JPH01306553A - 蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明は、蒸着金属の突沸を防止し高品位の蒸着面を得
ることができる蒸着装置に関する。

（発明の技術的背景とその問題点） 従来、たとえは水晶振動子の製造工程で水晶板の板面に
電極を形成する場合、蒸着装置を用いて真空中で水晶板
の前面にマスクを配設して蒸着金属を蒸着するようにし
ている。

このような蒸着装置では、被蒸着物から蒸発金属を貯留
した蒸着ボートを直視てきないことが理想的であるが、
一般にこのような構造のものでは蒸発速度が遅くなる欠
点がある。

ところで、このような蒸着装置では、たとえは蒸着ボー
トに貯留した蒸着金属に電流を流し、この際に発生する
ジュール熱によって蒸着金属を加熱して金属蒸気を得る
ようにしている。

第４図（ａｋ　　第４図（ｂｌおよび第４図（ｃ）は、
従来の各別の蒸着ボートの一例を示す図である。

すなわち、第４図（ａ）に示す蒸着ボー）１は、−船釣
な開放型のもので、帯状の金属板の中央部に蒸発金属を
貯留する舟形の貯留槽２を設けたものである。

このような蒸着ボート１は、構造も簡単であるが、溶融
した蒸着金属から突沸を生じ易く蒸着面に蒸着金属の大
きな粒が付着することがあり蒸着面の品位が低い問題が
ある。

また、第４図（ｂ）に示すものは、高品位の蒸着面を得
られるように、蒸着ボート１の蒸発金属の貯留槽２の前
面に二層にじゃま板３．４を配設して被蒸着物から蒸着
源を直視できないようにしたものである。

このようにすれば蒸着金属に突沸を生じても大きな粒が
蒸着面に達することがなく、理想的な蒸着源となり得る
が、被蒸着物に蒸着膜の形成される速度、すなわち蒸着
速度が遅くなり、所望の蒸着膜を形成するために必要な
時間が長くなる問題がある。

さらに、第４図（Ｃ）に示すものは、蒸発金属の貯留槽
２の前面に蒸着金属と反応しない金属等からなるメツシ
ュ５を配設して蒸着金属の大きな粒が蒸着面に到達する
ことを防止したものである。

しかしながら、このようなものでは蒸着ボート１の溶融
した蒸発金属の電気抵抗はメツシュ５に比して著しく小
さいので、はとんどの電流は溶融した蒸発金属を流れて
メツシュ５には流れないのでメツシーＬ５の温度はほと
んど上昇しない。

このために、発生した金属蒸気は温度の低いメツシュに
付着して極端な場合にはメツシュの目詰まりを起こす問
題がある。このような問題を解決するためには、たとえ
ば２台の電源を用いて蒸着ボート１とメツシュ５とを相
互に絶縁して各別に通電して加熱制御する必要があり構
造が複雑でコストも高価になる。

（発明の目的） 本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、蒸着金
属の突沸による蒸着面の品位の低下を確実に防止でき、
それによって高品位の蒸着を行うことができる蒸着装置
を提供することを目的とするものである。

（発明の概要） 本発明は、蒸着ボートに貯留した蒸着金属の表面に蒸打
金属よりも比重の軽いメツシュを浮遊させたことを特徴
とするものである。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を、図面を参照して詳細に説明
する。第１図は本発明の一実施例の蒸着装置の蒸着ボー
トの一例を示す斜視図、第２図は上記蒸着ボートの側断
面図である。

すなわち、蒸着ボート１１は、それ自体に通電してこの
際に発生するジュール熱により蒸着金属を加熱するもの
では、導電性を有し、かつ高温に加熱して蒸着金属１２
から金属蒸気を発生させろ際にも該金属蒸気と化学的に
反応しない、あるいは反応のきわめて少ない材料を用い
る必要がある。

したがって、蒸着金属１２として、たとえは金、銀等を
用いる場合、蒸着ボート１１としては、これらの蒸着金
属１２と反応しないタングステン、モリブデン、タンタ
ル等の導電性の金属を用いる。

