JP2023518451A - センサの電気的特性を感知するための測定システムおよび関連技術 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title abstract description 78
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 claims description 117
- 239000000090 biomarker Substances 0.000 claims description 63
- 230000027455 binding Effects 0.000 claims description 34
- 238000009739 binding Methods 0.000 claims description 34
- 239000012491 analyte Substances 0.000 claims description 23
- 101710193519 Glial fibrillary acidic protein Proteins 0.000 claims description 12
- 210000005046 glial fibrillary acidic protein Anatomy 0.000 claims description 12
- 102000011425 S100 Calcium Binding Protein beta Subunit Human genes 0.000 claims description 11
- 108010023918 S100 Calcium Binding Protein beta Subunit Proteins 0.000 claims description 11
- 102100025038 Ubiquitin carboxyl-terminal hydrolase isozyme L1 Human genes 0.000 claims description 11
- 101710186825 Ubiquitin carboxyl-terminal hydrolase isozyme L1 Proteins 0.000 claims description 11
- OPQRFPHLZZPCCH-PGMHBOJBSA-N [(z)-[5-chloro-1-[(2,5-dichlorophenyl)methyl]-2-oxoindol-3-ylidene]amino] acetate Chemical compound C12=CC=C(Cl)C=C2C(=N/OC(=O)C)/C(=O)N1CC1=CC(Cl)=CC=C1Cl OPQRFPHLZZPCCH-PGMHBOJBSA-N 0.000 claims description 11
- 101100508070 Drosophila melanogaster ich gene Proteins 0.000 claims description 10
- 208000029028 brain injury Diseases 0.000 claims description 8
- 208000035473 Communicable disease Diseases 0.000 claims description 7
- 206010040047 Sepsis Diseases 0.000 claims description 7
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 7
- 208000015181 infectious disease Diseases 0.000 claims description 7
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 7
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 3
- 102100039289 Glial fibrillary acidic protein Human genes 0.000 claims 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 12
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 12
- 239000000306 component Substances 0.000 description 39
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 description 20
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 19
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 16
- 210000001124 body fluid Anatomy 0.000 description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 12
- 102000053171 Glial Fibrillary Acidic Human genes 0.000 description 9
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 4
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 4
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 4
- 238000001363 water suppression through gradient tailored excitation Methods 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 3
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 3
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 208000030886 Traumatic Brain injury Diseases 0.000 description 2
- 239000010839 body fluid Substances 0.000 description 2
- 150000005829 chemical entities Chemical class 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 150000002632 lipids Chemical class 0.000 description 2
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 2
- 239000006250 one-dimensional material Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 2
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 2
- 150000003384 small molecules Chemical class 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000009529 traumatic brain injury Effects 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 NFL-1) Proteins 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 208000027418 Wounds and injury Diseases 0.000 description 1
- 125000003172 aldehyde group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000000427 antigen Substances 0.000 description 1
- 102000036639 antigens Human genes 0.000 description 1
- 108091007433 antigens Proteins 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000012503 blood component Substances 0.000 description 1
- 230000006931 brain damage Effects 0.000 description 1
- 231100000874 brain damage Toxicity 0.000 description 1
- 150000001720 carbohydrates Chemical class 0.000 description 1
- 235000014633 carbohydrates Nutrition 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 210000001175 cerebrospinal fluid Anatomy 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 201000010099 disease Diseases 0.000 description 1
- 208000037265 diseases, disorders, signs and symptoms Diseases 0.000 description 1
- 230000009881 electrostatic interaction Effects 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 208000014674 injury Diseases 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N molybdenum disulfide Chemical compound S=[Mo]=S CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052982 molybdenum disulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000003097 mucus Anatomy 0.000 description 1
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 1
- 102000039446 nucleic acids Human genes 0.000 description 1
- 108020004707 nucleic acids Proteins 0.000 description 1
- 150000007523 nucleic acids Chemical class 0.000 description 1
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 1
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 description 1
- 102000004196 processed proteins & peptides Human genes 0.000 description 1
- 210000003296 saliva Anatomy 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 210000002966 serum Anatomy 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 210000001138 tear Anatomy 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- ITRNXVSDJBHYNJ-UHFFFAOYSA-N tungsten disulfide Chemical compound S=[W]=S ITRNXVSDJBHYNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000002700 urine Anatomy 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/414—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
- G01N27/4146—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS involving nanosized elements, e.g. nanotubes, nanowires
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/48—Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
- G01N33/483—Physical analysis of biological material
- G01N33/487—Physical analysis of biological material of liquid biological material
- G01N33/48707—Physical analysis of biological material of liquid biological material by electrical means
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- G01N27/60—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrostatic variables, e.g. electrographic flaw testing
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Immunology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Hematology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Urology & Nephrology (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
センサの電気的特性を感知するシステム、装置、および方法が一般に提供される。本明細書に記載される測定装置は、センサの電気的特性を感知する際に感度を向上させるための技術を採用する。いくつかの態様において、本明細書に記載の測定装置は、センサの電気的特性を感知するときに測定システムのコンポーネントにおいて発生する電流ノイズの影響を低減するように構成され得る。本明細書に記載される技法により、測定装置に大型のセンス抵抗器を設けることが容易になり、これにより、システムの感度を向上させることができる。いくつかの態様において、そのような技術はまた、電気的特性を感知するときに測定装置と接地との間のセンサの接続を容易にして、静電気放電(ESD)のような過電圧事象に対する保護を改善することができる。
Description
(関連出願)
本出願は、2020年3月18日に出願され、「Measurement Systems and Associated Techniques for Sensing Electrical Characteristics of a Sensor」と題された米国仮出願第62/991,515号の35 U.S.C. §119(e)に基づく優先権を主張するものであり、この出願の内容全体が参照により本明細書に組み込まれる。
本出願は、2020年3月18日に出願され、「Measurement Systems and Associated Techniques for Sensing Electrical Characteristics of a Sensor」と題された米国仮出願第62/991,515号の35 U.S.C. §119(e)に基づく優先権を主張するものであり、この出願の内容全体が参照により本明細書に組み込まれる。
本出願は、一般に、1つ以上のセンサの電気的特性を感知するためのシステム、装置、および方法に関し、より詳細には、体液の特徴を検出するための電気的特性を感知するのに適したシステム、装置、および方法に関する。
センサは、体液の1つ以上の特徴を検出するために用いられ得る。特徴を検出する1つの方法は、センサに接続され、センサの電気的特性を感知することができる測定回路を使用することである。しかし、いくつかのセンサは、対象の分析物に対して望ましくないほど低い感度を有する。その結果、測定回路に供給される信号が弱すぎて、特徴の検出に訳に立たない場合がある。したがって、測定回路の改善が必要である。
センサ、関連するコンポーネント、および関連する方法について一般的に説明する。
本開示のいくつかの実施形態は、センサの電気的特性を感知するための装置に関するものである。この装置は、前記センサに接続するように構成されたセンス抵抗器と、第1の入力部、第2の入力部、および出力部を有する第1増幅器であって、前記第2の入力部と前記出力部との間に前記センス抵抗器が接続されている、第1増幅器と、第2増幅器と、を備えてもよく、前記第2増幅器は、前記第1増幅器の前記出力部に接続された第1の入力部と、前記第1増幅器の前記第1の入力部に接続された第2の入力部と、前記センサの前記電気的特性を示す電圧を供給するように構成された出力部と、を有してもよい。
いくつかの実施形態において、前記電気的特性は、前記センサのコンダクタンスを含んでもよい。
いくつかの実施形態において、前記センサは、ナノワイヤセンサを含んでもよい。
いくつかの実施形態において、前記装置は、ナノワイヤセンサをさらに備えてもよく、前記ナノワイヤセンサは、前記コンダクタンスが前記ナノワイヤセンサの表面における1つ以上の分析物の存在を示すように構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記ナノワイヤセンサの表面は、脳損傷のバイオマーカーに対する結合エンティティを有してもよい。
いくつかの実施形態において、前記ナノワイヤセンサの表面は、バイオマーカーに対する結合エンティティを有し、前記バイオマーカーは、GFAP、UCH-L1、S100β、ICH、およびNFL-1からなる群から選択されてもよい。
いくつかの実施形態において、前記ナノワイヤセンサの表面は、1つ以上の感染症病原体のバイオマーカーに対する結合エンティティを有してもよい。
いくつかの実施形態において、前記ナノワイヤセンサの表面は、敗血症のバイオマーカーに対する結合エンティティを有してもよい。
いくつかの実施形態において、前記装置は、前記センス抵抗器および前記第1増幅器を備えるトランスインピーダンス増幅器(TIA)をさらに備えてもよく、前記TIAは、前記センサを流れる電流を示すセンス電圧を生成するように構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記第2増幅器は、計装用増幅器(instrumentation amplifier)、差動増幅器(difference amplifier)、および演算増幅器(operational amplifier)からなる群の少なくとも1つの部材を備えてもよい。
いくつかの実施形態において、前記TIAは、単一の集積回路パッケージに含まれてもよい。
いくつかの実施形態において、前記TIAが複数のディスクリートコンポーネント(discrete components)を有してもよい。
いくつかの実施形態において、前記複数のディスクリートコンポーネントは、電界効果トランジスタ(FET)を含んでもよい。
本開示のいくつかの実施形態は、プリント回路基板(PCB)を備えるシステムに関する。前記プリント回路基板は、上記の装置と、前記装置の上に実装された少なくとも1つの電気コネクタと、を有し、前記電気コネクタは、前記装置を前記センサに電気的に接続するように構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記電気コネクタが、前記装置を前記センサに取り外し可能に接続するように構成されていてもよい。
本開示のいくつかの実施形態は、センサの電気的特性を感知するための装置に関する。この装置は、第1の入力部と出力部とを有するセンス増幅器であって、前記出力部において前記電気的特性を示す電圧を生成するように構成されたセンス増幅器と、トランスインピーダンス増幅器(TIA)と、を備えてもよく、前記TIAは、前記センス増幅器の前記第1の入力部に接続された第1の入力部と、前記センサと接続するように構成された第2の入力部と、を有してもよい。
いくつかの実施形態において、前記電気的特性は、前記センサのコンダクタンスを含んでもよい。
いくつかの実施形態において、前記センサは、ナノワイヤセンサを含んでもよい。
いくつかの実施形態において、前記装置は、ナノワイヤセンサをさらに備えてもよく、前記ナノワイヤセンサは、前記コンダクタンスが前記ナノワイヤセンサの表面における1つ以上の分析物の存在を示すように構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記ナノワイヤセンサの表面は、バイオマーカーに対する結合エンティティを有してもよい。
いくつかの実施形態において、前記バイオマーカーは、脳損傷のバイオマーカーであってもよい。
いくつかの実施形態において、前記ナノワイヤセンサの表面は、バイオマーカーに対する結合エンティティを有し、前記バイオマーカーは、GFAP、UCH-L1、S100β、ICH、およびNFL-1からなる群から選択されてもよい。
いくつかの実施形態において、前記バイオマーカーは、1つ以上の感染症病原体のバイオマーカーであってもよい。
いくつかの実施形態において、前記バイオマーカーは、敗血症のバイオマーカーであってもよい。
いくつかの実施形態において、前記TIAは、前記センス増幅器の第2の入力部と電気的に接続された出力部を有してもよく、前記TIAは、前記TIAの前記出力部において、前記センサを通る電流を示すセンス電圧を生成するように構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記TIAは、前記TIAの前記第1の入力部において入力電圧信号を受信し、前記TIAの前記第2の入力部を介して前記センサに前記入力電圧信号を印加するようにさらに構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記TIAは、前記TIAの前記第1の入力部と前記TIAの前記出力部との間に電気的に接続されたセンス抵抗器をさらに備え、前記電流が前記センス抵抗器を通って流れるときに前記センス電圧を生成するように構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記センス増幅器は、計装用増幅器、差動増幅器、および演算増幅器からなる群の少なくとも1つの部材を備えてもよい。
本開示のいくつかの実施形態は、プリント回路基板(PCB)を備えるシステムに関する。前記プリント回路基板は、上記の装置と、前記プリント回路基板の上に実装された少なくとも1つの電気コネクタと、を有し、前記電気コネクタは、前記センサと電気的に接続するように構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記電気コネクタが、前記センサに取り外し可能に接続するように構成されていてもよい。
本開示のいくつかの実施形態は、センサの電気的特性を感知するシステムに関する。このシステムは、前記センサに交流(AC)電圧を供給するように構成されたトランスインピーダンス増幅器(TIA)と、前記センサと接地との間を流れる電流を検出することに応答して、前記電気的特性を示す電圧を生成するように構成されたセンス増幅器と、を備えてもよい。
いくつかの実施形態において、前記TIAは、0.1Hzと1kHzとの間の周波数を有するAC電圧源から前記AC電圧を受信するように構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記TIAは、500Hzから700Hzの間の周波数を有するAC電圧源から前記AC電圧を受信するように構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記TIAは、600Hzの周波数を有するAC電圧源から前記AC電圧を受信するように構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記電気的特性は、前記センサのコンダクタンスを含んでもよい。
