JPH04244968A - 容量型加速度センサ - Google Patents
容量型加速度センサInfo
- Publication number
- JPH04244968A JPH04244968A JP3245491A JP3245491A JPH04244968A JP H04244968 A JPH04244968 A JP H04244968A JP 3245491 A JP3245491 A JP 3245491A JP 3245491 A JP3245491 A JP 3245491A JP H04244968 A JPH04244968 A JP H04244968A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- acceleration sensor
- electrodes
- capacitance
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title claims abstract description 39
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 26
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 9
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 15
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電極が形成された基板
同士を接合して形成した容量型加速度センサに関する。
同士を接合して形成した容量型加速度センサに関する。
【０００２】
【従来技術】容量型加速度センサは移動電極を有する一
方の基板と固定電極を有する他方の基板との各電極を対
向させて配設される。その一方の基板に形成された移動
電極はその周囲からバネ性を有した複数のビームにて支
持されている。そして、加速度を受けるとそれらビーム
が撓んで一方の基板の移動電極と他方の基板に形成され
た固定電極との間隔が変化する。容量型加速度センサは
この両電極間の間隔が変化することによる容量の変化に
より加速度を測定している。一般に、容量Ｃは、次式に
て求められる。 Ｃ＝εＳ／ｄ （ε：誘電
率，Ｓ：電極面積，ｄ：電極間隔）
方の基板と固定電極を有する他方の基板との各電極を対
向させて配設される。その一方の基板に形成された移動
電極はその周囲からバネ性を有した複数のビームにて支
持されている。そして、加速度を受けるとそれらビーム
が撓んで一方の基板の移動電極と他方の基板に形成され
た固定電極との間隔が変化する。容量型加速度センサは
この両電極間の間隔が変化することによる容量の変化に
より加速度を測定している。一般に、容量Ｃは、次式に
て求められる。 Ｃ＝εＳ／ｄ （ε：誘電
率，Ｓ：電極面積，ｄ：電極間隔）
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ここで、被測定加速度
が極端に大きな過負荷時、微小ギャップを有する電極間
が極端に接近すると、両電極が吸着してしまうという状
態が起こる。この吸着は次式にて示された両電極間の静
電力Ｐｅ により生じる。 Ｐｅ＝εＳＶ２／２ｄ２ （ε：誘電率，Ｓ：電極面積，Ｖ：電圧，ｄ：電極間隔
） 即ち、静電力Ｐｅ は電極間隔ｄの二乗に反比例して大
きくなる。従って、この静電力Ｐｅ により両電極が吸
着したような場合には、容量型加速度センサは加速度を
受けても両電極間の間隔が変化できなくなり、電極間の
容量が検出できなくなるという問題が生じていた。
が極端に大きな過負荷時、微小ギャップを有する電極間
が極端に接近すると、両電極が吸着してしまうという状
態が起こる。この吸着は次式にて示された両電極間の静
電力Ｐｅ により生じる。 Ｐｅ＝εＳＶ２／２ｄ２ （ε：誘電率，Ｓ：電極面積，Ｖ：電圧，ｄ：電極間隔
） 即ち、静電力Ｐｅ は電極間隔ｄの二乗に反比例して大
きくなる。従って、この静電力Ｐｅ により両電極が吸
着したような場合には、容量型加速度センサは加速度を
受けても両電極間の間隔が変化できなくなり、電極間の
容量が検出できなくなるという問題が生じていた。
【０００４】本発明は、上記の課題を解決するために成
されたものであり、その目的とするところは、移動電極
が対向する固定電極に吸着した場合の異常な測定状態が
検出でき、その吸着を解除して正常な測定状態に復帰さ
せることができる容量型加速度センサを提供することで
ある。
されたものであり、その目的とするところは、移動電極
が対向する固定電極に吸着した場合の異常な測定状態が
検出でき、その吸着を解除して正常な測定状態に復帰さ
せることができる容量型加速度センサを提供することで
