JP4798331B2 - 回折光学素子を作成する方法 - Google Patents
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Description
sqrt(1.5*3.5)=2.29。
上式で、1.5と3.5とは、パイレックス(登録商標)とシリコンとのそれぞれの屈折率である。したがって、2.29という理想的な屈折率に近い2.2という屈折率を二酸化チタン(TiO2)が有するので、二酸化チタンをAR材として選択する。そして、990nmの動作に関する二酸化チタンのARコーティング36の厚さを次のように計算する。
(990nm/4)/2.2=112.5nm。
当業者であれば、ARコーティング36の屈折率と厚さとをこれにしたがって調節できることが理解されるであろう。二酸化チタンのARコーティング36は、電子ビーム(e−ビーム)蒸着によって付着させることができる。
=(1.45−1)*2π*(5nm/990nm)*8
=0.1142
または、
t=(2π−0.1142)*990nm/〔(RIsi−RIAir)*2π*8〕
t=(2π−0.1142)*990nm/〔(3.5−1)*2π*8〕
t=48.6nm
は、はんだで接着させることができる。サブマウント82は、(たとえば、面発光型半導体レーザ(VCSEL)などの)光源86を含みうる。サブマウント82は、他の能動受動回路88を含みうる。
(990nm/〔(8*3.5−1.45)〕)=60.37nm。
合計のDOEスタックの厚さは次のように計算される。
〔990nm/(3.5−1.45)+5nm〕*8=523nm。
34 透明な基板
36 反射防止コーティング
50 DOE
51 反射防止コーティング
60 バリア層
62 シリコン基板
62A ボンディングリング
64 ボンディングパッド
66 フォトレジスト
67 エッチングウィンドウ
80 リッド
82 サブマウント
84 マイクロエレクトロニクスパッケージ
86 光源
88 能動受動回路
92 サブマウント
94 シリコン剤
96 光源
98 能動受動回路
142 SOI基板
144 シリコンデバイス層
145 窒化珪素層
146 酸化物絶縁体層
148 シリコンハンドル層
148A ボンディングリング
150 ARコーティング
160 酸化物平坦化層
170 バリア層
172 ボンディングパッド
174 エッチングマスク層
176 エッチングウィンドウ
190 ARコーティング
192 ARコーティング
194 リッド
240 エッチング停止層
242 シリコン基板
244 ARコーティング
248 ARコーティング
260 平坦化層
262 ボンディング層
270 透明な基板
271 バリア層
272 ボンディングパッド
274 フォトレジスト層
278 エッチングウィンドウ
280 リッド
390 モールド
392 シリコン基板
392A ボンディングリング
393 非共形二酸化シリコン層
394 レンズ層
394A 窒化物のDOE
395 ボンディングパッド
396 エッチングマスク層
398 透明な基板
400 エッチングウィンドウ
402 リッド
Claims (5)
- シリコン基板の第1の面上に回折光学素子のモールドを形成するステップと、
前記モールドの上にエッチング停止層を形成するステップと、
該エッチング停止層の上にレンズ層を形成するステップであって、該レンズ層は前記モールドに一致して前記回折光学素子を形成し、該レンズ層は赤外線から紫外線の間で選択された波長の光を透過するレンズ層を形成するものであるステップと、
前記レンズ層を平坦化するステップと、
前記レンズ層に透明な基板を接着するステップと、
前記シリコン基板の残りの部分がボンディングリングを形成するように、前記回折光学素子の反対側にあるシリコン基板の第2の面を前記エッチング停止層までエッチングするステップと
を含んでなる、回折レンズの製造方法。 - 前記レンズ層は、窒化珪素と二酸化珪素とを含むグループから選択される材料を含むものである請求項1に記載の方法。
- 前記透明な基板は、石英とパイレックス(登録商標)とサファイアとを含むグループから選択される材料を含むものである請求項1に記載の方法。
- 前記モールドを形成するステップは、
前記エッチング停止層を用いて分離された少なくとも2つのレンズ層を含むスタックを形成することと、
前記回折光学素子の層を形成するために前記スタックをパターン形成することと
をさらに含むものである請求項1に記載の方法。 - 前記ボンディングリング上にボンディングパッドを形成するステップと、
パッケージを形成するために該ボンディングリングにサブマウントを接着するステップと
をさらに含む請求項1に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/666444 | 2003-09-19 | ||
US10/666,444 US6947224B2 (en) | 2003-09-19 | 2003-09-19 | Methods to make diffractive optical elements |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005092219A JP2005092219A (ja) | 2005-04-07 |
JP4798331B2 true JP4798331B2 (ja) | 2011-10-19 |
Family
ID=34313116
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004271044A Expired - Fee Related JP4798331B2 (ja) | 2003-09-19 | 2004-09-17 | 回折光学素子を作成する方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6947224B2 (ja) |
JP (1) | JP4798331B2 (ja) |
CN (1) | CN1607403A (ja) |
DE (1) | DE102004028163A1 (ja) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7520679B2 (en) * | 2003-09-19 | 2009-04-21 | Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Optical device package with turning mirror and alignment post |
US6953990B2 (en) * | 2003-09-19 | 2005-10-11 | Agilent Technologies, Inc. | Wafer-level packaging of optoelectronic devices |
US20050063648A1 (en) * | 2003-09-19 | 2005-03-24 | Wilson Robert Edward | Alignment post for optical subassemblies made with cylindrical rods, tubes, spheres, or similar features |
US6982437B2 (en) * | 2003-09-19 | 2006-01-03 | Agilent Technologies, Inc. | Surface emitting laser package having integrated optical element and alignment post |
US20050063431A1 (en) * | 2003-09-19 | 2005-03-24 | Gallup Kendra J. | Integrated optics and electronics |
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US20080231600A1 (en) | 2007-03-23 | 2008-09-25 | Smith George E | Near-Normal Incidence Optical Mouse Illumination System with Prism |
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DE102008062977A1 (de) | 2008-12-23 | 2010-06-24 | Adc Automotive Distance Control Systems Gmbh | Optisches Modul mit multifokaler Optik zur Erfassung von Fern- und Nahbereich in einem Bild |
CN101846757A (zh) * | 2009-03-24 | 2010-09-29 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 微透镜及微透镜阵列 |
JP2012532356A (ja) | 2009-07-06 | 2012-12-13 | コンティ テミック マイクロエレクトロニック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 2つの有視範囲へ同時に集束するための光学モジュール |
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DE112011102968A5 (de) | 2010-11-30 | 2013-07-04 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Detektion von Regentropfen auf einer Scheibe mittels einer Kamera und Beleuchtung |
DE102011103302A1 (de) | 2011-06-03 | 2012-12-06 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Kamerasystem für ein Fahrzeug |
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DE102012103873A1 (de) | 2012-05-03 | 2013-11-21 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Detektion von Regentropfen auf einer Scheibe mittels einer Kamera und Beleuchtung |
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DE102017100997A1 (de) | 2017-01-19 | 2018-07-19 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Halbleiterlaser und Verfahren zur Herstellung eines solchen Halbleiterlasers |
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US11262644B1 (en) * | 2019-05-10 | 2022-03-01 | Facebook Technologies, Llc | Structured light projector with solid optical spacer element |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61138980A (ja) * | 1984-12-11 | 1986-06-26 | Ricoh Co Ltd | ホログラム格子板製造方法 |
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-
2003
- 2003-09-19 US US10/666,444 patent/US6947224B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-06-09 DE DE102004028163A patent/DE102004028163A1/de not_active Withdrawn
- 2004-09-17 JP JP2004271044A patent/JP4798331B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-09-20 CN CNA2004100780777A patent/CN1607403A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050063071A1 (en) | 2005-03-24 |
CN1607403A (zh) | 2005-04-20 |
DE102004028163A1 (de) | 2005-05-04 |
JP2005092219A (ja) | 2005-04-07 |
US6947224B2 (en) | 2005-09-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20070320 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20070409 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070409 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070719 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100514 |
|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101109 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110517 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110614 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110712 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110719 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140812 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |