理を終了させる。
以上説明したように、本実施例では、ケースの上面に取付けられた磁性材料からなる蓋の周囲に第1のコイルを設けると共に、ケースと蓋とにより形成されたチップ収納空間に収納されたセンサチップの、蓋の下面に対向する重錘部の上面の中央部に第2のコイルを設けたことによって、重錘部とストッパとの間に凝着が生じた場合に、第1および第2のコイルに電流を流して、重錘部とストッパとの間に反発力を生じさせることができ、半導体加速度センサに過大な加速度による重錘部とストッパとの凝着が生じたときに、反発力を用いて凝着状態を自動的に解除することができる。
なお、上記実施例においては、重錘部の上面の第2のコイルに囲まれた領域に磁性材料からなるコアを設けるとして説明したが、コアの設置を省略するようにしてもよい。
更に、制御チップは、ケースの内部に配置するとして説明したが、ケース外に制御チップを配置して、外部端子を介して信号出力の検出や、第1および第2のコイルへの電流の供給を行うようにしてもよい。
2 ケース
3 底板
4 側壁
4a 上面
5 内部端子
6 導電プラグ
7 蓋
8 第1のコイル
9a 第1の電磁石
9b 第2の電磁石
10 センサチップ
11 ピエゾ抵抗素子
12 ブリッジ回路
13 固定部
14 可撓部
15 重錘部
15a 錘支持部
15b 錘部
16 コア
17 第2のコイル
18 接続配線
19 ストッパ
20 制御チップ
21、22 接着層
23 制御部
24 記憶部
25 時計部
26 増幅器
27 DAコンバータ
28 ADコンバータ
29 外部端子
31 インタフェース回路
32 電流発生回路
34 ワイヤ
Claims (4)
- 有底のケースと、
前記ケースの上面に取付けられた蓋と、
前記ケースと蓋とにより形成された空間に収納され、枠状の固定部と、前記固定部の中央に可撓部により揺動可能に支持された重錘部と、前記重錘部の上方への移動を制限するストッパとを有するセンサチップと、を備えた半導体加速度センサであって、
前記蓋を磁性材料で形成すると共に、前記蓋の周囲を少なくとも1巻する第1のコイルを設け、
前記蓋の下面に対向する前記重錘部の上面の中央部に、1以上の巻数を有する第2のコイルを設けたことを特徴とする半導体加速度センサ。 - 請求項1において、
前記ケースの底面と、前記センサチップとの間に、前記第1および第2のコイルへ供給する電流を制御する制御チップを配置したことを特徴とする半導体加速度センサ。 - 有底のケースと、
前記ケースの上面に取付けられた磁性材料からなる蓋と、
前記蓋の周囲を少なくとも1巻する第1のコイルと、
前記ケースと蓋とにより形成された空間に収納され、枠状の固定部と、前記固定部の中央に可撓部により揺動可能に支持された重錘部と、前記重錘部の上方への移動を制限するストッパと、前記蓋の下面に対向する前記重錘部の上面の中央部に、1以上の巻数を有する第2のコイルとを有するセンサチップと、
前記ケースの底面と、前記センサチップとの間に配置され、前記第1および第2のコイルへ供給する電流を制御する制御チップと、を備えた半導体加速度センサであって、
前記制御チップは、
前記重錘部と、前記ストッパとの凝着を判定するための異常判定時間と、前記重錘部の、前記ストッパへの接近を検出するための正負の接近判定値とを格納する手段と、
前記センサチップからの信号出力を検出する手段と、
前記信号出力が、前記接近判定値の範囲外となったときに、前記接近判定値の範囲外となっている維持時間を計測する手段と、
前記維持時間が、前記異常判定時間以上となった場合に、前記第1および第2のコイルに、互いを反発させる方向に磁界を形成する電流を供給する手段と、を備えることを特徴とする半導体加速度センサ。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項において、
前記重錘部の上面の、第2のコイルに囲まれた領域に、磁性材料からなるコアを設けたことを特徴とする半導体加速度センサ。
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