そして、これらの金属板を帯板状に成形して、その略中
央部に船型の貯留槽１３を形成して、ここに、金、銀等
の蒸着金属１２を貯留するようにしている。

そして、蒸着ボー）１１の両端部にはクランパ兼電極１
４を設けで、これを図示しない端子に締着してここから
電力を供給されるとともに蒸着ボート１１自体を保持す
るようにしている。

そして、蒸着金属１２の表面にはメツシュ１５を浮遊さ
せる。このメツシュ１５は蒸着金属１２と反応しない材
料からなり、かつ蒸着金属１２よりも比重が軽くなるよ
うにし、たとえばアルミナ等の無機酸化物を繊維状に編
んだものである。

なお、このメツシュ１５は蒸着金属１２の突沸を防止す
るために蒸着金属１２の表面の全面を覆うことが好まし
く、かつ蒸着金属１２の減少とともに、その表面に浮遊
した状態で移動可能なように蒸着金属１２の表面形状よ
りもわずかに小さく成形している。

なお、蒸着装置では容器内を真空に減圧する真。

空ポンプ、被蒸着物を保持する保持機構、被蒸着物に対
する蒸着部位を規制するマスク等を設けることは勿論で
ある。

このような構成であれば、蒸着ボートに通電すると蒸発
金属１２が発熱して溶融し、金属蒸気が発生する。しか
して蒸発金属１２の表面にはメツシュ！５力９字遊して
いるので、メツシュ１５は該蒸発金属１２とほぼ同一温
度となり、あたかもメツシュ１５の表面から金属蒸気が
発生するかのことく作用し、すなわちメツシュ１５は２
次的な蒸発源のように作用する。

そして、金属蒸気はこのメツシュ１５の繊維の間隙を通
って蒸発ずろ。したがって、溶融した蒸発金属１２の表
面では、」二記メツシュ１５に抑えられて突沸が発生す
ることがない。

しかして、上記実施例によれば、格別に蒸着速度が低下
することなく、しかも溶融した蒸着金属の表面の突沸を
防止できるので高品質の蒸着面を得ることができる。

なお、本発明はト記実施例に限定されるものではなく、
たとえば上記実施例ではメツシュとしてアルミナを用い
るものについて説明したが、たとえば細径の中空円筒状
の金属管を繊維状に編んて外管の端部をつぶして用いる
ようにしてもよい。

このように、中空円筒状の金属管を用いたメツシュは、
全体の比重が軽く比較的大きな浮力が得られるので蒸着
金属の表面に容易に浮遊することかてきる。なお、金属
管の材料としてはタングステン、モリブデン、タンタル
等の合金を生じ難く高融点の金属が好ましい。

また、メツシュとしては、たとえは第３図に示す絹ヴ斜
視図ように、２枚の薄い金属板１６．１６に一定の間隔
でマトリクス状にエンボス１７を膨出し、膨出したエン
ボスを外側にして張り合わせて固着し、この固着した部
位に多数の細孔１８を穿設するようにしてもよい。この
ようなメツシュも繊維状のメツシュと同等の効果を奏し
得る。

（発明の効果） 以上詳述したように、本発明によれば、簡単な構成で、
蒸着速度を低下させることなく、蒸着金属の突沸を確実
に防止することができ、それによって高品位の蒸着面を
得られる蒸着装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の蒸着ボートを示す斜視図、 第２図は第１図に示す蒸着ボートの側断面図、第３図は
本発明の他の実施例で用いるメツシュの組立斜視図、 第４図（ａｌ、（ｂ）、（ｃ）は従来の各別の蒸着ボー
トを示す↑４視図である。 １１・・・・・蒸着ボート １２・・・・・蒸着金属 １３・・・・・貯留槽 １４・・・・・クランパ兼電極 １５・・・・・メツシュ ＋１１５　　１’／　　　　Ｉｔ）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）蒸着ボートに貯留した蒸着金属の表面に蒸着金属
   よりも比重の軽いメッシュを浮遊させたことを特徴とす
   る蒸着装置。
2. （２）特許請求の範囲第１項に記載のものにおいて、上
   記メッシュは繊維状に編んだアルミナからなることを特
   徴とする蒸着装置。
3. （３）特許請求の範囲第１項に記載のものにおいて、上
   記メッシュは繊維状に編んだ上記蒸着金属に対して反応
   しない中空金属管からなることを特徴とする蒸着装置。