JP4884080B2 - 導電性金属酸化物薄膜の除去装置 - Google Patents
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Description
このような破砕された状態のガラス基板では、機械的擦過による薄膜除去は困難である。
強酸や強アルカリの化学液を使用しないで、破砕された状態の基材に形成された導電性金属酸化物薄膜を効率良く除去するために、
有底筒状体と、この有底筒状体内に設置され、導電性金属酸化物薄膜が形成された基材を攪拌する攪拌翼と、この攪拌翼を回転させる駆動装置とからなる攪拌容器と、
この攪拌容器の前記有底筒状体の内周側が正電極、前記攪拌翼が負電極、或いは前記有底筒状体の内周側が負電極、前記攪拌翼が正電極となるように、有底筒状体の内周側と攪拌翼間に電圧を印加する電源装置を備えると共に、
前記有底筒状体の内周の少なくとも一部を露出させた状態でこの有底筒状体の内周を絶縁部材で覆い、
この有底筒状体内に入れた電解液を介して前記有底筒状体の内周側と攪拌翼間に電圧を印加しつつ攪拌翼を回転させることで、前記基材から導電性金属酸化物薄膜を除去することを最も主要な特徴としている。
前記攪拌翼は、正電極と負電極が交互に配置するように印加可能な構成とすれば、攪拌容器が大きくなっても、導電性金属酸化物薄膜の除去を十分に行なうことができる。
前記攪拌容器内に、基材の導電性金属酸化物薄膜の除去に影響を及ぼさない材質からなる部材を混入させれば、還元効率が向上し、また摩擦による薄膜剥離効率が向上する。
本発明は、破砕状態にある絶縁物や導電物などの基材の、例えば表面に形成された導電性金属酸化物薄膜を、強酸や強アルカリを使用しないで除去する装置である。
なお、ここでの電解反応は導電性金属酸化物薄膜界面のごく微量な領域にH2の発生を生じさせるもので良いため、電流はほとんど必要としない。
12 有底筒状体
13 攪拌翼
14 網目状部材
15 電源装置
16 電解液
17 導体
22 基材
Claims (3)
- 有底筒状体と、この有底筒状体内に設置され、導電性金属酸化物薄膜が形成された基材を攪拌する攪拌翼と、この攪拌翼を回転させる駆動装置とからなる攪拌容器と、
この攪拌容器の前記有底筒状体の内周側が正電極、前記攪拌翼が負電極、或いは前記有底筒状体の内周側が負電極、前記攪拌翼が正電極となるように、有底筒状体の内周側と攪拌翼間に電圧を印加する電源装置を備えると共に、
前記有底筒状体の内周の少なくとも一部を露出させた状態でこの有底筒状体の内周を絶縁部材で覆い、
この有底筒状体内に入れた電解液を介して前記有底筒状体の内周側と攪拌翼間に電圧を印加しつつ攪拌翼を回転させることで、前記基材から導電性金属酸化物薄膜を除去することを特徴とする導電性金属酸化物薄膜の除去装置。 - 前記攪拌翼は、正電極と負電極が交互に配置するように印加可能な構成となされていることを特徴とする請求項1に記載の導電性金属酸化物薄膜の除去装置。
- 前記攪拌容器内に、基材の導電性金属酸化物薄膜の除去に影響を及ぼさない材質からなる部材を混入させたことを特徴とする請求項1又は2に記載の導電性金属酸化物薄膜の除去装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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