JP4798520B2 - 垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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特に、情報を記録する役割を担う磁気記録層の下側に、磁気ヘッドから発生する磁束を通しやすい軟磁性裏打ち層と呼ばれる軟磁性膜を付与した二層垂直磁気記録媒体は、磁気ヘッドの発生磁界強度とその磁界勾配を増加させ、記録分解能を向上させるとともに磁気記録層からの漏洩磁束も増加させることから、高密度記録が可能な垂直磁気記録媒体として好適であることが知られている。
しかしながら、所望の記録分解能を実現するために必要な軟磁性裏打ち層は、磁束を効率的に集中するためには厚膜とする必要があり、記録に使用する磁気ヘッドによって最適値は変化するものの、概ね100nm以上の厚膜を形成する必要がある。膜厚を厚くする場合、軟磁性裏打ち層は表面粗さ(Ra)が高くなりやすく、その上に形成する磁気記録層の磁性結晶粒は配向分散が悪化する。この結果、磁気特性及び電磁変換特性の悪化を招く問題へと繋がっている。
今後要求される磁気記録媒体の性能を実現するためには、磁気記録層の性能をさらに向上することが必要であり、磁気記録層の劣化を招かず、かつ磁気記録ヘッドの磁束を効率的に補足する厚膜の軟磁性層を効率的に形成する方法が望まれている。
また、前記軟磁性裏打ち層の表面粗さは0.35nm以下であることが好ましい。
また、前記スパッター法がDCマグネトロンスパッタリング法であることが好ましい。
図1は本発明を適用する垂直磁気記録媒体の構成例を示す断面模式図である。垂直磁気記録媒体は、非磁性基体1の上に、第1シード層2、配向制御層3、反強磁性層4、軟磁性裏打ち層5、第2シード層6、非磁性下地層7、磁気記録層8、保護層9が順に形成された構造を有しており、更にその上に、液体潤滑剤層10が形成されている。
非磁性基体1としては、通常の磁気記録媒体用に用いられる、NiPメッキを施したAl合金や化学強化ガラス、結晶化ガラス等を用いることができる。また、基板加熱温度を100℃以内に抑える場合は、ポリカーボネイト、ポリオレフィン等の樹脂からなるプラスチック基板を用いることもできる。
軟磁性裏打ち層5としては、Zr、NbまたはTaの内の少なくとも一つの元素とCoとを含有するCo基の非晶質合金を用いる。例えばCoNbZr、CoTaZrなどを用いることにより良好な電磁変換特性を得ることが出来る。軟磁性裏打ち層5の膜厚は、記録に使用する磁気ヘッドの特性によって最適値が変化するが、10nm以上、300nm以下とすることが、生産性との兼ね合いから好ましい。
軟磁性裏打ち層の表面粗さRaは0.35nm以下が好ましい。
反強磁性層4は、軟磁性裏打ち層5との間に反強磁性交換結合を形成して軟磁性裏打ち層内の磁壁の形成を抑制するために備えることが好ましい層である。反強磁性層4としては、FeMn,CoMn,IrMnなどのMn系合金が好ましく用いられる。反強磁性層4の膜厚は特に制限されないが、適度な交換結合が得られ且つ、大量生産に適するためには2nmないし20nm程度が好ましい。
第1シード層2は、配向制御層3の結晶性及び配向性を向上するために備えることが好ましい層である。Taから形成することが特に好ましい。Ta膜の膜厚は、非晶質或いは非結晶となる20nm以下が好ましい。
非磁性下地層7は、磁気記録層8の結晶配向性、結晶粒径及び粒界偏析を好適に制御するために用いられる。材料としては、面心立方(fcc)構造あるいは六方最密充填(hcp)構造を有する単金属膜あるいは合金膜が好ましく、Ti、Ru、Pd、Ptやそれらを含む合金膜が好ましいが、それらに限定されない。非磁性下地層7の膜厚としては、磁気記録層8の構造制御を行なうのに必要最小限の膜厚とすることが、記録の面からは必要である。
磁気記録層8としては、CoCrPt系合金膜、結晶粒界にSiO2等の非磁性酸化物や窒化物を有するグラニュラー膜、さらに(Co/Pd)n等の多層積層膜等を用いる事ができる。
保護層9は、従来より使用されている保護膜を用いることができる。例えば、カーボンを主体とする保護膜を用いることができる。保護層9の膜厚等の条件は、通常の磁気記録媒体で用いられる諸条件をそのまま用いることができる。
また、液体潤滑剤層10も従来より使用されている材料を用いることができる。例えば、パーフルオロポリエーテル系の潤滑剤を用いることができる。液体潤滑剤層10の膜厚等の条件は、通常の磁気記録媒体で用いられる諸条件をそのまま用いることができる。
軟磁性裏打ち層の表面粗さは、基板温度ならびに成膜電力により影響を受ける。始めに、軟磁性裏打ち層まで形成して、この影響について検討した結果について説明する。
(実験例1)
非磁性基体1として表面が平滑な外径2.5インチの化学強化ガラス基板(HOYA社製N−5ガラス基板)を用い、これを洗浄後スパッタ装置内に導入し、非磁性基体1の加熱を行うことなくスパッター成膜を開始した。初めに、Taターゲットを用いてTa第1シード層2を膜厚5nmにて成膜し、引き続きNi12Fe3Bターゲット(ここで、数字は引き続く元素の原子%を表し、Feが12原子%、Bが3原子%、残余がNiであることを表す。以下同様である。)を用いてNiFeB配向制御層3を膜厚5nmにて成膜し、引き続きIr80Mnターゲットを用いてIrMn反強磁性層4を膜厚10nmにて成膜した後、Co5Zr8Nbターゲットを用いてCoZrNb軟磁性裏打ち層5を成膜した。成膜電力を0.1kW〜3.0kWまで変化させ、膜厚が150nmとなるように、成膜電力に応じて成膜時間を調整して成膜した。続いてランプヒータを用いて加熱を行い、基板表面温度を250℃まで上昇させた直後、1000Oeの固定磁場中で、150℃まで冷却を行った後、真空装置から取り出して軟磁性裏打ち層まで成膜した実験例1を得た。なお、各層の成膜はすべてArガス圧5mTorr下でDCマグネトロンスパッタリング法により行った。
(実験例2)
非磁性基体1を洗浄後スパッタ装置内に導入した後、Ta第1シード層2の成膜を開始する直前に、ランプヒータを用いて加熱を行い、非磁性基体1の表面温度を100℃まで上昇させたことを除いて、実験例1と同様にして成膜して実験例2を得た。
図2に、軟磁性裏打ち層の成膜電力を変化した場合の、軟磁性裏打ち層のRaの変化を示す。
実験例1、2ともに、軟磁性裏打ち層を形成する際の成膜電力の増加にともないRaは低下傾向を示し、成膜電力が0.5kW以上では略一定値を示す。非磁性基体の加熱を行った実験例2は、非加熱の実験例1に比べ高いRaとなり、非磁性基体の温度を上昇することによりRaが増大する。
低いRaを有する軟磁性裏打ち層は、非磁性基体の加熱は行うことなく、軟磁性裏打ち層を形成する際の成膜電力を0.5kW以上にすることにより得られる。成膜電力の上限は、3.0kWまでを確認した。
(比較例1)
非磁性基体1を洗浄後スパッタ装置内に導入した後、Ta第1シード層2の成膜を開始する直前に、ランプヒータを用いて加熱を行い、非磁性基体1の表面温度を100℃まで上昇させたことを除いて、実施例1と同様にして成膜して比較例1を得た。
図3に実施例1及び比較例1に関して、軟磁性裏打ち層の成膜電力に対するHcの値の変化を示し、図4に同試料の軟磁性裏打ち層の成膜電力に対するSNRの値の変化を示す。
実施例1及び、比較例1ともに、軟磁性裏打ち層を形成する際の成膜電力の増加にともない、Hc及びSNRともに増加傾向を示し、成膜電力0.5kW以上では略一定値を示す。非磁性基体の加熱を行った比較例1は、非加熱の実施例1に比べ、Hc及びSNRともに低い値を示す。実験例1、2にて確認した軟磁性裏打ち層の表面粗さRaの変化と対応した結果となる。
2 第1シード層
3 配向制御層
4 反強磁性層
5 軟磁性裏打ち層
6 第2シード層
7 非磁性下地層
8 磁気記録層
9 保護層
10 液体潤滑剤層
Claims (3)
- 非磁性基体、軟磁性裏打ち層、磁性結晶粒を有する磁気記録層を備えた垂直磁気記録媒体において、
前記軟磁性裏打ち層はZr、Nb、Taの内の少なくとも1元素を含有するCo基非晶質合金であり、
前記軟磁性裏打ち層の形成に先立って前記非磁性基体を加熱する工程を設けずに、前記軟磁性裏打ち層を0.5kW以上、3.0kW以下の成膜電力でスパッター法にて形成することを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。 - 前記軟磁性裏打ち層の表面粗さが0.35nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 前記スパッター法がDCマグネトロンスパッタリング法であることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
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