JP4779363B2 - 放射線像変換パネルの製造方法 - Google Patents
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1.内部に基板を備えた真空チャンバーと、前記基板に対向する開口部を有し、蒸着原料を収容するボート、前記ボートを加熱する加熱装置を備えた蒸着装置を用い、気相堆積法により前記基板上に蛍光体層を成長させる放射線像変換パネルの製造方法において、
前記ボートは、前記ボートの加熱により発生する、前記ボート中に収容された蒸着原料の表面から前記基板に向けて直線的に飛行する突沸(スプラッシュ)により発生する蒸着原料粒子をカットする仕切板を備え、
かつ、前記仕切板は、前記ボートと基板との位置関係を表す角度であるボート開口部の中心点Oと、Oから一番遠い基板の端点Qとを結ぶ直線OQと、基板から前記Oを通るようにおろした垂線とのなす角度θと、ボート内の仕切板の端点Rと、Rから一番近い位置にあるボート開口部の端点Sを結ぶ直線RSと、基板面からボート内の仕切板の端点Rを通るようにおろした垂線とのなす角度Φが、
θ<Φ
の関係にあることを特徴とする放射線像変換パネルの製造方法。
2.前記蛍光体層は、下記一般式(1)で表されるハロゲン化アルカリを母体とする蛍光体を含有することを特徴とする前記1に記載の放射線像変換パネルの製造方法。
一般式(1)
M 1 X・aM 2 X′・bM 3 X″ 3 :eA
〔式中、M 1 はLi、Na、K、Rb及びCsからなる群から選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であり、M 2 はM 1 以外のLi、Na、K、Rb及びCsからなる群から選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であり、M 3 はY、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuからなる群から選ばれる少なくとも一種の三価の金属であり、X、X′及びX″は、各々F、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり、Aは、Eu、Tb、In、Cs、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm及びYからなる群から選ばれる少なくとも一種の希土類元素であり、また、a、b、eはそれぞれ0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<e≦0.2の範囲の数値を表す。〕
3.前記ボートの加熱に抵抗加熱法を用いることを特徴とする前記1または2に記載の放射線像変換パネルの製造方法。
なお、以下(1)〜(5)については参考とされる手段である。
内部に基板を備えた真空チャンバーと、前記基板に対向する開口部を有し、蒸着原料を収容するボート、前記ボートを加熱する加熱装置を備えた蒸着装置を用い、気相堆積法により前記基板上に蛍光体層を成長させる放射線像変換パネルの製造方法において、前記ボートは、前記ボートの加熱により発生する、前記ボート中に収容された蒸着原料の表面から前記基板に向けて直線的に飛行する蒸着原料粒子をカットする仕切板を備えることを特徴とする放射線像変換パネルの製造方法。
前記蛍光体層は、下記一般式(1)で表されるハロゲン化アルカリを母体とする蛍光体を含有することを特徴とする前記(1)に記載の放射線像変換パネルの製造方法。
M1X・aM2X′・bM3X″3:eA
〔式中、M1はLi、Na、K、Rb及びCsからなる群から選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であり、M2はM1以外のLi、Na、K、Rb及びCsからなる群から選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であり、M3はY、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuからなる群から選ばれる少なくとも一種の三価の金属であり、X、X′及びX″は、各々F、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり、Aは、Eu、Tb、In、Cs、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm及びYからなる群から選ばれる少なくとも一種の希土類元素であり、また、a、b、eはそれぞれ0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<e≦0.2の範囲の数値を表す。〕
(3)
前記ボートの加熱に抵抗加熱法を用いることを特徴とする前記(1)または(2)に記載の放射線像変換パネルの製造方法。
内部に基板を備えた真空チャンバーと、前記基板に対向する開口部を有し、蒸着原料を収容するボート、前記ボートを加熱する加熱装置を備えた蒸着装置において、前記ボートは、前記ボートの加熱により発生する、前記ボート中に収容された蒸着原料の表面から前記基板に向けて直線的に飛行する蒸着原料粒子をカットする仕切板を備えることを特徴とする蒸着装置。
前記ボートの加熱に抵抗加熱法を用いることを特徴とする前記(4)に記載の蒸着装置。
本発明において、放射線像変換パネルに用いられる、基材上に輝尽性蛍光体層を形成した輝尽性蛍光体プレートは、真空蒸着を利用した気相堆積法により形成される。
図に示すように、蒸着装置は、真空容器7と、該真空容器7内に設けられて支持体(基体)3に蒸気を蒸着させる蒸発源となる原料を収容するボート5および前記ボートを加熱する加熱装置(図示されていない)と、支持体3を保持する支持体ホルダ2と、該支持体ホルダ2をボート5に対して回転させることによって該蒸発源5からの蒸気を蒸着させる支持体回転機構1と、真空容器7内の排気及び大気の導入を行う真空ポンプ6等を備えている。尚、図では、輝尽性蛍光体層4が支持体(基体)3上に形成されているところを示す。
5がボート、10はその開口部であり、11が収容された蒸着原料を示している。尚加熱手段は図では省略している。
このとき、点PはボートOの直上の点、点QはOから一番遠い基板の端点である。また、θはOPとOQのなす角度とする。
θ<Φ
の関係にあればよい。仕切板は直接ボートに溶接してもよいし、仕切板を溶接した筒状のものを開口部から挿入してもよい。
こうすることで直線的に基板に蒸着される粒子をカットし、突沸を減少することができる
即ち、前記蒸着装置において、蒸着可能な真空度10-1Pa〜10-4Paに真空容器7が達したら、支持体ホルダ2に基板となる例えばガラス等の支持体3を保持し、該真空容器7内に設けられたボート5に蒸発源となる輝尽性蛍光体原料を収容し、加熱することで、蒸発源3から輝尽性蛍光体を蒸発させて、基板上に蒸着する。この場合において、支持対11の表面と、蒸発源との距離は前記のように100〜1500mmにするのが好ましい。
M1X・aM2X′・bM3X″:eA
一般式(1)で表される輝尽性蛍光体において、M1は、Li、Na、K、Rb及びCs等の各原子から選ばれる少なくとも1種のアルカリ金属原子を表し、中でもRb及びCsの各原子から選ばれる少なくとも1種のアルカリ土類金属原子が好ましく、更に好ましくはCs原子である。
(a)NaF、NaCl、NaBr、NaI、KF、KCl、KBr、KI、RbF、RbCl、RbBr、RbI、CsF、CsCl、CsBr及びCsIから選ばれる少なくとも1種の化合物が用いられる。
mの半導体レーザ光源等が好まれる。本発明の輝尽性蛍光体はいずれも500nm以下に主ピークを有する発光を示し、分光感度がよく一致した受光器をもちいることでより高感度で信号の検出ができる。
通常のボートで作製した輝尽性蛍光体層膜は500μm以上の突起が基板一枚あたり13個あったのに対して、突沸防止ボートを用いたものでは0個であり大きな粒子の付着による欠陥がないことが判った。
2 基板ホルダー
3 基板
4 蒸着膜
5 ボート
6 真空ポンプ
7 真空チャンバー
8 CsBr蒸気
9 仕切板
10 ボート
11 CsBr原料
Claims (3)
- 内部に基板を備えた真空チャンバーと、前記基板に対向する開口部を有し、蒸着原料を収容するボート、前記ボートを加熱する加熱装置を備えた蒸着装置を用い、気相堆積法により前記基板上に蛍光体層を成長させる放射線像変換パネルの製造方法において、
前記ボートは、前記ボートの加熱により発生する、前記ボート中に収容された蒸着原料の表面から前記基板に向けて直線的に飛行する突沸(スプラッシュ)により発生する蒸着原料粒子をカットする仕切板を備え、
かつ、前記仕切板は、前記ボートと基板との位置関係を表す角度であるボート開口部の中心点Oと、Oから一番遠い基板の端点Qとを結ぶ直線OQと、基板から前記Oを通るようにおろした垂線とのなす角度θと、ボート内の仕切板の端点Rと、Rから一番近い位置にあるボート開口部の端点Sを結ぶ直線RSと、基板面からボート内の仕切板の端点Rを通るようにおろした垂線とのなす角度Φが、
θ<Φ
の関係にあることを特徴とする放射線像変換パネルの製造方法。 - 前記蛍光体層は、下記一般式(1)で表されるハロゲン化アルカリを母体とする蛍光体を含有することを特徴とする請求項1に記載の放射線像変換パネルの製造方法。
一般式(1)
M1X・aM2X′・bM3X″3:eA
〔式中、M1はLi、Na、K、Rb及びCsからなる群から選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であり、M2はM1以外のLi、Na、K、Rb及びCsからなる群から選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であり、M3はY、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuからなる群から選ばれる少なくとも一種の三価の金属であり、X、X′及びX″は、各々F、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり、Aは、Eu、Tb、In、Cs、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm及びYからなる群から選ばれる少なくとも一種の希土類元素であり、また、a、b、eはそれぞれ0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<e≦0.2の範囲の数値を表す。〕 - 前記ボートの加熱に抵抗加熱法を用いることを特徴とする請求項1または2に記載の放射線像変換パネルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005003536A JP4779363B2 (ja) | 2005-01-11 | 2005-01-11 | 放射線像変換パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005003536A JP4779363B2 (ja) | 2005-01-11 | 2005-01-11 | 放射線像変換パネルの製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006193545A JP2006193545A (ja) | 2006-07-27 |
