TWM559500U - 微型氣體供應控制器 - Google Patents

Abstract

本新型係關於微型氣體供應控制器，其包括：一感測器、一控制單元、一氣體管路模組、一流量控制開關及一手動開關。該感測器設置於一儲存櫃體，用以量測該儲存櫃體之環境資料，提供至少一感測資料。該控制單元依據該至少一感測資料，產生至少一控制訊號。該氣體管路模組用以供應氣體至該儲存櫃體。該流量控制開關設置於該氣體管路模組，依據該至少一控制訊號，控制該流量控制開關之開啟或關閉，以控制該氣體管路模組之開啟或關閉。該手動開關設置於該氣體管路模組，以手動控制該氣體管路模組之開啟或關閉。利用本新型之該微型氣體供應控制器，可依據感測資料，控制氣體是否提供至該儲存櫃體，以節省氣體的成本，且可確保氣體能供應至該儲存櫃體，不會發生因元件異常，不能提供氣體至該儲存櫃體的情況，以維持該儲存櫃體之溫度或濕度。

Description

微型氣體供應控制器

本新型係有關於微型氣體供應控制器。

習知儲存櫃體用以儲存經處理或未經處理之晶圓或半導體元件，為使儲存櫃體內之晶圓或半導體元件不受環境（例如：溫度或濕度）之影響，習知儲存櫃體必須輸入氣體以維持儲存櫃體之溫度及濕度。習知輸入氣體的方式是全日不間斷地輸入氣體，造成氣體之成本增加。另外，沒有其他機制偵測是否氣體確實輸入至該儲存櫃體，可能發生氣體沒有輸入至該儲存櫃體之情況。

本新型提供微型氣體供應控制器。在一實施例中，該微型氣體供應控制器包括：一感測器、一控制單元、一氣體管路模組、一流量控制開關及一手動開關。該感測器設置於一儲存櫃體，用以量測該儲存櫃體之環境資料，提供至少一感測資料。該控制單元電性連接該感測器，依據該至少一感測資料，產生至少一控制訊號。該氣體管路模組用以供應氣體至該儲存櫃體。該流量控制開關電性連接該控制單元，設置於該氣體管路模組，依據該至少一控制訊號，控制該流量控制開關之開啟或關閉，以控制該氣體管路模組之開啟或關閉。該手動開關設置於該氣體管路模組，以手動控制該氣體管路模組之開啟或關閉。 利用本新型之該微型氣體供應控制器，可依據感測資料，控制氣體是否提供至該儲存櫃體，以節省氣體的成本，且可確保氣體能供應至該儲存櫃體，不會發生因元件異常，不能提供氣體至該儲存櫃體的情況，以維持該儲存櫃體之溫度或濕度。

圖1顯示本新型微型氣體供應控制器之方塊示意圖。圖2顯示本新型微型氣體供應控制器之外觀示意圖。配合參考圖1及圖2，在一實施例中，本新型微型氣體供應控制器可應用於控制輸入氣體至一儲存櫃體，例如控制輸入氮氣（N ₂）至一儲存櫃體，但不限於上述。 該微型氣體供應控制器10包括：一感測器11、一控制單元12、一氣體管路模組13、一流量控制開關14及一手動開關15。該感測器11設置於一儲存櫃體20，用以量測該儲存櫃體20之環境資料，提供至少一感測資料。在一實施例中，該感測器11用以量測該儲存櫃體20之溫度及濕度，以產生一溫度感測資料及一濕度感測資料。在一實施例中，該儲存櫃體20可為一晶圓儲存櫃體，儲存已處理或未處理之晶圓或半導體元件。 該控制單元12電性連接該感測器11，依據該至少一感測資料，產生至少一控制訊號。該控制單元12可為一控制器、微處理器等。 該氣體管路模組13用以供應氣體至該儲存櫃體20。在一實施例中，該氣體管路模組13供應氮氣（N ₂）至該儲存櫃體20。該流量控制開關14電性連接該控制單元12，該流量控制開關14設置於該氣體管路模組13。依據該至少一控制訊號，控制該流量控制開關14之開啟或關閉，以控制該氣體管路模組13之開啟或關閉。 在一實施例中，該控制單元12另包括一比較器121，用以依據該溫度感測資料或該濕度感測資料，與一溫度設定值或一濕度設定值比較，若該溫度感測資料大於該溫度設定值，或該濕度感測資料大於該濕度設定值，產生一開啟控制訊號，控制該流量控制開關14開啟，使該氣體管路模組13開啟，以供應氣體至該儲存櫃體20，使該儲存櫃體20之溫度或濕度降低至該溫度設定值或該濕度設定值，以保持該儲存櫃體20內之溫度或濕度。 當該儲存櫃體20之溫度或濕度降低至該溫度設定值或該濕度設定值時，產生一關閉控制訊號，控制該流量控制開關14關閉，使該氣體管路模組13關閉，以節省氣體的成本。 該手動開關15設置於該氣體管路模組13，以手動控制該氣體管路模組13之開啟或關閉。若該流量控制開關14異常，操作者可以手動方式切換該手動開關15，以控制該氣體管路模組13之開啟或關閉，例如，將該手動開關15切換為開啟（ON），使該氣體管路模組13開啟，以供應氣體至該儲存櫃體20，避免該儲存櫃體20內的溫度或濕度提高。 在一實施例中，該氣體管路模組13另包括一第一支路131及一第二支路132，該流量控制開關14設置於該第一支路131，該手動開關15設置於該第二支路132。亦即，該流量控制開關14控制該第一支路131之開啟或關閉，該手動開關15控制該第二支路132之開啟或關閉。 該氣體管路模組13另包括一第一管路133及一第二管路134，該第一管路133接收一氣體供應源的氣體，亦即，該第一管路133連接至一氣體供應源（圖未示出）。該第二管路134連接至該儲存櫃體20，以輸入氣體至該儲存櫃體20。 該氣體管路模組13另包括一第一個三通閥135及一第二個三通閥136。該第一個三通閥135連接該第一管路133、該第一支路131及該第二支路132，亦即，氣體由該第一管路輸入後，經該第一個三通閥135可將氣體分送至該第一支路131及該第二支路132。該第二個三通閥136連接該第二管路134、該第一支路131及該第二支路132，亦即，氣體可由該第一支路131或該第二支路132，經該第二個三通閥136至該第二管路134，以輸送氣體至該儲存櫃體20。 因此，當該微型氣體供應控制器10內的元件（例如：感測器11、控制單元12或流量控制開關14）正常時，該手動開關15切換為關閉，使第二支路132關閉，由該流量控制開關14控制該第一支路131之開啟或關閉，由該第一支路131提供氣體至該儲存櫃體20。於該微型氣體供應控制器10內的元件（例如：感測器11、控制單元12或流量控制開關14）異常時，不能由該第一支路131提供氣體至該儲存櫃體20，該手動開關15切換為開啟，使氣體經由該第二支路132輸入至該儲存櫃體20。 利用本新型之該微型氣體供應控制器10，可確保氣體能供應至該儲存櫃體20，不會發生因元件異常，不能提供氣體至該儲存櫃體20的情況，以維持該儲存櫃體20之溫度或濕度。 在一實施例中，本新型之該微型氣體供應控制器10另包括一警報器16，用以於上述元件異常時發出警報，以警報聲通知操作者，使操作者或現場人員知道該微型氣體供應控制器10之元件發生異常，以盡快將該手動開關15切換為開啟，提供氣體至該儲存櫃體20。 在一實施例中，本新型之該微型氣體供應控制器10另包括一面板17，該手動開關15設置於該面板17，以方便操作者或現場人員切換操作。 本新型之該微型氣體供應控制器10另包括複數個指示燈181、182、183，設置於該面板17，用以顯示該微型氣體供應控制器10之狀態。例如：該指示燈181為該微型氣體供應控制器10之電源指示燈，該指示燈182為該流量控制開關14開啟或關閉之指示燈，該指示燈183為該手動開關15開啟或關閉之指示燈。 上述實施例僅為說明本新型之原理及其功效，而非限制本新型。習於此技術之人士對上述實施例所做之修改及變化仍不違背本新型之精神。本新型之權利範圍應如後述之申請專利範圍所列。

10‧‧‧微型氣體供應控制器
11‧‧‧感測器
12‧‧‧控制單元
13‧‧‧氣體管路模組
14‧‧‧流量控制開關
15‧‧‧手動開關
16‧‧‧警報器
17‧‧‧面板
20‧‧‧儲存櫃體
121‧‧‧比較器
131‧‧‧第一支路
132‧‧‧第二支路
133‧‧‧第一管路
134‧‧‧第二管路
135‧‧‧第一個三通閥
136‧‧‧第二個三通閥
181、182、183‧‧‧指示燈

圖1顯示本新型微型氣體供應控制器之方塊示意圖；及 圖2顯示本新型微型氣體供應控制器之外觀示意圖。

Claims (10)

1. 一種微型氣體供應控制器，包括： 一感測器，設置於一儲存櫃體，用以量測該儲存櫃體之環境資料，提供至少一感測資料； 一控制單元，電性連接該感測器，依據該至少一感測資料，產生至少一控制訊號； 一氣體管路模組，用以供應氣體至該儲存櫃體； 一流量控制開關，電性連接該控制單元，設置於該氣體管路模組，依據該至少一控制訊號，控制該流量控制開關之開啟或關閉，以控制該氣體管路模組之開啟或關閉；及 一手動開關，設置於該氣體管路模組，以手動控制該氣體管路模組之開啟或關閉。
2. 如請求項第1項之微型氣體供應控制器，其中該感測器用以量測該儲存櫃體之溫度及濕度，以產生一溫度感測資料及一濕度感測資料。
3. 如請求項第2項之微型氣體供應控制器，其中該控制單元另包括一比較器，用以依據該溫度感測資料或該濕度感測資料，與一溫度設定值或一濕度設定值比較，若該溫度感測資料大於該溫度設定值，或該濕度感測資料大於該濕度設定值，產生一開啟控制訊號，控制該流量控制開關開啟。
4. 如請求項第1項之微型氣體供應控制器，其中該氣體管路模組另包括一第一支路及一第二支路，該流量控制開關設置於該第一支路，該手動開關設置於該第二支路。
5. 如請求項第4項之微型氣體供應控制器，其中該氣體管路模組另包括一第一管路及一第二管路，該第一管路接收一氣體供應源的氣體，該第二管路連接至該儲存櫃體，以輸入氣體至該儲存櫃體。
6. 如請求項第5項之微型氣體供應控制器，其中該氣體管路模組另包括一第一個三通閥及一第二個三通閥，該第一個三通閥連接該第一管路、該第一支路及該第二支路，該第二個三通閥連接該第二管路、該第一支路及該第二支路。
7. 如請求項第6項之微型氣體供應控制器，其中於該感測器、該控制單元或該流量控制開關異常時，該手動開關切換為開啟，使氣體經由該第二支路輸入至該儲存櫃體。
8. 如請求項第1項之微型氣體供應控制器，另包括一警報器，用以於該感測器、該控制單元或該流量控制開關異常時發出警報。
9. 如請求項第1項之微型氣體供應控制器，另包括一面板，該手動開關設置於該面板。
10. 如請求項第9項之微型氣體供應控制器，另包括複數個指示燈，設置於該面板，用以顯示該微型氣體供應控制器之狀態。