JP4760069B2 - 接着剤組成物、回路接続用接着剤組成物及びそれを用いた回路接続構造体、半導体装置 - Google Patents
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Description
特に、回路接続材料としては、液晶ディスプレイとTCP又はFPCとTCPとの接続、FPCとプリント配線板との接続には接着剤中に導電性粒子を分散させた異方導電性接着剤が使用されている。従来、前記半導体や液晶ディスプレイ用の接着剤としては、高接着性でかつ高信頼性を示すエポキシ樹脂を用いた熱硬化性樹脂が用いられてきた(例えば、特許文献1参照)中でも熱潜在性触媒を用いた一液型エポキシ樹脂系接着剤は、主剤と硬化剤との混合が不必要であり使用が簡便なことから、フィルム状・ペースト状・粉体状の形態で使用されている。実際の行程における硬化条件は170℃〜250℃の温度で1〜3時間硬化することにより、所望の接着力を得ていた。しかしながら、近年の半導体素子の高集積化、液晶素子の高精細化に伴い、素子間および配線間ピッチが狭小化し、硬化時の加熱によって、周辺部材に悪影響を及ぼすおそれが出てきた。また、電極幅および電極間隔が極めて狭く、さらに電極高さも低くなっている。このため、従来の回路接続用接着剤では、配線の位置ずれが生じるなどの問題点がある。さらに、低コスト化のためには工程時間の短縮が求められるため、より低温でかつ短時間で硬化し、接着することが求められている。
近年、低温および短時間化の方法として、アクリレート誘導体やメタアクリレート誘導体(以下(メタ)アクリレート誘導体と呼ぶ)等のラジカル重合性化合物とラジカル重合開始剤である過酸化物を併用したラジカル型接着剤が注目を集めている。ラジカル硬化は、反応活性種のラジカルが反応性に富むため、低温短時間化が可能である(例えば、特許文献2参照)。しかしながら、ラジカル硬化を用いた接着剤は、硬化時の硬化収縮が大きいために、エポキシ樹脂を用いた場合と比較して、接着強度に劣る。特に無機材質や金属材質の基材に対する接着強度が低下する。接着強度の改良方法として、エーテル結合によって柔軟性及び可とう性を付与したウレタンアクリレート化合物をラジカル重合性化合物として使用する方法が提案されている(特許文献3、4参照)。
また、本発明は[2] (3)のウレタン(メタ)アクリレートが、下記一般式(B)及び/または(C)の構造を含む上記[1]に記載の接着剤組成物に関する。
また、本発明は[3] (3)のウレタン(メタ)アクリレートが、下記一般式(D),(E),(F)から選ばれる少なくとも一種を含む上記[1]または上記[2」に記載の接着剤組成物に関する。
また、本発明は[4](3)のウレタン(メタ)アクリレートが、一般式(A)で示される上記[1]ないし上記[3]のいずれかに記載の接着剤組成物に関する。
また、本発明は[5] フレキシブル基板に対する仮固定力が50〜150gf/cmである上記[1]ないし上記[4]のいずれかに記載の接着剤組成物に関する。
また、本発明は[6] ウレタン(メタ)アクリレートの25℃での粘度が、5.0Pa・s以上である上記[1]ないし上記[5]のいずれかに記載の接着剤組成物に関する。
また、本発明は[7] さらに、分子内に少なくとも1つ以上のリン酸基を有するビニル化合物を(2)熱可塑性樹脂50重量部に対して0.1〜15重量部含有する上記[1]ないし上記[6]のいずれかに記載の接着剤組成物に関する。
また、本発明は[8] さらに、(2)熱可塑性樹脂100重量部に対して、導電粒子0.5〜30重量部を含有する上記[1]ないし上記[7]のいずれかに記載の接着剤組成物に関する。
また、本発明は[9] 相対向する回路電極を有する基板間に接着剤を介在させ、相対向する回路電極を有する基板を加圧して加圧方向の電極間を電気的に接続する接着剤であって、前記接着剤は上記[1]ないし上記[8]のいずれかに記載の接着剤組成物である回路接続用接着剤組成物に関する。
また、本発明は[10] 上記[9]に記載の回路接続用接着剤組成物を用いて接続された回路接続構造体に関する。
また、本発明は[11] 半導体素子の電極と半導体搭載用基板の回路電極間に上記[1]ないし上記[8]のいずれかに記載の接着剤組成物を介在させ、加圧して加圧方向の電極間を電気的に接続した半導体装置に関する。
本発明において用いる(1)ラジカル発生剤としては、熱または光によってラジカルを発生する化合物であれば特に制限はなく、過酸化物、アゾ化合物などがあり、目的とする接続温度、接続時間、保存安定性等を考慮し適宜選択することができる。高反応性と保存安定性の点から、半減期10時間の温度が、40℃以上、かつ、半減期1分の温度が180℃以下の有機過酸化物が好ましく、半減期10時間の温度が、50℃以上かつ、半減期1分の温度が170℃以下の有機過酸化物が特に好ましい。接続時間を10秒とした場合、十分な反応率を得るための硬化剤の配合量は、1〜20重量%が好ましく、2〜15重量%が特に好ましい。
