JP4768852B2 - 探針顕微鏡の自動ランディング方法及びそれを用いる自動ランディング装置 - Google Patents
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Description
本発明は、探針顕微鏡の自動ランディング方法及びそれを用いる自動ランディング装置に係り、より詳細には、さらに効果的で信頼性ある探針顕微鏡の自動ランディング可能な自動ランディング方法及び自動ランディング装置に関する。
通常、探針顕微鏡は、微細な探針(プローブ)によって試料の表面を走査しながら試料との間の相互作用を検出することによって、試料の表面の形状や物理量を検出して映像化することができる顕微鏡であって、前記相互作用として探針と試料との間に流れる電流を用いる走査型トンネル顕微鏡(Scanning Tunneling Microscope:STM)や探針と試料との間に作用する原子間力を用いる原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope:AFM)などがある。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明が解決しようとする一番目の課題は、より効果的に短時間内に試料の凹凸などの条件変化にも一定の速度及び時間を具現することができる探針顕微鏡の自動ランディング方法を提供することである。
前記一番目の課題を解決するための本発明は、光源を用いてカンチレバーに光を照射する段階と、前記カンチレバーのエッジで回折されてサンプル表面に入射される光によって発生した干渉縞を収集する段階と、前記干渉縞のパターンが既定のパターンに至るまで前記チップを前記サンプル方向に第1駆動させる段階と、前記一つの干渉縞が形成された以後、前記カンチレバーを前記サンプル方向に第2駆動させる段階と、を含むことを特徴とする探針顕微鏡の自動ランディング方法を提供する。
本発明による探針顕微鏡のランディング方法は、試料の凹凸などの条件変化にも拘わらず、一定にランディング段階を区分してチップを自動ランディングすることができるので、特に、大面積のサンプルの場合に非常に効果的である。さらに、迅速にチップをサンプル近似距離まで信頼性あるように駆動させることができるので、非常に経済的で効果的な探針顕微鏡の応用が可能である。
以下、図面などを用いて本発明を詳しく説明するが、下記の内容は、本発明を例示するためのものであり、本発明を限定するか制限していない。理解の便宜上、たとえ他の図面に属しても、同一の構成要素には、同一の符号を付与したということを注意しなければならない。
本発明は、探針顕微鏡の自動ランディング方法及びそれを用いる自動ランディング装置に関連する分野に適用されうる。
Claims (13)
- カンチレバー、前記カンチレバーに結合されたチップ、前記カンチレバーの上部に離隔して位置させた光源を含む探針顕微鏡のランディング方法において、
前記光源を用いて前記カンチレバーに光を照射する段階と、
前記カンチレバーのエッジで回折されてサンプル表面に入射される光によって発生した干渉縞を収集する段階と、
前記干渉縞のパターンが既定のパターン領域に到逹するまで前記チップを前記サンプル方向に第1駆動させる段階と、
前記干渉縞のパターンが前記既定のパターン領域に到逹した後、前記チップを前記サンプル方向に第2駆動させる段階と、を含むことを特徴とする探針顕微鏡の自動ランディング方法。 - 前記第1駆動段階は、加減速プロファイルに基づいて遂行されることを特徴とする請求項1に記載の探針顕微鏡の自動ランディング方法。
- 前記第1駆動段階は、前記カンチレバーに連結されたコースステージを用いて遂行されることを特徴とする請求項1に記載の探針顕微鏡の自動ランディング方法。
- 前記第2駆動段階は、前記カンチレバーに連結された微細ステージを用いて遂行されることを特徴とする請求項1に記載の探針顕微鏡の自動ランディング方法。
- 前記第1駆動段階で干渉縞の収集とチップの駆動とは同時に進行し、収集された前記干渉縞を用いて前記チップの駆動をフィードバック制御することを特徴とする請求項1に記載の探針顕微鏡の自動ランディング方法。
- 前記第2駆動段階でPSD(Photo Sensitive Device)信号を用いて前記チップの駆動をフィードバック制御することを特徴とする請求項1に記載の探針顕微鏡の自動ランディング方法。
- カンチレバー及び前記カンチレバーの結合されたチップを含む探針顕微鏡において、
前記探針顕微鏡のカンチレバーに光を照射する光源部と、
前記カンチレバーのエッジで回折されてサンプル表面に入射されるレーザービームによって発生する干渉縞を収集する映像情報収集部と、
既定の干渉縞のパターンと前記映像情報収集部によって収集された干渉縞のパターンとを比べて、前記チップの動作プロファイルを決定し、これにより、チップの駆動信号を下記ランディング部に提供する制御部と、
前記制御部からの駆動信号に基づいて前記チップを駆動させるランディング部と、を含むことを特徴とする探針顕微鏡の自動ランディング装置。 - 前記制御部は、
もし、前記収集された干渉縞のパターンが前記既定の干渉縞のパターンに到逹することができない場合、第1駆動信号を前記ランディング部に提供し、前記収集された干渉縞のパターンが前記既定の干渉縞のパターンに到逹する場合、第2駆動信号を前記ランディング部に提供することを特徴とする請求項8に記載の探針顕微鏡の自動ランディング装置。 - 前記第1駆動信号は、
前記収集された干渉縞のパターンをフィードバック信号にして制御されることを特徴とする請求項9に記載の探針顕微鏡の自動ランディング装置。 - 前記第1駆動信号に基づいて前記チップと連結されたコースステージによって前記チップが駆動されることを特徴とする請求項9に記載の探針顕微鏡の自動ランディング装置。
- 前記第2駆動信号に基づいて前記チップと連結された微細ステージによって前記チップが駆動されることを特徴とする請求項9に記載の探針顕微鏡の自動ランディング装置。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63285404A (ja) * | 1987-05-19 | 1988-11-22 | Nippon Seiko Kk | 光学式自動位置決め装置 |
JPH0682250A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-03-22 | Toshiba Corp | 原子間力顕微鏡 |
JPH085643A (ja) * | 1994-06-14 | 1996-01-12 | Nissin Electric Co Ltd | 複合顕微鏡 |
US5861954A (en) * | 1996-10-10 | 1999-01-19 | Israelachvili; Jacob N. | Instrument for measuring static and dynamic forces between surfaces in three dimensions |
WO2005010502A1 (ja) * | 2003-07-23 | 2005-02-03 | Hitachi Kenki Finetech Co., Ltd. | 走査型プローブ顕微鏡の深針交換方法 |
JP2005265586A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Olympus Corp | 干渉計 |
KR20070052852A (ko) * | 2005-11-18 | 2007-05-23 | 광주과학기술원 | 간섭계를 이용한 미소변위 측정장치 및 방법 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6196061B1 (en) * | 1998-11-05 | 2001-03-06 | Nanodevices, Inc. | AFM with referenced or differential height measurement |
JP4472863B2 (ja) * | 1999-12-20 | 2010-06-02 | セイコーインスツル株式会社 | 近視野光プローブおよびその近視野光プローブを用いた近視野光装置 |
JP2002323426A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-11-08 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
US7230719B2 (en) * | 2003-12-02 | 2007-06-12 | National University Of Singapore | High sensitivity scanning probe system |
US7474410B2 (en) * | 2006-04-11 | 2009-01-06 | Massachusetts Institute Of Technology | Nanometer-precision tip-to-substrate control and pattern registration for scanning-probe lithography |
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Patent Citations (7)
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---|---|---|---|---|
JPS63285404A (ja) * | 1987-05-19 | 1988-11-22 | Nippon Seiko Kk | 光学式自動位置決め装置 |
JPH0682250A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-03-22 | Toshiba Corp | 原子間力顕微鏡 |
JPH085643A (ja) * | 1994-06-14 | 1996-01-12 | Nissin Electric Co Ltd | 複合顕微鏡 |
US5861954A (en) * | 1996-10-10 | 1999-01-19 | Israelachvili; Jacob N. | Instrument for measuring static and dynamic forces between surfaces in three dimensions |
WO2005010502A1 (ja) * | 2003-07-23 | 2005-02-03 | Hitachi Kenki Finetech Co., Ltd. | 走査型プローブ顕微鏡の深針交換方法 |
JP2005265586A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Olympus Corp | 干渉計 |
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