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の発明の構成は、一方の基板に形成された移動電極と他
方の基板に形成された固定電極とが微小ギャップを有す
るように対向させてそれら両基板を接合し、前記両電極
間の容量の変化により加速度を測定する容量型加速度セ
ンサにおいて、前記移動電極と前記固定電極との間に直
流電圧を印加して前記容量に関連した物理量である変量
を検出する変量検出手段と、前記変量検出手段にて検出
される変量が予め設定された所定量以上となると信号を
出力する信号出力手段と、前記信号出力手段から出力さ
れる信号により前記直流電圧を一時的にカットする電圧
カット手段とを備えたことを特徴とする。
の発明の構成は、一方の基板に形成された移動電極と他
方の基板に形成された固定電極とが微小ギャップを有す
るように対向させてそれら両基板を接合し、前記両電極
間の容量の変化により加速度を測定する容量型加速度セ
ンサにおいて、前記移動電極と前記固定電極との間に直
流電圧を印加して前記容量に関連した物理量である変量
を検出する変量検出手段と、前記変量検出手段にて検出
される変量が予め設定された所定量以上となると信号を
出力する信号出力手段と、前記信号出力手段から出力さ
れる信号により前記直流電圧を一時的にカットする電圧
カット手段とを備えたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】変量検出手段により移動電極と固定電極との間
に直流電圧を印加して容量に関連した物理量である変量
が検出される。この変量は加速度が零の時の所定量と比
較され容量型加速度センサの通常の検出信号となる。 又、信号出力手段により上記変量検出手段にて検出され
る変量が予め設定された所定量以上となると信号が出力
される。すると、電圧カット手段により上記信号出力手
段にて出力される信号にて上記直流電圧が一時的にカッ
トされる。又、この電圧カット手段により出力される信
号はアラーム信号等になる。
に直流電圧を印加して容量に関連した物理量である変量
が検出される。この変量は加速度が零の時の所定量と比
較され容量型加速度センサの通常の検出信号となる。 又、信号出力手段により上記変量検出手段にて検出され
る変量が予め設定された所定量以上となると信号が出力
される。すると、電圧カット手段により上記信号出力手
段にて出力される信号にて上記直流電圧が一時的にカッ
トされる。又、この電圧カット手段により出力される信
号はアラーム信号等になる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説
明する。
明する。
【０００８】図１は本発明に係る容量型加速度センサ１
０を示した中央縦断面図である。又、図２は図１の容量
型加速度センサ１０からガラス基板３０を取り外した状
態を示した平面図である。
０を示した中央縦断面図である。又、図２は図１の容量
型加速度センサ１０からガラス基板３０を取り外した状
態を示した平面図である。
【０００９】容量型加速度センサ１０は移動電極２１な
どが形成されたシリコン基板２０と固定電極３１が形成
されたガラス基板３０とガラスから成る基台４０とから
主として構成されている。上記移動電極２１と固定電極
３１とが微小ギャップを有するように対向させて両基板
２０，３０を接合し、更に、それらを基台４０上に接合
している。上記移動電極２１はシリコン基板２０の表面
に不純物としてリン拡散により形成され、その下部に加
速度により移動するおもり２２を有する。又、シリコン
基板２０には移動電極２１をその周囲からバネ性を有し
て支持する４本の細いビーム２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，
２３ｄが形成されている。又、上記固定電極３１はガラ
ス基板３０上にアルミニウムなどの金属を蒸着して形成
されている。尚、上記移動電極２１の下部のおもり２２
及びビーム２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ等はシリコ
ン基板２０をエッチングすることで達成される。
どが形成されたシリコン基板２０と固定電極３１が形成
されたガラス基板３０とガラスから成る基台４０とから
主として構成されている。上記移動電極２１と固定電極
３１とが微小ギャップを有するように対向させて両基板
２０，３０を接合し、更に、それらを基台４０上に接合
している。上記移動電極２１はシリコン基板２０の表面
に不純物としてリン拡散により形成され、その下部に加
速度により移動するおもり２２を有する。又、シリコン
基板２０には移動電極２１をその周囲からバネ性を有し