本発明で使用される有機過酸化物の具体的な化合物としては、ジアシルパーオキサイド、パーオキシジカーボネト、パーオキシエステル、パーオキシケタール、ジアルキルパーオキサイド、ハイドロパーオキサイド、シリルパーオキサイドなどから選定できるが、パーオキシエステル、ジアルキルパーオキサイド、ハイドロパーオキサイド、シリルパーオキサイドは、開始剤中の塩素イオンや有機酸が5000ppm以下であり、加熱分解後に発生する有機酸が少なく、回路部材の接続端子の腐食を抑えることができるため特に好ましい。
これらの遊離ラジカル発生剤は単独又は混合して使用することができ、分解促進剤、抑制剤等を混合して用いても良い。
また、これらのラジカル発生剤をポリウレタン系、ポリエステル系の高分子物質等で被覆してマイクロカプセル化したものは、可使時間が延長されるために好ましい。
接着性、リペア性の観点から、一般式(B)、一般式(C)より選ばれる1つ以上の構造を有するものが好ましく、さらに一般式(B)、一般式(C)を任意の割合で併用して良い。また、一般式(C)の異性体はそれぞれ単独または混合物でも良い。
例えば、ジオール類とジイソシアネート化合物とアルコール性水酸基を有する(メタ)アクリレートとを反応して得られる化合物や、ジイソシアネート化合物とアルコール性水酸基を有する(メタ)アクリレートとを反応して得られる化合物が挙げられる。
具体的には、ジイソシアネート化合物として、例えば、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、キシレン−1,4−ジイソシアネート、キシレン−1,3−ジイソシアネート、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルエーテルジイソシアネート、2,2’−ジフェニルプロパン−4,4’−ジイソシアネート、3,3’−ジメチルジフェニルメタン−4,4’−ジイソシアネート、4,4’−ジフェニルプロパンジイソシアネート、1,3−ジイソシアネートベンゼン、1,4−ジイソシアネートベンゼン、ナフチレン−1,4−ジイソシアネート、ナフチレン−1,5−ジイソシアネート、3,3’−ジメトキシジフェニル−4,4’−ジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、デカメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、ジイソシアン酸−トランス−1,4‐シクロヘキサン、2,2,4-トリメチルヘキサンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、水素添加トリレンジイソシアネート、水素添加キシレンジイソシアネート、水素添加ジフェニルメタンジイソシアネート、テトラメチルキシレンジイソシアネート等の脂環族ジイソシアネート等のジイソシアネート等が挙げられる。これらは1種又は2種以上を用いることができる。特に、2,2,4−トリメチルヘキサンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネートなどの脂肪族ジイソシアネートを用いることが望ましい。
エーテルジオールとしては、エチレングリコール、1,3-プロパンジオール、プロピレングリコール、2,3-ブタンジオール、1,4-ブタンジオール、2-エチルブタン‐1、4-ジオール、1,5-ペンタンジオール、1,6-ヘキサンジオール、1,7-ヘプタンジオール、1,8-オクタンジオール、1,9-ノナンジオール、1,10-デカンジオール、1,9-デカンジオール、1,9−ノナンジオール、1,4-シクロヘキサンジオール‐1,4-ジメチロール、2,2-ジエチルプロパン‐1,3-ジオール、2,2-ジメチルプロパン‐1,3-ジオール、3-メチルペンタン‐1,4-ジオール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、2,2-ジエチルブタン‐1,3-ジオール、4,5-ノナンジオール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ジプロピレングリコール、ネオペンチルグリコール、グリセリン、ペンタエリスリトール、エリスリトール、ソルビトール、マンニトール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン、2,2-ジメチル‐3-ヒドロキシプロピル‐2,2-ジメチル‐3-ヒドロキシプロピオネート、および2-ブテン‐1,4-ジオールなどの直鎖または分岐状アルキレングリコールまたはジオール類、ビスフェノールA、ハイドロキノン及びそれらのアルキレンオキシド付加体等の多価アルコール類や、これらを出発原料とした縮合物または共重合体等のポリオール類を用いることができる。
具体的には、アシッドホスホオキシエチルメタクリレート、アシッドホスホオキシエチルアクリレート、アシッドホスホオキシプロピルメタクリレート、アシッドホスホキシポリオキシエチレングリコールモノメタクリレート、アシッドホスホキシポリオキシプロピレングリコールモノメタクリレート、2,2'−ジ(メタ)アクリロイロキシジエチルホスフェート、EO(エチレンオキサイド)変性リン酸ジメタクリレート等が挙げられる。
