JP4768852B2 - 探針顕微鏡の自動ランディング方法及びそれを用いる自動ランディング装置 - Google Patents
探針顕微鏡の自動ランディング方法及びそれを用いる自動ランディング装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4768852B2 JP4768852B2 JP2009516415A JP2009516415A JP4768852B2 JP 4768852 B2 JP4768852 B2 JP 4768852B2 JP 2009516415 A JP2009516415 A JP 2009516415A JP 2009516415 A JP2009516415 A JP 2009516415A JP 4768852 B2 JP4768852 B2 JP 4768852B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cantilever
- probe microscope
- driving
- interference fringe
- chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
- G01Q10/04—Fine scanning or positioning
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
- G01Q10/04—Fine scanning or positioning
- G01Q10/06—Circuits or algorithms therefor
- G01Q10/065—Feedback mechanisms, i.e. wherein the signal for driving the probe is modified by a signal coming from the probe itself
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
- G01Q10/04—Fine scanning or positioning
- G01Q10/06—Circuits or algorithms therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
- G01Q20/02—Monitoring the movement or position of the probe by optical means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
本発明は、探針顕微鏡の自動ランディング方法及びそれを用いる自動ランディング装置に係り、より詳細には、さらに効果的で信頼性ある探針顕微鏡の自動ランディング可能な自動ランディング方法及び自動ランディング装置に関する。
通常、探針顕微鏡は、微細な探針(プローブ)によって試料の表面を走査しながら試料との間の相互作用を検出することによって、試料の表面の形状や物理量を検出して映像化することができる顕微鏡であって、前記相互作用として探針と試料との間に流れる電流を用いる走査型トンネル顕微鏡(Scanning Tunneling Microscope:STM)や探針と試料との間に作用する原子間力を用いる原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope:AFM)などがある。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明が解決しようとする一番目の課題は、より効果的に短時間内に試料の凹凸などの条件変化にも一定の速度及び時間を具現することができる探針顕微鏡の自動ランディング方法を提供することである。
前記一番目の課題を解決するための本発明は、光源を用いてカンチレバーに光を照射する段階と、前記カンチレバーのエッジで回折されてサンプル表面に入射される光によって発生した干渉縞を収集する段階と、前記干渉縞のパターンが既定のパターンに至るまで前記チップを前記サンプル方向に第1駆動させる段階と、前記一つの干渉縞が形成された以後、前記カンチレバーを前記サンプル方向に第2駆動させる段階と、を含むことを特徴とする探針顕微鏡の自動ランディング方法を提供する。
本発明による探針顕微鏡のランディング方法は、試料の凹凸などの条件変化にも拘わらず、一定にランディング段階を区分してチップを自動ランディングすることができるので、特に、大面積のサンプルの場合に非常に効果的である。さらに、迅速にチップをサンプル近似距離まで信頼性あるように駆動させることができるので、非常に経済的で効果的な探針顕微鏡の応用が可能である。
以下、図面などを用いて本発明を詳しく説明するが、下記の内容は、本発明を例示するためのものであり、本発明を限定するか制限していない。理解の便宜上、たとえ他の図面に属しても、同一の構成要素には、同一の符号を付与したということを注意しなければならない。
本発明は、探針顕微鏡の自動ランディング方法及びそれを用いる自動ランディング装置に関連する分野に適用されうる。
Claims (13)
- カンチレバー、前記カンチレバーに結合されたチップ、前記カンチレバーの上部に離隔して位置させた光源を含む探針顕微鏡のランディング方法において、
前記光源を用いて前記カンチレバーに光を照射する段階と、
前記カンチレバーのエッジで回折されてサンプル表面に入射される光によって発生した干渉縞を収集する段階と、
前記干渉縞のパターンが既定のパターン領域に到逹するまで前記チップを前記サンプル方向に第1駆動させる段階と、
前記干渉縞のパターンが前記既定のパターン領域に到逹した後、前記チップを前記サンプル方向に第2駆動させる段階と、を含むことを特徴とする探針顕微鏡の自動ランディング方法。 - 前記第1駆動段階は、加減速プロファイルに基づいて遂行されることを特徴とする請求項1に記載の探針顕微鏡の自動ランディング方法。
- 前記第1駆動段階は、前記カンチレバーに連結されたコースステージを用いて遂行されることを特徴とする請求項1に記載の探針顕微鏡の自動ランディング方法。
- 前記第2駆動段階は、前記カンチレバーに連結された微細ステージを用いて遂行されることを特徴とする請求項1に記載の探針顕微鏡の自動ランディング方法。
- 前記第1駆動段階で干渉縞の収集とチップの駆動とは同時に進行し、収集された前記干渉縞を用いて前記チップの駆動をフィードバック制御することを特徴とする請求項1に記載の探針顕微鏡の自動ランディング方法。
- 前記第2駆動段階でPSD(Photo Sensitive Device)信号を用いて前記チップの駆動をフィードバック制御することを特徴とする請求項1に記載の探針顕微鏡の自動ランディング方法。
- カンチレバー及び前記カンチレバーの結合されたチップを含む探針顕微鏡において、
前記探針顕微鏡のカンチレバーに光を照射する光源部と、
前記カンチレバーのエッジで回折されてサンプル表面に入射されるレーザービームによって発生する干渉縞を収集する映像情報収集部と、
既定の干渉縞のパターンと前記映像情報収集部によって収集された干渉縞のパターンとを比べて、前記チップの動作プロファイルを決定し、これにより、チップの駆動信号を下記ランディング部に提供する制御部と、
前記制御部からの駆動信号に基づいて前記チップを駆動させるランディング部と、を含むことを特徴とする探針顕微鏡の自動ランディング装置。 - 前記制御部は、
もし、前記収集された干渉縞のパターンが前記既定の干渉縞のパターンに到逹することができない場合、第1駆動信号を前記ランディング部に提供し、前記収集された干渉縞のパターンが前記既定の干渉縞のパターンに到逹する場合、第2駆動信号を前記ランディング部に提供することを特徴とする請求項8に記載の探針顕微鏡の自動ランディング装置。 - 前記第1駆動信号は、