いくつかの実施形態において、前記センサは、ナノワイヤセンサを含んでもよい。
いくつかの実施形態において、ナノワイヤセンサをさらに備えてもよく、前記ナノワイヤセンサは、前記コンダクタンスが前記ナノワイヤセンサの表面における1つ以上の分析物の存在を示すように構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記ナノワイヤセンサは、少なくともいくつかの分析物が前記ナノワイヤセンサの表面に配置されるとき、0.5MΩより大きいインピーダンスを生成するように構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記ナノワイヤセンサは、少なくともいくつかの分析物が前記ナノワイヤセンサの表面に配置されるとき、50MΩより大きいインピーダンスを生成するように構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記ナノワイヤセンサが、少なくともいくつかの分析物が前記ナノワイヤセンサの表面に配置されるとき、75MΩより大きいインピーダンスを生成するように構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記ナノワイヤセンサは、少なくともいくつかの分析物が前記ナノワイヤセンサの表面に配置されるとき、100MΩより大きいインピーダンスを生成するように構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記ナノワイヤセンサの表面は、バイオマーカーに対する結合エンティティを有してもよい。
いくつかの実施形態において、前記バイオマーカーは、脳損傷のバイオマーカーであってもよい。
いくつかの実施形態において、前記ナノワイヤセンサの表面は、バイオマーカーに対する結合エンティティを有してもよく、前記バイオマーカーは、GFAP、UCH-L1、S100β、ICH、およびNFL-1からなる群から選択されてもよい。
いくつかの実施形態において、前記バイオマーカーは、1つ以上の感染症病原体のバイオマーカーであってもよい。
いくつかの実施形態において、前記バイオマーカーは、敗血症のバイオマーカーであってもよい。
いくつかの実施形態において、前記TIAの入力部は、前記電流を受信するように構成されてもよく、前記TIAの出力部は、前記センス増幅器にセンス電圧を供給するように構成されていてもよい。
いくつかの実施形態において、前記TIAは、前記電流がセンス抵抗器を通って流れるときに前記センス電圧を生成するように構成されたセンス抵抗器をさらに備えてもよい。
いくつかの実施形態において、前記センス増幅器は、計装用増幅器、差動増幅器、および演算増幅器からなる群の少なくとも1つの部材を備えてもよい。
いくつかの実施形態において、前記システムは、プリント回路基板(PCB)をさらに備えてもよく、前記プリント回路基板は、前記TIAと、センス増幅器と、前記プリント回路基板の上に実装された少なくとも1つの電気コネクタと、を有し、前記電気コネクタは、前記センサと電気的に接続するように構成されていてもよい。
本願の他の利点及び特徴は、添付の図と合わせて考慮すると、本願の様々な非限定的な実施形態の以下の詳細な説明から明らかになるであろう。本願と、参照により組み込まれる文献とが、矛盾する及び/又は整合しない開示を含む場合、本願が支配的であるものとする。参照により組み込まれる2つ以上の文献が、互いに関して矛盾する及び/又は整合しない開示を含む場合、より遅い発効日を有する文献が支配的であるものとする。
本発明の非限定的な実施形態は、添付の図を参照して例示的に説明されるが、これらは概略的なものであり、縮尺通りに描かれることを意図していない。これらの図において、図示された同一またはほぼ同一の構成要素のそれぞれは、典型的には、単一の数字によって表される。明確にするために、すべての図においてすべての構成要素が符号付け(ラベリング)されているわけではなく、また、当業者が本発明を理解するために図示が必要でない場合には、本発明の各実施形態のすべての構成要素が示されているわけでもない。
センサの電気的特性を感知するシステム、装置、および方法が一般に提供される。本明細書に記載される測定装置は、センサの電気的特性を感知する際の感度を向上させるように構成され得る。
いくつかの態様において、本明細書に記載のセンサは、バイアス信号(例えば、電圧)がセンサに印加されると、センサの環境を示す信号を生成するように構成されてもよい。例えば、信号は、センサの電気的特性を示してもよい。一例として、ナノワイヤセンサは、バイアス電圧がナノワイヤセンサに印加されたときに電流を生成し、その電流が、ナノワイヤセンサの環境に従って変化し得るナノワイヤセンサのインピーダンスを示すようにしてもよい。このようなセンサが体液に近接して配置されると、センサのインピーダンスは、センサに近接する体液中の1つまたは複数の分析物の存在を示すことができる。本明細書に記載のセンシングシステムの例示的な用途には、外傷性脳損傷などの疾患、病状、又は傷害のバイオマーカーを検出することが含まれる。例えば、ナノワイヤセンサの1つ以上の表面は、以下でより詳細に説明するように、その表面上にバイオマーカーに対する結合エンティティ(binding entity)を有してもよい。結合エンティティは、例えば、共有結合、非共有結合、及び/又は同様の結合などによって、ナノワイヤセンサの表面に結びついている。
しかし、このようなセンサからの信号は、典型的には非常に小さく(例えば、10ピコアンペア(pA)と1マイクロアンペア(μA)との間)、センサからのデータを使用できるようにするためには、非常に感度の高い測定システムが必要とされる。例えば、システムの感知された信号に対する感度が不十分である場合、ノイズ、歪み、および/または他の要因による干渉が感知された信号を打ち消し、干渉に打ち勝って信号を識別することができなくなる可能性がある。したがって、そのような測定システムの感度を高めて、非常に小さな信号であっても検出することが望まれる。
測定システムの感度を向上させるには、課題がある。例えば、非常に小さな電流を感知する場合、システム内の測定装置の感度を高める方法の1つは、大きなセンス抵抗器(sense resistor)を使用し、感知された電流を示す大きなセンス電圧を生成することである。しかし、大きなセンス抵抗器は、システム内で発生する電流ノイズがセンス経路に入り込んで感知した電流に加算された場合でも電圧を発生する。その結果、センス抵抗器で発生するセンス電圧の多くは、信号ではなく、ノイズに対応する。用途によっては、ノイズが加わることで、大きなセンス抵抗器による感度の向上が損なわれてしまう。同様の課題が、センサが交流(AC)信号を用いてバイアスされる場合に生じる。測定システムの寄生容量がセンス経路に非線形インピーダンスを生成し、電気的特性を決定するシステムの能力に影響を与えるセンス電圧に歪みを加えるからである。
本明細書に記載されるいくつかの態様において、本発明者らは、センサの電気的特性を感知する際に測定システムのコンポーネントによって発生する電流ノイズおよび歪みの影響を低減する測定装置を実現するための技術を開発した。いくつかの実施形態において、センサの電気的特性を感知するための装置は、第1増幅器および第2増幅器を備えてもよい。第2増幅器は、第1増幅器の入力部および出力部にそれぞれ接続された(複数の)入力部を有する。センス抵抗器は、第1増幅器の第2の入力部と第1増幅器の出力部との間に接続されてもよく、第2増幅器の出力部は、センサの電気的特性を示す電圧を提供(出力)するように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、センサの電気的特性を感知するための装置は、その出力部において電気的特性を示す電圧を生成するように構成されたセンス増幅器と、センス増幅器の入力部に接続された第1の入力部およびセンサに接続するように構成された第2の入力部を有するトランスインピーダンス増幅器(TIA)とを備えてもよい。本発明者らは、このような増幅器相互接続構成によって、センス経路がさらされる電流ノイズの量を制限することなどにより、システムにおける電流ノイズの影響が低減されることを見出した。また、このような構成は、測定装置がより大きなセンス抵抗器を備えることを容易にし、これにより、システムの感度が高められる。
本明細書に記載された技術によると、AC信号に対する歪みの影響が低減されるので、感知(センシング)のための交流(AC)バイアス信号の使用を容易にすることもできる。いくつかの実施形態では、センサの電気的特性を感知するためのシステムは、交流(AC)電圧をセンサに供給するように構成されたTIAと、センサと接地(ground)との間を流れる電流を検出することに応答して電気的特性を示す電圧を生成するように構成されたセンス増幅器とを備えることができる。さらに、本明細書に記載の技術は、測定装置と接地との間にセンサを接続することを容易にして、静電気放電(ESD)などの過電圧事象に対する保護を改善することもできる。センサがESDエネルギーを接地へ逃がし、ESD事象の影響を制限するように構成され得るからである。
図を参照すると、図1は、いくつかの実施形態による、センサの電気的特性を感知するための例示的なシステム100を示す。図1において、システム100は、コントローラ102、測定装置104、及びセンサ106を備え、これらは、電気的に相互接続されていることが示されている。いくつかの実施形態では、センサ106は、1つ以上の体液の近傍に配置されてもよく、センサ106の電気的特性は、体液の1つ以上の特徴に応じて変化してもよい。例えば、電気的特性は、センサ106のインピーダンス(及び/又はアドミタンス、コンダクタンス等)を含んでもよい。一例では、センサ106のインピーダンスは、センサ106に近接する1つ以上の分析物の存在を示すことができる。例えば、センサ106は、その上にバイオマーカーに対する結合エンティティを有するナノワイヤセンサを有してもよい。測定装置104は、センサ106の電気的特性を感知し、電気的特性の表示をコントローラ102に提供するように構成されてもよい。上記の例では、コントローラ102は、電気的特性を分析して分析物(1つまたは複数)の存在を決定するように構成されてもよい。
いくつかの実施形態において、コントローラ102は、測定装置104に1つ以上のバイアス信号(例えば、電圧及び/又は電流)を提供する(送る)ように構成されたバイアス回路を有してもよい。測定装置104は、バイアス信号(1つまたは複数)を(例えば、直接的又は間接的に)センサ106に印加し、センサ106にバイアス信号を印加することに応答してセンサ106の電気的特性を感知するように構成されてもよい。例えば、センサ106のインピーダンスを決定するために、測定装置104は、センサ106の両端に(across sensor)電圧を印加し、センサ106を通過する電流を感知してもよい。測定装置104は、感知された電気的特性の表示を、分析のためにコントローラ102に提供するようにさらに構成されてもよい。例えば、測定装置104は、センサ106を通過する電流を表す信号をコントローラ102に提供してもよい。この信号は、センサ106のインピーダンスを示している。この例では、コントローラ102は、オームの法則を用いてセンサ106のインピーダンスを決定してもよい。コントローラ102は、インピーダンスに基づいて、センサ106に近接している分析物があるかどうか、又はセンサ106に近接している分析物がいくつあるかについても決定してもよい。
いくつかの実施形態において、測定装置104は、コントローラ102からのバイアス信号(1つまたは複数)に基づいて電圧および/または電流を生成し、バイアス信号(1つまたは複数)ではなく、生成された電圧および/または電流をセンサ106に供給するように構成され得ることを理解されたい。さらに、いくつかの実施形態において、システム100は、バイアス信号(1つまたは複数)を提供するように構成された第1のコントローラと、測定装置104から感知された電気的特性の表示を受信し処理するように構成された第2のコントローラを備えてもよいことを理解されたい。
いくつかの実施形態において、コントローラ102、測定装置104、及びセンサ106は、同じ回路基板(例えば、プリント回路基板)上及び/又は同じハウジング内に配置されるなど、一緒にパッケージ化されてもよい。あるいは、いくつかの実施形態では、コントローラ102及び/又は測定装置104は、センサ106とは別個にパッケージングされてもよい。例えば、コントローラ102及び測定装置104は、第1の回路基板上に配置され、及び/又は第1の集積回路パッケージ内に収容されてもよく、センサ106は、第2の回路基板上に配置され、及び/又は第2の集積回路パッケージ内に収容されてもよい。例えば、この例では、コントローラ102及び測定装置104をその上に有する回路基板は、測定装置104及び/又はコントローラ102をセンサ106に電気的に接続するための相補的な電気コネクタを受け入れるように構成された電気コネクタを有してもよい。
図2は、いくつかの実施形態による、システム100に備えられ得る例示的なナノワイヤセンサ206を示す。ナノワイヤ220の端子に接続された電極210、230を有するセンサ206が示されている。したがって、電圧が電極210、230に印加されると、電圧はナノワイヤ220の端子間に印加される。例えば、電圧は、図1に関連して説明した方法で、測定装置104によって供給されてもよい。様々な実施形態によれば、印加される信号は、DC電圧及び/又は電流、並びにAC電圧及び/又は電流を含んでもよい。
いくつかの実施形態において、センサ206の端子のうちの1つは、DC電圧及び/又はAC電圧が参照されるDC接地基準、及び/又は他方の端子に印加されるAC信号が動作するDC電圧基準などの接地に接続されてもよい。本発明者らは、センサ206の端子を接地することで、ESD事象などの過電圧事象に対する保護が改善されることを見出した。例えば、センサ206の端子を接地することによって、ESD電荷を逃がす(散逸させる)経路がもたらされる。これにより、高電圧(例えば、キロボルト(kV)のオーダー)の蓄積を防止し、ESD事象の影響を低減することができる。
いくつかの実施形態では、センサ206のナノワイヤ220は、1つ又は複数の体液の近傍に配置され、それによって体液(1つまたは複数)中の分析物の有無がナノワイヤ220のインピーダンスに影響を与えるようにしてもよい。例えば、分析物が存在すると、ナノワイヤ220のインピーダンスを低下させ得る。その結果、ナノワイヤ220は、より多くの分析物がナノワイヤ220に近接している場合、より少ない分析物が存在する場合よりも、電極210、230間により高い電流を流すことができる。いくつかの実施形態では、ナノワイヤセンサ206は、少なくともいくつかの分析物がナノワイヤセンサ206の表面に配置される場合、0.5MΩより大きいインピーダンスを生成するように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、ナノワイヤセンサ206は、少なくともいくつかの分析物がナノワイヤセンサ206の表面に配置される場合、50MΩより大きいインピーダンスを生成するように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、ナノワイヤセンサ206は、少なくともいくつかの分析物がナノワイヤセンサ206の表面に配置される場合、75MΩより大きいインピーダンスを生成するように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、ナノワイヤセンサ206は、少なくともいくつかの分析物がナノワイヤセンサ206の表面に配置される場合、100MΩより大きいインピーダンスを生成するように構成されてもよい。
いくつかの実施形態では、ナノワイヤ220の1つ以上の表面は、バイオマーカーに対する結合エンティティを有してもよい。例えば、結合エンティティは、共有結合によってナノワイヤ220の表面に結びついていてもよい。あるいは、結合エンティティは、非共有結合(例えば、吸着による)などの、非共有結合及び/又は親和性によって表面に結びついていてもよい。いくつかの用途において、バイオマーカーは、外傷性脳損傷に関連してもよい。いくつかのそのような実施形態では、ナノワイヤは、脳損傷のバイオマーカーに対する結合エンティティを有してもよい。様々な実施形態によれば、バイオマーカーは、グリア線維性酸性タンパク質(GFAP)、UCH-L1、S100β、ICH、又はNFL-1、小分子及び/又は脂質であってもよい。したがって、GFAP、UCH-L1、S100β、ICH、NFL-1及び/又は他の適切なバイオマーカーのうちの1つ以上に対する1つ以上の結合エンティティが、ナノワイヤの表面に存在してもよい。いくつかの実施形態では、1つ以上のバイオマーカーに対する複数の結合エンティティが、ナノワイヤ220の1つ以上の表面、及び/又は測定システムにおける同一又は複数のセンサの複数のナノワイヤの表面に結合されてもよい。例えば、一組の実施形態では、第1のナノワイヤ又は第1のナノワイヤのセットは、GFAP、UCH-L1、S100β、ICH、およびNFL-1の1つに対する第1の結合エンティティを有し、第2のナノワイヤ又は第2のナノワイヤのセットは、GFAP、UCH-L1、S100β、ICH、NFL-1の1つに対する第2の結合エンティティを有している。いくつかの実施形態では、第1の結合エンティティと第2の結合エンティティとは異なり、異なるバイオマーカーに結合し得る。他の構成も可能である。結合、結合エンティティ、バイオマーカー、および他の構成要素の例は、「Sensor System and Methods」と題された2019年12月23日出願の米国出願第62/953,140号に記載されており、その全体がすべての目的のために参照により本明細書に組み込まれる。
いくつかの実施形態では、本明細書に記載のセンサ及び/又はナノワイヤは、脳損傷に関連するバイオマーカー以外のバイオマーカーに対する1つ以上の結合エンティティを有してもよい。例えば、そのような結合エンティティ及び/又はバイオマーカーは、感染症剤に関連するバイオマーカー、敗血症のバイオマーカー、又は他の任意の適切なバイオマーカーを含んでもよい。
本明細書に記載されるセンサは、様々な流体中の様々な分析物を感知するのに適している場合がある。いくつかの実施形態では、流体は体液である。センサは、ヒトの体液中及び/又はヒト以外の、動物の体液中の分析物を感知するのに適していてもよい。好適な体液の非限定的な種類として、血液の種類(例えば、静脈全血、毛細血管全血)、血液の成分(例えば、血漿、血清)、尿、唾液、涙、及び/又は脳脊髄液が挙げられる。体液は、例えば、指刺し(finger stick)によって得ることができる。いくつかの実施形態では、体液は、少なくとも一部の咽頭又は鼻の粘液が緩衝液に移され、緩衝液中で培養された咽頭又は鼻の拭い液を含んでもよい。
いくつかの実施形態では、本明細書に記載されるセンサは、静電相互作用を介して流体中の分析物を検知することができる。例として、帯電した分析物は、ナノワイヤおよび/またはその上に配置されたブロッキング層に静電吸着(electrostatic attraction)され得る。この静電吸着により、分析物は、ナノワイヤおよび/またはブロッキング層上に堆積され得る。いくつかの実施形態では、分析物は、荷電生体高分子および/または荷電生体小分子(small molecule)などの荷電分子(帯電した分子)(charged molecule)である。好適な分析物(例えば、荷電分析物)の非限定的な例としては、タンパク質(例えば、GFAP、UCH-L1、S100β、ICH、NFL-1)、ペプチド、核酸(例えば、DNA、RNA、PNA)、脂質、炭水化物、小分子および上記の誘導体などが挙げられる。
センサの電気的特性が感知されると、電極210、230の間に一定の電圧が(例えば、測定装置104によって)印加されてもよい。これにより、ナノワイヤ220を通る電流の変化は、主に、ナノワイヤ220に近接する分析物の有無または分析物の数に依存する。測定装置104は、図1に関連して説明したように、ナノワイヤ220を通る電流を感知し、コントローラ102に電流の表示を提供するように構成されてもよい。
センサのさらなる例を図6-図8に示す。例えば、図6は、基板922の表面層2022上に配置された電極122及びナノワイヤ222を備えるナノワイヤセンサ606の一例を示している。センサ606は、絶縁層5022(例えば、電気絶縁層)及びワイヤボンディング組成物6022をさらに備える。絶縁層5022は、周囲環境から電極122を絶縁させるように構成されてもよい。ワイヤボンディング組成物6022は、一対の電極122の各電極の一部上に配置されるように図示されている。ワイヤボンディング組成物6022は、電極122と測定装置104との間の電気的接続を容易にするように構成されてもよい。
図6に示すように、ワイヤボンディング組成物6022は、電極122における電極材料上に直接配置されてもよい。また、ワイヤボンディング組成物と電極材料との間に1つ以上の介在成分が存在するように、ワイヤボンディング組成物を電極上に配置することも可能である。例えば、電極材料とワイヤボンディング組成物との間の接続を容易にする導電性材料など、電極材料上に配置された導電性材料上にワイヤボンディング組成物が配置されてもよい。この目的に適した導電性材料の一例としては、チタンと金との合金が挙げられる。電極における電極材料の一部上にワイヤボンディング組成物が直接配置され、電極材料の異なる部分上には、パッシベーション層が直接配置されている場合、電極における電極材料は、電極材料上に配置されているパッシベーション層の一部を除去することによって、ワイヤボンディング組成物と接触するために露出され得る。これは、例えば、本明細書の他の箇所に記載されるフォトリソグラフィ技術を用いることによって達成され得る。
いくつかの実施形態では、センサ606の1つ以上のコンポーネントの表面化学は、対象とする1つ以上の分析物との望ましい相互作用を促進するように変更され得る。例えば、1種類以上の分子が、ナノワイヤ222の表面に結合されてもよい。そのような分子は、対象とする分析物と結合するように構成されたものを含んでもよい(例えば、対象となる抗原に対する抗体を含んでいてもよい)。対象分子は、共有結合によってナノワイヤに結合されてもよい。いくつかの実施形態では、ナノワイヤへの対象分子の共有結合は、シラン誘導体の使用によって促進されてもよい。対象分子と結合するのに適した官能基(例えば、一級アミノ基などのアミノ基、アルデヒド基、エポキシ基)を含むシラン誘導体を、ナノワイヤに共有結合させてもよい。次に、対象分子は、シラン誘導体との結合を促進するために任意に活性化された後、シラン誘導体と反応してそれと共有結合を形成することができる。いくつかの実施形態では、センサ製造時の後の方で行われるステップの1つとして、及び/又は対象分子が分解され得るステップの後(例えば、任意のフォトリソグラフィーステップの後、任意のエッチングステップの後)に、複数のナノワイヤの表面化学を変更することが有利であり得る。
いくつかの実施形態では、ブロッキング層は、センサ606の1つ以上のコンポーネント上に形成されてもよい。ブロッキング層は、これらのコンポーネントとセンサの外部の環境との間に位置してもよい。いくつかの実施形態では、ブロッキング層は、センサの外部の環境の1つ以上の成分(例えば、分析される1つ以上の試料および/またはその中の1つ以上の分析物などの1つ以上の成分)との相互作用を媒介する。例えば、ブロッキング層は、試料および/またはその中の成分とセンサの1つ以上のコンポーネント(例えば、その中の複数のナノワイヤ)との非特異的相互作用を低減することができる。この目的に適したブロッキング層は、対象分析物以外のサンプル成分(例えば、タンパク質)と容易に結合しない材料から形成され、および/または、そのような材料を含んでもよい。別の例として、ブロッキング層は、センサの1つ以上のコンポーネント(例えば、その中の複数のナノワイヤ)を用いて分析される試料による静電遮蔽(electrostatic charge screening)を低減してもよい。
ブロッキング層は、様々な好適なプロセスによってセンサに導入され得る。好適なプロセスの一例は、ブロッキング層の成分を含む溶液をセンサおよび/またはその1つ以上のコンポーネント上に分散させ、次いで、溶液が配置されたセンサを培養(incubate)してブロッキング層の成分とセンサおよび/またはセンサのコンポーネントとの間の結合を可能にすることを含む。
ブロッキング層が存在する場合、ブロッキング層は、センサの1つ以上の離散的な部分上に配置されてもよく、またはセンサのかなりの部分を覆うコーティングを形成してもよい(例えば、ブロッキング層は、外部の環境と電気的に連通していないセンサの部分のすべて、または大部分を覆ってもよい)。図7は、ブロッキング層7024をさらに備えるセンサ706の一例を示している。ブロッキング層7024は、電極124を電気的に連通させるナノワイヤ224の上方に配置されるが、センサの他の部分には存在しない。