また、本発明の回路接続用接着剤組成物を硬化物としたときのTg(ガラス転移温度)が5℃以上異なる2種類以上の層からなる多層構成としても良い。
本発明の回路接続用接着剤組成物を使用して接着する回路電極を有する基板としては、電気的接続を必要とする電極が形成されているものであれば特に制限はないが、液晶ディスプレイに用いられているITO等で電極が形成されているガラスまたはプラスチック基板、プリント配線板、セラミック配線板、フレキシブル配線板、半導体シリコンチップなどが有り、必要に応じて組み合わせて使用される。
接続する場合の条件としては特に制限はないが、接続温度50〜250℃、好ましくは50〜190℃、接続時間1秒〜10分、好ましくは1〜10秒であり、圧力は、被着体に損傷を与えない範囲であれば、特に制限は受けないが、一般的には0.1〜10MPaが好ましい。使用する用途、接着剤、基板によって適宜選択され、必要に応じて、後硬化を行っても良い。また、接続時は加熱加圧により行われるが、必要に応じて熱以外のエネルギーたとえば光、超音波、電磁波等を使用しても良い。
これらの化合物は単独で用いる他に、2種以上の化合物を混合して用いても良い。
上記ゴム成分としては、接着性向上の観点から、高極性基であるシアノ基、カルボキシル基を側鎖あるいは末端に含むゴム成分が好ましく、さらに流動性向上の観点から、液状ゴムがより好ましい。具体的には、液状アクリロニトリル−ブタジエンゴム、カルボキシル基、水酸基、(メタ)アクリロイル基またはモルホリン基をポリマ末端に含有する液状アクリロニトリル−ブタジエンゴム、液状カルボキシル化ニトリルゴムが挙げられ、極性基であるアクリロニトリル含有量が10〜60重量%が好ましい。
これらの化合物は単独で用いる他に、2種以上の化合物を混合して用いても良い。
一般式(A)の構造を有するウレタン(メタ)アクリレートの分子量は、ゲル浸透クロマトグラフ(東ソー株式会社製、8020シリーズ)を用いて、表1に示す条件で測定した。
攪拌機、温度計、冷却管及び空気ガス導入管を備えた反応容器に空気ガスを導入した後、2−ヒドロキシエチルアクリレート238重量部(2.05モル)、3−メチル−1,5−ペンタンジオール(和光純薬工業株式会社製)118重量部(1モル)、重量平均分子量850のポリテトラメチレンエーテルグリコール(保土谷化学工業株式会社製、商品名PTG850)850重量部(1モル)、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.18重量部、ジブチルスズジラウレート1.81重量部を仕込み、70〜75℃に加熱し、2,4,4,−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート630重量部(3モル)を3時間で均一に滴下し、反応させた。滴下完了後約15時間反応を継続し、IR測定によりイソシアネートが消失したことを確認して反応を終了し、重量平均分子量4,200のウレタンアクリレート(UA-A)を得た(イソシアネート(C)+ジオール(D)+ジオール(F))。
攪拌機、温度計、冷却管及び空気ガス導入管を備えた反応容器に空気ガスを導入した後、2−ヒドロキシエチルアクリレート238重量部(2.05モル)、3−メチル−1,5−ペンタンジオール(和光純薬工業株式会社製)118重量部(1モル)重量平均分子量2,000のポリテトラメチレンエーテルグリコール(保土谷化学工業株式会社製、商品名PTG2000)2,000重量部(1モル)、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.53重量部、ジブチルスズジラウレート5.53重量部を仕込み、80〜90℃に加熱し、トリメチル−1,6−ジイソシアナートヘキサン630重量部(3モル)を3時間で均一に滴下し、反応させた。滴下完了後約15時間反応を継続し、IR測定によりイソシアネートが消失したことを確認して反応を終了し、重量平均分子量9,800のウレタンアクリレート(UA-B)を得た(イソシアネート(C)+ジオール(D)+ジオール(F))。
攪拌機、温度計、冷却管及び空気ガス導入管を備えた反応容器に空気ガスを導入した後、2−ヒドロキシエチルアクリレート238重量部(2.05モル)、2−メチル−2,4−ペンタンジオール(和光純薬工業株式会社製)118重量部(1モル)、重量平均分子量2,000のポリテトラメチレンエーテルグリコール(保土谷化学工業株式会社製、商品名PTG2000)2,000重量部(1モル)、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.53重量部、ジブチルスズジラウレート5.53重量部を仕込み、70〜75℃に加熱し、2,4,4,−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート630重量部(3モル)を3時間で均一に滴下し、反応させた。滴下完了後約15時間反応を継続し、IR測定によりイソシアネートが消失したことを確認して反応を終了し、重量平均分子量9,200のウレタンアクリレート(UA−C)を得た(イソシアネート(C)+ジオール(E)+ジオール(F))。
攪拌機、温度計、冷却管及び空気ガス導入管を備えた反応容器に空気ガスを導入した後、2−ヒドロキシエチルアクリレート238重量部(2.05モル)、3−メチル−1,5−ペンタンジオール(和光純薬工業株式会社製)118重量部(1モル)、重量平均分子量2,000のポリテトラメチレンエーテルグリコール(保土谷化学工業株式会社製、商品名PTG2000)2,000重量部(1モル)、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.64重量部、ジブチルスズジラウレート6.35重量部を仕込み、80〜90℃に加熱し、イソホロンジイソシアネート444重量部(3モル)を3時間で均一に滴下し、反応させた。滴下完了後約15時間反応を継続し、IR測定によりイソシアネートが消失したことを確認して反応を終了し、重量平均分子量11,500のウレタンアクリレート(UA−D)を得た(イソシアネート(B)+ジオール(D)+ジオール(F))。
攪拌機、温度計、冷却管及び空気ガス導入管を備えた反応容器に空気ガスを導入した後、2−ヒドロキシエチルアクリレート238重量部(2.05モル)、3−メチル−1,5−ペンタンジオール(和光純薬工業株式会社製)118重量部(1モル)、重量平均分子量850のポリテトラメチレンエーテルグリコール(保土谷化学工業社製、商品名PTG850)850重量部(1モル)、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.18重量部、ジブチルスズジラウレート1.81重量部を仕込み、60〜65℃に加熱し、2,4,4,−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート630重量部(3モル)を3時間で均一に滴下し、反応させた。滴下完了後約8時間反応を継続し、IR測定によりイソシアネートが消失したことを確認して反応を終了し、重量平均分子量2,800のウレタンアクリレート(UA-E)を得た(イソシアネート(C)+ジオール(D)+ジオール(F))。
攪拌機、温度計、冷却管及び空気ガス導入管を備えた反応容器に空気ガスを導入した後、2−ヒドロキシエチルアクリレート238重量部(2.05モル)、重量平均分子量2,000のポリテトラメチレンエーテルグリコール(保土谷化学工業株式会社製、商品名PTG2000)4,000重量部(2モル)、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.64重量部、ジブチルスズジラウレート6.35重量部を仕込み、90〜100℃に加熱し、イソホロンジイソシアネート444重量部(3モル)を3時間で均一に滴下し、反応させた。滴下完了後約18時間反応を継続し、IR測定によりイソシアネートが消失したことを確認して反応を終了し、重量平均分子量32,000のウレタンアクリレート(UA-F)を得た(イソシアネート(B)+ジオール(D))。
(2)熱可塑性樹脂として、フェノキシ樹脂(PKHC、ユニオンカーバイト社製商品名、平均分子量45,000)40gを、メチルエチルケトン60gに溶解して、固形分40重量%の溶液とした。ラジカル重合性化合物として、イソシアヌル酸EO変性ジアクリレート(M−215、東亜合成株式会社製商品名)、及び2-(メタ)アクリロイロキシエチルホスフェート(ライトエステルP-2M、共栄社化学株式会社製商品名)、(3)ラジカル重合性の2官能以上を有する一般式(A)の構造を有するウレタンアクリレートとして前記で合成した Mw(重量平均分子量)=4,200(UA−A)、9,800(UA−B)、9,200(UA−C)、11,500(UA−D)、(1)ラジカル発生剤(ラジカル重合開始剤)としてt−ヘキシルパーオキシ−2−エチルヘキサノネートの50重量%DOP(ジオクチルフタレート)溶液(日本油脂株式会社製、商品名パーキュアHO)を用いた。また、ポリスチレンを核とする粒子の表面に、厚み0.20μmのニッケル層を設け、このニッケル層の外側に、厚み0.02μmの金層を設けた平均粒径4μm、比重2.5の導電粒子を作製して用いた。
固形重量比で表2に示した配合で、さらに接着剤成分に対し導電粒子を1.5体積%配合分散させ、厚み80μmのフッ素樹脂フィルムに塗工装置を用いて塗布し、70℃、10分の熱風乾燥によって接着剤層の厚みが15μmのフィルム状接着剤を作製した。
ラジカル重合性の2官能以上を有する一般式(A)の構造を有するウレタンアクリレートの分子量Mw=2,800(UA−E)、32,000(UA−F)を用いた以外は、実施例1と同様にしてフィルム状接着剤を作製した。