前記収集された干渉縞のパターンをフィードバック信号にして制御されることを特徴とする請求項9に記載の探針顕微鏡の自動ランディング装置。 - 前記第1駆動信号に基づいて前記チップと連結されたコースステージによって前記チップが駆動されることを特徴とする請求項9に記載の探針顕微鏡の自動ランディング装置。
- 前記第2駆動信号に基づいて前記チップと連結された微細ステージによって前記チップが駆動されることを特徴とする請求項9に記載の探針顕微鏡の自動ランディング装置。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2007-0052042 | 2007-05-29 | ||
KR20070052042 | 2007-05-29 | ||
KR10-2008-0032371 | 2008-04-07 | ||
KR1020080032371A KR100936748B1 (ko) | 2007-05-29 | 2008-04-07 | 탐침 현미경의 자동 랜딩 방법 및 이를 이용하는 자동 랜딩장치 |
PCT/KR2008/003016 WO2008147120A2 (en) | 2007-05-29 | 2008-05-29 | Automatic landing method and apparatus for scanning probe microscope using the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009530649A JP2009530649A (ja) | 2009-08-27 |
JP4768852B2 true JP4768852B2 (ja) | 2011-09-07 |
Family
ID=40366474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009516415A Expired - Fee Related JP4768852B2 (ja) | 2007-05-29 | 2008-05-29 | 探針顕微鏡の自動ランディング方法及びそれを用いる自動ランディング装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7891016B2 (ja) |
EP (1) | EP2153198B1 (ja) |
JP (1) | JP4768852B2 (ja) |
KR (1) | KR100936748B1 (ja) |
WO (1) | WO2008147120A2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110041224A1 (en) * | 2009-08-06 | 2011-02-17 | Purdue Research Foundation | Atomic force microscope including accelerometer |
KR101492574B1 (ko) * | 2012-08-29 | 2015-02-23 | 명지대학교 산학협력단 | 원자 현미경의 탐침과 시료 간 거리측정 방법 및 그 방법이 적용되는 원자 현미경 |
KR20140147589A (ko) | 2013-06-20 | 2014-12-30 | 삼성전자주식회사 | 주사 탐침 현미경 및 그의 구동 방법 |
EP3324194B1 (en) | 2016-11-22 | 2019-06-26 | Anton Paar GmbH | Imaging a gap between sample and probe of a scanning probe microscope in substantially horizontal side view |
NL2027524B1 (en) * | 2021-02-09 | 2022-09-09 | Nearfield Instr B V | Automated landing method and system using the same |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63285404A (ja) * | 1987-05-19 | 1988-11-22 | Nippon Seiko Kk | 光学式自動位置決め装置 |
JPH0682250A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-03-22 | Toshiba Corp | 原子間力顕微鏡 |
JPH085643A (ja) * | 1994-06-14 | 1996-01-12 | Nissin Electric Co Ltd | 複合顕微鏡 |
US5861954A (en) * | 1996-10-10 | 1999-01-19 | Israelachvili; Jacob N. | Instrument for measuring static and dynamic forces between surfaces in three dimensions |
WO2005010502A1 (ja) * | 2003-07-23 | 2005-02-03 | Hitachi Kenki Finetech Co., Ltd. | 走査型プローブ顕微鏡の深針交換方法 |
JP2005265586A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Olympus Corp | 干渉計 |
KR20070052852A (ko) * | 2005-11-18 | 2007-05-23 | 광주과학기술원 | 간섭계를 이용한 미소변위 측정장치 및 방법 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6196061B1 (en) * | 1998-11-05 | 2001-03-06 | Nanodevices, Inc. | AFM with referenced or differential height measurement |
JP4472863B2 (ja) * | 1999-12-20 | 2010-06-02 | セイコーインスツル株式会社 | 近視野光プローブおよびその近視野光プローブを用いた近視野光装置 |
JP2002323426A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-11-08 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
US7230719B2 (en) * | 2003-12-02 | 2007-06-12 | National University Of Singapore | High sensitivity scanning probe system |
WO2007121208A2 (en) * | 2006-04-11 | 2007-10-25 | Massachusetts Institute Of Technology | Nanometer-precision tip-to-substrate control and pattern registration for scanning-probe lithography |
-
2008