いくつかの実施形態では、電極は、図6-7に関連して本明細書の他の箇所で説明されるように、センサの他の場所に配置されてもよい。例として、センサは、バックゲート電極、ウォーターゲート電極(water gate electrode)、および/または接地電極をさらに備えてもよい。これらの電極が存在する場合、これらの電極は、(例えば、本明細書の他の箇所で説明されるような)フォトリソグラフィプロセスによって形成されてもよい。これらは、単一の工程で実行されてもよいし、別々の工程によって製造されてもよい。これらの電極(1つまたは複数)を形成するために採用される工程は、任意の適切な時点に実行されてもよい。いくつかの実施形態では、これらの電極の1つ以上は、1対または複数対の電極の形成と同時に形成されてもよい。例えば、本明細書の他の箇所に記載されるような1対の電極を形成するために採用されるフォトリソグラフィプロセスは、1対の電極が形成されるべき位置からのフォトレジストの除去と同時にこれらの電極が形成されるべき位置からフォトレジストを除去することも含み、1対の電極の形成材料の堆積と同時にこのプロセスによって露出した基板の部分にこれらの電極の形成材料を堆積することも含むことによって、1以上のさらなる電極を形成することを含んでもよい。
図8は、バックゲート電極8026、ウォーターゲート電極9026、及び接地電極10026と同様に電極126を含むセンサ806の非限定的な一実施形態を示している。そのような追加の電極が存在する場合、そのような電極は、センサの外部の環境に直接さらされてもよく、および/または、そのような電極の上にパッシベーション層および/または電気絶縁層が配置されていなくてもよい。他の実施形態では、1つ以上のパッシベーション層および/または電気絶縁層が、これらの電極の1つ以上とその外部の環境との間に位置してもよい。
いくつかの実施形態では、バックゲート電極、ウォーターゲート電極、および/または接地電極は、(例えば、表面層の代わりに)基板のバルクを形成する材料と直接接触するように、基板(例えば、基板926)上に配置されてもよい。例として、いくつかの実施形態では、電極(例えば、バックゲート電極)は、基板のうち表面層がエッチングされた部分上に堆積される。特定の理論に拘束されることを望まないが、バックゲート電極が、基板のバルクを形成する材料と直接接触するように基板上に配置されることは有利であると考えられる。この配置は、バックゲート電極によって提供されるゲーティングの一貫性を高め、複数のナノワイヤのドライゲーティング(dry gating)を可能にし、および/またはバルク基板を接地するための容易な方法を提供することができると考えられる。
システム100に戻ると、図3は、いくつかの実施形態によれば、システム100に備えられ得る例示的なコントローラ302を示す。コントローラ302は、バイアス回路310および処理回路320を備えるように示されている。バイアス回路310は、センサの電気的特性を感知するために、測定装置104に1つ以上のバイアス信号を提供するように構成されてもよい。処理回路320は、電気的特性を示す測定装置104からの信号を受信し、受信した信号から電気的特性を決定するように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、処理回路320は、バイアス回路310によって生成されるべきバイアス信号(1つまたは複数)を示す制御信号をバイアス回路310に提供することなどにより、バイアス回路310が提供するよう構成されるバイアス信号(1つまたは複数)を設定するよう構成されてもよい。いくつかの実施形態では、処理回路320は、測定装置104及び/又はバイアス回路310を介して受信されたフィードバックを用いて、バイアス回路310によって生成されるべきバイアス信号(1つまたは複数)を調整するように構成されてもよい。
いくつかの実施形態では、バイアス回路310は、バイアス信号(1つまたは複数)を生成するように構成された1つ以上の交流(AC)及び/又は直流(DC)電圧源を備えてもよい。いくつかの実施形態では、バイアス回路310は、バイアス信号としてDC電圧を生成するように構成されたバッテリ及び/又は電圧レギュレータを備えてもよい。例えば、バイアス回路310は、DC電圧を測定装置104に直接供給してもよい。代替的または追加的に、バイアス回路310は、矩形波および/またはランプ波などのDC電圧を使用してAC波形を生成するように構成された変調回路を有してもよい。いくつかの実施形態では、バイアス回路は、バイアス信号としてAC波形を生成するように構成された局部発振器などのAC電圧源を有してもよい。例えば、AC波形は、局部発振器の出力から直接生成されてもよいし、局部発振器の出力を混合、フィルタリング、積分、又は他の方法で調整することによって生成されてもよい。いくつかの実施形態では、バイアス回路310は、0.1Hzと1kHzとの間の周波数を有するAC信号を生成するように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、バイアス回路310は、500Hzと700Hzとの間の周波数を有するAC信号を生成するように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、バイアス回路310は、600Hzの周波数を有するAC信号を生成するように構成されてもよい。
いくつかの実施形態では、バイアス回路310は、デジタル―アナログ変換(DAC)回路及び/又は増幅回路を含んでもよい。例えば、バイアス回路310は、デジタルAC波形(例えば、方形波など)を生成し、AC波形をアナログAC波形(例えば、正弦波および/または三角波など)として測定装置104に提供するように構成されてもよい。代替的または追加的に、バイアス回路310は、低電圧レベル(例えば、ミリボルトオーダー)でバイアス信号を生成し、バイアス信号を増幅してから、増幅されたバイアス信号を測定装置104に提供するように構成されてもよい。
いくつかの実施形態において、処理回路320は、測定装置104から受信した信号に基づいてセンサの電気的特性を決定するように構成されてもよい。例えば、信号は、センサを通過する電流を示すものであってもよく、処理回路320は、センサを通過する電流のレベルを決定するように構成されてもよい。代替的または追加的に、処理回路320は、決められた電流のレベルを使用するなどして、センサのインピーダンスを決定するように構成されてもよい。例えば、センサに印加された電圧を決定された電流のレベルで割る(除算する)ように構成されてもよい。例えば、処理回路320は、センサに印加される電圧の値を(例えば、メモリ、レジスタなどに)記憶するように構成されてもよく、及び/又は、バイアス信号(1つまたは複数)を生成するためにバイアス回路310に提供される設定を用いて値を算出してもよい。いくつかの実施形態では、処理回路320は、メモリ、レジスタ、ラッチ、フリップフロップ、及び/又は他の記憶媒体における記憶された命令及び/又は他の値を使用するなど、電気的特性を決定するように構成された1以上のプロセッサ(例えば、マイクロプロセッサ、縮小命令セットプロセッサなど)及び/又はデジタル論理回路(例えば、フィールドプログラマブルゲートアレイ、特定用途向け集積回路など)を含んでもよい。
いくつかの実施形態では、処理回路320は、アナログ/デジタル変換(ADC)回路及び/又は増幅回路を有し得る。例えば、処理回路320は、測定装置104から電気的特性を示す信号をアナログ信号として受信するように構成されてもよく、一方、処理回路320は、処理回路320のプロセッサ(1つまたは複数)及び/又はデジタル論理回路を用いるなど、デジタルドメインにおいて電気的特性を決定するように構成されてもよい。代替的または追加的に、処理回路320の増幅回路は、測定装置104から受信した信号を、電気的特性を決定するのに適した電圧レベルまで増幅するように構成されてもよい。
複数のコントローラを有するいくつかの実施形態では、第1のコントローラは、バイアス回路310を有してもよく、第2のコントローラは、処理回路320を有してもよい。第1のコントローラは、バイアス回路310によって生成されるべきバイアス信号(1つまたは複数)を設定するためなどの、いくつかの処理回路も含んでもよい。いくつかの実施形態では、バイアス回路310は、第1の集積回路パッケージに含まれてもよく、処理回路320は、第2の集積回路パッケージに含まれてもよい。例えば、これらの2つの集積回路パッケージは、同じPCB上に配置される。いくつかの実施形態では、バイアス回路310及び処理回路320は、単一の集積回路パッケージに含まれてもよい。
本発明者らは、センサを介して受信された信号における少なくとも一部の電磁ノイズの影響を低減および/または緩和するように構成された測定装置を開発した。これにより、センサの電気的特性を感知するように構成されたシステムの感度を向上させることができる。いくつかの態様において、本発明者らは、測定装置の感度が、センサ内、測定装置に接続されたシステムのコンポーネント内、さらには測定装置自体の内部などの、システム内で発生する電磁ノイズによって低下する可能性があることを見出した。一例では、センサに接続するように構成された測定装置の増幅器は、センサを介して受信された信号に重畳され得る電流ノイズなどの入力参照ノイズを発生し得る。その結果、センサからの信号は、増幅器によって生じたノイズを克服するのに十分な信号電力を有する必要があった。したがって、センサの電気的特性を感知する測定装置の能力に影響を与え、それによってシステムの感度を低下させる。増幅器で発生するノイズのレベルは、いくつかの用途、例えば比較的低いインピーダンス(例えば、1Ω)としての電流検出経路および感知されるべき信号が比較的大きい(例えば、μAのオーダーなど)用途には、許容可能なレベルである。
同様に、電流検出経路のインピーダンスが静電容量を含む場合、センサがDC信号でバイアスされ、電気的特性を示すセンサからの信号が少なくとも実質的にDCであるとき、静電容量はほとんど影響を及ぼさない。しかし、電流検出経路のインピーダンスが比較的高い場合(例えば、0.5MΩ、50MΩ、75MΩ、100MΩ、またはそれよりも高い場合)、および/または検出される信号が非常に小さい場合(例えば、pAのオーダー)、これ以外の点では許容可能なレベルのノイズがはるかに高い影響を与える。同様に、AC信号がセンサにバイアスをかけ、電気的特性を示すセンサからの信号がそれに対応してACである場合、比較的小さな寄生容量(たとえばpFのオーダー)であっても、その影響で感知した信号のノイズレベルが増加することがある。
本明細書に記載される測定装置は、測定装置のコンポーネント、センサ、及び/又は他のシステムのコンポーネントによって発生する電磁ノイズの影響を低減及び/又は緩和するように、測定装置のコンポーネントを配置及び/又は相互接続することによって、少なくとも部分的に上記問題に対処し得る。
図4は、いくつかの実施形態によれば、システム100に備えられ得る例示的な測定装置404を示す。測定装置404は、トランスインピーダンス増幅器(TIA)410およびセンス増幅器430を備えるように示されている。TIA410の第1の入力部は、コントローラ102の出力部に接続されるとともに、センス増幅器430の第1の入力部にも接続される。TIA410の第2の入力部は、TIA410の出力部、センサ106、およびセンス増幅器430の第2の入力部に接続される。センス増幅器430の出力部は、コントローラ102に接続される。いくつかの実施形態において、TIA410は、コントローラ102のバイアス回路から1つ以上のバイアス信号を受信し、バイアス信号を用いてセンサ106にバイアス電圧及び/又は電流を印加するように構成されてもよい。センス増幅器430は、TIA410およびセンサ106を介して信号を受信し、コントローラ102に接続された出力部においてセンサ106の電気的特性を示す信号を生成するように構成されてもよい。
