JP4784915B2 - リン原子がドープされたn型(100)面方位ダイヤモンド半導体単結晶膜及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は(100)面方位のn型ダイヤモンド単結晶膜の製造方法に関し、紫外線発光、電子線放出、パワー半導体素子、高周波半導体素子などの半導体デバイス全般を構成することのできる(100)面方位のn型ダイヤモンド半導体を効率よく製造できる製造方法を提供する。
これに関して、発明者は、同様のことを発表している(非特許文献1、非特許文献2)。
しかし、本発明者らの知る限りにおいて(100)面においてn型ダイヤモンド半導体を確認した例は、特許においても学術論文においてもない。また、(111)面の合成条件では、(100)面においてn型ダイヤモンド半導体が成長されないことを記述した報告例もある(非特許文献4)。以上、従来は(111)面を用いた特定の原子数比においてのみn型ダイヤモンド半導体が実現されていた。しかし、同様の方法を試みても産業上重要である(100)面についてのn型ダイヤモンド半導体単結晶膜については、反応性が悪いため実現されていなかった。
例えばダイヤモンドのp形半導体ではジボランB2H6をアクセプタとして用いるが、CH4に対する比B/Cはやはり数十ppm〜数千ppm程度で実現されている。例えば、に見られるようにまれに2000ppmの高濃度で実験した例(非特許文献3)もあるが、これでもせいぜい0.2%であり、これ以上濃度をあげるとダイヤモンドの結晶性が悪化する。
したがって、従来の技術では、n型(100)面方位ダイヤモンド半導体単結晶膜は、とくに大面積化・研磨による平坦化が比較的容易であり界面準位密度が低くデバイスに適していて利用価値が高いにもかかわらず、(100)面方位ダイヤモンドにおいてn型伝導制御は、実質上が行えていないのが実情であった。
S.Koizumi et al, Appl.Phys.Lett.,71,1065 (1997) S.Koizumi et al., Diamond and Related Materials, 9 ,935 (2000) K.Ushizawa et al, Diamond andRelated Materials, 7,1719 (1998) M. Nesladek, Semicond. Sci. Technol., 20, R19(2005)
課題を解決する手段は次のとおりである。
(1)(100)面から任意の方向に0.5から5.8度傾斜させたオフ角0.5から5.8度のダイヤモンド基板上に、気相中の炭素原子に対するリン原子の比が1%以上であり、水素分子に対するメタン分子の流量比が0.2%以上である条件で(100)面方位ダイヤモンドをエピタキシャル成長させることを特徴とする(100)面方位n型ダイヤモンド半導体単結晶膜の製造方法。
(2)上記エピタキシャル成長させる手段は、マイクロ波CVD、DCプラズマCVD、アークジェットプラズマCVDのいずれかであることを特徴とする(1)に記載の(100)面方位n型ダイヤモンド半導体単結晶膜の製造方法。
(3)上記気相中の炭素原子に対するリン原子の重量比を制御することで、半導体特性を制御することを特徴とする(1)又は(2)に記載の(100)面方位n型ダイヤモンド半導体単結晶膜の製造方法。
(4)上記ダイヤモンド基板の表面温度を800〜1000℃とすることを特徴とする(1)ないし(3)のいずれかに記載された(100)面方位n型ダイヤモンド半導体単結晶膜の製造方法。
なお、ここで(100),(010),(001)はミラー指数と呼ばれ、結晶面を決める数値である。ダイヤモンド結晶において、これら3つは等価である。
本発明で用いる炭化水素として用いられる物質としては、炭酸ガス、一酸化炭素、メタン等が挙げられる。
また、本発明で用いるリン原子を含むガスとしては、ホスフィン、トリメチルホスフィン等を挙げることができる。
本発明で用いる真空容器は、概ね 圧力10〜200Torrで運転するが、装置依存が大きく、これに限定されない。反応温度は、概ね600℃〜1200℃程度であり、とくに、800-1000℃が好ましく用いられるが、これも反応ガスや装置依存が大きく、これに限定されない。
n型元素としては、周知のn型元素やN+4Si、N+Sなどの複合型ドーパントを用いることが出来るが、代表的にはリン原子を用いるのが好ましい。
既に知られている(111)面リンドープn形ダイヤモンドを対比させて、本発明者が実施例で得た(100)面リンドープn形ダイヤモンド半導体単結晶膜について、キャリア濃度の温度依存性を調査した結果について、図3に示す。
本発明の実施例で裏付けされたものを図示すると、○で図2において示したn型(100)面方位ダイヤモンド半導体単結晶膜を実現できた。一方、本発明の比較例では×で図示する例については、(100)面で実現できない。
さらに、本発明の具体例を列挙する。
ホール効果測定より、室温にてn型特性を有することが確認でき、その移動度は18 cm2/Vs、キャリア濃度は1.5×1010 cm-3であった。
さらに、リン濃度の深さ分布の急峻性が向上した実施例を示す。
ホール効果測定より、室温にてn型特性を有することが確認できた。その時のリン濃度の深さ分布をSIMSにより測定した。