上記のようにして得たフィルム状接着剤を用いて、ライン幅25μm、ピッチ50μm、厚み18μmの銅回路を500本有するフレキシブル回路板(FPC)と、厚み0.20μmの酸化インジウムスズ(ITO)の薄層を形成したガラス(厚み1.1mm、表面抵抗20Ω/□)との接続を行った。予めITOの薄層を形成したガラス上に、フィルム状接着剤の剥離性PETフィルム反対面をITOの薄層を形成したガラス面に剥離性フッ素樹脂フィルム側から70℃、1MPaで3秒間加熱加圧してITOの薄層を形成したガラス面にフィルム状接着剤を仮接続した。その後、剥離性フッ素樹脂フィルムを接着フィルム界面から剥離して、ITOの薄層を形成したガラス上へフィルム状接着剤の転写を行った。その後、熱圧着装置(加熱方式:コンスタントヒート型、東レエンジニアリング株式会社製)を用いて、175℃、3MPaで15秒間の加熱加圧を行って幅2mmにわたり接続し、回路接続構造体を作製した。この回路接続構造体の隣接回路間の抵抗値を、接着直後と、85℃、85%RHの高温高湿槽中に120時間保持した後にマルチメータで測定した。抵抗値は隣接回路間の抵抗150点の平均(x+3σ;xは平均値、σは標準偏差)で示した。
JIS−Z0237に準じて90度剥離法で測定し、評価した。ここで、接着強度の測定装置は東洋ボールドウィン株式会社製テンシロンUTM−4(剥離速度50mm/min、25℃)を使用した。
フレキシブル基板に対する仮固定力は、PWB(プリント配線基板)あるいはガラス基板に接続材料を80℃、1MPa、3秒で仮圧着し、剥離性フッ素樹脂フィルムを剥離後、フレキシブル基板を23℃、0.5MPa、5秒で圧着する。引張り方向90°にて、引張り速度50mm/minでフレキシブル基板と接続材料の仮固定力を測定温度23±3℃で測定した。基材の仕様は以下の通りである。
フレキシブル基板;75μmポリイミドフィルム、1/2Oz(オンス)
銅箔錫メッキ、ピッチ0.2mm、電極幅/電極スペース=1/1
ガラス基板;15〜20Ω/□、スパッタ 全面電極、厚み1.1mm
以上のようにして行った回路接続構造体の接着強度、接続抵抗の測定の結果をまとめて表3に示した。
半導体チップ(3×10mm,高さ0.5mm,主面の4辺周囲にバンプとよばれる100μm角、高さ20μmの突起した金電極が存在)のバンプ配置と対応した接続端子を有する厚み1mmのガラスエポキシ基板(回路は銅箔で厚み18μm)から作製した半導体搭載用基板を用意した。半導体搭載用基板の回路表面には、ニッケル/金めっきを施した。半導体チップの突起電極と半導体搭載用基板とを上記実施例2のフィルム状接着剤を用いて次のようにして接続した。半導体搭載用基板の回路面にフィルム状接着材を80℃、1MPa、3秒で仮圧着し、剥離性フッ素樹脂フィルムを剥離後、半導体チップの突起電極と半導体搭載用基板との位置合せを行い、180℃、10kgf/チップの温度及び圧力により20秒間加熱圧着した。
これによって、フィルム状接着剤を介して半導体チップの突起電極と半導体搭載用基板の回路とを電気的に接続すると同時に半導体チップと半導体搭載用基板の電極はフィルム状接着剤の硬化によって、この接続状態を保持した。このようにして得た半導体チップと半導体搭載用基板を接続した半導体装置を(−55℃、30分)/(125℃、30分)の条件で繰り返す冷熱サイクル試験に曝した。この冷熱サイクル試験1,000回後の半導体チップの突起電極と基板回路の接続抵抗を測定したところ接続抵抗の上昇がなく、良好な接続信頼性を示した。
本発明の(1)ラジカル発生剤、(2)熱可塑性樹脂、(3)分子内に2官能以上のラジカル重合性基を有し、かつ、重量平均分子量が3,000以上、30,000以下のウレタン(メタ)アクリレートを含有する接着剤組成物は、転写性およびフレキシブル基板等への仮固定が良好で、特性バランスに優れており、貯蔵安定性および接続信頼性に優れていた。
Claims (8)
- (1)ラジカル発生剤、(2)熱可塑性樹脂(但し、分子内に2官能以上のラジカル重合性基を有し、下記一般式(B)及び/または(C)の構造を含み、下記一般式(D),(E),(F)から選ばれる少なくとも一種の構造を含み、かつ、重量平均分子量が3,000〜30,000のウレタン(メタ)アクリレートを除く)、(3)分子内に2官能以上のラジカル重合性基を有し、下記一般式(B)及び/または(C)の構造を含み、下記一般式(D),(E),(F)から選ばれる少なくとも一種の構造を含み、かつ、重量平均分子量が3,000〜30,000のウレタン(メタ)アクリレートを含有する接着剤組成物であって、
相対向する回路電極を有する基板間に前記接着剤組成物を介在させ、相対向する回路電極を有する基板を加圧して加圧方向の電極間を電気的に接続する回路接続用接着剤組成物。
- (3)のウレタン(メタ)アクリレートが、一般式(A)で示される請求項1に記載の回路接続用接着剤組成物。
- フレキシブル基板に対する仮固定力が50〜150gf/cmである請求項1又は2に記載の回路接続用接着剤組成物。
- ウレタン(メタ)アクリレートの25℃での粘度が、5.0Pa・s以上である請求項1〜3のいずれか一項に記載の回路接続用接着剤組成物。
- さらに、分子内に少なくとも1つ以上のリン酸基を有するビニル化合物を(2)熱可塑性樹脂50重量部に対して0.1〜15重量部含有する請求項1〜4のいずれか一項に記載の回路接続用接着剤組成物。
- さらに、(2)熱可塑性樹脂100重量部に対して、導電粒子0.5〜30重量部を含有する請求項1〜5のいずれか一項に記載の回路接続用接着剤組成物。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の回路接続用接着剤組成物を用いて接続された回路接続構造体。