本発明者らは、センス増幅器で発生する電流ノイズや歪みなどの干渉が、センサから受信した信号に干渉する可能性があることを見出した。例えば、センス増幅器の入力端子が、センサから電流を受け取るセンス抵抗器の両端に接続される場合、センス増幅器で発生する電流ノイズが、センサからの電流にノイズとして加わる可能性がある。さらに、システムのコンポーネントの寄生容量が、受信信号を歪ませるセンス経路に非線形インピーダンスを付加することがある。この問題に対処するために発明者らが開発した1つの技術は、センス増幅器430からの電流ノイズがその入力部の間のループで流れないように、センス増幅器430の入力部をTIA410の入力部に接続させることである。さらに、センス増幅器430の寄生容量がセンス経路から分離され、センシングされた信号に加えられる歪みの量を制限している。その結果、測定装置404の構成は、センス増幅器430で発生する電流ノイズがセンサ106から受信した信号に与える影響を低減させる。いくつかの実施形態では、寄生容量からの歪みの影響が大きく緩和されるため、測定装置404は、センサ106にAC電圧を与えるように構成されてもよい。図示された構成はまた、センサ106の端子を接地することを容易にし、したがって、本明細書で説明するように、過電圧事象に対する保護を改善することができる。
増幅器410及び/又は430は、増幅器410及び/又は430が差動信号を生成及び出力するように構成されている実施形態のように、複数の出力部を含んでもよいことを理解されたい。また、いくつかの実施形態において、測定装置404は、センサ106に差動信号を印加するように構成された実施形態、及び/又はセンサ106をバイアスすることに加えてセンサ106に接地基準を印加するように構成された実施形態において、センサ106の複数の端子に接続されてもよいことを理解されたい。
いくつかの実施形態において、TIA410は、単一の集積回路パッケージに含まれ得る。代替的に又は追加的に、いくつかの実施形態では、センス増幅器430は、単一の集積回路パッケージに含まれてもよい。いくつかの実施形態において、TIA410及びセンス増幅器430をそれぞれ含む集積回路パッケージは、同じPCB上に配置されてもよい。いくつかの実施形態では、TIA410およびセンス増幅器430は、同じ集積回路パッケージに含まれてもよい。いくつかの実施形態では、TIA410及び/又はセンス増幅器430のコンポーネントは、ディスクリート電界効果トランジスタ(FET)などのディスクリートコンポーネントであってよい。
図5は、いくつかの実施形態による、測定装置404に備えられ得る例示的なTIA510及びセンス増幅器530の回路図である。TIA510は、増幅器512およびセンサ素子(sensing element)520を備えるように示され、センス増幅器530は、増幅器532を備えるように示されている。TIA510の増幅器512は、第1の入力部514、第2の入力部516、および出力部518を有する。センス増幅器530の増幅器532は、増幅器512の出力部518に接続された第1の入力部534、増幅器512の第1の入力部514に接続された第2の入力部536、および出力部538を有する。センサ素子520は、増幅器512の第2の入力部516と出力部518との間に接続されたセンス抵抗器522およびセンスコンデンサ524を含む。いくつかの実施形態では、増幅器512の入力部514および/または増幅器532の出力部538は、コントローラ102に接続するように構成され得る。例えば、いくつかの実施形態では、TIA510、センス増幅器530、およびコントローラ102の少なくとも一部は、単一のPCB上に配置されてもよく、これによって、PCB上の導電性トレースがTIA510および/またはセンス増幅器530をコントローラ102に接続してもよい。増幅器512の第2の入力部516は、センサ106に接続するように構成されてもよい。例えば、いくつかの実施形態では、増幅器512の第2の入力部516は、センサ106の相補的な電気コネクタに取り外し可能に接続するために構成された電気コネクタに接続されてもよい。一例では、電気コネクタは、互いに繰り返し及び/又は非永久的に、接続及び分離するように構成されてもよい。
TIA510の増幅器512は、センサ106にバイアスをかけるように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、増幅器512は、集積回路(例えばそれ自身の集積回路パッケージ内に配置された集積回路など)を含んでもよい。いくつかの実施形態では、センサ素子520は、増幅器512と同じ集積回路パッケージ内に配置されてもよい。いくつかの実施形態では、増幅器512のコンポーネントは、1つ以上のディスクリートFETを含むなど、ディスクリートであってもよい。増幅器512の第1の入力部514は、コントローラ102からバイアス信号を受信するように構成されてもよい。第2の入力部516は、バイアス信号を用いてセンサ106にバイアスをかけるように構成されてもよい。例えば、図示のように、増幅器512の出力部518は、センサ素子520を介して第2の入力部516に接続され、これによって、増幅器512は、第2の入力部516における電圧を第1の入力部514における電圧に引き込む(pull)ように構成されてもよい。その結果、増幅器512は、受信したバイアス信号の電圧に実質的に等しい電圧をセンサ106に印加することができる。
センサ素子520は、第2の入力部516を介してセンサ106から信号を受信し、センス電圧を生成するように構成されてもよい。例えば、第2の入力部516は、センサ106に印加されるバイアス電圧に応答してセンサ106を流れる電流を受信してもよい。受信した電流は、センサ素子520の両端にセンス電圧を生じ得る。したがって、増幅器512の第2の入力部516は、センサを通る電流を示すセンス電圧を生成するように構成されたTIA510の出力部として機能することができる。
いくつかの実施形態において、センサ素子520は、DC及び/又は印加されたバイアス信号の周波数(例えば、0.1Hzと1kHzとの間、500Hzと700Hzとの間、600Hz等)において、少なくとも1μV/pA、例えば5μV/pA以上のトランスインピーダンス利得を提供するように構成されてもよい。様々な実施形態によれば、センス抵抗器522は、0.1MΩと75MΩとの間、例えば0.25MΩと50MΩとの間、1MΩと25MΩとの間、25MΩと50MΩとの間などの抵抗を有してもよい。センス抵抗器522及び/又はセンスコンデンサ524の代わりに、他のインピーダンス要素が設けられ及び/又は使用されてもよいことを理解されたい。
センス増幅器530の増幅器532は、TIA410及びセンサ106を介してセンス電圧を受信するように構成されてもよい。いくつかの実施形態において、センス増幅器530は、演算増幅器、計装用増幅器、及び/又は差動増幅器などの増幅器を含んでもよい。いくつかの実施形態では、増幅器532のコンポーネントは、ディスクリートFETを含むなど、ディスクリートであってもよい。増幅器532の第1の入力部534及び第2の入力部536は、センサ106からの電流の受信に応答してセンサ素子520によって生成されたセンス電圧を受信するように構成されてもよい。例えば、第1の入力部534は、増幅器512の出力部518及びセンサ素子520に接続され、第2の入力部536は、増幅器512の入力部514に接続される。図5に示すように、第2の入力部516は、第1の入力部514でコントローラ102から受信した電圧と実質的に同じ電圧をセンサ106に与えるように構成される。したがって、増幅器532の第2の入力部536は、あたかも第2の入力部536が第2の入力部516およびセンサ素子520に接続されたかのように、実質的に同じ電圧を受ける。さらに、第2の入力部536が第1の入力部514に接続されているので、本明細書に記載されるように、増幅器532において発生する電流ノイズ(例えば、入力バイアス電流)が、センサ106を介して受信される信号に及ぼす影響を緩和することができる。増幅器530は、コントローラ102に提供するために、出力部538において電気的特性を示す信号を生成するように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、増幅器532は、入力部534、536で受信された信号を設定された利得パラメータによって増幅し、出力部538において増幅された信号を生成するように構成されてもよい。例えば、図5に示すように、増幅器532の利得(gain)は、利得設定入力RGの間に抵抗を接続することによって設定されてもよい。
いくつかの実施形態において、TIA510は、コントローラ102から受信した同じバイアス信号をセンサの端子に印加するように構成されてもよいことを理解されたい。あるいは、バイアス信号の電圧とは異なる電圧がセンサに印加され得るように、分圧器および/またはダイオードが、第2の入力部516と出力部518との間に接続されてもよい。例えば、印加される電圧は、電圧のオフセットを有してもよく、及び/又はバイアス信号の電圧に比例してもよい。
いくつかの実施形態において、TIA510および/またはセンス増幅器530とコントローラ102とは、異なるPCB上および/または異なる筐体内に配置されてもよいことを理解されたい。代替的にまたは追加的に、いくつかの実施形態では、TIA510および/またはセンス増幅器530は、1つ以上の電気コネクタを使用してコントローラ102に接続されてもよい。代替的にまたは追加的に、いくつかの実施形態では、第2の入力部516は、1つ以上のPCB上の導電性トレースなどの他の手段によってセンサ106に接続されてもよい。
図9は、いくつかの実施形態による、測定装置の出力における電圧のSNRと、測定装置がセンサの両端に印加される電圧VAPPLとのグラフ900である。測定装置は、図5に関連して本明細書で説明した方法で構成されたコンポーネントを有する。測定装置は、図2に関連してセンサ206について本明細書で説明した方法で構成されたセンサを備えるシステム内に配置された。測定システムに内在するノイズを評価するために、センサ206のナノワイヤ220は、指示されている抵抗値を有する薄膜抵抗器によってモデル化された。
図9に示すように、測定装置は、10mVRMSと100mVRMSとの間の電圧VAPPLを(TIA510の入力部516を介して)センサ206に印加した。センサ206への電圧VAPPLの印加に応答して、測定装置は、(センス増幅器530の出力部538において)出力電圧を生成した。出力電圧は、センサ206の検知された抵抗に対応し、信号内容およびノイズ内容を含有していた。信号内容は、センサの抵抗によって引き起こされる電圧を含み、ノイズ内容は、システム内のノイズによって引き起こされる電圧を含む。
出力電圧を24ビットADC回路でデジタル信号に変換し、そのデジタル信号に対してプロセッサでロックインアンプ処理を実行して出力電圧の振幅を算出することによって、出力電圧における信号内容とノイズ内容との比が決定された。出力電圧の振幅が算出されたら、信号の標準偏差を算出することで、出力電圧に含まれるノイズ内容が決定された。信号内容は、信号の平均値として計算された。図9に円形のドット(●)でラベル付けされた第1の測定セットにおいて、センサ206のナノワイヤ220は10MΩの指示抵抗(indicated resistance)を有していた。図9において三角形(▲)でラベル付けされた第2の測定セットにおいて、ナノワイヤ220は、1MΩの指示抵抗を有していた。
図9に示すように、測定装置は、1MΩの抵抗を有するセンサ206に印加される10mVRMSと100mVRMSとの間の電圧VAPPLに対して20,000を超えるSNRを達成した。測定装置は、10MΩの抵抗を有するセンサ206に印加された10mVRMSと100mVRMSとの間の電圧VAPPLに対して5,000を超えるSNRを達成した。これには、30mVRMSと100mVRMSとの間の電圧VAPPLに対して1万を超えるSNRと、100mVRMSの電圧VAPPLに対して2万を超えるSNRとが含まれていた。
本技術のいくつかの実施形態が本明細書で説明および図示されたが、当業者であれば、本明細書に記載された機能および/または結果および/または1つ以上の利点を実行するための様々な他の手段および/または構造を容易に予想し、そのような変形および/または修正の各々は、本願の範囲内にあるとみなされる。
例えば、アナログコンポーネントを有する測定装置が本明細書に記載されてきたが、デジタルコンポーネントが本明細書に記載される測定装置の代替または追加の部品として使用され得ることが理解されるべきである。また、本明細書では、増幅器のディスクリートFETコンポーネントについて説明したが、そのようなディスクリートコンポーネントは、様々な実施形態によれば、代替的に又は追加的に、バイポーラ型のコンポーネント及び/又は高電子移動度トランジスタを含むことができる。また、本明細書に記載された技術に従って使用され得るセンサの一例としてナノワイヤセンサが記載されたが、ナノチューブセンサなどの他のセンサが使用されてもよい。
