JP4792821B2 - 固体撮像装置およびその製造方法 - Google Patents
固体撮像装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4792821B2 JP4792821B2 JP2005165231A JP2005165231A JP4792821B2 JP 4792821 B2 JP4792821 B2 JP 4792821B2 JP 2005165231 A JP2005165231 A JP 2005165231A JP 2005165231 A JP2005165231 A JP 2005165231A JP 4792821 B2 JP4792821 B2 JP 4792821B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- contact
- forming
- insulating film
- solid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
前記基板の第2面側に前記開口を介して前記第1コンタクトに接続するパッドを形成する工程と
を有する。
本発明の固体撮像装置によれば、基板の配線層とは反対側の面に大きな段差を生じることなくパッドが形成されていることにより、撮像特性および信頼性の向上を図った固体撮像装置を実現することができる。
(第1実施形態)
第2実施形態に係る固体撮像装置の製造方法について、図12を参照して説明する。
例えば、本実施形態で挙げた数値や材料は一例であり、これに限定されるものではない。例えば、本実施形態ではSOI基板300を用いる例について説明したが、通常のシリコン基板を用いても良い。例えば、第1実施形態において、第2コンタクトC2を形成した後に、第1コンタクトC1を形成してもよい。また、第2実施形態において、第2貫通孔CH2を形成した後に、第1貫通孔CH1を形成して、その後、第1貫通孔CH1および第2貫通孔CH2内に同時に第1コンタクトC1および第2コンタクトC2を形成してもよい。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
Claims (10)
- 基板の第1面側に配線層を有し、前記基板の第2面側から光を入射させる固体撮像装置の製造方法であって、
前記基板に光電変換素子および能動素子を形成する工程と、
前記基板の第1面側に、前記光電変換素子および前記能動素子を被覆する層間絶縁膜を形成する工程と、
前記層間絶縁膜を貫通して、前記基板の途中の深さまで達する第1コンタクトを形成する工程と、
前記層間絶縁膜上に配線層を形成する工程と、
前記配線層上に支持基板を貼り付ける工程と、
前記基板を前記第2面側から研磨して、前記基板を薄膜化する工程と、
前記基板の第2面側に前記第1コンタクトに達する開口を形成する工程と、
前記基板の第2面側に前記開口を介して前記第1コンタクトに接続するパッドを形成する工程と
を有する固体撮像装置の製造方法。 - 前記パッドを形成する工程の後に、前記基板の第2面側にカラーフィルタを形成する工程をさらに有する
請求項1記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記パッドを形成する工程の後に、前記基板の第2面側にオンチップレンズを形成する工程をさらに有する
請求項1記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記第1コンタクトを形成する工程は、
前記層間絶縁膜を貫通し、前記基板の途中の深さまで達する第1貫通孔を形成する工程と、
前記第1貫通孔に導電層を埋め込む工程と
を有する請求項1記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記層間絶縁膜を形成する工程の後、前記配線層を形成する工程の前に、前記層間絶縁膜中に第2コンタクトを形成する工程をさらに有する
請求項1記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記第1コンタクトおよび前記第2コンタクトを形成する工程は、
前記層間絶縁膜を貫通し、前記基板の途中の深さまで達する第1貫通孔を形成する工程と、
前記層間絶縁膜を貫通する第2貫通孔を形成する工程と、
前記第1貫通孔および前記第2貫通孔に前記導電層を埋め込んで、前記第1貫通孔内に第1コンタクトを形成し、前記第2貫通孔内に第2コンタクトを形成する工程と
を有する請求項5記載の固体撮像装置の製造方法。 - 基板の第1面側に配線層を有し、前記基板の第2面側から光を入射させる固体撮像装置であって、
前記基板に形成された光電変換素子および能動素子と、
前記基板の第1面側に形成され、前記光電変換素子および前記能動素子を被覆する層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に形成された複数階層の配線層と、
前記複数階層の配線層上に設けられた支持基板と、
前記層間絶縁膜および前記基板を貫通して形成され、前記複数階層の配線層のうち、光の入射側に最も近い配線層に接続するコンタクトと、
前記基板の第2面側に設けられ、前記コンタクトに接続するパッドと
を有する固体撮像装置。 - 前記光の入射側に最も近い配線層は、前記コンタクトと前記支持基板との間に介在し、当該コンタクトと接続されている
請求項7に記載の固体撮像装置。 - 前記光の入射側に最も近い配線層と前記コンタクトとは、当該コンタクトの支持基板側端面に接する第1絶縁膜中に形成されたプラグを介して接続されている
請求項8に記載の固体撮像装置。 - 前記コンタクトの前記第2面側の端面に接する第2絶縁膜を有し、
前記パッドは、当該第2絶縁膜に形成された開口を介して前記コンタクトの第2面側端面と接続されている
請求項7から9の何れか一項に記載の固体撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005165231A JP4792821B2 (ja) | 2005-06-06 | 2005-06-06 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005165231A JP4792821B2 (ja) | 2005-06-06 | 2005-06-06 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011131325A Division JP5229354B2 (ja) | 2011-06-13 | 2011-06-13 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006339566A JP2006339566A (ja) | 2006-12-14 |
JP4792821B2 true JP4792821B2 (ja) | 2011-10-12 |
Family
ID=37559828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005165231A Expired - Fee Related JP4792821B2 (ja) | 2005-06-06 | 2005-06-06 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4792821B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4659783B2 (ja) * | 2007-06-14 | 2011-03-30 | 富士フイルム株式会社 | 裏面照射型撮像素子の製造方法 |
KR20090128899A (ko) | 2008-06-11 | 2009-12-16 | 크로스텍 캐피탈, 엘엘씨 | 후면 조사 이미지 센서 및 그 제조방법 |
JP5268618B2 (ja) * | 2008-12-18 | 2013-08-21 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
KR101776955B1 (ko) | 2009-02-10 | 2017-09-08 | 소니 주식회사 | 고체 촬상 장치와 그 제조 방법, 및 전자 기기 |
JP5178569B2 (ja) * | 2009-02-13 | 2013-04-10 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置 |
KR101107627B1 (ko) * | 2010-02-22 | 2012-01-25 | (주)실리콘화일 | 3차원 구조를 갖는 웨이퍼의 패드 형성 방법 |
JP5853351B2 (ja) | 2010-03-25 | 2016-02-09 | ソニー株式会社 | 半導体装置、半導体装置の製造方法、及び電子機器 |
JP5353965B2 (ja) * | 2011-07-11 | 2013-11-27 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置の製造方法 |
JP6128787B2 (ja) | 2012-09-28 | 2017-05-17 | キヤノン株式会社 | 半導体装置 |
KR102441577B1 (ko) | 2015-08-05 | 2022-09-07 | 삼성전자주식회사 | 패드 구조체를 갖는 반도체 소자 |
JP6233376B2 (ja) * | 2015-09-28 | 2017-11-22 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
JP6256562B2 (ja) * | 2016-10-13 | 2018-01-10 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3759435B2 (ja) * | 2001-07-11 | 2006-03-22 | ソニー株式会社 | X−yアドレス型固体撮像素子 |
FR2829291B1 (fr) * | 2001-08-31 | 2005-02-04 | Atmel Grenoble Sa | Procede de fabrication de capteur d'image couleur avec ouvertures de contact creusees avant amincissement |
CN100487898C (zh) * | 2001-11-05 | 2009-05-13 | 佐伊科比株式会社 | 固体图像传感器及其制造方法 |
JP4165077B2 (ja) * | 2002-01-28 | 2008-10-15 | ソニー株式会社 | 半導体撮像装置 |
-
2005
- 2005-06-06 JP JP2005165231A patent/JP4792821B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006339566A (ja) | 2006-12-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4792821B2 (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法 | |
JP5532867B2 (ja) | 固体撮像装置及びその製造方法、並びに固体撮像素子の製造方法及び半導体装置 | |
JP5664205B2 (ja) | 半導体装置とその製造方法、及び電子機器 | |
US9455293B2 (en) | X-Y address type solid state image pickup device and method of producing the same | |
JP4501633B2 (ja) | 固体撮像素子とその製造方法 | |
JP4987917B2 (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
KR101679864B1 (ko) | 고체 촬상 장치와 그 제조 방법, 및 전자기기 | |
KR101773199B1 (ko) | 고체 촬상 장치, 및, 그 제조 방법, 전자 기기, 반도체 장치 | |
JP5422914B2 (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
JP4534634B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
JP5568969B2 (ja) | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 | |
US20130044245A1 (en) | Solid-state imager device, drive method of solid-state imager device and camera apparatus | |
JP5459357B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
US20040005729A1 (en) | Solid state image pickup device and method of producing solid state image pickup device | |
JP4972924B2 (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法、並びにカメラ | |
JP4935838B2 (ja) | 固体撮像素子及びその製造方法、電子機器 | |
TW201133810A (en) | Solid-state image sensor and method of manufacturing the same | |
JP2012174937A (ja) | 半導体装置、半導体装置の製造方法、半導体ウエハの貼り合わせ方法及び電子機器 | |
JP2005347707A (ja) | 固体撮像素子及びその製造方法 | |
JP4270105B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
JP5229354B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
WO2021256142A1 (ja) | 撮像装置 | |
JP2018082098A (ja) | 固体撮像装置、撮像システム、及び固体撮像装置の製造方法 | |
JP5115567B2 (ja) | 固体撮像装置とその製造方法、並びに半導体装置とその製造方法 | |
JP2014053431A (ja) | 固体撮像装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080526 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110111 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110314 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110412 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110613 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110628 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110711 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140805 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |