JP4762776B2 - 固体溶融装置 - Google Patents
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Description
投入された固形状原料を溶融すると共に、この溶融された融液を保持する坩堝と、
上記坩堝内に上記固形状原料を追加供給する原料供給部と、
上記坩堝内における上記融液の表面上に浮遊している上記追加供給された固形状原料に対して不活性ガスを吹き付ける不活性ガス吹き付け部
を備えた固体溶融装置において、
上記原料供給部は、
追加供給原料を保持する原料保持部と、
上記原料保持部を上記坩堝内の融液の直上まで搬送する搬送部と、
上記原料保持部を傾動させて上記追加供給原料を上記坩堝内に投下させる傾動部と
を含んでいる
ことを特徴としている。
上記不活性ガス吹き付け部は、上記不活性ガスを吹き出す不活性ガス吹出口を有し、
上記不活性ガス吹出口は、上記原料保持部あるいは上記原料保持部と連動して傾動する箇所に設けられている。
上記不活性ガス吹き付け部は、上記不活性ガス吹出口に連通するパイプ状を成すと共に、一端が上記原料保持部に取り付け固定されており、
上記搬送部は、上記不活性ガス吹き付け部を含んでいる。
上記搬送部は、上記不活性ガス吹き付け部の一端に取り付けられている上記原料保持部が上記坩堝内の融液の直上に至るまで上記不活性ガス吹き付け部を移動させる移動装置を含んでおり、
上記傾動部は、上記パイプ状の不活性ガス吹き付け部を中心軸の回りに回転させて、上記不活性ガス吹き付け部の一端に取り付けられている上記原料保持部を傾動させる回転装置を含んでいる。
2…シリコン融液、
3…加熱用ヒーター、
4…坩堝台、
5…断熱材、
6…原料供給部、
6a…原料保持部、
7,9…不活性ガス吹き付け部、
8…副室、
10…不活性ガス導入口、
11…不活性ガス吹出口、
12…不活性ガス吹き付け口、
13…追加原料。
Claims (4)
- 投入された固形状原料を溶融すると共に、この溶融された融液を保持する坩堝と、
上記坩堝内に上記固形状原料を追加供給する原料供給部と、
上記坩堝内における上記融液の表面上に浮遊している上記追加供給された固形状原料に対して不活性ガスを吹き付ける不活性ガス吹き付け部
を備えた固体溶融装置において、
上記原料供給部は、
追加供給原料を保持する原料保持部と、
上記原料保持部を上記坩堝内の融液の直上まで搬送する搬送部と、
上記原料保持部を傾動させて上記追加供給原料を上記坩堝内に投下させる傾動部と
を含んでいる
ことを特徴とする固体溶融装置。 - 請求項1に記載の固体溶融装置において、
上記不活性ガス吹き付け部は、上記不活性ガスを吹き出す不活性ガス吹出口を有し、
上記不活性ガス吹出口は、上記原料保持部あるいは上記原料保持部と連動して傾動する箇所に設けられている
ことを特徴とする固体溶融装置。 - 請求項2に記載の固体溶融装置において、
上記不活性ガス吹き付け部は、上記不活性ガス吹出口に連通するパイプ状を成すと共に、一端が上記原料保持部に取り付け固定されており、
上記搬送部は、上記不活性ガス吹き付け部を含んでいる
ことを特徴とする固体溶融装置。 - 請求項3に記載の固体溶融装置において、
上記搬送部は、上記不活性ガス吹き付け部の一端に取り付けられている上記原料保持部が上記坩堝内の融液の直上に至るまで上記不活性ガス吹き付け部を移動させる移動装置を含んでおり、
上記傾動部は、上記パイプ状の不活性ガス吹き付け部を中心軸の回りに回転させて、上記不活性ガス吹き付け部の一端に取り付けられている上記原料保持部を傾動させる回転装置を含んでいる
ことを特徴とする固体溶融装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR102271455B1 (ko) * | 2020-09-24 | 2021-07-01 | 한화솔루션 주식회사 | 주 도가니로 공급되는 실리콘을 예비 용융시키기 위한 예비 용융 장치 및 그 제어방법 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04224191A (ja) * | 1990-12-25 | 1992-08-13 | Kawasaki Steel Corp | 半導体原料多結晶の融解方法 |
JPH07118089A (ja) * | 1993-10-22 | 1995-05-09 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 多結晶のリチャージ装置およびリチャージ方法 |
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Patent Citations (2)
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JPH04224191A (ja) * | 1990-12-25 | 1992-08-13 | Kawasaki Steel Corp | 半導体原料多結晶の融解方法 |
JPH07118089A (ja) * | 1993-10-22 | 1995-05-09 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 多結晶のリチャージ装置およびリチャージ方法 |
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JP2007284320A (ja) | 2007-11-01 |
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