JP4786982B2 - 水晶薄膜の製造装置 - Google Patents
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Description
(1)反応容器の外側に加熱具が配設されていて、そして第一気体供給管の先端開口部、第二気体供給管の先端開口部及び基板ホルダを挟んで互いに間隔をあけて反応容器の内側に配置されている、各々が気体を流通させる透孔を備えた一対の隔壁が備えられている。
(2)上記の加熱具が、反応容器の第一気体供給管から基板ホルダに向かう方向に沿って複数の加熱ユニットに分割されていて、各加熱ユニットの加熱条件が互いに独立に制御される。
(4)上記の第二気体供給管の先端開口ユニットが屈曲している。
11 排気口
12 反応容器
12a 筒状容器
12b 蓋部
13 基板ホルダ
14 基板
15 筒状遮蔽体
16 環状遮蔽体
17 基板ホルダ固定具
18 Oリング
19 気化器
21 第一気体供給管
21a 供給管本体
21b 先端開口ユニット
22 第二気体供給管
22a 供給管本体
22b 先端開口ユニット
23 第三気体供給管
24 第四気体供給管
31、32、33、34、35 加熱ユニット
36 加熱具
41、42、43、44、45 加熱ユニット制御装置
46 加熱具の制御装置
51a、51b、51c ガスボンベ
52a、52b、52c 手動式バルブ
53a、53b、53c 圧力センサ
54a、54b、54c、54d 空気作動式バルブ
55a、55b、55c、55d、55e マスフローコントローラ
60 水晶薄膜製造装置
62 反応容器
62a 筒状容器
62b 蓋部
63 基板ホルダ
67 基板ホルダ固定具
70 水晶薄膜製造装置
91、92、93 隔壁
91a、92a、93a 透孔
101、102、103、104 支持具
Claims (6)
- 排気口を備える石英ガラス製の反応容器、反応容器内に着脱可能に装着された筒状遮蔽体、筒状遮蔽体の内側に備えられた基板ホルダ、そして基板ホルダに支持される基板の表面もしくは該基板表面を含む平面上の基板の周囲の領域に各々間隔を介して先端開口部が向けられて配置された、反応容器の外部から内部に原料の珪素アルコキシドを含有する気体を供給する第一気体供給管と酸素含有気体を供給する第二気体供給管とを含んでなり、
上記の反応容器が、全ての気体供給管を一方の端部に備え、他方の端部に開口部を有する、上記の筒状遮蔽体が装着されている筒状容器と、排気口を有し、該筒状容器の開口部に着脱可能に装着されている蓋部とからなり、該筒状遮蔽体の内側に第二気体供給管の先端開口部が配置されていて、そして該筒状遮蔽体の内側表面が、酸化アルミニウム、炭化珪素又は四窒化三珪素から形成されていることを特徴とする水晶薄膜製造装置。 - 反応容器の外側に加熱具が配設されていて、そして第一気体供給管の先端開口部、第二気体供給管の先端開口部及び基板ホルダを挟んで互いに間隔をあけて反応容器の内側に配置されている、各々が気体を流通させる透孔を備えた一対の隔壁が備えられている請求項1に記載の水晶薄膜製造装置。
- 加熱具が、反応容器の第一気体供給管から基板ホルダに向かう方向に沿って複数の加熱ユニットに分割されていて、各加熱ユニットの加熱条件が互いに独立に制御される請求項2に記載の水晶薄膜製造装置。
- 第二気体供給管が、供給管本体と供給管本体の先端に着脱可能に装着されている先端開口ユニットとからなる請求項1に記載の水晶薄膜製造装置。
- 先端開口ユニットが屈曲している請求項4に記載の水晶薄膜製造装置。
- 第一気体供給管が、供給管本体と供給管本体の先端に着脱可能に装着されている先端開口ユニットとからなる請求項1に記載の水晶薄膜製造装置。
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