例えば、一般に、複数のナノワイヤは、望ましい化学成分を有するナノワイヤを含む。一例として、ナノワイヤは、対象となる1つ以上の化学物質(例えば、対象分析物と望ましい相互作用を有する1つ以上の化学物質、および/または対象分析物と望ましい相互作用を有する分子とさらに反応できる化学物質)で官能化(functionalized)され得る材料から形成されてもよく、および/または、そのような材料を含んでもよい。別の例として、ナノワイヤは、望ましい電気伝導率および/または等価表面電位(equivalent surface potential)を有する材料から(例えば、半導体から、対象分析物に曝露されると電気伝導率が変化する材料から、および/または対象分析物に曝露されると等価表面電位が変化する材料から)形成されてもよく、および/または、そのような材料を含んでもよい。この特性を有する材料の非限定的な例としては、選択された元素(例えば、シリコン)、セラミック(例えば、窒化ガリウム、ヒ化ガリウム、酸化インジウム、リン化インジウム、二硫化モリブデン、二硫化タングステン)、ポリマー(例えば、半導体ポリマー)、一次元材料(例えば、カーボンナノチューブ、上記材料の1つ以上を含む一次元材料)、および二次元材料(例えば、グラフェン、上記材料の1つ以上を含む二次元材料)が挙げられる。いくつかの実施形態では、ナノワイヤは、単結晶の形態の上記材料のうちの1つ以上(例えば、単結晶シリコン)から形成され、および/またはそのような材料を含む。ナノワイヤおよびセンサのさらなる特徴は、「Sensor System and Methods」と題された2019年12月23日出願の米国出願第62/953,140号に記載されており、その全体がすべての目的のために参照により本明細書に組み込まれる。
より一般的には、当業者は、本明細書に記載された全てのパラメータ、寸法、材料、および構成が例示的であることを意味し、実際のパラメータ、寸法、材料、および/または構成が、特定の用途、または本開示の教示が用いられる用途に依存することを容易に理解するであろう。当業者は、本明細書に記載される技術の特定の実施形態に対する多くの等価物を認識するか、または日常的な実験以上のことを用いずに確認することができるであろう。したがって、前述の実施形態は例示としてのみ提示され、添付の特許請求の範囲およびその均等物の範囲内で、技術の態様は具体的に説明され、特許請求の範囲に記載されたものとは別の方法で実施され得ることが理解されるであろう。本出願は、本明細書に記載された個々の特徴、システム、物品、材料、キット、および/または方法に関する。さらに、そのような特徴、システム、物品、材料、キット、および/または方法が相互に矛盾しない場合、2つ以上のそのような特徴、システム、物品、材料、キット、および/または方法の任意の組み合わせが、本出願の範囲内に含まれる。
本明細書で定義され使用されるすべての定義は、辞書の定義、参照により組み込まれる文書における定義、および/または定義された用語の通常の意味よりも支配的である(control over)と理解されるべきである。
本明細書および特許請求の範囲で使用される不定冠詞「a」および「an」(1つの)は、明確に反対の指示がない限り、「少なくとも1つ」を意味すると理解されるべきである。
本明細書および特許請求の範囲で使用される「および/または」という文言は、そのように等位接続された要素の「いずれかまたは両方」、すなわち、ある場合には合接して(conjunctively)存在し、他の場合には離接して(disjunctively)存在する要素を意味すると理解されるべきである。「および/または」で列挙された複数の要素は、同様に、すなわち、そのように等位接続された要素の「1つ以上」を指すと解釈されるべきである。「および/または」節によって具体的に特定された要素以外に、具体的に特定された要素に関連するか否かにかかわらず、他の要素が任意に存在することができる。したがって、非限定的な例として、「Aおよび/またはB」という表現は、「含む、備える、有する(comprising)」などのオープンエンドの言語と組み合わせて使用される場合、ある実施形態では、Aのみ(任意にB以外の要素を含む)、別の実施形態では、Bのみ(任意にA以外の要素を含む)、さらに別の実施形態では、AおよびBの両方(任意に他の要素を含む)などを指すことができる。
本明細書および特許請求の範囲で使用されているように、「または」は、上記で定義された「および/または」と同じ意味を有すると理解されるべきである。例えば、リスト内の項目を区切る場合、「または」または「および/または」は、包括的であること、すなわち、複数の要素または要素のリストのうちの少なくとも1つの要素を含むが、1つよりも多い要素も含み、任意に、リストにない追加の項目も含むと解釈される。「の1つのみ」または「のまさに1つ」のような明確に反対を示す用語、または、特許請求の範囲で使用される場合の「からなる(consisting of)」は、複数の要素または要素のリストのうちのまさに1つの要素を含むことを指す。一般に、本明細書で使用される用語「または」は、「どちらか」、「の1つ」、「の1つのみ」、または「のまさに1つ」などの排他性の用語に先行される場合にのみ、排他的選択肢(すなわち「一方または他方であって両方ではない」)を示すものと解釈される。特許請求の範囲において使用される場合の「本質的にからなる」は、特許法の分野で使用される通常の意味を有する。
本明細書および特許請求の範囲で使用されるように、1つ以上の要素のリストに関して、「少なくとも1つ」という文言は、要素のリスト内の任意の1つ以上の要素から選択される少なくとも1つの要素を意味すると理解すべきであるが、必ずしも要素のリスト内に具体的にリストされた各々および全ての要素の少なくとも1つを含む必要はなく、要素のリスト内の任意の要素の組み合わせを除外しないものと理解すべきである。また、この定義では、「少なくとも1つ」という文言が言及する要素のリスト内で具体的に特定された要素以外の要素が、具体的に特定された要素に関連するか否かにかかわらず、任意に存在することができる。したがって、非限定的な例として、「AおよびBの少なくとも1つ」(または、同義的に、「AまたはBの少なくとも1つ」、または、同義的に「Aおよび/またはBの少なくとも1つ」)は、ある実施形態において、Bが存在しない(および、任意にB以外の要素を含む)場合の、少なくとも1つの(任意に複数の)Aを指し、別の実施形態では、Aが存在しない(および任意にA以外の要素を含む)場合の、少なくとも1つの(任意に複数の)Bを指し、さらに別の実施形態では、少なくとも1つの(任意に複数の)Aおよび少なくとも1つ(任意に複数の)B(および任意に他の要素を含む)を指すことなどが可能である。
また、明確に反対の指示がない限り、複数の工程または行為を含む本明細書で特許請求の範囲に記載の任意の方法において、方法の工程または行為の順序は、記載された方法の工程または行為の順序に必ずしも限定されないことが理解されるべきである。
特許請求の範囲において、上記明細書と同様に、「含む(備える、有する)(comprising)」、「含む(including)」、「運ぶ(carrying)」、「有する(having)」、「含む(containing)」、「含む(involving)」、「保持する(holding)」、「からなる(composed of)」等のすべての移行句は、オープンエンド、すなわち、包含するがこれに限定されないという意味に理解される。移行句「からなる(consisting of)」および「から本質的になる(consisting essentially of)」のみは、米国特許庁特許審査手続要覧のセクション2111.03に記載されているように、それぞれクローズドまたはセミクローズドの移行句である。
Claims (50)
- センサの電気的特性を感知する装置であって、前記装置は、
前記センサに接続するように構成されたセンス抵抗器と、
第1の入力部、第2の入力部、および出力部を有する第1増幅器であって、前記第2の入力部と前記出力部との間に前記センス抵抗器が接続されている、第1増幅器と、
第2増幅器と、を備え、
前記第2増幅器は、
前記第1増幅器の前記出力部に接続された第1の入力部と、
前記第1増幅器の前記第1の入力部に接続された第2の入力部と、
前記センサの前記電気的特性を示す電圧を供給するように構成された出力部と、を有する、装置。 - 前記電気的特性は、前記センサのコンダクタンスを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記センサは、ナノワイヤセンサを含む、請求項2に記載の装置。
- ナノワイヤセンサをさらに備え、
前記ナノワイヤセンサは、前記コンダクタンスが前記ナノワイヤセンサの表面における1つ以上の分析物の存在を示すように構成されている、請求項3に記載の装置。 - 前記ナノワイヤセンサの表面は、脳損傷のバイオマーカーに対する結合エンティティを有する、請求項4に記載の装置。
- 前記ナノワイヤセンサの表面は、バイオマーカーに対する結合エンティティを有し、
前記バイオマーカーは、GFAP、UCH-L1、S100β、ICH、およびNFL-1からなる群から選択される、請求項4記載の装置。 - 前記ナノワイヤセンサの表面は、1つ以上の感染症病原体のバイオマーカーに対する結合エンティティを有する、請求項4に記載の装置。
- 前記ナノワイヤセンサの表面は、敗血症のバイオマーカーに対する結合エンティティを有する、請求項4に記載の装置。
- 前記センス抵抗器および前記第1増幅器を備えるトランスインピーダンス増幅器(TIA)をさらに備え、前記TIAは、前記センサを流れる電流を示すセンス電圧を生成するように構成されている、請求項1に記載の装置。
- 前記第2増幅器は、計装用増幅器、差動増幅器、および演算増幅器からなる群の少なくとも1つの部材を備える、請求項1に記載の装置。
- 前記TIAは、単一の集積回路パッケージに含まれる、請求項1に記載の装置。
- 前記TIAが複数のディスクリートコンポーネントを有する、請求項1に記載の装置。
- 前記複数のディスクリートコンポーネントは、電界効果トランジスタ(FET)を含む、請求項12に記載の装置。
- プリント回路基板(PCB)を備え、前記プリント回路基板は、
請求項1に記載の装置と、
前記プリント回路基板の上に実装された少なくとも1つの電気コネクタと、を有し、
前記電気コネクタは、前記装置を前記センサに電気的に接続するように構成されている、システム。 - 前記電気コネクタが、前記装置を前記センサに取り外し可能に接続するように構成されている、請求項14に記載のシステム。
- センサの電気的特性を感知するための装置であって、前記装置は、
第1の入力部と出力部とを有するセンス増幅器であって、前記出力部において前記電気的特性を示す電圧を生成するように構成されたセンス増幅器と、
トランスインピーダンス増幅器(TIA)と、を備え、
前記TIAは、
前記センス増幅器の前記第1の入力部に接続された第1の入力部と、
前記センサと接続するように構成された第2の入力部と、を有する、装置。 - 前記電気的特性は、前記センサのコンダクタンスを含む、請求項16に記載の装置。
- 前記センサは、ナノワイヤセンサを含む、請求項17に記載の装置。
- ナノワイヤセンサをさらに備え、
前記ナノワイヤセンサは、前記コンダクタンスが前記ナノワイヤセンサの表面における1つ以上の分析物の存在を示すように構成されている、請求項18に記載の装置。 - 前記ナノワイヤセンサの表面は、バイオマーカーに対する結合エンティティを有する、請求項19に記載の装置。
- 前記バイオマーカーは、脳損傷のバイオマーカーである、請求項20に記載の装置。
- 前記ナノワイヤセンサの表面は、バイオマーカーに対する結合エンティティを有し、
前記バイオマーカーは、GFAP、UCH-L1、S100β、ICH、およびNFL-1からなる群から選択される、請求項19記載の装置。 - 前記バイオマーカーは、1つ以上の感染症病原体のバイオマーカーである、請求項20に記載の装置。
- 前記バイオマーカーは、敗血症のバイオマーカーである、請求項20に記載の装置。
- 前記TIAは、前記センス増幅器の第2の入力部と電気的に結合された出力部を有し、
前記TIAは、前記TIAの前記出力部において、前記センサを通る電流を示すセンス電圧を生成するように構成されている、請求項16に記載の装置。 - 前記TIAは、前記TIAの前記第1の入力部において入力電圧信号を受信し、前記TIAの前記第2の入力部を介して前記センサに前記入力電圧信号を印加するようにさらに構成されている、請求項25に記載の装置。
