JPH0341366A - 加速度計 - Google Patents
加速度計Info
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- JPH0341366A JPH0341366A JP2049167A JP4916790A JPH0341366A JP H0341366 A JPH0341366 A JP H0341366A JP 2049167 A JP2049167 A JP 2049167A JP 4916790 A JP4916790 A JP 4916790A JP H0341366 A JPH0341366 A JP H0341366A
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- potential difference
- capacitor plates
- generating
- control signal
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- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 25
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 1
- 238000012886 linear function Methods 0.000 abstract description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 230000003679 aging effect Effects 0.000 description 1
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
-
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- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/13—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position
- G01P15/131—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position with electrostatic counterbalancing means
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、加速度計、特に静電力を利用した加速度計に
関する。
関する。
［従来の技術］
二枚のコンデンサ間に、ダイヤフラムとして、非常に薄
く塗布されたシリカプレートを弾性的に延伸挿入した構
成を有する種々の加速度計が知られている。ダイヤフラ
ムは、無負荷位置あるいは零位置から加速度力がかかっ
たときに、この加速度力と、これに伴って生じる静電容
量の変化や、ダイヤフラム及び異なった電位が荷電され
たコンデンサの間に生しる静電界により変位する。
く塗布されたシリカプレートを弾性的に延伸挿入した構
成を有する種々の加速度計が知られている。ダイヤフラ
ムは、無負荷位置あるいは零位置から加速度力がかかっ
たときに、この加速度力と、これに伴って生じる静電容
量の変化や、ダイヤフラム及び異なった電位が荷電され
たコンデンサの間に生しる静電界により変位する。
また、ダイヤフラムの無負荷位置からの変位量及び変位
方向は、ダイヤフラムが上述の種々の変化によりその無
負荷位置から変位する際にダイヤフラム内に生しる電位
変化の結果としてダイヤフラムに流出入する電流を測定
することによって検出できることも周知である。
方向は、ダイヤフラムが上述の種々の変化によりその無
負荷位置から変位する際にダイヤフラム内に生しる電位
変化の結果としてダイヤフラムに流出入する電流を測定
することによって検出できることも周知である。
［発明か解決しようとする課題］
しかしながら、このタイプの加速度計は、その使用時の
測定結果の信頼性があまりなく、特に、上述の電流値の
変動が複雑で、ダイヤフラム内での電位変化は変位の非
線形関数となり、また、コンデンサ間の電位差を常時あ
るいは長時間にわたって一定に保持することは非常に困
難または不可能であるため、全般的に予測不能な因子が
関与する一 という問題がある。また、それだけでなく、ダイヤフラ
ムの変位がこれに作用する加速度力の非線形関数である
ために、一定の変化量が得られず、フレキシブルヒンジ
等、コンデンサプレート間のダイヤフラム上に設置され
た弾性手段の反応が非線形的になり、ヒンジの機械性能
や温度変化が関与する機械性能等のエイジング効果の反
応も非線形的になるため測定精度が下がるという問題も
ある。
測定結果の信頼性があまりなく、特に、上述の電流値の
変動が複雑で、ダイヤフラム内での電位変化は変位の非
線形関数となり、また、コンデンサ間の電位差を常時あ
るいは長時間にわたって一定に保持することは非常に困
難または不可能であるため、全般的に予測不能な因子が
関与する一 という問題がある。また、それだけでなく、ダイヤフラ
ムの変位がこれに作用する加速度力の非線形関数である
ために、一定の変化量が得られず、フレキシブルヒンジ
等、コンデンサプレート間のダイヤフラム上に設置され
た弾性手段の反応が非線形的になり、ヒンジの機械性能
や温度変化が関与する機械性能等のエイジング効果の反
応も非線形的になるため測定精度が下がるという問題も
ある。
従って、本発明の目的は、上述のような従来の加速度計
がかかえる課題を回避できるような加速度計を提供する
ことにある。
がかかえる課題を回避できるような加速度計を提供する
ことにある。
本発明のもう一つの目的は、高範囲にわたり、加速度力
を線形関数的に測定できる、信頼性の高い測定結果を得
られるような加速度計を提供することにある。
を線形関数的に測定できる、信頼性の高い測定結果を得
られるような加速度計を提供することにある。
本発明のさらなる目的は、上述のようなタイプの加速度
計に用いる、信頼性が高く、かつダイヤフラム上に負荷
された加速度力に線形依存性のある電子駆動回路を提供
することにある。
計に用いる、信頼性が高く、かつダイヤフラム上に負荷
された加速度力に線形依存性のある電子駆動回路を提供
することにある。
また、本発明の目的は、比較的簡単な構成で、製造が安
価で使用しやすく、かつ、動作の信頼性の高い、上述の
駆動回路及び加速度計を提供することにある。
価で使用しやすく、かつ、動作の信頼性の高い、上述の
駆動回路及び加速度計を提供することにある。
さらに、本発明の別の目的は、上述の加速度計を駆動す
る方法を提供することにある。
る方法を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明による加速度計を
互いに平行に対向して検出ギャップを隔成する主表面を
各々有する二枚のコンデンサ板と、板状の電気伝導性ダ
イヤフラムと、 該ダイヤフラムを前記ギャップ内で前記主表面に平行に
配設して、前記ダイヤフラムが該ダイヤフラムに作用す
る加速度力によって、前記主表面の十分に中央に位置す
る無負荷位置から前記主表面のいずれか一面の方へ、前
記加速度力の方向に応じて変位するように該ダイヤフラ
ムを弾性的に配設する手段とを有する一以上の加速度セ
ンサと、前記ダイヤフラムの無負荷位置からの変位量及
び変位方向に応じた大きさと方向を有するダイヤフラム
電位を発生させる静電界を、前記コンデンサ板と前記ダ
イヤフラム間に各々形成するために、前記コンデンサ板
間に電位差を発生させる手段と、前記発生させた電位差
を評価し、 前記電位差に比例し、 前記ダイヤフラムへ、前記ダイヤフラムに作用する加速
度力に抗して前記ダイヤフラムを前記無負荷位置に、前
記ダイヤフラム及び前記コンデンサ板間に前記電位差に
より生じた静電力によって、復位させるのに十分な電圧
を有する電気的制御信号を発生し、供給する手段から構
成する。
各々有する二枚のコンデンサ板と、板状の電気伝導性ダ
イヤフラムと、 該ダイヤフラムを前記ギャップ内で前記主表面に平行に
配設して、前記ダイヤフラムが該ダイヤフラムに作用す
る加速度力によって、前記主表面の十分に中央に位置す
る無負荷位置から前記主表面のいずれか一面の方へ、前
記加速度力の方向に応じて変位するように該ダイヤフラ
ムを弾性的に配設する手段とを有する一以上の加速度セ
ンサと、前記ダイヤフラムの無負荷位置からの変位量及
び変位方向に応じた大きさと方向を有するダイヤフラム
電位を発生させる静電界を、前記コンデンサ板と前記ダ
イヤフラム間に各々形成するために、前記コンデンサ板
間に電位差を発生させる手段と、前記発生させた電位差
を評価し、 前記電位差に比例し、 前記ダイヤフラムへ、前記ダイヤフラムに作用する加速
度力に抗して前記ダイヤフラムを前記無負荷位置に、前
記ダイヤフラム及び前記コンデンサ板間に前記電位差に
より生じた静電力によって、復位させるのに十分な電圧
を有する電気的制御信号を発生し、供給する手段から構
成する。
ここで、前記電位差発生手段は、前記コンデンサ板に各
々十分に一定で異なった大きさの直流電圧をかけ、同様
に、各々同じ所定頻度で逆位相の交流電圧をかける手段
と、 前記ダイヤフラムに前記電位変化に応じて流出入する交
流電流を前記制御信号に変換する手段から構成する。
々十分に一定で異なった大きさの直流電圧をかけ、同様
に、各々同じ所定頻度で逆位相の交流電圧をかける手段
と、 前記ダイヤフラムに前記電位変化に応じて流出入する交
流電流を前記制御信号に変換する手段から構成する。
さらに、前記変換手段は、前記交流電流をレシ−ブし、
交流電圧を発生する増幅器を有する手段と、 前記交流電圧を前記制御信号を得るために交流電圧の一
つに復調する手段とから構成する。
交流電圧を発生する増幅器を有する手段と、 前記交流電圧を前記制御信号を得るために交流電圧の一
つに復調する手段とから構成する。
また、上記加速度計の駆動方法を、前記ダイヤフラムの
無負荷位置からの変位量と変位方向に応した大きさと方
向を有するダイヤフラム電位を発生させる静電界を前記
コンデンサ板と前記ダイヤフラム間に各々形成するため
に、前記コンデンサ板間に電位差を発生させる工程と、 前記発生した電位差を評価し、前記ダイヤフラムへ、前
記電位差に比例し、前記ダイヤフラムに作用する加速度
力に抗して前記ダイヤフラムを前記無負荷位置に、前記
ダイヤフラム及び前記コンデンサ板間に前記電位差によ
り生じた静電力によって、復位させるのに十分な電圧を
有する電気的制御信号を発生し、供給する工程から構成
する。
無負荷位置からの変位量と変位方向に応した大きさと方
向を有するダイヤフラム電位を発生させる静電界を前記
コンデンサ板と前記ダイヤフラム間に各々形成するため
に、前記コンデンサ板間に電位差を発生させる工程と、 前記発生した電位差を評価し、前記ダイヤフラムへ、前
記電位差に比例し、前記ダイヤフラムに作用する加速度
力に抗して前記ダイヤフラムを前記無負荷位置に、前記
ダイヤフラム及び前記コンデンサ板間に前記電位差によ
り生じた静電力によって、復位させるのに十分な電圧を
有する電気的制御信号を発生し、供給する工程から構成
する。
［作用コ
上記のように構成された加速度計によれば、ダイヤフラ
ムに、無負荷位置でダイヤフラムに作用１ する総静電力に等しく、かつ、ダイヤフラムにかかる総
加速度力の反対方向の電圧をかけることにより、加速度
がこの電圧の線形関数となる。
ムに、無負荷位置でダイヤフラムに作用１ する総静電力に等しく、かつ、ダイヤフラムにかかる総
加速度力の反対方向の電圧をかけることにより、加速度
がこの電圧の線形関数となる。
［実施例］
以下に、上記した本発明の特徴の詳細を、添付する図面
を参照しながら、好適な実施例において具体的に説明す
る。
を参照しながら、好適な実施例において具体的に説明す
る。
第１図において、加速度センサ１０は、各々互いに平行
した主表面１３及び１４を有するコンデンサ部材１１及
び１２から構成され、この二枚のコンデンサ部材が、互
いの間に所定のコンデンサギャップをとるように離間し
て対向している。第を図に図示するコンデンサ部材１工
及び工２が十分に板状の形態をるため、以下、本部材を
コンデンサ板と称するが、これらコンデンサ板は、コン
デンサギャップを形成する主表面上３及び１４が平行に
配設される限りは、どのような形態をとっても良い。主
表面１３及び１４は、それぞれ同一空間に延びている。
した主表面１３及び１４を有するコンデンサ部材１１及
び１２から構成され、この二枚のコンデンサ部材が、互
いの間に所定のコンデンサギャップをとるように離間し
て対向している。第を図に図示するコンデンサ部材１工
及び工２が十分に板状の形態をるため、以下、本部材を
コンデンサ板と称するが、これらコンデンサ板は、コン
デンサギャップを形成する主表面上３及び１４が平行に
配設される限りは、どのような形態をとっても良い。主
表面１３及び１４は、それぞれ同一空間に延びている。
ダイヤフラム部材１５は、コンデンサ板１↑及２
び１２の間に配設され、半径方向に完全接合部あるいは
分離接合部１６、必須ではないが通常は分離フレキシブ
ルヒンジ１７、及びヒンジ部エフにより一つあるいは複
数の接合部１６と接合された中央ダイヤフラム↓８から
構成される。コンデンサ板１１及び１２並びにダイヤフ
ラム部材１５は、少なくとも部分的には電気伝導性を有
するようにシリカを塗布して形成する。ダイヤフラム部
材上５は、それぞれダイヤフラム部材１５の接続部１６
とこれに相当するコンデンサ板１１及びｔ２との間に挿
入された接続及び離隔体１９．２０により二枚のコンデ
ンサ板と接続されている。この時、ダイヤフラム部材１
５は、この接続及び離隔体１９．２０から電気的に絶縁
されることが望ましい。
分離接合部１６、必須ではないが通常は分離フレキシブ
ルヒンジ１７、及びヒンジ部エフにより一つあるいは複
数の接合部１６と接合された中央ダイヤフラム↓８から
構成される。コンデンサ板１１及び１２並びにダイヤフ
ラム部材１５は、少なくとも部分的には電気伝導性を有
するようにシリカを塗布して形成する。ダイヤフラム部
材上５は、それぞれダイヤフラム部材１５の接続部１６
とこれに相当するコンデンサ板１１及びｔ２との間に挿
入された接続及び離隔体１９．２０により二枚のコンデ
ンサ板と接続されている。この時、ダイヤフラム部材１
５は、この接続及び離隔体１９．２０から電気的に絶縁
されることが望ましい。
Claims (9)
- （１）互いに平行に対向して検出ギャップを隔成する主
表面を各々有する二枚のコンデンサ板と、板状の電気伝
導性ダイヤフラムと、 該ダイヤフラムを前記ギャップ内で前記主表面に平行に
配設して、前記ダイヤフラムが該ダイヤフラムに作用す
る加速度力によって、前記主表面の十分に中央に位置す
る無負荷位置から前記主表面のいずれか一面の方へ、前
記加速度力の方向に応じて変位するように該ダイヤフラ
ムを弾性的に配設する手段とを有する一以上の加速度セ
ンサと、前記ダイヤフラムの無負荷位置からの変位量及
び変位方向に応じた大きさと方向を有するダイヤフラム
電位を発生させる静電界を、前記コンデンサ板と前記ダ
イヤフラム間に各々形成するために、前記コンデンサ板
間に電位差を発生させる手段と、前記発生させた電位差