- 2008-04-07 KR KR1020080032371A patent/KR100936748B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2008-05-29 WO PCT/KR2008/003016 patent/WO2008147120A2/en active Application Filing
- 2008-05-29 EP EP08778368.4A patent/EP2153198B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-05-29 JP JP2009516415A patent/JP4768852B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-05-29 US US12/225,404 patent/US7891016B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63285404A (ja) * | 1987-05-19 | 1988-11-22 | Nippon Seiko Kk | 光学式自動位置決め装置 |
JPH0682250A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-03-22 | Toshiba Corp | 原子間力顕微鏡 |
JPH085643A (ja) * | 1994-06-14 | 1996-01-12 | Nissin Electric Co Ltd | 複合顕微鏡 |
US5861954A (en) * | 1996-10-10 | 1999-01-19 | Israelachvili; Jacob N. | Instrument for measuring static and dynamic forces between surfaces in three dimensions |
WO2005010502A1 (ja) * | 2003-07-23 | 2005-02-03 | Hitachi Kenki Finetech Co., Ltd. | 走査型プローブ顕微鏡の深針交換方法 |
JP2005265586A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Olympus Corp | 干渉計 |
KR20070052852A (ko) * | 2005-11-18 | 2007-05-23 | 광주과학기술원 | 간섭계를 이용한 미소변위 측정장치 및 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100936748B1 (ko) | 2010-01-21 |
US7891016B2 (en) | 2011-02-15 |
JP2009530649A (ja) | 2009-08-27 |
US20090293160A1 (en) | 2009-11-26 |
WO2008147120A3 (en) | 2009-01-29 |
EP2153198A2 (en) | 2010-02-17 |
EP2153198A4 (en) | 2011-11-09 |
WO2008147120A2 (en) | 2008-12-04 |
EP2153198B1 (en) | 2017-02-08 |
KR20080104954A (ko) | 2008-12-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4768852B2 (ja) | 探針顕微鏡の自動ランディング方法及びそれを用いる自動ランディング装置 | |
JP4073847B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡及び走査方法 | |
EP1640996B1 (de) | Rastersonde in pulsed force mode, digital und in Echtzeit | |
TWI326629B (en) | A laser manufacturing process method and device thereof | |
CN103429526A (zh) | 自适应模式扫描探针显微镜 | |
US20150296126A1 (en) | Image capturing apparatus and focusing method thereof | |
CN106483337A (zh) | 扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法 | |
JP2003202284A (ja) | 走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料観察方法およびデバイス製造方法 | |
CN109313329A (zh) | 预测性聚焦追踪装置和方法 | |
Geng et al. | AFM tip-based nanomachining with increased cutting speed at the tool-workpiece interface | |
JP6584113B2 (ja) | 広がり抵抗測定方法及び広がり抵抗顕微鏡 | |
JP4021298B2 (ja) | サンプリング走査プローブ顕微鏡および走査方法 | |
TW201831910A (zh) | 用於執行樣品上之偵測或樣品之特性鑑定的方法及系統 | |
KR101068518B1 (ko) | 탐침 표면 검사기의 자동 어프로치 방법, 탐침 표면 검사기의 자동 어프로치 장치 및 이를 구비하는 탐침 현미경 | |
KR101031835B1 (ko) | 탐침 표면 검사기의 고속 자동 어프로치 장치 및 방법 | |
KR102405671B1 (ko) | 반도체 소자 또는 반가공 반도체 소자의 레이어의 결함 탐지 또는 특성화를 수행하는 방법 및 시스템 | |
JP2006281437A (ja) | 走査型プローブによる加工方法 | |
WO2016189651A1 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP6161658B2 (ja) | 調整可能なスキャン速度を有する測定装置及び測定方法 | |
CN110389238B (zh) | 扫描型探针显微镜及悬臂移动方法 | |
JP4878708B2 (ja) | 共焦点走査型顕微鏡、その位置合わせ方法、プログラム及び記憶媒体 | |
RU2426190C1 (ru) | Способ формирования наноразмерных структур | |
JP4066431B2 (ja) | 近接場光プローブ作製装置及びその作製方法 | |
JP2005164278A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡のアプローチ方法及び走査型プローブ顕微鏡 | |
JP2005043108A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡の特定パターン検出方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110531 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110616 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140624 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |