JP4791697B2 - シリコン粒子の製造方法 - Google Patents
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モノシランガス0.16L/min、酸素ガス0.4L/min及び希釈用の窒素ガス17.5L/minを、温度700℃、圧力90kPaに保持した石英ガラス製反応管(内径50mm、長さ1000mm)からなる反応容器に導入したところ、茶褐色の粉末が生成した。これを反応管の下流側に設けた金属製フィルターで捕集した。
モノシランガス0.08L/min、酸素ガス0.044L/min及び希釈用のアルゴンガス18L/minを、温度750℃、圧力50kPaに保持した実施例1と同じ石英ガラス製反応管からなる反応容器に導入したところ、茶褐色の粉末が生成した。これを実施例1と同様にして捕集した。
Siを内包するシリコン酸化物粒子からなる粉末20gを、アルゴン雰囲気下1450℃の温度で1時間保持した以外は、実施例1と同様にしてシリコン粉末を得た。
Siを内包するシリコン酸化物粒子からなる粉末20gを、アルゴン雰囲気下700℃の温度で1時間保持した以外は、実施例1と同様にしてシリコン粉末を得た。
Siを内包するシリコン酸化物粒子からなる粉末20gを、ヘリウム雰囲気下700℃の温度で1時間保持した以外は、実施例2と同様にしてシリコン粉末を得た。
モノシランガスの代わりに、多結晶シリコンの原料として多用される四塩化珪素(SiCl4)ガスを用いた以外は実施例1と同様にして反応容器にガスを導入したところ、茶褐色の粉末を生成し、これを実施例1と同様にして捕集した。
Claims (1)
- モノシランガスと、該モノシランガスを酸化するための酸化性ガスとを気相反応させて、シリコン粒子を内包するシリコン酸化物粒子を含む粉末を合成する工程と、該粉末を不活性雰囲気下800〜1400℃で保持した後、フッ化水素酸にて前記シリコン酸化物を除去する工程を有することを特徴とするシリコン粒子の製造方法。
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