JP4792324B2 - 導電性金属酸化物薄膜の除去方法及び装置 - Google Patents
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基材に擦過痕や応力変形などを残さず、かつ、強酸や強アルカリの化学液を使用しないで、基材の導電性金属酸化物薄膜を基材の端部まで、効率良く除去するために、
基材の表面に形成された導電性金属酸化物薄膜と対向する位置に正電極と負電極を配置した後、
これら導電性金属酸化物薄膜と、正電極、負電極間に電解液を供給しつつ、前記両電極に電圧を印加して、前記基材を前記正電極、負電極に対して移動することで、前記導電性金属酸化物薄膜を還元反応により除去する方法において、
前記負電極として、所要の間隔を存して配置されるローラ間を、前記導電性金属酸化物薄膜と接触させた状態で回転するメッシュ状の無端ベルトを使用し、
前記正電極として、前記無端ベルト内に、無端ベルトを介して前記導電性金属酸化物薄膜と対向すべく配置したものを使用すること、
を最も主要な特徴としている。
負電極として、所要の間隔を存して配置されるローラ間を、前記導電性金属酸化物薄膜と接触させた状態で回転するメッシュ状の無端ベルトを使用し、
正電極として、前記無端ベルト内に、無端ベルトを介して前記導電性金属酸化物薄膜と対向すべく配置したものを使用する、
ことにより、基材に擦過痕や応力変形などを残さず、基材の表面に形成された導電性金属酸化物薄膜を端部まで除去することができる。
前記正電極として、
内周側から外周側に電解液通過用の孔を多数設けた中空ローラの外周を絶縁体で覆ったものを使用しても良い。
所要の間隔を存して配置されるローラ間を、基材の表面に形成された導電性金属酸化物薄膜と接触させた状態で回転するメッシュ状無端ベルトの負電極と、
前記無端ベルト内に、無端ベルトを介して前記導電性金属酸化物薄膜と対向すべく配置した正電極と、
これらの正電極と負電極に電圧を印加する電源と、
前記導電性金属酸化物薄膜と、正電極、負電極間に電解液を供給する手段と、
前記正電極、負電極に対して基材を移動させる移動機構、
を備えた本発明装置を使用することによって実施できる。
前記正電極が、内周側から外周側に電解液通過用の孔を多数設けた中空ローラの外周を絶縁体で覆ったものとしても良い。
前記正電極及び負電極を、基材の表裏面と対向すべく、基材を挟んで設置したものとしても良い。
前記正電極の搬送下流側に、電解液を噴射する噴射ノズルを配置した場合には、除去された導電性金属を確実に剥離することができる。
負電極として、所要の間隔を存して配置されるローラ間を、前記導電性金属酸化物薄膜と接触させた状態で回転するメッシュ状の無端ベルトを使用し、
正電極として、前記無端ベルト内に、無端ベルトを介して前記導電性金属酸化物薄膜と対向すべく配置したものを使用する、
ので、基材に擦過痕や応力変形などを残さず、基材の表面に形成された導電性金属酸化物薄膜を端部まで効率良く除去することができ、半導体分野で用いられる高価な機能性ガラス基板などの再生利用が可能になる。
本発明は、基材への疵や応力変形などを残さない加工法で、かつ、強酸や強アルカリを使用しない導電性金属酸化物薄膜の除去方法である。
すなわち、図2は、負電極13bとして、所要の間隔を存して配置されるローラ13bc間を、基材11の表面に形成された導電性金属酸化物薄膜12と接触させた状態で回転するメッシュ状の無端ベルト13bdを採用したものである。そして、この無端ベルト13bd内に、無端ベルト13bdを介して前記導電性金属酸化物薄膜12と対向すべく、たとえば板状の正電極13aを配置している。
この図4に示した例では、基材11の表裏面に導電性金属酸化物薄膜12が形成されたものでも、一度に除去することができる。また、基材11が破片ガラス基板のような、図1〜図3に示した搬送用ローラ16による搬送が不可能な細かいものでも搬送でき、表裏面に形成された導電性金属酸化物薄膜12を除去できる。
なお、ここでの電解反応は導電性金属酸化物薄膜界面のごく微量な領域にH2の発生を生じさせるもので良いため、電流はほとんど必要としない。
12 導電性金属酸化物薄膜
12a 導電性金属
13 回転電極
13a 正電極
13aa 通過用孔
13ab 中空ローラ
13ac 絶縁体
13b 負電極
13ba 絶縁体
13bb メッシュ
13bc ローラ
13bd メッシュ状無端ベルト
13c 通過用孔
14 電解液
15 電源
18 噴射用ノズル
19 ノズル
Claims (8)
- 基材の表面に形成された導電性金属酸化物薄膜と対向する位置に正電極と負電極を配置した後、
これら導電性金属酸化物薄膜と、正電極、負電極間に電解液を供給しつつ、前記両電極に電圧を印加して、前記基材を前記正電極、負電極に対して移動することで、前記導電性金属酸化物薄膜を還元反応により除去する方法において、
前記負電極として、所要の間隔を存して配置されるローラ間を、前記導電性金属酸化物薄膜と接触させた状態で回転するメッシュ状の無端ベルトを使用し、
前記正電極として、前記無端ベルト内に、無端ベルトを介して前記導電性金属酸化物薄膜と対向すべく配置したものを使用することを特徴とする導電性金属酸化物薄膜の除去方法。 - 前記正電極として、
内周側から外周側に電解液通過用の孔を多数設けた中空ローラの外周を絶縁体で覆ったものを使用することを特徴とする請求項1に記載の導電性金属酸化物薄膜の除去方法。 - 基材の表裏面と対向すべく、基材を挟んで設置した前記正電極及び負電極を使用することを特徴とする請求項1又は2に記載の導電性金属酸化物薄膜の除去方法。
- 前記電解液は、抵抗率が10 3 Ω・cmから10 6 Ω・cmのものを使用することを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の導電性金属酸化物薄膜の除去方法。
- 請求項2に記載の導電性金属酸化物薄膜の除去方法を実施する装置であって、
所要の間隔を存して配置されるローラ間を、基材の表面に形成された導電性金属酸化物薄膜と接触させた状態で回転するメッシュ状無端ベルトの負電極と、
前記無端ベルト内に、無端ベルトを介して前記導電性金属酸化物薄膜と対向すべく配置した正電極と、
これらの正電極と負電極に電圧を印加する電源と、
前記導電性金属酸化物薄膜と、正電極、負電極間に電解液を供給する手段と、
前記正電極、負電極に対して基材を移動させる移動機構を備えたことを特徴とする導電性金属酸化物薄膜の除去装置。 - 前記正電極が、内周側から外周側に電解液通過用の孔を多数設けた中空ローラの外周を絶縁体で覆ったものであることを特徴とする請求項5に記載の導電性金属酸化物薄膜の除去装置。
- 前記正電極及び負電極を、基材の表裏面と対向すべく、基材を挟んで設置したことを特徴とする請求項5又は6に記載の導電性金属酸化物薄膜の除去装置。
- 前記正電極の搬送下流側に、除去された導電性金属を剥離すべく電解液を噴射する噴射ノズルを配置したことを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載の導電性金属酸化物薄膜の除去装置。
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