を評価し、前記電位差に比例し、 前記ダイヤフラムへ、前記ダイヤフラムに作用する加速
度力に抗して前記ダイヤフラムを前記無負荷位置に、前
記ダイヤフラム及び前記コンデンサ板間に前記電位差に
より生じた静電力によって、復位させるのに十分な電圧
を有する電気的制御信号を発生し、供給する手段から構
成される加速度計。 - （２）前記電位差発生手段が、前記コンデンサ板に各々
十分に一定で異なった大きさの直流電圧をかけ、同様に
、各々同じ所定頻度で逆位相の交流電圧をかける手段と
、 前記ダイヤフラムに前記電位変化に応じて流出入する交
流電流を前記制御信号に変換する手段を有することを特
徴とする請求項第１項に記載の加速度計。 - （３）前記変換手段が、前記交流電流をレシーブし、交
流電圧を発生する増幅器を有する手段と、前記交流電圧
を前記制御信号を得るために交流電圧の一つに復調する
手段とを有することを特徴とする請求項第２項に記載の
加速度計。 - （４）互いに平行に対向して検出ギャップを隔成する主
表面を各々有する二枚のコンデンサ板と、前記主表面に
平行に配設して、加速度力の作用によって、前記主表面
の十分に中央に位置する無負荷位置から前記主表面のい
ずれか一面の方へ、前記加速度力の方向に応じて変位す
るように弾性的に前記ギャップ内に配設された板状の電
気伝導性ダイヤフラムとを有する一以上の加速度センサ
の駆動装置において、 該駆動装置が、前記ダイヤフラムの無負荷位置からの変
位量と変位方向に応じた大きさと方向を有するダイヤフ
ラム電位を発生させる静電界を、前記コンデンサ板と前
記ダイヤフラム間に各々形成するために、前記コンデン
サ板間に電位差を発生させる手段と、 前記発生させた電位差を評価し、前記ダイヤフラムに、
前記電位差に比例し、前記ダイヤフラムに作用する加速
度力に抗して前記ダイヤフラムを前記無負荷位置に、前
記ダイヤフラム及び前記コンデンサ板間に前記電位差に
より生じた静電力によって、復位させるのに十分な電圧
を有する電気的制御信号を発生し、供給する手段 とを有することを特徴とする駆動装置。 - （５）前記電位差発生手段が、前記コンデンサ板に各々
十分に一定で異なった大きさの直流電圧をかけ、同様に
、各々同じ所定頻度で逆位相の交流電圧をかける手段と
、 前記ダイヤフラムに前記電位変化に応じて流出入する交
流電流を前記制御信号に変換する手段を有することを特
徴とする請求項第４項に記載の駆動装置。 - （６）前記変換手段が、前記交流電流をレシーブし、交
流電圧を発生する増幅器を有する手段と、前記交流電圧
を前記制御信号を得るために交流電圧の一つに復調する
手段とを有することを特徴とする請求項第５項に記載の
駆動装置。 - （７）互いに平行に対向して検出ギャップを隔成する主
表面を各々有する二枚のコンデンサ板と、前記主表面に
平行に配設して、加速度力の作用によって、前記主表面
の十分に中央に位置する無負荷位置から前記主表面のい
ずれか一面の方へ、前記加速度力の方向に応じて変位す
るように弾性的に前記ギャップ内に配設された板状の電
気伝導性ダイヤフラムとを有する一以上の加速度センサ
の駆動方法であって、 該駆動方法が、前記ダイヤフラムの無負荷位置からの変
位量と変位方向に応じた大きさと方向を有するダイヤフ
ラム電位を発生させる静電界を前記コンデンサ板と前記
ダイヤフラム間に各々形成するために、前記コンデンサ
板間に電位差を発生させる工程と、 前記発生した電位差を評価し、前記ダイヤフラムへ、前
記電位差に比例し、前記ダイヤフラムに作用する加速度
力に抗して前記ダイヤフラムを前記無負荷位置に、前記
ダイヤフラム及び前記コンデンサ板間に前記電位差によ
り生じた静電力によって、復位させるのに十分な電圧を
有する電気的制御信号を発生し、供給する工程 とを有することを特徴とする駆動方法。 - （８）前記電位差発生手段が、前記コンデンサ板に各々
十分に一定で異なった大きさの直流電圧をかけ、同様に
、各々同じ所定頻度で逆位相の交流電圧をかける手段と
、 前記ダイヤフラムに前記電位変化に応じて流出入する交
流電流を前記制御信号に変換する手段を有することを特
徴とする請求項第７項に記載の方法。 - （９）前記変換手段が、前記交流電流をレシーブし、交
流電圧を発生する増幅器を有する手段と、前記交流電圧
を前記制御信号を得るために交流電圧の一つに復調する
手段とを有することを特徴とする請求項第８項に記載の
方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US31723789A | 1989-02-28 | 1989-02-28 | |
| US317,237 | 1989-02-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0341366A true JPH0341366A (ja) | 1991-02-21 |
Family
ID=23232742
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2049167A Pending JPH0341366A (ja) | 1989-02-28 | 1990-02-28 | 加速度計 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0390721A1 (ja) |
| JP (1) | JPH0341366A (ja) |
| CA (1) | CA2010437A1 (ja) |
| IL (1) | IL93543A0 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020065446A (ko) * | 2002-07-16 | 2002-08-13 | 김선두 | 건강 팬티 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2689627B1 (fr) * | 1992-04-07 | 1997-06-20 | Sextant Avionique | Perfectionnement aux micro-capteurs pendulaires asservis. |
| US5710376A (en) * | 1995-12-22 | 1998-01-20 | International Business Machines Corporation | Charged mass thin film condenser accelerometer |
| ITUA20162172A1 (it) | 2016-03-31 | 2017-10-01 | St Microelectronics Srl | Sensore accelerometrico realizzato in tecnologia mems avente elevata accuratezza e ridotta sensibilita' nei confronti della temperatura e dell'invecchiamento |
| IT201900017546A1 (it) | 2019-09-30 | 2021-03-30 | St Microelectronics Srl | Dispositivo a pulsante mems resistente all'acqua, dispositivo di ingresso comprendente il dispositivo a pulsante mems e apparecchio elettronico |
| JP2023518451A (ja) * | 2020-03-18 | 2023-05-01 | ナノディーエックス，インコーポレイテッド | センサの電気的特性を感知するための測定システムおよび関連技術 |
| CN113884702B (zh) * | 2021-10-18 | 2023-09-26 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种提高静电悬浮加速度计标度因数一致性的设计方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2096326B (en) * | 1981-04-06 | 1984-08-15 | Secr Defence | Force-balance pendulum accelerometers |
| US4584885A (en) * | 1984-01-20 | 1986-04-29 | Harry E. Aine | Capacitive detector for transducers |
| US4679434A (en) * | 1985-07-25 | 1987-07-14 | Litton Systems, Inc. | Integrated force balanced accelerometer |
-
1990
- 1990-02-20 CA CA002010437A patent/CA2010437A1/en not_active Abandoned
- 1990-02-22 EP EP90630050A patent/EP0390721A1/en not_active Withdrawn
- 1990-02-27 IL IL93543A patent/IL93543A0/xx unknown
- 1990-02-28 JP JP2049167A patent/JPH0341366A/ja active Pending
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|---|---|---|---|---|
| KR20020065446A (ko) * | 2002-07-16 | 2002-08-13 | 김선두 | 건강 팬티 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0390721A1 (en) | 1990-10-03 |
| CA2010437A1 (en) | 1990-08-31 |
| IL93543A0 (en) | 1990-11-29 |
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