JP4768333B2 - 静電チャック - Google Patents
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Description
そして、この冷却ガスを静電チャックの表面に供給するために、静電チャックを構成するセラミック絶縁体の内部に、横穴や縦穴からなるガス流路(トンネル)が形成されている(特許文献1参照)。
本発明は、前記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、セラミック絶縁体のガス流路にてアーキングが発生することを防止して、アーキングによるダストの発生を抑えることができる静電チャックを提供することを目的とする。
例えば静電チャック1に半導体ウェハ5を固定し、半導体ウェハ5の酸化膜のエッチングを施すために、RF加工装置を用いた場合には、冷却用ガス流路13にHeガスを流し、RF加工装置のパワーを例えば3000Wとして加工を行う。
図4に示す様に、横穴15の伸びる方向と垂直の断面は長方形であり、その縦寸法L2は1mm未満(例えば0.5mm)、横寸法L3も1mm未満(例えば0.8mm)に設定されている。
特に、横穴15の上面には、RF加工時におけるアーキングの発生の防止のために、タングステンを主成分とする導電層(メタライズ層)27が形成されている。尚、この導電層27は、横穴15の内周面のうち、できるだけ広い面積(例えば全体)に形成されていることが好ましい。
(1)原料としては、主成分であるアルミナ粉末:92重量%に、MgO:1重量%、CaO:1重量%、SiO2:6重量%を混合して、ボールミルで、50〜80時間湿式粉砕した後、脱水乾燥する。
(5)そして、前記第2アルミナグリーンシート33上に、前記メタライズインクを用いて、通常のスクリーン印刷法により、両内部電極21、23となる(図の斜線で示す)電極パターン55、57を印刷する。
この積層の際には、静電チャック1の完成後に横穴15の内周面の上面(チェック面3側の表面)となる位置に対して、(導電層27)となる導電ペーストと塗布する。
尚、内部電極21、23に関しては、図示しないが、スルーホールにより最下層の第6アルミナグリーンシート41の裏面に引き出して端子を設ける。
(9)次に、カットしたシートを、還元雰囲気にて、1400〜1600℃にて焼成する。この焼成より、寸法が約20%小さくなるため、焼成後のセラミック体の厚みは、約4mmとなる。
(11)次に、端子にニッケルメッキを施し、更にこのニッケル端子をロー付け又は半田付けして、セラミック絶縁体7を完成する。
d)次に、本実施例の効果について説明する。
また、本実施例では、チャック側縦穴15の内径はφ0.5mm未満と細いので、チャック側縦穴15にアーキングが発生し難いという効果もある。
図7に示す様に、本実施例の静電チャック101は、基本的に前記実施例1と同様な構成であるが、主として、冷却用ガス流路103の形状が異なる。
尚、セラミック絶縁体105に接続されるアルミベース133には、冷媒(冷却水等)の流路135が形成されている。
尚、本発明は前記実施例になんら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
3、107…チャック面
5…半導体ウェハ
7、105…セラミック絶縁体
9、133…アルミベース
21、23、127、129…内部電極
13、61、103…冷却用ガス流路
15、63…横穴
17、115、117…チャック側縦穴
19、121…ベース側縦穴
Claims (3)
- 板状のセラミック絶縁体の内部にガスの流路を備えた静電チャックにおいて、
前記静電チャックは、被加工物に対してRF加工装置によってRF加工を行う際に、前記静電チャックの単位面積当たりの前記RF加工装置のパワーが、3W/cm2以上である場合に用いられるものであって、
前記ガスの流路は、前記セラミック絶縁体の平面方向に伸びる横穴を備え、
前記横穴において、前記セラミック絶縁体の厚み方向の縦寸法を、0.2〜0.5mm、に設定するとともに、前記横穴の伸びる方向に対して垂直の断面における前記縦寸法と垂直の横寸法を、0.2〜0.8mmに設定したことを特徴とする静電チャック。 - 板状のセラミック絶縁体の内部にガスの流路を備えた静電チャックにおいて、
前記静電チャックは、被加工物に対してRF加工装置によってRF加工を行う際に、前記静電チャックの単位面積当たりの前記RF加工装置のパワーが、3W/cm2以上である場合に用いられるものであって、
前記ガスの流路は、前記セラミック絶縁体の平面方向に伸びる横穴を備えるとともに、該横穴と連通して前記セラミック絶縁体の表面に開口する縦穴を備え、
前記縦穴の前記セラミック絶縁体の平面方向の断面における内径寸法を、0.1〜0.25mmに設定したことを特徴とする静電チャック。 - 前記縦穴は円柱形状の空孔であり、該縦穴の直径を、0.1〜0.25mmに設定したことを特徴とする請求項2に記載の静電チャック。
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