JP4759945B2 - 電気的トリミングシステム - Google Patents

Description

本発明は、物理量に応じた電気信号を出力するセンサの出力信号を電気的に調整する電気的トリミングを行う電気的トリミングシステムに関するものである。

センサの温度特性の電気的トリミングを行うためには、少なくとも複数温度におけるトリミング値を算出する必要がある。ここで、複数温度におけるトリミング値を算出する装置が、例えば特許文献１に開示されている。

第１の装置として、複数の検査温度を生成することができる恒温槽が開示されている。この場合、１つの恒温槽にて、複数の温度を作り出さなければならない。そのため、この恒温槽を用いる場合には、温度の変更を含めた検査に時間がかかるうえ、装置が大型化して高価になるという問題がある。そこで、第２の装置として、それぞれの検査温度毎に温度空間を形成するカバーを備えるようにした装置が開示されている。この第２の装置は、それぞれの検査温度の温度空間を形成する場所間は、コンベアにより搬送できることが記載されている。
特開２００２−３７２５６６号公報

それぞれの検査温度毎に検査箇所を分割したとしても、検査時間、すなわちトリミングの算出時間は長く、さらなるトリミング算出時間の短縮が求められている。

本発明は、このような事情に鑑みて為されたものであり、トリミング算出時間をさらに短縮することができる電気的トリミングシステムを提供することを目的とする。

そこで、本発明者はこの課題を解決すべく鋭意研究し、試行錯誤を重ねた結果、第１トリミング装置と第２トリミング装置と変温装置とを別個独立な装置とすることを思いつき、本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明の電気的トリミングシステムは、圧力に応じた電気信号を出力するセンサの出力信号を電気的に調整する電気的トリミングシステムであって、第１トリミング装置と、変温装置と、第２トリミング装置とを備える。ここで、第１トリミング装置は、前記センサに圧力を供給可能な圧力コントローラを備え、第１トリミング基準値を算出する第１トリミング基準値算出手段を有する装置である。第１トリミング基準値とは、第１温度状態の前記センサに対して圧力を付与した状態における第１温度雰囲気の電気的トリミング基準値である。なお、第１トリミング装置は、例えば、第１温度を室温として、室温状態における第１トリミング基準値の算出を行うようにしてもよい。また、他の変温装置にて第１温度に変温させた後に、第１トリミング装置にて第１温度における第１トリミング基準値の算出を行うようにしてもよい。

変温装置は、前記第１トリミング装置により前記第１トリミング基準値の算出後の前記センサの温度を第２温度状態に昇温させる装置である。第２トリミング装置は、前記変温装置と別個独立した装置であり、前記センサに圧力を供給可能な圧力コントローラを備え、第２トリミング基準値を算出する第２トリミング基準値算出手段を有する装置である。第２トリミング基準値とは、前記変温装置により変温された前記第２温度状態の前記センサに対して圧力を付与した状態における第２温度雰囲気の電気的トリミング基準値である。

従来の第２の装置は、それぞれの検査温度毎に、検査対象のセンサを内部側に配置した後に、カバーを閉じることでカバー内に検査温度雰囲気空間を形成していた。そして、検査対象のセンサが検査温度状態に達した後、カバー内の検査温度雰囲気空間にて温度検査を行っていた。つまり、従来の検査装置は、所定の温度雰囲気における検査を行うためには、検査対象のセンサが当該所定の温度状態に達するまでの間、待機しなければならず、検査時間が長くなっていた。

しかし、本発明によれば、第２トリミング装置と変温装置とを別個独立に設けたことにより、トリミング値の算出時間を大幅に短縮することができる。これは、変温装置にてセンサを変温させるため、第２トリミング装置ではセンサを変温させる時間を要しないからである。具体的には、第１トリミング基準値の算出が終了したセンサを順次変温装置に挿入し、それぞれのセンサを所定時間経過するまで変温装置内に配置させることにより、センサを順次変温させることができる。そして、変温装置内にて第２温度状態に変温したセンサに対して、第２トリミング装置にて直ちに第２トリミング基準値の算出を行うことができる。これにより、第２トリミング基準値の算出に際して従来のようにセンサが第２温度状態に変温するまで待機する必要がないので、電気的トリミングの算出時間を大幅に短縮することができる。

なお、従来の第１の装置に対しては、以下の効果を奏する。従来の第１の装置は、多数の圧力センサに対して検査処理を行っているので、例えば、電気的不良センサや圧力漏れ不良センサが含まれている場合には当該センサを特定することができない。そのため、検査処理を行った全てのセンサが検査不良としていた。それに対して、本発明によれば、少数個のセンサに対して、順次トリミングを行っているので、不良センサがある場合にはその不良センサのみを不良とすればよく、他のセンサには影響を及ぼすことがない。さらに、本発明によれば、少数個ずつトリミングを行うので、中間在庫を低減することができる。
ここで、変温装置からセンサが排出された場合には、変温装置外の温度および第２トリミング装置内の温度によっては排出経過時間に従ってセンサの温度が変化する。例えば、変温装置によりセンサが変温される第２温度が室温より高い８５℃の場合には、排出経過時間が長くなるにつれてセンサの温度が下降する。しかし、排出経過時間を適切に管理することにより、センサが第２温度状態から大きく変化することを防止することができる。その結果、確実に第２温度状態のセンサに対して第２トリミング基準値を算出することができる。

上述したように、本発明の電気的トリミングシステムは、第１トリミング装置と、変温装置と、第２トリミング装置とを備えている。ここで、これらの各装置は、以下のようにしてもよい。

（１）第２トリミング装置
前記第２トリミング装置は、さらに、前記センサを前記第２温度状態に保温する保温手段を有するようにすることが好ましい。第２温度が室温よりも高い温度の場合には、保温手段として例えばヒーター等を用いる。このように、保温手段により第２トリミング基準値の算出に際して、確実にセンサを第２温度状態に維持することができる。その結果、確実に第２温度状態のセンサに対して第２トリミング基準値を算出することができる。

また、前記第２トリミング装置は、さらに、前記センサの温度が指定温度範囲内であるか否かを判定する指定温度範囲内判定手段を有し、前記第２トリミング基準値算出手段は、前記センサの温度が前記指定温度範囲内であると判定された場合に前記第２トリミング基準値の算出を行うようにすることが好ましい。指定温度範囲とは、例えば、第２温度から０．５度以内となる範囲などである。このように、センサの温度が指定温度範囲内にあるか否かを判定することにより、第２トリミング装置は確実に第２温度状態のセンサに対して第２トリミング基準値を算出することができる。なお、上述した排出経過時間に達したか否かとセンサの温度が指定温度範囲内か否かとの何れもを判定することにより、より確実に第２温度状態のセンサに対して第２トリミング基準値を算出することができる。

（２）変温装置
また、前記変温装置は、内部側に前記センサの配置空間を形成する変温槽カバーと、前記変温槽カバーの前記内部側にて前記第２温度雰囲気を形成する第２温度雰囲気形成手段と、前記センサを前記変温槽カバーの前記内部側に挿入排出可能な開閉ドアと、前記センサを前記内部側に挿入後における前記開閉ドアの閉鎖時からの閉鎖経過時間が所定閉鎖時間に達するまで前記開閉ドアの閉鎖状態を維持させるドア開閉制御手段と、を有するようにすることが好ましい。

変温装置は、上述したようにセンサの温度を第２温度状態に変温させている。ところで、第１トリミング基準値の算出後には、開閉ドアを開放してセンサを変温装置の変温槽カバー内へ挿入する必要がある。さらに、第２トリミング基準値の算出の際には、開閉ドアを開放して変温装置の変温槽カバー内からセンサを排出する必要がある。このように開閉ドアが開放されることにより、変温装置の変温槽カバーの内部側にて形成される第２温度雰囲気の温度が変化してしまう。第２温度雰囲気の温度が変化すると、変温装置内に挿入されたセンサの温度が第２温度状態まで変温させることができなくなるおそれが生じる。そこで、変温装置の開閉ドアの閉鎖時からの閉鎖経過時間を管理して、所定閉鎖時間に達するまでは開閉ドアを開放させないようにすることにより、上記問題を解決することができる。つまり、開閉ドアの閉鎖時からの閉鎖経過時間が必ず所定閉鎖時間以上の時間開閉ドアが開放されないことにより、その間に変温槽カバーの内部側にて第２温度雰囲気を再び形成することができる。その結果、変温装置内に挿入されたセンサを確実に第２温度状態に変温させることができる。

また、前記変温装置は、複数のセンサを配置可能で回転可能な回転台と、前記回転台を回転制御する回転台制御手段と、を有するようにしてもよい。センサを配置した回転台を回転させることにより、センサを適切に第２温度状態に変温させることができる。また、例えば、回転台が一回転した場合に、センサの温度が第２温度状態に変温されるようにすることができる。このようにすることで、変温装置内に挿入された複数のセンサのうちどのセンサが第２温度状態に変温されたか否かを容易に判断することができる。

（３）温度特性トリミング値を書き込むシステム構成
（３．１）ホストコンピュータを備えたシステム構成
上記電気的トリミングシステムに加えて、さらに、前記第１トリミング装置及び前記第２トリミング装置に通信接続され、前記第１トリミング装置から通信出力された前記第１トリミング基準値を記憶すると共に、記憶した前記第１トリミング基準値を前記第２トリミング装置に通信出力するホストコンピュータを備えるようにする。そして、前記第２トリミング装置は、さらに、前記ホストコンピュータから通信入力した前記第１トリミング基準値及び前記第２トリミング基準値算出手段により算出された前記第２トリミング基準値に基づき前記センサの電気的トリミング調整値である温度特性トリミング値を算出する温度特性トリミング値算出手段と、算出された前記温度特性トリミング値を前記センサに書き込む温度特性トリミング値書込手段と、を有するようにする。

これにより、別個に温度特性トリミング書込装置を設ける必要がない。すなわち、全体として、製造装置コストを低減することができる。ここで、第１トリミング装置と第２トリミング装置とが別個に配置したことにより、第１トリミング装置にて算出した第１トリミング基準値を何れかに記憶させておく必要がある。そこで、本発明によれば、第１トリミング装置に通信接続されたホストコンピュータを設けることにより、容易に第１トリミング基準値をホストコンピュータに記憶させておくことができる。さらに、ホストコンピュータは第２トリミング装置にも通信接続されているので、第２トリミング装置は、ホストコンピュータから通信入力された第１トリミング基準値を参照して温度特性トリミング値を容易に算出することができる。

また、前記第１トリミング装置及び前記第２トリミング装置は、さらに、前記センサ毎に付された識別番号を読み込む識別番号読込手段を備え、前記ホストコンピュータは、前記識別番号と共に前記第１トリミング基準値を記憶し、前記温度特性トリミング算出手段は、前記識別番号に対応して記憶された前記第１トリミング基準値を通信入力するようしてもよい。第２トリミング装置がホストコンピュータから識別番号に対応する第１トリミング基準値を通信入力することにより、第２トリミング装置はどのセンサに対する第１トリミング基準値であるかを正確に認識することができる。その結果、確実に該当するセンサの温度特性トリミング値を算出することができる。

また、前記第２トリミング装置は、さらに、前記センサ毎に付された識別番号を読み込む識別番号読込手段と、前記センサが前記変温装置から排出された時からの排出経過時間が所定排出時間に達したか否かを判定する排出経過時間判定手段と、前記排出経過時間が前記所定排出時間に達したと判定された場合に前記センサの前記識別番号及びＮＧ情報を前記ホストコンピュータに通信出力するＮＧ情報通信出力手段と、を有するようにしてもよい。これにより、排出経過時間が所定排出時間に達したことによるＮＧ情報をホストコンピュータが管理することができる。排出経過時間が所定排出時間に達した場合には、センサの温度が第２温度から大きく変化するために、適切な第２トリミング基準値を算出することができない。この場合、当該センサに対して温度特性トリミング値の算出及び書込ができない。そこで、当該センサがＮＧセンサであるとのＮＧ情報を識別番号と共にホストコンピュータに通信出力することで、適切にセンサの管理をすることができる。つまり、ＮＧ情報のないセンサは正常であることになるため、正常なセンサのみを取り出すことができる。

（３．２）ホストコンピュータを備えないシステム構成
上述では、ホストコンピュータを備え、温度特性トリミング値のセンサへの書き込みを行ったが、以下の構成はホストコンピュータを備えないシステム構成である。すなわち、前記第１トリミング装置は、さらに、算出した前記第１トリミング基準値を前記センサに書き込む第１トリミング基準値書込手段を有し、前記第２トリミング装置は、さらに、前記センサに書き込まれた前記第１トリミング基準値及び前記第２トリミング基準値算出手段により算出された前記第２トリミング基準値に基づき前記センサの電気的トリミング調整値である温度特性トリミング値を算出する温度特性トリミング値算出手段と、算出された前記温度特性トリミング値を前記センサに書き込む温度特性トリミング値書込手段と、を有する。これにより、上述したホストコンピュータを備えたシステム構成と同様の効果を奏する。

（４）第１トリミング装置及び第２トリミング装置
前記第１トリミング装置と前記第２トリミング装置とは、同一装置としてもよい。第１トリミング装置と第２トリミング装置を同一装置、すなわち、同一構成からなる装置とすることにより、何れか一方のトリミング装置が故障などを起こした場合に、他方のトリミング装置を用いることができる。従って、何れか一方のトリミング装置が故障などを起こした場合であっても、電気的トリミングを停止することなく、継続して行うことができる。ところで、従来の第２の装置においては、コンベアラインを構成しているので、ラインの途中で故障などを起こした場合には、コンベアラインが停止して他の装置も動作できなくなった。つまり、何れか一カ所の検査装置が故障した場合であっても、全ての装置が動作を停止していた。

（６）圧力センサの場合の第１トリミング装置及び第２トリミング装置
前記第１トリミング装置及び前記第２トリミング装置は、さらに、前記センサに圧力を供給可能な圧力供給器と、前記圧力供給器と前記センサとの間を連通する配管に配置され開放時に前記圧力供給器から前記センサへ所定圧力の付与を可能とする第１バルブと、前記第１バルブと前記センサとの間から分岐する配管に配置され開放時に前記センサに付与された圧力を低減する第２バルブと、からなる圧力コントローラを有するようにしてもよい。

この場合、圧力供給器は常に所定の圧力を供給した状態を維持させることになる。そして、第１バルブが開放した時にのみ圧力供給器の圧力が圧力センサに供給される。一方、第１バルブが閉鎖した時には、圧力供給器の圧力は圧力センサに供給されない。また、第２バルブが開放した時には、圧力センサに供給されている圧力が抜け、当該圧力が低減する。一方、第２バルブが閉鎖した時には、圧力センサに供給されている圧力は抜けず、当該圧力が維持される。つまり、圧力センサに圧力を供給するときには、第１バルブを開放し、第２バルブを閉鎖する。一方、圧力センサから圧力を抜くときには、第１バルブを閉鎖し、第２バルブを開放する。

ところで、従来は圧力供給器のみの圧力制御により圧力を変化させていた。この場合には、圧力センサの圧力が所定圧力に達して安定するまでの時間が長時間要していた。さらに、１つの恒温槽の場合には、多数のセンサの全てを所定圧力にしなければならず、この点においてもかなりの時間を要していた。しかし、本発明によれば、第１バルブを閉鎖している間は、圧力供給器と第１バルブとの間の配管は常に所定圧力に維持されている。従って、第１バルブが開放された瞬間に、圧力センサには所定圧力が付与されるため、瞬間的に所定圧力に達し、短時間で安定する。一方、圧力センサの圧力を抜くときにも、バルブの切替のみにより容易にかつ短時間で行うことができる。

次に、実施例を挙げて、図面を参照して本発明をより具体的に説明する。本発明の電気的トリミングシステムのワークとして、圧力センサを例に挙げる。さらに、当該システムは、圧力センサに対する温度特性トリミング値の算出及び書き込みを行うシステムを例に挙げて説明する。

（１）電気的トリミングシステムの概略構成
まず、本実施例の電気的トリミングシステムの概略構成について、図１及び図２を参照して説明する。図１は、本発明の電気的トリミングシステムのシステム概略構成図を示す。図２は、各装置の外観概略構成図を示す。具体的には、図２（ａ）は室温トリミング装置２の外観概略構成図を示し、図２（ｂ）は昇温装置３の外観概略構成図を示し、図２（ｃ）は高温トリミング装置４の外観概略構成図を示す。

図１に示すように、電気的トリミングシステムは、ホストコンピュータ１と、室温トリミング装置（第１トリミング装置）２と、昇温装置（変温装置）３と、高温トリミング装置（第２トリミング装置）４とから構成される。

ホストコンピュータ１は、室温トリミング装置２及び高温トリミング装置４と双方向通信可能に接続されている。さらに、ホストコンピュータ１は、室温トリミング装置２から通信出力される圧力センサＷの識別番号、及び、室温トリミング基準値又はデータＮＧ情報を記憶している。ホストコンピュータ１に記憶された室温トリミング基準値は、高温トリミング装置４へ通信出力される。さらに、ホストコンピュータ１は、高温トリミング装置４から通信出力される圧力センサＷの識別番号、及び、排出経過時間ＮＧ情報又はデータＮＧ情報が記憶されている。つまり、ホストコンピュータ１は、室温トリミング装置２と高温トリミング装置４間のデータ通信を仲介することと、各種ＮＧ情報の管理を行っている。

室温トリミング装置２は、室温（第１温度）状態（例えば、２５℃）の圧力センサＷに対するトリミング基準値（以下、「室温トリミング基準値」又は「室温時データ」という）（第１トリミング基準値）を算出する装置である。この室温トリミング装置２には、圧力センサＷを１つずつ配置して、配置された圧力センサＷの室温トリミング基準値を算出する。この室温トリミング装置２は、室温トリミング計測制御部２１と、室温トリミングユニット２２とから構成される。室温トリミング計測制御部２１は、計測器（後述する）などへの計測指示の出力、計測結果の入力、ホストコンピュータ１とのデータ通信などを行っている。室温トリミングユニット２２は、圧力センサＷの計測調整を行う計測器２２２と、圧力センサＷへの圧力を付与する圧力コントローラ２２１と、圧力センサＷに貼り付けられたバーコードを認識するバーコードリーダー２２３と、圧力センサＷを固定配置可能な圧力センサ配置台と、圧力センサＷへの圧力付与の接続及び圧力センサＷとの電気的接続をワンタッチで可能とするワンタッチカプラの一方側などを備えたユニットである。室温トリミング計測制御部２１の詳細は後述する。

昇温装置３は、圧力センサＷの温度状態を室温状態から高温（第２温度）状態（例えば、８５℃）にまで変温させる装置である。この昇温装置３は、昇温槽カバー（変温槽カバー）３ａと、高温雰囲気形成装置（第２温度雰囲気形成手段）（図示せず）と、開閉ドア３ｂと、回転台３ｃと、昇温装置制御部（後述する）とから構成される。昇温槽カバー３ａは、内部側に複数の圧力センサＷの配置空間を形成するカバーである。高温雰囲気形成装置は、８５℃の高温雰囲気を昇温槽カバー３ａの内部側に形成する装置である。開閉ドア３ｂは、スライド式に開閉動作可能なドアであって、圧力センサＷを昇温槽カバー３ａの内部側に挿入排出可能とドアである。回転台３ｃは、複数の圧力センサＷを配置可能で回転可能とされている。昇温装置制御部の詳細については、後述する。

高温トリミング装置４は、高温（第２温度）状態（８５℃）の圧力センサＷに対するトリミング基準値（以下、「高温トリミング基準値」又は「高温時データ」という）（第２トリミング基準値）を算出する装置である。この高温トリミング装置４には、圧力センサＷを１つずつ配置して、配置された圧力センサＷの高温トリミング基準値を算出する。この高温トリミング装置４は、高温トリミング計測制御部４１と、高温トリミングユニット４２とから構成される。高温トリミング計測制御部４１は、計測器（後述する）などへの計測指示の出力、計測結果の入力、ホストコンピュータ１とのデータ通信、及び温度特性トリミング値の算出などを行っている。そして、高温トリミング計測制御部４１は、ホストコンピュータ１及び昇温装置３と双方向通信可能に接続されている。高温トリミングユニット４２は、圧力センサＷの計測調整を行う計測器４２３と、圧力センサＷへの圧力を付与する圧力コントローラ４２２と、圧力センサＷに貼り付けられたバーコードを認識するバーコードリーダー４２４と、圧力センサＷを固定配置可能な圧力センサ配置台と、圧力センサＷへの圧力付与の接続及び圧力センサＷとの電気的接続をワンタッチで可能とするワンタッチカプラの一方側と、圧力センサ配置台に固定配置された圧力センサＷの温度を保温するヒーター４２１などを備えたユニットである。なお、高温トリミング計測制御部４１の詳細は後述する。

（２）圧力センサＷ
ここで、ワークである圧力センサＷの内部構成について図３を参照して説明する。図３は、圧力センサＷの内部構成を示すブロック図である。圧力センサＷは、受感部６２と、ＥＥＰＲＯＭ６１と、演算部６３と、アンプ部６４とから構成される。受感部６２は、歪ゲージからなり、圧力が付与された場合に生じる歪量に応じた圧力電圧を出力する。さらに、後述する室温トリミング装置２及び高温トリミング装置４の圧力コントローラ２２１、４２２により付与される圧力を受けるようにされている。この場合も、受感部６２は、圧力コントローラ２２１、４２２から付与された圧力に応じた圧力電圧を出力する。

ＥＥＰＲＯＭ６１は、後述する温度特性トリミング値が記憶されている。温度特性トリミング値は、高温トリミング装置４のトリミング値書込部４１８により書き込まれる。温度特性トリミング値とは、温度と圧力に関する電気的トリミング調整値である。具体的には、温度特性トリミング値は、室温状態（２５℃）の圧力センサＷに対して複数の圧力を付与したときの室温トリミング基準値と、高温状態（８５℃）の圧力センサＷに対して複数の圧力を付与したときの高温トリミング基準値とに基づき算出される。ところで、室温状態と高温状態との２カ所の温度状態におけるトリミング基準値に基づき温度特性トリミング値を算出している。温度とトリミング基準値との関係はほぼ線形性の関係を有することから、本実施例においては２カ所の温度状態のみについて算出を行うようにしている。

演算部６３は、受感部６２により検出された圧力電圧とＥＥＰＲＯＭ６１に記憶された温度特性トリミング値とに基づき、調整された圧力電圧を出力する。アンプ部６４は、演算部６３が出力した電圧を適切に増幅した電圧を室温トリミング装置２及び高温トリミング装置４の計測器２２２、４２３に出力している。

なお、本実施例は、ＥＥＰＲＯＭ６１に温度特性トリミング値の書き込みを行うことを目的としている。従って、ＥＥＰＲＯＭ６１に温度特性トリミング値が書き込まれる前においては、演算部６３は調整されていない電圧、すなわち受感部６２から出力される圧力電圧そのものが出力される。また、圧力センサＷの表面側には、バーコードが印字されたシールが貼り付けられている。このバーコードは、圧力センサＷ毎に異なる。さらに、圧力センサＷには、トリミングの容易化のために、ワンタッチカプラの他方側が取付けられている。このワンタッチカプラの他方側は、後述する室温トリミング装置２及び高温トリミング装置４に取付けられたワンタッチカプラの一方側と連結可能である。

（３）電気的トリミングシステムの概略動作
上述したような構成からなる電気的トリミングシステムの概略動作について、図１を参照して説明する。まず、室温トリミング装置２の内部に、ワークである圧力センサＷを１つ固定配置する。そして、室温状態、例えば２５℃状態における圧力センサＷに対して室温トリミング基準値（室温データ）の算出を行う。具体的には、室温トリミング装置２は、０ＭＰａの場合の室温データと、４ＭＰａが受感部６２に付与された場合の室温データの算出を行う。そして、算出した各室温データをホストコンピュータ１に通信出力する。そして、室温トリミング装置２は、これらの処理を継続して行う。

続いて、室温トリミング装置２にて室温トリミング基準値の算出が終了すると、圧力センサＷは順次昇温装置３内に挿入される。具体的には、圧力センサＷを昇温装置３の回転台３ｃの上に配置する。そして、回転台３ｃが１回転すると、圧力センサＷは高温状態、例えば８５℃状態に昇温されている。

続いて、昇温装置３により８５℃状態に昇温された圧力センサＷを１つ昇温装置３から取り出し、高温トリミング装置４の内部に固定配置する。そして、保温装置４２１により圧力センサＷが８５℃状態を維持するように保温された状態を維持しつつ、高温トリミング基準値（高温データ）の算出を行う。具体的には、高温トリミング装置４は、０ＭＰａの場合の高温データと、４ＭＰａが受感部６２に付与された場合の高温データの算出を行う。一方では、高温トリミング装置４は、ホストコンピュータ１に記憶している室温データを読み込む。そして、算出した高温データと読み込んだ室温データとに基づき、温度特性トリミング値を算出する。最後に、算出した温度特性トリミング値を圧力センサＷのＥＥＰＲＯＭ６１に書き込む。そして、高温トリミング装置４は、これらの処理を継続して行う。

（４）室温トリミング装置２
（４．１）室温トリミング装置２の詳細構成
次に、室温トリミング装置２の詳細構成について図２（ａ）及び図４を参照して説明する。図４は、室温トリミング装置２を示すブロック図である。図４に示し、かつ、上述したように、室温トリミング装置２は、室温トリミング計測制御部２１と室温トリミングユニット２２とから構成される。室温トリミング計測制御部２１は、計測指示部２１１と、圧力制御部２１２と、室温時データ入力部２１３と、識別番号入力部２１４と、室温時データ出力部２１５と、ＮＧ判定部２１６とから構成される。また、室温トリミングユニット２２は、上述したように、圧力コントローラ２２１と、計測器（第１トリミング基準値算出手段）２２２と、バーコードリーダー（識別番号読込手段）２２３と、圧力センサ配置台と、ワンタッチカプラの一方側などを備えている。

計測指示部２１１は、１つの圧力センサＷが圧力センサ配置台に固定配置された場合に、室温トリミング基準値の算出処理の開始信号を出力する。圧力制御部２１２は、計測指示部２１１から開始指示信号が出力された場合に、圧力センサＷに付与する圧力コントローラ２２１を適切に制御する。圧力コントローラ２２１は、圧力制御部２１２の出力に応じた圧力を圧力センサＷに付与するように動作する。この圧力コントローラ２２１の詳細は後述する。計測器２２２は、圧力センサＷから出力される出力電圧を計測し、調整する。ここで、室温トリミング装置２の計測器２２２により計測調整された出力電圧が、室温トリミング基準値又は室温時データとなる。室温時データ入力部２１３は、計測指示部２１１から開始指示信号が出力された場合に、計測器２２２により計測調整された圧力センサＷの出力電圧を入力する。

識別番号入力部２１４は、バーコードリーダー２２３により認識された圧力センサＷに貼り付けられたバーコードの識別番号を入力する。室温時データ出力部２１５は、室温時データ入力部２１３に入力された室温時データと識別番号入力部２１４に入力された識別番号を関連付けてホストコンピュータ１に通信出力する。ＮＧ判定部２１６は、室温時データ入力部２１３に入力された室温時データが適切なデータであるか否かの判定（データＮＧ判定）を行う。そして、ＮＧ判定部２１６は、室温時データがＮＧであると判定した場合には、室温時データ出力部２１５にＮＧ情報を出力する。なお、室温時データ出力部２１５は、ＮＧ判定部２１６からＮＧ情報が出力された場合には、当該ＮＧ情報と識別番号とを関連付けてホストコンピュータ１に通信出力する。なお、図示しないが、計測指示部２１１は、ワンタッチカプラの一方側の駆動制御なども行う。

（４．２）圧力コントローラ２２１、４２２の詳細構成
ここで、圧力コントローラ２２１、４２２の詳細構成について図５及び図６を参照して説明する。図５は、圧力コントローラ２２１、４２２の構成を示すブロック図である。図６は、圧力コントローラ２２１、４２２が圧力センサＷに対して圧力を付与する際における圧力センサＷの圧力変化を示す図である。

図５に示すように、圧力コントローラ２２１、４２２は、圧力供給器５１と、第１バルブＶ１と、第２バルブＶ２とから構成される。圧力供給器５１は、常に所定の圧力が付与されている。所定の圧力とは、例えば、４ＭＰａの圧力である。そして、第１バルブＶ１は、圧力供給器５１とワンタッチカプラの一方側との間を連通する配管に配置されている。ただし、ワンタッチカプラの一方側に圧力センサＷのワンタッチカプラの他方側が連結された時には、第１バルブＶ１は圧力供給器５１と圧力センサＷとの間を連通する配管に配置されていることになる。第２バルブＶ２は、第１バルブＶ１と圧力センサＷとの間から分岐する配管に配置されている。そして、第１バルブＶ１及び第２バルブＶ２は、圧力制御部２１２、４１３からの制御信号に基づき開閉動作を行う。なお、第１バルブＶ１が閉鎖している場合には、圧力供給器５１と第１バルブＶ１との間の配管は、常に一定の４ＭＰａがかけられている。

ここで、第１バルブＶ１及び第２バルブＶ２が開閉動作を行った場合の圧力センサＷの圧力変化について説明する。図６に示すように、まず、第１バルブＶ１を閉鎖し、第２バルブＶ２を開放しておく。このときには、第１バルブＶ１が閉鎖しているので、圧力供給器５１から圧力センサＷへ圧力が付与されていない状態となる。さらに、第２バルブＶ２側から圧力センサＷの圧力が抜けていき、圧力センサＷにかかる圧力が０ＭＰａとなる。その後、第１バルブＶ１を開放すると同時に第２バルブＶ２を閉鎖する。そうすると、圧力供給器５１と第１バルブＶ１との間にかけられている圧力が、瞬時に圧力センサＷにかけられる。つまり、当該動作直後には、僅かに圧力センサＷの圧力が変動するが、直ちに４ＭＰａに安定する。なお、その後、圧力センサＷの圧力を０ＭＰａにする際には、最初と同様に、第１バルブＶ１を閉鎖すると同時に第２バルブＶ２を開放する。

（４．３）室温トリミング装置２の処理動作
上述したような構成からなる室温トリミング装置２の処理動作について、主として図７のフローチャートを参照し、補助的に図４〜図６を参照して説明する。図７は、室温トリミング装置２の処理動作を示すフローチャートである。

室温トリミング装置２に圧力センサＷが１つ圧力センサ配置台に固定配置される。そして、室温トリミング装置２は、計測指示部２１１によりワンタッチカプラの一方側を圧力センサＷに取付けられているワンタッチカプラの他方側へ接続する（ステップＳ１）。双方のワンタッチカプラが接続された状態とは、圧力センサＷへの圧力を付与することができる状態であって、室温トリミング装置２と圧力センサＷとが電気的に接続された状態である。

続いて、バーコードリーダー２２３により、圧力センサＷに貼り付けられているバーコードの識別番号を認識する（ステップＳ２）。続いて、計測器２２２により、圧力センサＷに圧力を付与していない状態、すなわち、０ＭＰａの圧力状態における室温時データを計測し、調整する（ステップＳ３）。このとき、圧力コントローラ２２１は、第１バルブＶ１が閉鎖し、第２バルブＶ２が開放している。つまり、圧力制御部２１２が、第１バルブＶ１が閉鎖するように、かつ、第２バルブＶ２が開放するように制御している。続いて、計測器２２２により計測調整された０ＭＰａの室温時データを室温時データ入力部２１３が入力して記憶する（ステップＳ４）。

続いて、圧力センサＷに４ＭＰａの圧力を付与する（ステップＳ５）。具体的には、圧力コントローラ２２１の第１バルブＶ１を開放すると同時に第２バルブＶ２を閉鎖するように、圧力制御部２１２が制御する。続いて、計測器２２２により、圧力センサＷに４ＭＰａの圧力が付与された状態における室温時データを計測し、調整する（ステップＳ６）。続いて、計測器２２２により計測調整された４ＭＰａの室温時データを室温時データ入力部２１３が入力して記憶する（ステップＳ７）。

続いて、ＮＧ判定部２１６により、室温時データ入力部２１３に記憶された０ＭＰａ及び４ＭＰａの室温時データに対してＮＧデータであるか否かの判定を行う（ステップＳ８）。このデータＮＧ判定は、例えば、計測調整した室温時データが所定の許容値内に入っているか等を判定することにより行う。

続いて、ＮＧ判定部２１６によりＮＧデータでないと判定された場合には（ステップＳ９：Ｎｏ）、室温時データ出力部２１５により識別番号と０ＭＰａ及び４ＭＰａの室温時データとをホストコンピュータ１へ通信出力される（ステップＳ１０）。続いて、ワンタッチカプラを取り外し（ステップＳ１１）、室温トリミング装置２の処理を終了する。

一方、ＮＧ判定部２１６によりＮＧデータであると判定された場合には（ステップＳ９：Ｙｅｓ）、室温時データ出力部２１５により識別番号とデータＮＧ情報とをホストコンピュータ１へ通信出力される（ステップＳ１２）。この場合、室温時データは正常なデータではないと判断されているので、室温時データはホストコンピュータ１へ通信出力されない。続いて、ワンタッチカプラを取り外し（ステップＳ１１）、室温トリミング装置２の処理を終了する。

（５）昇温装置３
（５．１）昇温装置３の構成
次に、昇温装置３の構成について図２（ｂ）及び図８を参照して説明する。図８は、昇温装置３を示すブロック図である。図８に示し、かつ、上述したように、昇温装置３は、昇温槽カバー３ａと、高温雰囲気形成装置と、開閉ドア３ｂと、回転台３ｃと、昇温装置制御部３１とから構成される。ここで、昇温装置制御部３１を除く他の構成については、上述したので、ここでは、昇温装置制御部３１についてのみ説明する。

昇温装置制御部３１は、ドア開閉制御部（ドア開閉制御手段）３１１と、ドア開信号出力部３１２と、ドア開可能状態判定部３１３と、回転台制御部（回転台制御手段）３１４とから構成される。ドア開閉制御部３１１は、原則的には、作業者からの開閉信号に基づき開閉ドア３ｂの開閉制御を行う。ただし、ドア開可能状態判定部３１３による判定結果によっては、作業者からの開閉信号に基づき開閉動作を行わないように制御される場合がある。ドア開閉制御部３１１により開閉ドア３ｂを開放制御される場合には、ドア開信号出力部３１２は、ドア開閉制御部３１１からドア開信号が入力されると共に後述する高温トリミング装置４のＮＧ判定部４２０にドア開信号を出力する。ドア開可能状態判定部３１３は、ドア開信号出力部３１２がドア開信号の出力に基づきドア開可能状態か否かを判定する。このドア開可能状態か否かの判定結果は、ドア開閉制御部３１１へ出力している。

回転台制御部３１４は、ドア開閉制御部３１１からの出力信号に応じて回転台３ｃを回転制御している。具体的には、ドア開閉制御部３１１が開閉ドア３ｂを開放制御している際には、回転台制御部３１４は回転台３ｃが回転停止するように制御する。一方、ドア開閉制御部３１１が開閉ドア３ｂを閉鎖制御している際には、回転台制御部３１４は回転台３ｃが回転するように制御する。

（５．２）昇温装置３の処理動作
上述のように構成される昇温装置３の昇温装置制御部３１の処理動作について、図９のフローチャートを参照して説明する。図９は、昇温装置３の処理動作を示すフローチャートである。まず、開閉ドア３ｂが閉鎖状態か否かを判定する（ステップＳ２１）。開閉ドア３ｂが閉鎖状態である場合には（ステップＳ２１：Ｙｅｓ）、さらに、作業者によりドア開放指示が入力されたか否かを判定する（ステップＳ２２）。ドア開放指示が入力されていなければ、ドア開放指示が入力されるまで判定を繰り返す（ステップＳ２２：Ｎｏ）。一方、ドア開放指示が入力された場合には（ステップＳ２２：Ｙｅｓ）、ドア開閉制御部３１１は開閉ドア３ｂを開放するように制御し、回転台制御部３１４は回転台３ｃが回転停止するように制御する（ステップＳ２３）。ここで、通常は、室温トリミング装置２により室温トリミング基準値の算出が終了した圧力センサＷが昇温装置３内に挿入される。

続いて、開閉ドア３ｂの開放制御及び回転台３ｃの回転停止制御が行われた場合と、ステップＳ２１にて開閉ドア３ｂが閉鎖状態でないと判定された場合には（ステップＳ２１：Ｎｏ）、作業者により開閉ドア３ｂの閉鎖指示が入力されたか否かを判定する（ステップＳ２４）。ドア閉鎖指示が入力されていなければ、ドア閉鎖指示が入力されるまで判定を繰り返す（ステップＳ２４：Ｎｏ）。ただし、開閉ドア３ｂの開放時間が所定時間以上に達したときには、昇温装置３内の温度降下を回避するために、開閉ドア３ｂの閉鎖指示を行うように促すブザーなどを鳴らす。一方、ドア閉鎖指示が入力された場合には（ステップＳ２４：Ｙｅｓ）、ドア開閉制御部３１１は開閉ドア３ｂを閉鎖するように制御し、回転台制御部３１４は回転台３ｃが回転開始するように制御する（ステップＳ２５）。

続いて、ドア開可能状態判定部３１３により、開閉ドア３ｂが閉鎖された時からの閉鎖経過時間が所定時間経過したか否か、かつ、高温トリミング装置４による処理が完了しているか否かを判定する（ステップＳ２６）。開閉ドア３ｂが閉鎖時から所定時間経過し、かつ、高温トリミング装置４による処理が完了したと判定された場合に（ステップＳ２６：Ｙｅｓ）、さらに、作業者によりドア開放指示が入力されたか否かを判定する（ステップＳ２７）。一方、開閉ドア３ｂが閉鎖時から所定時間経過していないか、若しくは、高温トリミング装置４による処理が完了していないと判定された場合には（ステップＳ２６：Ｎｏ）、所定時間経過するまで、かつ、高温トリミング装置４による処理が完了するまでステップＳ２６の判定を繰り返す。ここで、高温トリミング装置４による処理が完了していない場合には、昇温装置３から取り出した圧力センサＷを高温トリミング装置４に配置することができない。そこで、高温トリミング装置４の処理が完了しているか否か、すなわち、高温トリミング装置４に次の圧力センサＷを配置することができるか否かを判定している。

そして、開閉ドア３ｂが閉鎖時から所定時間経過後であって高温トリミング装置４による処理が完了しているときには、ドア開放指示が入力されていなければ、ドア開放指示が入力されるまで判定を繰り返す（ステップＳ２７：Ｎｏ）。一方、開閉ドア３ｂが閉鎖時から所定時間経過後であって高温トリミング装置４による処理が完了しているときに、ドア開放指示が入力された場合には（ステップＳ２７：Ｙｅｓ）、ドア開閉制御部３１１は開閉ドア３ｂを開放するように制御し、回転台制御部３１４は回転台３ｃが回転停止するように制御する（ステップＳ２８）。このとき、通常は、８５℃に昇温された圧力センサＷが昇温装置３から排出される。

（６）高温トリミング装置４
（６．１）高温トリミング装置４の詳細構成
次に、高温トリミング装置４の詳細構成について図２（ｃ）及び図１０を参照して説明する。図１０は、高温トリミング装置４を示すブロック図である。図１０に示し、かつ、上述したように、高温トリミング装置４は、高温トリミング計測制御部４１と高温トリミングユニット４２とから構成される。高温トリミング計測制御部４１は、計測指示部４１１と、温度制御部４１２と、圧力制御部４１３と、高温時データ入力部４１４と、識別番号入力部４１５と、室温時データ入力部４１６と、トリミング値算出部（温度特性トリミング値算出手段）４１７と、トリミング値書込部（温度特性トリミング値書込手段）４１８と、ワーク検知部４１９と、ＮＧ判定部（排出経過時間判定手段、指定温度範囲内判定手段）４２０と、ＮＧデータ出力部（ＮＧ情報通信出力手段）４３１とから構成される。また、高温トリミングユニット４２は、上述したように、ヒーター（保温手段）４２１と、圧力コントローラ４２２と、計測器（第２トリミング基準値算出手段）４２３と、バーコードリーダー（識別番号読込手段）４２４と、圧力センサ配置台と、ワンタッチカプラの一方側などを備えている。

計測指示部４１１は、昇温装置３から排出された１つの圧力センサＷが圧力センサ配置台に固定配置された場合に、高温トリミング基準値の算出処理の開始信号を出力する。温度制御部４１２は、ヒーター４２１が８５℃の温度に維持することができるように制御している。つまり、ヒーター４２１により圧力センサＷが８５℃の温度に保温されるようにしている。圧力制御部４１３は、計測指示部４１１から開始指示信号が出力された場合に、圧力センサＷに付与する圧力コントローラ４２２を適切に制御する。圧力コントローラ４２２は、圧力制御部４１３の出力に応じた圧力を圧力センサＷに付与するように動作する。この圧力コントローラ４２２の詳細は上述の図５に示した通りである。計測器４２３は、圧力センサＷから出力される出力電圧を計測し、調整する。ここで、高温トリミング装置４の計測器４２３により計測調整された出力電圧が、高温トリミング基準値又は高温時データとなる。高温時データ入力部４１４は、計測指示部４１１から開始指示信号が出力された場合に、計測器４２３により計測調整された圧力センサＷの出力電圧を入力する。

識別番号入力部４１５は、バーコードリーダー４２４により認識された圧力センサＷに貼り付けられたバーコードの識別番号を入力する。室温時データ入力部４１６は、ホストコンピュータ１に記憶されている室温時データをホストコンピュータ１から通信入力する。この通信入力される室温時データは、識別番号入力部４１５に入力した識別番号に対応した室温時データである。

トリミング値算出部４１７は、高温時データ入力部４１４に入力された高温時データと室温時データ入力部４１６に通信入力された室温時データとに基づき、温度特性トリミング値を算出する。トリミング値書込部４１８は、トリミング値算出部４１７により算出された温度特性トリミング値を圧力センサＷのＥＥＰＲＯＭ６１に書き込む。ワーク検知部４１９は、圧力センサＷが圧力センサ配置台に配置されたことを検知する。さらに、ワーク検知部４１９は、配置された圧力センサＷの温度を検出している。

ＮＧ判定部４２０は、ワーク検知部４１９によるワーク検知情報と上述した昇温装置３のドア開信号出力部３１２から出力されるドア開信号とに基づき、排出経過時間ＮＧを判定（排出経過時間ＮＧ判定）する。排出経過時間ＮＧとは、圧力センサＷが昇温装置３から排出された時からワーク検知部４１９によるワーク検知までの排出経過時間が、所定排出時間に達したか否かにより判定する。すなわち、排出経過時間が所定排出時間に達した場合には排出経過時間ＮＧと判定し、排出経過時間が所定排出時間に達していない場合には排出経過時間ＮＧでないと判定する。なお、便宜的に、本実施例では圧力センサＷが昇温装置３から排出された時を昇温装置３の開閉ドア３ｂが開放された時としている。さらに、ＮＧ判定部４２０は、ワーク検知部４１９により検出された圧力センサＷの温度が指定温度範囲内であるか否かを判定（指定温度範囲内ＮＧ判定）する。なお、指定温度範囲内とは、８５℃±０．５℃の範囲内とする。

さらに、ＮＧ判定部４２０は、高温時データ入力部４１４に入力された高温時データが適切なデータであるか否かの判定（データＮＧ判定）を行う。そして、ＮＧ判定部４２０は、排出経過時間ＮＧ又は高温時データがＮＧデータであると判定した場合には、ＮＧデータ出力部４３１にそれぞれのＮＧ情報（排出経過時間ＮＧ情報、データＮＧ情報）を出力する。なお、ＮＧデータ出力部４３１は、ＮＧ判定部４２０からＮＧ情報が出力された場合に当該ＮＧ情報と識別番号とを関連付けてホストコンピュータ１に通信出力する。なお、図示しないが、計測指示部４１１は、ワンタッチカプラの一方側の駆動制御なども行う。

（６．２）高温トリミング装置４の処理動作
上述したような構成からなる高温トリミング装置４の処理動作について、主として図１１及び図１２のフローチャートを参照し、補助的に図５〜図６及び図１０を参照して説明する。図１１及び図１２は、高温トリミング装置４の処理動作を示すフローチャートである。

高温トリミング装置４に、昇温装置３から排出された圧力センサＷが１つ圧力センサ配置台に固定配置される。そして、高温トリミング装置４は、計測指示部４１１によりワンタッチカプラの一方側を圧力センサＷに取付けられているワンタッチカプラの他方側へ接続する（ステップＳ３１）。続いて、ヒーター４２１の駆動制御を開始する（ステップＳ３２）。具体的には、ヒーター４２１が圧力センサＷの周囲を被覆し、８５℃の圧力センサＷを保温する。

続いて、バーコードリーダー４２４により、圧力センサＷに貼り付けられているバーコードの識別番号を認識する（ステップＳ３３）。続いて、排出経過時間が所定排出時間に達したか否かを判定する（ステップＳ３４）。具体的には、昇温装置３のドア開信号出力部３１２からのドア開信号の入力時からワーク検知部４１９により圧力センサＷが圧力センサ配置台に配置された時刻までの時間が、所定排出時間に達したか否かを判定する。同時に、圧力センサＷの温度が指定温度範囲内であるか否かを判定する（ステップＳ３４）。つまり、これら２つの判定により、圧力センサＷの温度状態が８５℃から大きく低下したか否かを判定している。そして、排出経過時間が所定排出時間に達しておらず、かつ、圧力センサＷの温度が指定温度範囲内である場合には（ステップＳ３４：Ｎｏ）、計測器４２３により、圧力センサＷに圧力を付与していない状態、すなわち、０ＭＰａの圧力状態における高温時データを計測し、調整する（ステップＳ３５）。このとき、圧力コントローラ４２２は、第１バルブＶ１が閉鎖し、第２バルブＶ２が開放している。つまり、圧力制御部４１３が、第１バルブＶ１が閉鎖するように、かつ、第２バルブＶ２が開放するように制御している。

続いて、計測器４２３により計測調整された０ＭＰａの高温時データを高温時データ入力部４１４が入力して記憶する（ステップＳ３６）。続いて、圧力センサＷに４ＭＰａの圧力を付与する（ステップＳ３７）。具体的には、圧力コントローラ４２２の第１バルブＶ１を開放すると同時に第２バルブＶ２を閉鎖するように、圧力制御部４１３が制御する。続いて、計測器４２３により、圧力センサＷに４ＭＰａの圧力が付与された状態における高温時データを計測調整する（ステップＳ３８）。続いて、計測器４２３により計測調整された４ＭＰａの高温時データを高温時データ入力部４１４が入力して記憶する（ステップＳ３９）。

続いて、ＮＧ判定部４２０により、高温時データ入力部４１４に記憶された０ＭＰａ及び４ＭＰａの高温時データに対してＮＧデータであるか否かの判定を行う（ステップＳ４０）。このデータＮＧ判定は、例えば、計測調整した高温時データが所定の許容値内に入っているか等を判定することにより行う。続いて、ＮＧ判定部４２０によりＮＧデータでないと判定された場合には（ステップＳ４０：Ｎｏ）、室温時データ入力部４１６がホストコンピュータ１から室温時データを入力する（ステップＳ４１）。この入力される室温時データは、識別番号入力部４１５に入力された識別番号に対応した室温時データである。

続いて、高温時データ入力部４１４に入力された高温時データ及び室温時データ入力部４１６に通信入力された室温時データに基づいて、トリミング値算出部４１７が温度特性トリミング値を算出する（ステップＳ４２）。続いて、算出された温度特性トリミング値をトリミング値書込部４１８により圧力センサＷのＥＥＰＲＯＭ６１に書き込む（ステップＳ４３）。続いて、ワンタッチカプラを取り外し（ステップＳ４４）、高温トリミング装置４の処理を終了する。

一方、排出経過時間が所定排出時間に達している場合、若しくは、圧力センサＷの温度が指定温度範囲内にない場合には（ステップＳ３４：Ｙｅｓ）、ＮＧデータ出力部４３１により識別番号とＮＧ情報（排出経過時間ＮＧ情報、指定温度範囲内ＮＧ情報）とをホストコンピュータ１へ通信出力される（ステップＳ４５）。そして、ワンタッチカプラを取り外し（ステップＳ４４）、高温トリミング装置４の処理を終了する。

また、ＮＧ判定部４２０によりＮＧデータであると判定された場合には（ステップＳ４０：Ｙｅｓ）、ＮＧデータ出力部４３１により識別番号とデータＮＧ情報とをホストコンピュータ１へ通信出力される（ステップＳ４６）。そして、ワンタッチカプラを取り外し（ステップＳ４４）、高温トリミング装置４の処理を終了する。

（７）その他
上記実施例においては、圧力センサＷにバーコードを貼り付けることにより圧力センサＷの識別番号を認識するようにしたがこれに限られるものではない。例えば、識別番号を記憶したＩＣタグを圧力センサＷに付してもよいし、圧力センサＷの内部のＲＯＭに識別番号を記憶させるようにしてもよい。

また、上記実施例においては、室温トリミング装置２及び高温トリミング装置４は圧力センサＷを１つずつ処理するようにしたが、例えば、少数個の圧力センサＷを載置したパレット毎に処理を行うようにすることもできる。また、室温トリミング装置２及び高温トリミング装置４は、例えば０ＭＰａのトリミング基準値の算出箇所と４ＭＰａのトリミング基準値の算出箇所等と設けて、圧力センサＷを複数配置することもできる。

また、トリミング基準値の算出に際して、２５℃の室温状態と８５℃の高温状態の２カ所を採用したが、これに限られることなく、適宜変更することができる。もちろん３カ所以上の温度についてトリミング基準値を算出して、そのトリミング基準値に基づき温度特性トリミング値を算出してもよい。ただし、この場合は、室温を除く計測温度毎に昇温装置（変温装置）３が必要になる。

また、本実施例においてはホストコンピュータ１を用いて、室温時データを記憶させて、高温トリミング装置４へ通信出力するようにしたが、これに限られるものではない。例えば、室温トリミング装置２にて算出した室温時データを圧力センサＷの例えばＥＥＰＲＯＭに書き込み、高温トリミング装置４では圧力センサＷに書き込まれた室温時データを読み込むようにすることもできる。

また、ホストコンピュータ１を用いない場合、上述のホストコンピュータ１の機能を室温トリミング装置２又は高温トリミング装置４の何れかに持たせることもできる。この場合、室温トリミング装置２と高温トリミング装置４が双方向通信可能に接続されていればよい。

本発明の電気的トリミングシステムのシステム概略構成図である。 各装置の外観概略構成図である。 圧力センサＷの内部構成を示すブロック図である。 室温トリミング装置２を示すブロック図である。 圧力コントローラ２２１、４２２の構成を示すブロック図である。 圧力コントローラ２２１、４２２が圧力センサＷに対して圧力を付与する際における圧力センサＷの圧力変化を示す図である。 室温トリミング装置２の処理動作を示すフローチャートである。 昇温装置３を示すブロック図である。 昇温装置３の処理動作を示すフローチャートである。 高温トリミング装置４を示すブロック図である。 高温トリミング装置４の処理動作を示すフローチャートである。 高温トリミング装置４の処理動作を示すフローチャートである。

符号の説明

１：ホストコンピュータ、 ２：室温トリミング装置（第１トリミング装置）、 ３：昇温装置（変温装置）、 ４：高温トリミング装置（第２トリミング装置）、 ３ａ：昇温槽カバー（変温槽カバー）、 ３ｂ：開閉ドア、 ３ｃ：回転台

Claims (11)

1. 圧力に応じた電気信号を出力するセンサの出力信号を電気的に調整する電気的トリミングシステムであって、
   前記センサに圧力を供給可能な圧力コントローラを備え、第１温度状態の前記センサに対して圧力を付与した状態における第１温度雰囲気の電気的トリミング基準値である第１トリミング基準値を算出する第１トリミング基準値算出手段を有する第１トリミング装置と、
   前記第１トリミング装置により前記第１トリミング基準値の算出後の前記センサの温度を第２温度状態に昇温させる変温装置と、
   前記変温装置と別個独立した装置であり、前記センサに圧力を供給可能な圧力コントローラを備え、前記変温装置により昇温された前記第２温度状態の前記センサに対して圧力を付与した状態における第２温度雰囲気の電気的トリミング基準値である第２トリミング基準値を算出する第２トリミング基準値算出手段を有する第２トリミング装置と、
   を備え、
   前記第２トリミング装置は、さらに、前記センサが前記変温装置から排出された時からの排出経過時間が所定排出時間に達したか否かを判定する排出経過時間判定手段を有し、
   前記第２トリミング基準値算出手段は、前記排出経過時間が前記所定排出時間に達していないと判定された場合に前記第２トリミング基準値の算出を行うことを特徴とする電気的トリミングシステム。
2. 前記第２トリミング装置は、さらに、前記センサを前記第２温度状態に保温する保温手段を有することを特徴とする請求項１記載の電気的トリミングシステム。
3. 前記第２トリミング装置は、さらに、前記センサの温度が指定温度範囲内であるか否かを判定する指定温度範囲内判定手段を有し、
   前記第２トリミング基準値算出手段は、前記センサの温度が前記指定温度範囲内であると判定された場合に前記第２トリミング基準値の算出を行うことを特徴とする請求項１に記載の電気的トリミングシステム。
4. 前記変温装置は、
   内部側に前記センサの配置空間を形成する変温槽カバーと、
   前記変温槽カバーの前記内部側にて前記第２温度雰囲気を形成する第２温度雰囲気形成手段と、
   前記センサを前記変温槽カバーの前記内部側に挿入排出可能な開閉ドアと、
   前記センサを前記内部側に挿入後における前記開閉ドアの閉鎖時からの閉鎖経過時間が所定閉鎖時間に達するまで前記開閉ドアの閉鎖状態を維持させるドア開閉制御手段と、
   を有することを特徴とする請求項１記載の電気的トリミングシステム。
5. 前記変温装置は、
   複数のセンサを配置可能で回転可能な回転台と、
   前記回転台を回転制御する回転台制御手段と、
   を有することを特徴とする請求項１に記載の電気的トリミングシステム。
6. さらに、前記第１トリミング装置及び前記第２トリミング装置に通信接続され、前記第１トリミング装置から通信出力された前記第１トリミング基準値を記憶すると共に、記憶した前記第１トリミング基準値を前記第２トリミング装置に通信出力するホストコンピュータを備え、
   前記第２トリミング装置は、
   さらに、前記ホストコンピュータから通信入力した前記第１トリミング基準値及び前記第２トリミング基準値算出手段により算出された前記第２トリミング基準値に基づき前記センサの電気的トリミング調整値である温度特性トリミング値を算出する温度特性トリミング値算出手段と、
   算出された前記温度特性トリミング値を前記センサに書き込む温度特性トリミング値書込手段と、
   を有することを特徴とする請求項１記載の電気的トリミングシステム。
7. 前記第１トリミング装置及び前記第２トリミング装置は、さらに、前記センサ毎に付された識別番号を読み込む識別番号読込手段を備え、
   前記ホストコンピュータは、前記識別番号と共に前記第１トリミング基準値を記憶し、
   前記温度特性トリミング算出手段は、前記識別番号に対応して記憶された前記第１トリミング基準値を通信入力することを特徴とする請求項６記載の電気的トリミングシステム。
8. 前記第２トリミング装置は、
   さらに、前記センサ毎に付された識別番号を読み込む識別番号読込手段と、
   前記センサが前記変温装置から排出された時からの排出経過時間が所定排出時間に達したか否かを判定する排出経過時間判定手段と、
   前記排出経過時間が前記所定排出時間に達したと判定された場合に前記センサの前記識別番号及びＮＧ情報を前記ホストコンピュータに通信出力するＮＧ情報通信出力手段と、
   を有することを特徴とする請求項６記載の電気的トリミングシステム。
9. 前記第１トリミング装置は、さらに、算出した前記第１トリミング基準値を前記センサに書き込む第１トリミング基準値書込手段を有し、
   前記第２トリミング装置は、
   さらに、前記センサに書き込まれた前記第１トリミング基準値及び前記第２トリミング基準値算出手段により算出された前記第２トリミング基準値に基づき前記センサの電気的トリミング調整値である温度特性トリミング値を算出する温度特性トリミング値算出手段と、
   算出された前記温度特性トリミング値を前記センサに書き込む温度特性トリミング値書込手段と、
   を有することを特徴とする請求項１記載の電気的トリミングシステム。
10. 前記第１トリミング装置と前記第２トリミング装置とは、同一装置であることを特徴とする請求項１〜９の何れか一項に記載の電気的トリミングシステム。
11. 前記第１トリミング装置及び前記第２トリミング装置は、
    前記センサに圧力を供給可能な圧力供給器と、前記圧力供給器と前記センサとの間を連通する配管に配置され開放時に前記圧力供給器から前記センサへ所定圧力の付与を可能とする第１バルブと、前記第１バルブと前記センサとの間から分岐する配管に配置され開放時に前記センサに付与された圧力を低減する第２バルブと、からなる前記圧力コントローラを有することを特徴とする請求項１記載の電気的トリミングシステム。

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