JP2006193545A5 JP2006193545A5 (ja) | 2011-03-17 |
JP4779363B2 true JP4779363B2 (ja) | 2011-09-28 |
Family
ID=36799880
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005003536A Expired - Fee Related JP4779363B2 (ja) | 2005-01-11 | 2005-01-11 | 放射線像変換パネルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4779363B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4881789B2 (ja) * | 2007-05-16 | 2012-02-22 | 株式会社Harmonic Uni−Brain | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置 |
JP5609031B2 (ja) * | 2009-07-15 | 2014-10-22 | コニカミノルタ株式会社 | 蒸着装置及び成膜方法 |
JP7409799B2 (ja) | 2019-07-29 | 2024-01-09 | キヤノントッキ株式会社 | ノズルユニット,坩堝,蒸発源及び蒸着装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61132589A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-20 | Agency Of Ind Science & Technol | 蒸着用ルツボ |
JPS62198266A (ja) * | 1986-02-26 | 1987-09-01 | Canon Inc | カラ−画像情報処理装置 |
JPH01306553A (ja) * | 1988-05-31 | 1989-12-11 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 蒸着装置 |
JPH04365852A (ja) * | 1991-06-12 | 1992-12-17 | Hitachi Ltd | イオンビームミキシング方法およびその装置 |
JP3228527B2 (ja) * | 1991-06-21 | 2001-11-12 | コニカ株式会社 | 放射線画像変換パネルの製造方法 |
JP2003302497A (ja) * | 2002-04-09 | 2003-10-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線像変換パネルの製造方法 |
JP3915593B2 (ja) * | 2002-05-14 | 2007-05-16 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 放射線画像変換パネル及び放射線画像変換パネルの製造方法 |
JP4828771B2 (ja) * | 2002-11-27 | 2011-11-30 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 放射線画像変換パネル |
JP2004198177A (ja) * | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Konica Minolta Holdings Inc | 放射線像変換パネル、該パネルに用いる蛍光体の製造方法及び該パネルの製造方法 |
JP4054765B2 (ja) * | 2003-01-06 | 2008-03-05 | 富士フイルム株式会社 | 放射線像変換パネル |
JP2004347440A (ja) * | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線像変換パネルの製造方法 |
JP2006152395A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 真空蒸着方法および真空蒸着装置 |
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2005
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006193545A (ja) | 2006-07-27 |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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