ホール効果測定より、室温にてn型特性を有することが確認できた。リン濃度の深さ分布は、実施例8の結果と比較し、図6に示す。
濃度勾配を急峻にさせるために好ましいオフ角は、1.0度以上であることが判明した。
(111)面と(100)面のn形ドーパント(リン原子)の取り込み効率が100以上異なってくる。こういった状況下において、これまでの常識とされている範囲で、ドーピングを行ったとしてもリンは取り込まれず、n形伝導制御はできない。一方、ドーピング効率はダイヤモンドの成長速度に依存し、速度を速めると取り込み効率は上がる。しかしながらこの場合、欠陥生成も多く、リンが取り込まれたとしても、補償されn形伝導は発現しない。
今回解決した点は、成長速度を抑えつつ(欠陥量を抑えつつ)、効果的にリンを取り込む技術を解明した。
(比較例1)
メタン0.05%を含む水素に、ホスフィンをリン(P)/炭素(C)が0.001%になるように加え、合成圧力25Torrの反応室に導入し、基板温度800℃で、オフ角1.3度の単結晶ダイヤモンドの(100)面上にダイヤモンド膜を形成した。良好なエピタキシャル膜は得られず、Hall効果測定の結果からn型伝導を確認することができなかった。
メタン0.05%を含む水素に、ホスフィンをリン(P)/炭素(C)が0.01%になるように加え、合成圧力100Torrの反応室に導入し、基板温度900℃で、オフ角0.9度の単結晶ダイヤモンドの(100)面上及びオフ角1.0度の(111)面上にダイヤモンド膜を形成した。(111)面ではホール効果測定より、室温にてn形特性を有することが確認でき、その移動度は50 cm2/Vs、キャリア濃度は1.0×1011 cm-3を得られたものの、(100)面では良好なエピタキシャル膜は得られず、Hall効果測定の結果からn型伝導を確認することができなかった。
メタン0.1%を含む水素に、ホスフィンをリン(P)/炭素(C)が0.03%になるように加え、合成圧力50Torrの反応室に導入し、基板温度900℃で、オフ角3.0度の単結晶ダイヤモンドの(100)面上およびオフ角0.5度の(111)面上ダイヤモンド膜を形成した。(111)面ではホール効果測定より、室温にてn形特性を有することが確認でき、その移動度は45 cm2/Vs、キャリア濃度は1.2×1011 cm-3を得られたものの、(100)面では良好なエピタキシャル膜は得られず、Hall効果測定の結果からn型伝導を確認することができなかった。
メタン1%を含む水素に、ホスフィンをリン(P)/炭素(C)が0.1%になるように加え、合成圧力75Torrの反応室に導入し、基板温度850℃で、オフ角01.6度の単結晶ダイヤモンドの(100)面上にダイヤモンド膜を形成した。良好なエピタキシャル膜は得られず、Hall効果測定の結果からn型伝導を確認することができなかった。
メタン0.5%を含む水素に、ホスフィンをリン(P)/炭素(C)が0.01%になるように加え、合成圧力75Torrの反応室に導入し、基板温度850℃で、オフ角1.6度の単結晶ダイヤモンドの(100)面上にダイヤモンド膜を形成した。良好なエピタキシャル膜は得られず、Hall効果測定の結果からn型伝導を確認することができなかった。
メタン0.05%を含む水素に、ホスフィンをリン(P)/炭素(C)が0.1%になるように加え、合成圧力85Torrの反応室に導入し、基板温度900℃で、オフ角2.7度の単結晶ダイヤモンドの(100)面上にダイヤモンド膜を形成した。良好なエピタキシャル膜は得られず、Hall効果測定の結果からn型伝導を確認することができなかった。
メタン0.05%を含む水素に、ホスフィンをリン(P)/炭素(C)が5%になるように加え、合成圧力80Torrの反応室に導入し、基板温度900℃で、オフ角2.7度の単結晶ダイヤモンドの(100)面上にダイヤモンド膜を形成した。良好なエピタキシャル膜は得られず、Hall効果測定の結果からn型伝導を確認することができなかった。
Claims (4)
- (100)面から任意の方向に0.5から5.8度傾斜させたオフ角0.5から5.8度のダイヤモンド基板上に、気相中の炭素原子に対するリン原子の比が1%以上であり、水素分子に対するメタン分子の流量比が0.2%以上である条件で(100)面方位ダイヤモンドをエピタキシャル成長させることを特徴とする(100)面方位n型ダイヤモンド半導体単結晶膜の製造方法。
- 上記エピタキシャル成長させる手段は、マイクロ波CVD、DCプラズマCVD、アークジェットプラズマCVDのいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の(100)面方位n型ダイヤモンド半導体単結晶膜の製造方法。
- 上記気相中の炭素原子に対するリン原子の重量比を制御することで、半導体特性を制御することを特徴とする請求項1又は2に記載の(100)面方位n型ダイヤモンド半導体単結晶膜の製造方法。
- 上記ダイヤモンド基板の表面温度を800〜1000℃とすることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載された(100)面方位n型ダイヤモンド半導体単結晶膜の製造方法。
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