て支持する４本の細いビーム２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，
２３ｄが形成されている。又、上記固定電極３１はガラ
ス基板３０上にアルミニウムなどの金属を蒸着して形成
されている。尚、上記移動電極２１の下部のおもり２２
及びビーム２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ等はシリコ
ン基板２０をエッチングすることで達成される。
【００１０】シリコン基板２０の周辺部で接合されたガ
ラス基板３０の外側にはＣＭＯＳ回路を用いたＩＣ５０
が配設されている。又、シリコン基板２０の表面にはリ
ン拡散による移動電極２１と同時に配線２５が形成され
、その配線２５により移動電極２１とＩＣ５０とが接続
されている。そして、過負荷時、移動電極２１が対向し
た固定電極３１に対して極端に接近しても直接に両電極
２１，３１が接触しないように、移動電極２１面上には
絶縁材料から成るストッパ２８，２９が配設されている
。
ラス基板３０の外側にはＣＭＯＳ回路を用いたＩＣ５０
が配設されている。又、シリコン基板２０の表面にはリ
ン拡散による移動電極２１と同時に配線２５が形成され
、その配線２５により移動電極２１とＩＣ５０とが接続
されている。そして、過負荷時、移動電極２１が対向し
た固定電極３１に対して極端に接近しても直接に両電極
２１，３１が接触しないように、移動電極２１面上には
絶縁材料から成るストッパ２８，２９が配設されている
。
【００１１】図３は本発明の容量型加速度センサ１０の
電気的構成を示したブロックダイヤグラムである。
電気的構成を示したブロックダイヤグラムである。
【００１２】容量型加速度センサ１０の移動電極２１と
固定電極３１との電極面積や電極間隔などにて決定され
る容量Ｃｖ に対して所定の直流電圧Ｖ０ が印加され
る。 すると、その時の容量Ｃｖ を充電及び放電するときの
端子電圧波形がシュミットトリガ回路６１にて周波数ｆ
ｓ に変換される。その周波数ｆｓ はｆ／Ｖコンバー
タ６２にて電圧Ｖｓ に変換される。尚、変量検出手段
はシュミットトリガ回路６１及びｆ／Ｖコンバータ６２
にて構成される。上記ｆ／Ｖコンバータ６２からの電圧
Ｖｓ は差動増幅器６３に入力される。そして、差動増
幅器６３から容量型加速度センサ１０の加速度が零の時
の容量Ｃｖ に対応した電圧Ｖ１ との差に応じて電圧
Ｖｏｕｔ が測定信号として出力される。
固定電極３１との電極面積や電極間隔などにて決定され
る容量Ｃｖ に対して所定の直流電圧Ｖ０ が印加され
る。 すると、その時の容量Ｃｖ を充電及び放電するときの
端子電圧波形がシュミットトリガ回路６１にて周波数ｆ
ｓ に変換される。その周波数ｆｓ はｆ／Ｖコンバー
タ６２にて電圧Ｖｓ に変換される。尚、変量検出手段
はシュミットトリガ回路６１及びｆ／Ｖコンバータ６２
にて構成される。上記ｆ／Ｖコンバータ６２からの電圧
Ｖｓ は差動増幅器６３に入力される。そして、差動増
幅器６３から容量型加速度センサ１０の加速度が零の時
の容量Ｃｖ に対応した電圧Ｖ１ との差に応じて電圧
Ｖｏｕｔ が測定信号として出力される。
【００１３】一方、上記ｆ／Ｖコンバータ６２から出力
される電圧Ｖｓ は信号出力手段を構成するコンパレー
タ６４に入力される。又、コンパレータ６４には上記移
動電極２１及び固定電極３１が吸着した異常な測定状態
のときｆ／Ｖコンバータ６２から出力される最大電圧値
より少し低い基準電圧Ｖｒｅｆ が入力されている。即
ち、ｆ／Ｖコンバータ６２から出力される電圧Ｖｓ が
上記異常な測定状態を示した最大電圧値となるとコンパ
レータ６４から電圧カット手段を構成するワンショット
マルチバイブレータ６５に信号が出力される。すると、
ワンショットマルチバイブレータ６５はパルス幅ｔの単
一パルスを出力する。この出力パルスは上記直流電圧Ｖ
０ を両電極２１，３１間に印加する配線上に配設され
た常閉スイッチＳｗ を時間ｔだけ開状態とする。即ち
、両電極２１，３１間には時間ｔだけ直流電圧Ｖ０ が
加わらなくなる。この結果、両電極２１，３１間には静
電力が働かなくなり、容量型加速度センサ１０は両電極
２１，３１が吸着した異常な測定状態が解除され通常の
測定状態に復帰される。尚、上記ワンショットマルチバ
イブレータ６５からの出力パルスは更に、過負荷時のア
ラーム信号となる。
される電圧Ｖｓ は信号出力手段を構成するコンパレー
タ６４に入力される。又、コンパレータ６４には上記移
動電極２１及び固定電極３１が吸着した異常な測定状態
のときｆ／Ｖコンバータ６２から出力される最大電圧値
より少し低い基準電圧Ｖｒｅｆ が入力されている。即
ち、ｆ／Ｖコンバータ６２から出力される電圧Ｖｓ が
上記異常な測定状態を示した最大電圧値となるとコンパ
レータ６４から電圧カット手段を構成するワンショット
マルチバイブレータ６５に信号が出力される。すると、
ワンショットマルチバイブレータ６５はパルス幅ｔの単
一パルスを出力する。この出力パルスは上記直流電圧Ｖ
０ を両電極２１，３１間に印加する配線上に配設され
た常閉スイッチＳｗ を時間ｔだけ開状態とする。即ち
、両電極２１，３１間には時間ｔだけ直流電圧Ｖ０ が
加わらなくなる。この結果、両電極２１，３１間には静
電力が働かなくなり、容量型加速度センサ１０は両電極
２１，３１が吸着した異常な測定状態が解除され通常の
測定状態に復帰される。尚、上記ワンショットマルチバ
イブレータ６５からの出力パルスは更に、過負荷時のア
ラーム信号となる。
【００１４】図４は容量型加速度センサ１０の電気的構
成の他の実施例を示したブロックダイヤグラムである。 尚、図３と同様の構成のものについては、同符号を付し
て説明する。
成の他の実施例を示したブロックダイヤグラムである。 尚、図３と同様の構成のものについては、同符号を付し
て説明する。
【００１５】容量型加速度センサ１０の移動電極２１と
固定電極３１との電極面積や電極間隔などにて決定され
る容量Ｃｖ に対して所定の直流電圧Ｖ０ が印加され
る。 すると、その時の容量Ｃｖ はシュミットトリガ回路６
１にて周波数ｆｓ に変換される。上記シュミットトリ
ガ回路６１に接続されたカウンタ６６にてカウントされ
た周波数ｆｏｕｔが測定信号として出力される。尚、こ
のカウンタ６６は単位時間毎に測定信号を出力すると共
にクリアされる。本実施例においては、変量検出手段は
シュミットトリガ回路６１及びカウンタ６６にて構成さ
れる。
固定電極３１との電極面積や電極間隔などにて決定され
る容量Ｃｖ に対して所定の直流電圧Ｖ０ が印加され
る。 すると、その時の容量Ｃｖ はシュミットトリガ回路６
１にて周波数ｆｓ に変換される。上記シュミットトリ
ガ回路６１に接続されたカウンタ６６にてカウントされ
た周波数ｆｏｕｔが測定信号として出力される。尚、こ
のカウンタ６６は単位時間毎に測定信号を出力すると共
にクリアされる。本実施例においては、変量検出手段は
シュミットトリガ回路６１及びカウンタ６６にて構成さ
れる。
【００１６】一方、上記周波数ｆｏｕｔ は信号出力手
段を構成するコンパレータ６４に入力される。又、コン
パレータ６４には上記両電極２１，３１が吸着した異常
な測定状態のときカウンタ６６から出力される最大周波
数より少し低い基準周波数ｆｒｅｆ が入力されている
。即ち、カウンタ６６から出力される周波数ｆｏｕｔ
が上記異常な測定状態を示した最大周波数となるとコン
パレータ６４から電圧カット手段を構成するワンショッ
トマルチバイブレータ６５に信号が出力される。すると
、ワンショットマルチバイブレータ６５はパルス幅ｔの
単一パルスを出力する。この出力パルスは上記直流電圧
Ｖ０ を両電極２１，３１間に印加する配線上に配設さ
れた常閉スイッチＳｗ を時間ｔだけ開状態とする。即
ち、両電極２１，３１間には時間ｔだけ直流電圧Ｖ０
が加わらなくなる。 この結果、両電極２１，３１間には静電力が働かなくな
り、容量型加速度センサ１０は吸着した異常な測定状態
が解除され通常の測定状態に復帰される。
段を構成するコンパレータ６４に入力される。又、コン
パレータ６４には上記両電極２１，３１が吸着した異常
な測定状態のときカウンタ６６から出力される最大周波
数より少し低い基準周波数ｆｒｅｆ が入力されている
。即ち、カウンタ６６から出力される周波数ｆｏｕｔ
が上記異常な測定状態を示した最大周波数となるとコン
パレータ６４から電圧カット手段を構成するワンショッ
トマルチバイブレータ６５に信号が出力される。すると
、ワンショットマルチバイブレータ６５はパルス幅ｔの
単一パルスを出力する。この出力パルスは上記直流電圧
Ｖ０ を両電極２１，３１間に印加する配線上に配設さ
れた常閉スイッチＳｗ を時間ｔだけ開状態とする。即
ち、両電極２１，３１間には時間ｔだけ直流電圧Ｖ０
が加わらなくなる。 この結果、両電極２１，３１間には静電力が働かなくな
り、容量型加速度センサ１０は吸着した異常な測定状態
が解除され通常の測定状態に復帰される。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、移動電極と固定電極との間に
直流電圧を印加して容量に関連した物理量である変量を
検出する変量検出手段と、その変量検出手段にて検出さ
れる変量が予め設定された所定量以上となると信号を出
力する信号出力手段と、その信号出力手段から出力され
る信号により直流電圧を一時的にカットする電圧カット
手段とを備えており、移動電極が対向する固定電極に吸
着した場合には両電極間の直流電圧が一時的にカットさ
れる。すると、本発明の容量型加速度センサは過負荷時
、静電力により両電極同士が吸着しても吸着したままと
ならず、すぐに正常な測定状態に復帰できる。従って、
誤った加速度測定結果に基づく出力を回避することがで
きるという効果を有する。
直流電圧を印加して容量に関連した物理量である変量を
検出する変量検出手段と、その変量検出手段にて検出さ
れる変量が予め設定された所定量以上となると信号を出
力する信号出力手段と、その信号出力手段から出力され
る信号により直流電圧を一時的にカットする電圧カット
手段とを備えており、移動電極が対向する固定電極に吸
着した場合には両電極間の直流電圧が一時的にカットさ
れる。すると、本発明の容量型加速度センサは過負荷時
、静電力により両電極同士が吸着しても吸着したままと
ならず、すぐに正常な測定状態に復帰できる。従って、
誤った加速度測定結果に基づく出力を回避することがで
きるという効果を有する。
【図１】本発明の具体的な一実施例に係る容量型加速度
センサを示した中央縦断面図である。
センサを示した中央縦断面図である。
【図２】図１の容量型加速度センサからガラス基板を取
り外した状態を示した平面図である。
り外した状態を示した平面図である。
【図３】同実施例に係る容量型加速度センサの電気的構
成を示したブロックダイヤグラムである。
成を示したブロックダイヤグラムである。
【図４】本発明に係る容量型加速度センサの電気的構成
の他の実施例を示したブロックダイヤグラムである。
の他の実施例を示したブロックダイヤグラムである。
１０−容量型加速度センサ ２０−シリコン基板
２１−移動電極 ２２−おもり ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ
−ビーム ２８，２９−ストッパ ３０−ガラス基板
３１−固定電極 ４０−基台 ５０−ＩＣ ６１−シュミッ
トトリガ回路（変量検出手段） ６２−ｆ／Ｖコンバータ（変量検出手段）６４−コンパ
レータ（信号出力手段） ６５−ワンショットマルチバイブレータ（電圧カット手
段）
２１−移動電極 ２２−おもり ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ
−ビーム ２８，２９−ストッパ ３０−ガラス基板
３１−固定電極 ４０−基台 ５０−ＩＣ ６１−シュミッ
トトリガ回路（変量検出手段） ６２−ｆ／Ｖコンバータ（変量検出手段）６４−コンパ
レータ（信号出力手段） ６５−ワンショットマルチバイブレータ（電圧カット手
段）
Claims (1)
- 【請求項１】 一方の基板に形成された移動電極と他
方の基板に形成された固定電極とが微小ギャップを有す
るように対向させてそれら両基板を接合し、前記両電極
間の容量の変化により加速度を測定する容量型加速度セ
ンサにおいて、前記移動電極と前記固定電極との間に直
流電圧を印加して前記容量に関連した物理量である変量
を検出する変量検出手段と、前記変量検出手段にて検出
される変量が予め設定された所定量以上となると信号を
出力する信号出力手段と、前記信号出力手段から出力さ
れる信号により前記直流電圧を一時的にカットする電圧
カット手段とを備えたことを特徴とする容量型加速度セ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3245491A JPH04244968A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 容量型加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3245491A JPH04244968A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 容量型加速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04244968A true JPH04244968A (ja) | 1992-09-01 |
Family
ID=12359420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3245491A Pending JPH04244968A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 容量型加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04244968A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008196883A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Seiko Instruments Inc | 力学量センサ |
| JP2009122081A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-04 | Oki Semiconductor Co Ltd | 半導体加速度センサ |
-
1991
- 1991-01-31 JP JP3245491A patent/JPH04244968A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008196883A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Seiko Instruments Inc | 力学量センサ |
| JP2009122081A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-04 | Oki Semiconductor Co Ltd | 半導体加速度センサ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5618989A (en) | Acceleration sensor and measurement method | |
| US4736629A (en) | Micro-miniature accelerometer | |
| US5388460A (en) | Capacitive sensor for detecting a physical value such as acceleration | |
| KR101228164B1 (ko) | 적어도 2개의 갭 사이즈와 액티브 커패시터 영역 외부에배치된 트레블 스톱을 갖는 ｚ축 가속도계 | |
| US6182509B1 (en) | Accelerometer without proof mass | |
| US5495761A (en) | Integrated accelerometer with a sensitive axis parallel to the substrate | |
| EP0547742B1 (en) | Triaxial accelerometer | |
| EP0543901B1 (en) | Monolithic accelerometer | |
| US4512431A (en) | Weight sensing apparatus employing polymeric piezoelectric film | |
| JP3272412B2 (ja) | 容量型センサを評価しかつテストするための回路装置 | |
| US5517123A (en) | High sensitivity integrated micromechanical electrostatic potential sensor | |
| US6235550B1 (en) | Integrated sensor having plurality of released beams for sensing acceleration and associated methods | |
| KR960010849B1 (ko) | 반도체 가속도 검출기 | |
| GB2194341A (en) | Capacitive acceleration sensors | |
| US9128114B2 (en) | Capacitive sensor device and a method of sensing accelerations | |
| WO1997049998A1 (en) | Accelerometer without proof mass | |
| US6218209B1 (en) | Integrated released beam sensor for sensing acceleration and associated methods | |
| JPH04244968A (ja) | 容量型加速度センサ | |
| Selvakumar et al. | Low power, wide range threshold acceleration sensing system | |
| JPH08122362A (ja) | 静電容量型加速度センサ | |
| JP3282360B2 (ja) | 容量型センサ | |
| US7045371B2 (en) | Foreign material removing method for capacitance type dynamic quantity sensor | |
| JPH0341366A (ja) | 加速度計 | |
| JPH0989925A (ja) | 半導体加速度センサ | |
| JPH04329371A (ja) | 静電容量式力学量センサ |