- 前記TIAは、前記TIAの前記第1の入力部と前記TIAの前記出力部との間に電気的に接続されたセンス抵抗器をさらに備え、電流が前記センス抵抗器を通って流れるときにセンス電圧を生成するように構成されている、請求項16に記載の装置。
- 前記センス増幅器は、計装用増幅器、差動増幅器、および演算増幅器からなる群の少なくとも1つの部材を備える、請求項16に記載の装置。
- プリント回路基板(PCB)を備え、前記プリント回路基板は、
請求項16に記載の装置と、
前記プリント回路基板の上に実装された少なくとも1つの電気コネクタと、
を有し、
前記電気コネクタは、前記センサと電気的に接続するように構成されている、システム。 - 前記電気コネクタが、前記センサに取り外し可能に接続するように構成されている、請求項29に記載のシステム。
- センサの電気的特性を感知するシステムであって、前記システムは、
前記センサに交流(AC)電圧を供給するように構成されたトランスインピーダンス増幅器(TIA)と、
前記センサと接地との間を流れる電流を検出することに応答して、前記電気的特性を示す電圧を生成するように構成されたセンス増幅器と、
を備える、システム。 - 前記TIAは、0.1Hzと1kHzとの間の周波数を有するAC電圧源から前記AC電圧を受信するように構成されている、請求項31に記載のシステム。
- 前記TIAは、500Hzから700Hzの間の周波数を有するAC電圧源から前記AC電圧を受信するように構成される、請求項31に記載のシステム。
- 前記TIAは、600Hzの周波数を有するAC電圧源から前記AC電圧を受信するように構成されている、請求項31に記載のシステム。
- 前記電気的特性は、前記センサのコンダクタンスを含む、請求項31に記載のシステム。
- 前記センサは、ナノワイヤセンサを含む、請求項35に記載のシステム。
- ナノワイヤセンサをさらに備え、
前記ナノワイヤセンサは、前記コンダクタンスが前記ナノワイヤセンサの表面における1つ以上の分析物の存在を示すように構成されている、請求項36に記載のシステム。 - 前記ナノワイヤセンサは、少なくともいくつかの分析物が前記ナノワイヤセンサの表面に配置されるとき、0.5MΩより大きいインピーダンスを生成するように構成されている、請求項37に記載のシステム。
- 前記ナノワイヤセンサは、少なくともいくつかの分析物が前記ナノワイヤセンサの表面に配置されるとき、50MΩより大きいインピーダンスを生成するように構成されている、請求項37に記載のシステム。
- 前記ナノワイヤセンサが、少なくともいくつかの分析物が前記ナノワイヤセンサの表面に配置されるとき、75MΩより大きいインピーダンスを生成するように構成されている、請求項37に記載のシステム。
- 前記ナノワイヤセンサは、少なくともいくつかの分析物が前記ナノワイヤセンサの表面に配置されるとき、100MΩより大きいインピーダンスを生成するように構成されている、請求項37に記載のシステム。
- 前記ナノワイヤセンサの表面は、バイオマーカーに対する結合エンティティを有する、請求項37に記載のシステム。
- 前記バイオマーカーは、脳損傷のバイオマーカーである、請求項42に記載のシステム。
- 前記ナノワイヤセンサの表面は、バイオマーカーに対する結合エンティティを有し、
前記バイオマーカーは、GFAP、UCH-L1、S100β、ICH、およびNFL-1からなる群から選択される、請求項37記載のシステム。 - 前記バイオマーカーは、1つ以上の感染症病原体のバイオマーカーである、請求項42に記載のシステム。
- 前記バイオマーカーは、敗血症のバイオマーカーである、請求項42に記載のシステム。
- 前記TIAの入力部は、前記電流を受信するように構成され、
前記TIAの出力部は、前記センス増幅器にセンス電圧を供給するように構成されている、請求項31に記載のシステム。 - 前記TIAは、前記電流がセンス抵抗器を通って流れるときに前記センス電圧を生成するように構成されたセンス抵抗器をさらに備える、請求項47に記載のシステム。
- 前記センス増幅器は、計装用増幅器、差動増幅器、および演算増幅器からなる群の少なくとも1つの部材を備える、請求項31に記載のシステム。
- プリント回路基板(PCB)をさらに備え、
前記プリント回路基板は、前記TIAと、センス増幅器と、前記プリント回路基板の上に実装された少なくとも1つの電気コネクタと、を有し、
前記電気コネクタは、前記センサと電気的に接続するように構成されている、請求項31に記載のシステム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US202062991515P | 2020-03-18 | 2020-03-18 | |
US62/991,515 | 2020-03-18 | ||
PCT/US2021/022539 WO2021188521A1 (en) | 2020-03-18 | 2021-03-16 | Measurement systems and associated techniques for sensing electrical characteristics of a sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023518451A true JP2023518451A (ja) | 2023-05-01 |
JPWO2021188521A5 JPWO2021188521A5 (ja) | 2024-03-28 |
Family
ID=77747737
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022556231A Pending JP2023518451A (ja) | 2020-03-18 | 2021-03-16 | センサの電気的特性を感知するための測定システムおよび関連技術 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210293776A1 (ja) |
EP (1) | EP4121750A4 (ja) |
JP (1) | JP2023518451A (ja) |
KR (1) | KR20230011273A (ja) |
AU (1) | AU2021237492A1 (ja) |
CA (1) | CA3171401A1 (ja) |
WO (1) | WO2021188521A1 (ja) |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4649736A (en) * | 1985-11-04 | 1987-03-17 | Itt Corporation | Moisture monitoring system |
CA2010437A1 (en) * | 1989-02-28 | 1990-08-31 | Winthrop H. Mcclure Iii | Electrostatic force nulling accelerometer |
US20040210289A1 (en) * | 2002-03-04 | 2004-10-21 | Xingwu Wang | Novel nanomagnetic particles |
JP5513761B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2014-06-04 | グンゼ株式会社 | バイオセンサが取り付けられる計測表示装置 |
AU2012262364B2 (en) * | 2011-05-27 | 2016-02-11 | Sequencing Health, Inc. | Systems and methods for genetic and biological analysis |
US9650670B2 (en) * | 2012-10-28 | 2017-05-16 | The Regents Of The University Of California | Capacitive feedback (transimpedance) amplifier |
US9983163B2 (en) * | 2013-04-30 | 2018-05-29 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Integrated electro-analytical biosensor array |
CN104508977B (zh) * | 2014-10-22 | 2017-06-06 | 索尔思光电(成都)有限公司 | 具有增大动态范围的跨阻放大器(tia)及其光器件 |
WO2016144266A1 (en) * | 2015-03-11 | 2016-09-15 | Agency For Science, Technology And Research | Method and circuit for providing an accurate voltage for electrochemical sensing |
US10054563B2 (en) * | 2015-03-31 | 2018-08-21 | Rge Smart Pte. Ltd. | Optoelectronic pixel sensor |
US10277180B2 (en) * | 2016-01-15 | 2019-04-30 | Honeywell International Inc. | Dual port transimpedance amplifier with separate feedback |
EP3339850B1 (en) * | 2016-12-21 | 2019-08-07 | Roche Diagnostics GmbH | Method and device for determining a concentration of at least one analyte |
US10862436B2 (en) * | 2017-05-04 | 2020-12-08 | Analog Devices International Unlimited Company | Sensor bias circuit for improved noise performance |
WO2019173220A1 (en) * | 2018-03-05 | 2019-09-12 | J. Craig Venter Institute, Inc. | System and method for wireless detection of oral health status |
-
2021
- 2021-03-16 JP JP2022556231A patent/JP2023518451A/ja active Pending
- 2021-03-16 EP EP21771170.4A patent/EP4121750A4/en active Pending
- 2021-03-16 AU AU2021237492A patent/AU2021237492A1/en active Pending
- 2021-03-16 KR KR1020227036195A patent/KR20230011273A/ko unknown
- 2021-03-16 US US17/203,425 patent/US20210293776A1/en active Pending
- 2021-03-16 CA CA3171401A patent/CA3171401A1/en active Pending
- 2021-03-16 WO PCT/US2021/022539 patent/WO2021188521A1/en active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP4121750A4 (en) | 2024-04-03 |
KR20230011273A (ko) | 2023-01-20 |
EP4121750A1 (en) | 2023-01-25 |
CA3171401A1 (en) | 2021-09-23 |
AU2021237492A1 (en) | 2022-10-06 |
US20210293776A1 (en) | 2021-09-23 |
WO2021188521A1 (en) | 2021-09-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240315 |
|
A621 | Written request for application examination |
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