- 半導体素子の電極と半導体搭載用基板の回路電極間に請求項1〜6のいずれか一項に記載の回路接続用接着剤組成物を介在させ、加圧して加圧方向の電極間を電気的に接続した半導体装置。
Priority Applications (24)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005074913A JP4760069B2 (ja) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | 接着剤組成物、回路接続用接着剤組成物及びそれを用いた回路接続構造体、半導体装置 |
CN2011102205106A CN102277123B (zh) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | 粘接剂组合物、电路连接材料、电路构件的连接结构及半导体装置 |
KR1020117006893A KR101140062B1 (ko) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | 접착제 조성물, 회로 접속 재료, 회로 부재의 접속 구조체 및 반도체 장치 |
EP06729113A EP1860170A4 (en) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | ADHESIVE COMPOSITION, CONNECTION MATERIAL FOR CIRCUITS, CONNECTION STRUCTURE FOR CIRCUIT COMPONENTS, AND SEMICONDUCTOR DEVICE |
CN201110222705.4A CN102382613B (zh) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | 粘接剂组合物、电路连接材料、电路构件的连接结构及半导体装置 |
CN201110222529.4A CN102277124B (zh) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | 粘接剂组合物、电路连接材料、电路构件的连接结构及半导体装置 |
CN2006800081746A CN101142292B (zh) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | 粘接剂组合物、电路连接材料、电路构件的连接结构及半导体装置 |
CN201210279658.1A CN102796486B (zh) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | 粘接剂组合物、电路连接材料、电路构件的连接结构及半导体装置 |
PCT/JP2006/305092 WO2006098352A1 (ja) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | 接着剤組成物、回路接続材料、回路部材の接続構造及び半導体装置 |
KR1020117006895A KR101140095B1 (ko) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | 회로 부재의 접속 구조체 및 회로 접속 부재 |
KR1020107019373A KR101081671B1 (ko) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | 접착제 조성물, 회로 접속 재료, 회로 부재의 접속 구조체 및 반도체 장치 |
EP11160369A EP2357215A1 (en) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | Use of an adhesive composition, a circuit connecting material, a process for the production of a circuit member connection structure and a semiconductor device |
CN2012102796789A CN102786908B (zh) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | 粘接剂组合物、电路连接材料、电路构件的连接结构及半导体装置 |
CN2011102224874A CN102355793A (zh) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | 粘接剂组合物、电路连接材料、电路构件的连接结构及半导体装置 |
CN201210284584.0A CN102807836B (zh) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | 粘接剂组合物、电路连接材料、电路构件的连接结构及半导体装置 |
CN2011102233002A CN102391822A (zh) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | 粘接剂组合物、电路连接材料、电路构件的连接结构及半导体装置 |
KR1020117006892A KR101140122B1 (ko) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | 필름상 접착제, 회로 부재의 접속 구조체 및 반도체 장치 |
KR1020077023601A KR101013277B1 (ko) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | 접착제 조성물, 회로 접속 재료, 회로 부재의 접속 구조체 및 반도체 장치 |
US11/908,897 US8518303B2 (en) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | Adhesive composition, circuit connecting material, connection structure of circuit member, and semiconductor device |
CN201210279675.5A CN102796487B (zh) | 2005-03-16 | 2006-03-15 | 粘接剂组合物、电路连接材料、电路构件的连接结构及半导体装置 |
TW095109011A TW200704738A (en) | 2005-03-16 | 2006-03-16 | Adhesive composition, circuit connecting material, connection structure of circuit member, and semiconductor device |
TW100121031A TW201202374A (en) | 2005-03-16 | 2006-03-16 | Adhesive composition, circuit connecting material, connection structure of circuit member, and semiconductor device |
TW100103469A TWI383028B (zh) | 2005-03-16 | 2006-03-16 | An adhesive composition, a circuit connection material, a connection structure of a circuit member, and a semiconductor device |
US13/494,474 US8696942B2 (en) | 2005-03-16 | 2012-06-12 | Adhesive composition, circuit connecting material, connection structure of circuit member, and semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005074913A JP4760069B2 (ja) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | 接着剤組成物、回路接続用接着剤組成物及びそれを用いた回路接続構造体、半導体装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011063032A Division JP2011168786A (ja) | 2011-03-22 | 2011-03-22 | 接着剤組成物、回路接続用接着剤組成物及びそれを用いた回路接続構造体、半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006257200A JP2006257200A (ja) | 2006-09-28 |
JP4760069B2 true JP4760069B2 (ja) | 2011-08-31 |
Family
ID=37096820
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005074913A Expired - Fee Related JP4760069B2 (ja) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | 接着剤組成物、回路接続用接着剤組成物及びそれを用いた回路接続構造体、半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4760069B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5067101B2 (ja) * | 2007-05-24 | 2012-11-07 | 日立化成工業株式会社 | 接着剤組成物 |
JP5292838B2 (ja) * | 2007-08-30 | 2013-09-18 | 日立化成株式会社 | 接着剤、及び回路部材の接続構造体 |
CN103351829A (zh) * | 2007-09-05 | 2013-10-16 | 日立化成株式会社 | 粘接剂以及使用该粘接剂的连接结构体 |
JP2010100840A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-05-06 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着剤フィルム及び回路接続材料 |
JP5338753B2 (ja) | 2009-07-17 | 2013-11-13 | 日立化成株式会社 | 接着剤組成物及び接続構造体 |
JP2011204898A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着剤組成物及び回路部材の接続構造体 |
JP5293779B2 (ja) * | 2010-07-20 | 2013-09-18 | 日立化成株式会社 | 接着剤組成物、回路接続構造体、半導体装置及び太陽電池モジュール |
JP2011202173A (ja) * | 2011-05-16 | 2011-10-13 | Sony Chemical & Information Device Corp | 異方性導電フィルム及びその製造方法 |
JP6102105B2 (ja) * | 2012-07-19 | 2017-03-29 | 日立化成株式会社 | フィルム状回路接続材料及び回路接続構造体 |
KR20170005787A (ko) * | 2014-05-08 | 2017-01-16 | 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 | 경화성 조성물, 도전 재료 및 접속 구조체 |
JP6559971B2 (ja) * | 2015-02-12 | 2019-08-14 | 古河電気工業株式会社 | ベアモジュールおよび光モジュールの製造方法 |
US10266729B2 (en) | 2015-03-02 | 2019-04-23 | Three Bond Co., Ltd. | Thermocurable electroconductive adhesive |
CN109415473B (zh) * | 2016-07-01 | 2021-12-10 | 电化株式会社 | 组合物 |
CA3093127A1 (en) * | 2018-03-07 | 2019-09-12 | P2 Science, Inc. | Polyether derivatives, uses, and methods of making the same |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3491911B2 (ja) * | 1992-07-29 | 2004-02-03 | リンテック株式会社 | 半導体ウエハ加工用粘着シート |
JP3035179B2 (ja) * | 1995-01-13 | 2000-04-17 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体ウエハ加工用粘着シート |
JP3503740B2 (ja) * | 1999-03-04 | 2004-03-08 | 住友ベークライト株式会社 | 異方導電性接着剤及びそれを用いた電子機器 |
US6762249B1 (en) * | 1999-08-25 | 2004-07-13 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Wiring-connecting material and process for producing circuit board with the same |
JP4230080B2 (ja) * | 2000-02-18 | 2009-02-25 | リンテック株式会社 | ウエハ貼着用粘着シート |
JP4171898B2 (ja) * | 2003-04-25 | 2008-10-29 | 信越化学工業株式会社 | ダイシング・ダイボンド用接着テープ |
-
2005
- 2005-03-16 JP JP2005074913A patent/JP4760069B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006257200A (ja) | 2006-09-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
S533 | Written request for registration of change of name |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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